JPS5889269A - クリ−ンボツクス - Google Patents
クリ−ンボツクスInfo
- Publication number
- JPS5889269A JPS5889269A JP18782981A JP18782981A JPS5889269A JP S5889269 A JPS5889269 A JP S5889269A JP 18782981 A JP18782981 A JP 18782981A JP 18782981 A JP18782981 A JP 18782981A JP S5889269 A JPS5889269 A JP S5889269A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- box
- clean box
- room
- cleanliness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Accommodation For Nursing Or Treatment Tables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は空気中の浮遊じん、浮遊菌が極めて少なくな
る様にコントロールされた室（以下クリーンルームと称
す）複数室間の物品の運搬に用い□ るクリーンボック
スの構造に関する。
る様にコントロールされた室（以下クリーンルームと称
す）複数室間の物品の運搬に用い□ るクリーンボック
スの構造に関する。
空気清浄度の高いクリーンルーム内で製造された物品を
運ぶ容器（クリーンボックス）は、容器内の清浄度が当
該クリーンルームの空気清浄度と同じかそれ以上が要求
される。
運ぶ容器（クリーンボックス）は、容器内の清浄度が当
該クリーンルームの空気清浄度と同じかそれ以上が要求
される。
従来のクリーンボックスは、電動送風機、高性能フィル
タ容器で構成され、容器内の清浄度は、電動送風機で高
性能フィルタを通して送られる空を極めて少なくする一
様にコントロールしたクリーンルーム内の物品を運ぶに
はクリーンルーム内よりもクリーンボックス内の清浄度
が低く適当でない。又クリアーボックス内壁に耐着した
菌は、クリーンボックス内の湿度条件によっては繁殖し
、清浄度を保つために送気される空気で拡散しクリーン
ボックスで運ぶ物品を汚染する欠点がある。
タ容器で構成され、容器内の清浄度は、電動送風機で高
性能フィルタを通して送られる空を極めて少なくする一
様にコントロールしたクリーンルーム内の物品を運ぶに
はクリーンルーム内よりもクリーンボックス内の清浄度
が低く適当でない。又クリアーボックス内壁に耐着した
菌は、クリーンボックス内の湿度条件によっては繁殖し
、清浄度を保つために送気される空気で拡散しクリーン
ボックスで運ぶ物品を汚染する欠点がある。
従来のクリーンボックスの構成では、ノξスボノ゛クス
に気密に接続する機構を欠いているので、物品をクリー
ンボックスに出し入れするには、ぞ゛の操作をクリーン
ルーム内で行わなければ物品ならびにクリーンボックス
内の清浄度を保てない欠点がある。第１図は従来のクリ
ーンボックスの構成を示す断面図である。図中矢印は気
流の方向を示すＯ 本体１に高性能フィルタ３を付設し、その後部の仕切板
１４に付設した電動送風機２により通風動送風機２には
蓄電池１７、電源開閉器１１を付属する。
に気密に接続する機構を欠いているので、物品をクリー
ンボックスに出し入れするには、ぞ゛の操作をクリーン
ルーム内で行わなければ物品ならびにクリーンボックス
内の清浄度を保てない欠点がある。第１図は従来のクリ
ーンボックスの構成を示す断面図である。図中矢印は気
流の方向を示すＯ 本体１に高性能フィルタ３を付設し、その後部の仕切板
１４に付設した電動送風機２により通風動送風機２には
蓄電池１７、電源開閉器１１を付属する。
この発明の目的は前記したクリーンボックスの欠点を解
消し、運搬中の物品が、浮遊しん、菌で汚染されること
を防止しクリーンルーム間の清浄度を要求される物品の
運搬を清浄度を損うことなく簡便に行うことのできるク
リーンボックスを提供するにある。
消し、運搬中の物品が、浮遊しん、菌で汚染されること
を防止しクリーンルーム間の清浄度を要求される物品の
運搬を清浄度を損うことなく簡便に行うことのできるク
リーンボックスを提供するにある。
い易さを向上させる手段として、従来使用されている高
性能フィルタに代え超高性能フィルタを使用し、新たに
耐着菌の繁殖を抑止する紫外線殺菌灯、清浄空気で正圧
を保つための気密扉および・ξスボックスに接続する機
構を設けたものである。
性能フィルタに代え超高性能フィルタを使用し、新たに
耐着菌の繁殖を抑止する紫外線殺菌灯、清浄空気で正圧
を保つための気密扉および・ξスボックスに接続する機
構を設けたものである。
この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第２図はこの発明に係る運搬容器の実施例の断面図で奉
る。第２図の断面図に示すごとく、本体１、パツキン１
０．電源開閉器１１．通風口１２および仕切板１４で構
成される。電動送風機２により外部空気は矢印に示すご
とく超高性能フィルタ３で清ｉ化され本体ｌ内を満し気
密扉８の開口部より流出し、本体μ内を清浄化する。紫
外線殺菌灯５は、本体ｌの内側を照射し耐着した菌を殺
菌する。
る。第２図の断面図に示すごとく、本体１、パツキン１
０．電源開閉器１１．通風口１２および仕切板１４で構
成される。電動送風機２により外部空気は矢印に示すご
とく超高性能フィルタ３で清ｉ化され本体ｌ内を満し気
密扉８の開口部より流出し、本体μ内を清浄化する。紫
外線殺菌灯５は、本体ｌの内側を照射し耐着した菌を殺
菌する。
第３図はクリーンボックス内に物品を収納した状態の断
面を示す。電動送風機２で図中矢印で社空気は気密扉８
と気密パツキン１０とのわ−づかな隙間から漏れ出るば
かりとなり本体ｌ内の気圧を外部より正圧とし、外気の
侵入を防止する効果をもたらす。
面を示す。電動送風機２で図中矢印で社空気は気密扉８
と気密パツキン１０とのわ−づかな隙間から漏れ出るば
かりとなり本体ｌ内の気圧を外部より正圧とし、外気の
侵入を防止する効果をもたらす。
第４図はこの発明の他の実施例の断面図を示すもので、
前記実施例と異なるのはパスボックス取付ネジを取止め
軟質ビニル製蛇腹門６とゴム磁石この実施例によれば、
パスボックスとの接続操作が前記実施例より容易にな夛
、かつ、蓄電池の交換が不必要となる。
前記実施例と異なるのはパスボックス取付ネジを取止め
軟質ビニル製蛇腹門６とゴム磁石この実施例によれば、
パスボックスとの接続操作が前記実施例より容易にな夛
、かつ、蓄電池の交換が不必要となる。
この発明は、クリーンルーム間の運搬容器であるクリー
ンボックスに超高性能フィルタ、紫外線殺菌灯、清浄空
気で正圧を保つだめの気密扉およヒハスボックスに接続
する機構を付設したので、この発明によれば、クリーン
ルーム内の物品をその清浄度を損うことなしに、クリー
ン・ルーム以外の域を通過して他のクリーンルームに安
全に運ぶことが可能である。
ンボックスに超高性能フィルタ、紫外線殺菌灯、清浄空
気で正圧を保つだめの気密扉およヒハスボックスに接続
