JPS588960Y2 - 真空発生装置 - Google Patents
真空発生装置Info
- Publication number
- JPS588960Y2 JPS588960Y2 JP17042678U JP17042678U JPS588960Y2 JP S588960 Y2 JPS588960 Y2 JP S588960Y2 JP 17042678 U JP17042678 U JP 17042678U JP 17042678 U JP17042678 U JP 17042678U JP S588960 Y2 JPS588960 Y2 JP S588960Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed air
- hole
- vacuum
- compartment
- suction cup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 3
- 230000003584 silencer Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は各種物品等を吸着移動させる場合等に使用する
真空発生装置に関する。
真空発生装置に関する。
近時、各種自動機械、省力化機械等において物品の供給
、移動、取出し等を行う手段として吸盤等が使用され、
真空ポンプで該吸盤等の内部の真空域を制御している。
、移動、取出し等を行う手段として吸盤等が使用され、
真空ポンプで該吸盤等の内部の真空域を制御している。
しかしながら、真空ポンプは大型、高価である欠点があ
る。
る。
本考案では真空発生装置としていわゆる気体ニジエフ−
ポンプが使用される。
ポンプが使用される。
すなわち、気体ニジエフクーポンプは圧縮空気を隔室内
の円錐状孔に向けて噴射放出し、該隔室内を負圧とし、
隔室内の一側壁から吸気ホースを設けて吸盤等の内部の
真空域を保持するものであり、極めて小型、安価に提供
できる。
の円錐状孔に向けて噴射放出し、該隔室内を負圧とし、
隔室内の一側壁から吸気ホースを設けて吸盤等の内部の
真空域を保持するものであり、極めて小型、安価に提供
できる。
しかしながら、従来の気体ニジエフクーポンプにおいて
は吸盤等の内部の真空域を保持するためには圧縮空気を
隔室内の円錐状孔に向けて常時噴射放出する必要があり
、極めて不経済である欠点があった。
は吸盤等の内部の真空域を保持するためには圧縮空気を
隔室内の円錐状孔に向けて常時噴射放出する必要があり
、極めて不経済である欠点があった。
したがって、吸盤等の内部が真空域になった場合には圧
縮空気の噴射放出を停止し、しかも真空域を保持するよ
う構成すれば極めて経済的となるものである。
縮空気の噴射放出を停止し、しかも真空域を保持するよ
う構成すれば極めて経済的となるものである。
しかしながら、従来のこの種、気体ニジエフクーポンプ
においては圧縮空気を噴射放出する隔室内の円錐状孔が
外気と連通しているためそのようなことは困難であると
考えられていた。
においては圧縮空気を噴射放出する隔室内の円錐状孔が
外気と連通しているためそのようなことは困難であると
考えられていた。
本考案は上記のごとき欠点を除去してなるものであり、
さらに所定の真空度のもとて圧縮空気の噴射放出の停止
を行うよう構成したものであり、したがって頗る経済的
であることを特徴とするものである。
さらに所定の真空度のもとて圧縮空気の噴射放出の停止
を行うよう構成したものであり、したがって頗る経済的
であることを特徴とするものである。
以下に本考案の一実施例を図面について詳細に説明する
。
。
気体ニジエフクーポンプaには圧縮空気の供給孔1が設
けられ、該供給孔1には例えば図示しないがコンプレッ
サー等が接続される。
けられ、該供給孔1には例えば図示しないがコンプレッ
サー等が接続される。
つぎに供給孔1の先端にはノズル孔2が設けられ、該ノ
ズル孔2は気体エジエククーポンプa内に予め構成され
た隔室3内に開口され、該隔室3内のノズル孔2と対向
する位置には円錐状孔4が設けられる。
ズル孔2は気体エジエククーポンプa内に予め構成され
た隔室3内に開口され、該隔室3内のノズル孔2と対向
する位置には円錐状孔4が設けられる。
