JPH06318631A

JPH06318631A - ウエハ搬送用ボックス

Info

Publication number: JPH06318631A
Application number: JP10679093A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Tsubota; 一哉坪田
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1993-05-07
Filing date: 1993-05-07
Publication date: 1994-11-15

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】気温、気圧、大気の変化に影響されず内部をク
リーンに保つウエハ搬送ボックスを提供する。【構成】ウエハカセット２を収納した内側ボックス３に
気体出入口４，５を設け、この気体出入口にフィルタ１
１及びファン１２より構成されたクリーニングユニット
１４を備えた外側ボックス１０を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、鏡面仕上げあるいはエ
ピタキシアル仕上げ等をしたウエハの製造及び搬送に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来のウエハ搬送用のカセットボックス
７を図２に示した。鏡面仕上げあるいはエピタキシアル
仕上げをしたウエハ１を搬送又は出荷する際には、この
ようなウエハ搬送用のカセットボックス７が用いられ
る。このウエハ搬送用のカセットボックス７はカセット
２にウエハ２５枚を収納することができ、パッキング８
を介して上蓋をかぶせ、搬送中の温度変化、湿度変化、
気圧変化に対し、製品であるウエハ１上に発塵、結露な
どが生じないように、種々の工夫がなされている。これ
らの工夫が不完全であると結露等の問題をおこす。また
ウエハを受け取る側でもカセットボックス７がテーピン
グ等によって厳重にパッキングされていると、テーピン
グをはがすのに時間がかかると共に、その際パーティク
ル発生等の問題をおこす。一方最近ではウエハの直径が
大型化し、８インチ、１２インチのウエハも珍しくな
い。そしてウエハの大型化につれ、デバイス側の集積度
も高度化し、０．１μｍ径のパーティクルが問題とな
る。また、ウエハの直径が大型化してくるにつれ、カセ
ットボックスの構造も複雑となりコストも高くなり、ウ
エハ全体の製造コストも高騰している。カセットボック
スの構造としては、例えば次のような施策がとられてい
る。（１）カセット内を減圧し、下蓋と上蓋の合わせ目部内
をテーピングする。（２）カセット内にＮ₂ 等の不活性気体を封入する。（３）カセットの下蓋と上蓋の合わせ目部分をパッキン
グ８等にてシールする。最近ではパッキングを二重にしたカセットボックスもあ
る。

【０００３】しかしながら、上記のいずれのカセットボ
ックスも完全でなく、特に海外との間で輸出入する場
合、温度、湿度、気圧の変化等によりシールが破れ、ウ
エハ上にパーティクルが発生し、問題を起こすことが多
い。一方、カセットボックスにパッキングを取り付けた
りして構造を複雑にすればする程、カセットボックスに
ウエハを入れる前の洗浄が困難となる。特にカセットボ
ックスの角隅等は機械によるクリーニングは難しく、人
手に頼らざるを得ない。また、たとえ良好なクリーニン
グができても、乾燥に時間がかかる等の難点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のようなこれまで
の問題点を解決するため、本発明が解決しようとする課
題としては、（１）温度、湿度、気圧、大気の変化等に影響されず、
常に内部をクリーンに保つこと。これらが変化すると、
カセットボックス内と外とで気圧の差が生じ大量のパー
ティクルを含んだ大気がカセットボックス内に流入する
おそれがある。（２）カセットボックス内に角隅がなく、機械化による
クリーニングが容易なこと。（３）解体が容易なこと。（４）製作コストが安いこと。があげられる。本発明は、これらの課題を一挙に解決し
たウエハ搬送用ボックスを提供することを目的とするも
のである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、ウエハを収納
するカセットを収容し、気体入口及び気体出口を有する
内側箱体と、この内側箱体を収納し、前記気体入口に密
接する清浄空気送入装置を備えた外側箱体とからなるこ
とを特徴とするウエハ搬送用ボックスである。本発明に
おいて清浄空気送入装置は、例えば、ヘパ（ＨＥＰＡ）
フィルタまたはウルパ（ＵＬＰＡ）フィルタ等の超精密
フィルタとファンとから構成された装置である。この清
浄空気送入装置は、内側箱体の気体入口に密接し、外側
箱体内に装着され、内側箱体内に清浄空気を送入する。