する機構を付設したので、この発明によれば、クリーン
ルーム内の物品をその清浄度を損うことなしに、クリー
ン・ルーム以外の域を通過して他のクリーンルームに安
全に運ぶことが可能である。
第１図は従来のクリーンボックスの構成断面図、第、２
図は本発明の構成断面図、第３図は実施例の使用状態に
おける断面図、竺４図は本発明の他の実施例を示す断面
図である。 ７・・・保護ガラス、 ８・・・気密扉、９・・
・パスボックス接続ネジ、ｌｏ・・−気密パツキン、’
１１・・・電源開閉器、 １２・・・通風口、１３
・−・パスボックス、 １４・・・仕切板、１５・・
・ゴム磁石、 １６・・・ビニル蛇腹、１７゛・
・・蓄電池、 １８・・・蓋。 第１図 第２図 第３図 第４図 ３５７
図は本発明の構成断面図、第３図は実施例の使用状態に
おける断面図、竺４図は本発明の他の実施例を示す断面
図である。 ７・・・保護ガラス、 ８・・・気密扉、９・・
・パスボックス接続ネジ、ｌｏ・・−気密パツキン、’
１１・・・電源開閉器、 １２・・・通風口、１３
・−・パスボックス、 １４・・・仕切板、１５・・
・ゴム磁石、 １６・・・ビニル蛇腹、１７゛・
・・蓄電池、 １８・・・蓋。 第１図 第２図 第３図 第４図 ３５７
Claims (1)
- 空気条件のコントロールされた室内の物品を空気条件ノ
コントロールされていない室を通って別の空気条件のコ
ントロールされた室に運ぶ容器（クリーンボックスと称
す）において、容器に電装置（バスボックス）と気密に
接続する機構と送風機、殺菌灯用電源装置とを装着した
ことを特徴とするクリーンボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18782981A JPS5889269A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | クリ−ンボツクス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18782981A JPS5889269A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | クリ−ンボツクス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5889269A true JPS5889269A (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=16212957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18782981A Pending JPS5889269A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | クリ−ンボツクス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5889269A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193024U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-12-13 | ||
| JPH03103259A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | Toyo Netsu Kogyo Kk | 入口開放型の無菌病室 |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP18782981A patent/JPS5889269A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193024U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-12-13 | ||
| JPH03103259A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | Toyo Netsu Kogyo Kk | 入口開放型の無菌病室 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100278564B1 (ko) | 이송및보관캐리어 | |
| US5401212A (en) | Environmental control system | |
| US5431599A (en) | Environmental control system | |
| US5827118A (en) | Clean storage unit air flow system | |
| JPS62269334A (ja) | ウエ−ハキヤリア | |
| US5628121A (en) | Method and apparatus for maintaining sensitive articles in a contaminant-free environment | |
| US7335244B2 (en) | Air-purifying device for a front-opening unified pod | |
| US5664679A (en) | Transport container for wafer-shaped objects | |
| EP0138473A2 (en) | System for integrated circuit processing | |
| JP3036873B2 (ja) | 超清浄囲繞コンテナ用吹き出しドア | |
| JP2003007813A (ja) | 半導体ウエハの保管ボックス、運搬装置、運搬方法及び保管倉庫 | |
| JP2585368B2 (ja) | 清浄キャビネット | |
| JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| CN210918755U (zh) | 一种传递窗 | |
| JP3697275B2 (ja) | 局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルーム | |
| JPH06318631A (ja) | ウエハ搬送用ボックス | |
| KR20230096337A (ko) | 로드포트모듈의 웨이퍼 용기의 습도저감장치 및 이를 구비한 반도체 공정장치 | |
| JPH0231496Y2 (ja) | ||
| TW471008B (en) | Substrate transport device | |
| JPH04118015A (ja) | 簡易型クリーンルーム | |
| JP7513399B2 (ja) | クリーンベンチ装置 | |
| JP3747377B2 (ja) | 半導体ウエハなどの保管方法 | |
| JP7826623B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JPS5889268A (ja) | クリ−ンル−ムのパスボツクス | |
| KR100505027B1 (ko) | 웨이퍼 운반장치 |