JPS588944U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

Info

Publication number
JPS588944U
JPS588944U JP10210681U JP10210681U JPS588944U JP S588944 U JPS588944 U JP S588944U JP 10210681 U JP10210681 U JP 10210681U JP 10210681 U JP10210681 U JP 10210681U JP S588944 U JPS588944 U JP S588944U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wheel
pellet
semiconductor manufacturing
semiconductor
manufacturing equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10210681U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6317249Y2 (ja
Inventor
堀尾　金春
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority to JP10210681U priority Critical patent/JPS588944U/ja
Publication of JPS588944U publication Critical patent/JPS588944U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6317249Y2 publication Critical patent/JPS6317249Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は一般的ベレットマウント装置の概略
側面図及び平面図、第３図は本考案の第１実施例を示す
一部断面概略側面図、第４図は第３図のホイールの斜視
図、第５図及び第６図は本考案の第２実施例を示す概略
側面図及びＩ−Ｉ線に沿う断面図、第７図は第５図の応
用例を説明するバッチ式ペレットマウント装置の概略斜
視図である。 １・・・・・−半導体ペレット、１１・・・・・・被ペ
レットマウント物、１３−−−−−−ホイール、１４．
１４’・・・・・・ペレット供給部、１５・・・・・・
凹溝。 ０２ ０３

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ペレットを適宜位置決め吸着する凹溝を外周面に
    複数個有し、定位置で中心軸を中心に回転するホイール
    と、ホイール上方からホイールの回転と同期して前記凹
    溝に半導体ペレットを１個ずつ供給するペレット供給部
    とを具備し、ホイール下方でホイールの回転と同期して
    被ペレットマウント物を間歇送りすると共に、ホイール
    下部の定ポジションで半導体ペレットをホイールから被
    ペレットマウント物上に順次に供給してマウントするよ
    うにしたことを特徴とする半導体製造装置。
JP10210681U 1981-07-08 1981-07-08 半導体製造装置 Granted JPS588944U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10210681U JPS588944U (ja) 1981-07-08 1981-07-08 半導体製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10210681U JPS588944U (ja) 1981-07-08 1981-07-08 半導体製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS588944U true JPS588944U (ja) 1983-01-20
JPS6317249Y2 JPS6317249Y2 (ja) 1988-05-16

Family

ID=29896758

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10210681U Granted JPS588944U (ja) 1981-07-08 1981-07-08 半導体製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS588944U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59229826A (ja) * 1983-05-31 1984-12-24 Rohm Co Ltd リ−ドフレ−ムに対する半導体ペレツトの供給装置
JPS60213036A (ja) * 1984-04-09 1985-10-25 Shinkawa Ltd チツプボンデイング装置
JPS63158586U (ja) * 1987-04-06 1988-10-18

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59229826A (ja) * 1983-05-31 1984-12-24 Rohm Co Ltd リ−ドフレ−ムに対する半導体ペレツトの供給装置
JPS60213036A (ja) * 1984-04-09 1985-10-25 Shinkawa Ltd チツプボンデイング装置
JPS63158586U (ja) * 1987-04-06 1988-10-18

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6317249Y2 (ja) 1988-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS588944U (ja) 半導体製造装置
JPS5925941U (ja) 回転機の軸封装置
JPS60174374U (ja) 表示装置
JPS59190511U (ja) 樹脂ペレツトの製造装置
JPS6075756U (ja) 遊星歯車装置の遊星歯車取付装置
JPS59190718U (ja) 円筒状体の整列搬出装置
JPS59183417U (ja) ベルト支持用ロ−ラ
JPS58196418U (ja) 軸受装置
JPS5993105U (ja) 半固定可変抵抗器
JPS5915824U (ja) 回転機の軸受支持装置
JPS5930039U (ja) カ−ド送り用ロ−ラ
JPS5839131U (ja) 係止装置
JPS58158663U (ja) マルチ作業機のフイルムロ−ル予備装着装置
JPS5998689U (ja) 電子機器のコネクタ接続装置
JPS60113852U (ja) 部品投入装置
JPS6121719U (ja) 成形体の転倒整列装置
JPS5993803U (ja) バイト取付装置
JPS58132628U (ja) 円筒加工用治具
JPS5885344U (ja) 半導体基板用キヤリア
JPS6018002U (ja) 自転車ハブの防水軸受
JPS58154057U (ja) オフセツト形研削といし
JPS5832642U (ja) 半導体装置
JPS6046684U (ja) 回転体への給電装置
JPS5829834U (ja) 半導体装置
JPS59187139U (ja) 半導体ウエハホルダ装置