【０００６】

【作用】本発明のウエハ搬送用ボックスは内側箱体と外
側箱体の２重構造としたものである。内側箱体は、ヘパ
（ＨＥＰＡ）またはウルパ（ＵＬＰＡ）フィルタとファ
ンを組み込んだ清浄空気送入装置がセットされるように
上部開口を設けると同時に、下部には空気の入替が可能
なスリット状の開口部が設けてある。外側箱体は、内部
箱体の上方に上記清浄空気送入装置をセットすることが
できるようにしてある。ファン駆動用電源は通常はバッ
テリーから供給する。輸送に長時間を要する場合は別途
の電源から供給する。

【０００７】本発明のウエハ搬送用ボックスの作用につ
いて以下に説明を加える。（１）ファンにより空気の流れが生じ、ヘパまたはウル
パフィルタを通って、清浄な空気が内側箱体内に流入す
る。（２）その空気は内側箱体の下部スリット部から内側箱
体と外側箱体の間に流れ出る。内側箱体と外側箱体との
間の部分はクリーンルームにおけるいわゆるダクトの役
目を果たしている。（３）ファンの流速、内側箱体の下部開口部の面積を調
整することにより、内側箱体内外の雰囲気に圧力差をつ
けることができる。内側箱体内が正圧になるように調整
しておくと、外気の温度、湿度、圧力等に変化が生じて
も、内側箱体内に大量のパーティクルを含んだ空気が流
れ込むことはない。（４）内側箱体の上蓋と下蓋のシールも内部が正圧のた
め、それ程厳重な気密保持は必要でない。そのため構造
設計の自由度が大きくなり、安価で洗浄の容易な内側箱
体の設計製作が可能となる。（５）搬送中にウエハとウエハ搬送用ボックスとの接触
等により発生するパーティクルも、気流の流れに運ばれ
て内側箱体の外に追出され、フィルタにて捕捉される。（６）ファン、フィルタ付の清浄空気送入装置は取外し
が可能であり、再使用することができる。（７）外側箱体の気密もそれほど重要でない。何故なら
外側箱体内には気流の流れがあり、外部から侵入したパ
ーティクルも容易にフィルタにて捕捉されるからであ
る。

【０００８】

【実施例】図１に実施例の断面図を示した。ウエハ１は
カセット２に収納され内側箱体３内に収容されている。
内側箱体３には天井に開口４が設けられ、下部にブライ
ンド状の開口５が設けられている。外側箱体１０は内側
箱体３を収納し、フィルタ１１とファン１２からなる清
浄空気送入装置１４を内側箱体３の上部開口４にセット
している。ファン１２の駆動により、フィルタ１１を通
って内側箱体３内に清浄空気を送り、送られた空気は開
口５から内側箱体３の外に排出され、外側箱体１０との
間の空間を流れる気流１３となる。この構造によって外
気の気温、湿度、圧力等の変化が生じても、内側箱体内
外気が侵入することはなく、大量のパーティクルを含ん
だ空気が流れ込むことはない。

【０００９】

【発明の効果】本発明のボックスを使用することによ
り、次の効果を奏する。（１）空輸等、温度、湿度、気圧の著しい変化が生ずる
場合でも、内側箱体内は全く影響されず、常にクリーン
である。（２）内側箱体の構造が簡単となり、洗浄乾燥が容易で
ある。（３）清浄空気送入装置は再使用することができ、コス
トも安くすることができる。（４）ウエハの搬送中に内側箱体内でパーティクルが発
生しても、気流の流れによりパーティクルは内側箱体の
外へ追いやられ、常に内部を清浄に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の断面図である。

【図２】従来例の断面図である。

【符号の説明】

１ウエハ２カセット３内側箱体４開口５開口７カセットボ
ックス８パッキング１０外側箱体１１フィルタ１２ファン１３気流１４清浄空気
送入装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハを収納するカセットを収容し、気
体入口及び気体出口を有する内側箱体と、該内側箱体を
収納し、前記気体入口に密接する清浄空気送入装置を備
えた外側箱体とからなることを特徴とするウエハ搬送用
ボックス。