JPS5888800U - プラズマモニタ - Google Patents

プラズマモニタ

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Publication number
JPS5888800U
JPS5888800U JP18361081U JP18361081U JPS5888800U JP S5888800 U JPS5888800 U JP S5888800U JP 18361081 U JP18361081 U JP 18361081U JP 18361081 U JP18361081 U JP 18361081U JP S5888800 U JPS5888800 U JP S5888800U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser beam
detector
light emission
dye lasers
Prior art date
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Pending
Application number
JP18361081U
Other languages
English (en)
Inventor
長田 久二郎
豊 平塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS5888800U publication Critical patent/JPS5888800U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案によるプラズマ分布モニタの一実施例を示す
ブロック図である。 −3・・・・・・励起用パルスレーザ、6. 6’・・
・・・・色素レーザ、10・・・・・・発光検出装置、
4.4’、4′・・・・・・ハーフミラ−114・・・
・・・増巾装置、16・・・・・・トリガ用検出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 1台の励起用パルスレーザと、前記レーザにより励記さ
    れる2台の色素レーザと、前記波長可変−レーザから発
    射される2糧のパルス状レーザ光の交点での発光を検出
    するための発光検出器と、レーザ光反射鏡と、前記レー
    ザ光の到来を検知するトリガ用検出器と、前記トリガ用
    検出器の出力に同期して前記発光検出器の出力を増巾す
    る増巾装置とから構成され、前記励起用パルスレーザ光
    を2分割し一方より他方を有限時間遅らせて前記2台の
    色素レーザを励起させ、前記2台の色素レーザからのレ
    ーザ光を同一直線上に進ませ、一方の前記レーザ光は前
    記反射鏡により反射され前記同一直線上を逆に進むよう
    光学系を配置させたことを特徴とするプラズマモニタ。
JP18361081U 1981-12-11 1981-12-11 プラズマモニタ Pending JPS5888800U (ja)

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JP18361081U JPS5888800U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 プラズマモニタ

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JPS5888800U true JPS5888800U (ja) 1983-06-16

Family

ID=29983027

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JP18361081U Pending JPS5888800U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 プラズマモニタ

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