さらに隔室3内の一側壁には別に吸気孔5が設けられ、
該吸気孔5部に必要に応じて吸気ホース6等が取付けら
れ、さらにその先端に吸盤7等が設けられる。
該吸気孔5部に必要に応じて吸気ホース6等が取付けら
れ、さらにその先端に吸盤7等が設けられる。
図中8はサイレンサーである。上記構成において、供給
孔1の先端のノズル孔2から圧縮空気を供給すると、圧
縮空気がノズル孔2から円錐状孔4に噴射放出され、噴
射放出音はサイレンサー8で消音され、隔室3内が負圧
となり吸気孔5、吸気ホース6及び吸盤7部の空気が放
出され、吸盤7の内部が真空域となるものである。
孔1の先端のノズル孔2から圧縮空気を供給すると、圧
縮空気がノズル孔2から円錐状孔4に噴射放出され、噴
射放出音はサイレンサー8で消音され、隔室3内が負圧
となり吸気孔5、吸気ホース6及び吸盤7部の空気が放
出され、吸盤7の内部が真空域となるものである。
上記構成において、本考案では円錐状孔4の先端部にノ
ズル孔2からの圧縮空気の噴射放出により開かれ、噴射
放出の停止により自動的に閉じられるチェックバルブ9
を設けるものである。
ズル孔2からの圧縮空気の噴射放出により開かれ、噴射
放出の停止により自動的に閉じられるチェックバルブ9
を設けるものである。
なお、チェックバルブ9としては第1図示のごとく、ス
プリング10により軽く円錐状孔4の先端部に押圧され
るボール11により構成してもよく、さらに第3図示の
ごとく、下端が開閉する弁板12により構成してもよい
。
プリング10により軽く円錐状孔4の先端部に押圧され
るボール11により構成してもよく、さらに第3図示の
ごとく、下端が開閉する弁板12により構成してもよい
。
いずれにしてもチェックバルブ9はノズル孔2からの圧
縮空気の噴射放出により軽く開き自動的に閉じられた場
合に完全にシールする形態とされる。
縮空気の噴射放出により軽く開き自動的に閉じられた場
合に完全にシールする形態とされる。
上記構成の本考案においては圧縮空気をノズル孔2から
噴射放出すると、チェックバルブ9が開かれ、上記のご
とく、吸盤7内部が真空域となる。
噴射放出すると、チェックバルブ9が開かれ、上記のご
とく、吸盤7内部が真空域となる。
つぎに吸盤7の内部が所定の真空域となった場合に圧縮
空気の噴射放出を止めるとチェックバルブ9が自動的に
閉じられ、ノズル孔2側から空気の供給がないかぎり、
隔室3、円錐状孔4、吸気孔5、吸気ホース6及び吸盤
7内部の真空域が保持され、その間、すなわち、圧縮空
気の噴射放出を止めたまま吸盤7により、物品13等を
移動等させることができる。
空気の噴射放出を止めるとチェックバルブ9が自動的に
閉じられ、ノズル孔2側から空気の供給がないかぎり、
隔室3、円錐状孔4、吸気孔5、吸気ホース6及び吸盤
7内部の真空域が保持され、その間、すなわち、圧縮空
気の噴射放出を止めたまま吸盤7により、物品13等を
移動等させることができる。
つぎに、真空状態を保持した場合であっても吸盤7、チ
ェックバルブ9、圧縮空気の供給孔1部あるいはその他
吸気ホース6の取付部等から多少の空気流入があり、真
空度の低下が生ずる場合がある。
ェックバルブ9、圧縮空気の供給孔1部あるいはその他
吸気ホース6の取付部等から多少の空気流入があり、真
空度の低下が生ずる場合がある。
本考案はそのような場合には真空域状態を確認しつつ圧
縮空気の噴射放出及び停止を行えばよい。
縮空気の噴射放出及び停止を行えばよい。
その−例を図面について説明する。
すでに本考案者は真空状態確認装置付き真空源として登
録実用新案第1185723号(実公昭5l−4486
4)を提供している。
録実用新案第1185723号(実公昭5l−4486
4)を提供している。
すなわち、上記登録実用新案を第1図、第2図について
説明すると、気体エジェクターポンプa内の真空域とな
る隔室3と連通ずる別の隔室13内に真空域時にスプリ
ング14に抗して摺動するピストン15を設け、該ピス
トン15にはその摺動時に別に設けたマイクロスイッチ
16を作用させるピン17を植設したものである。
説明すると、気体エジェクターポンプa内の真空域とな
る隔室3と連通ずる別の隔室13内に真空域時にスプリ
ング14に抗して摺動するピストン15を設け、該ピス
トン15にはその摺動時に別に設けたマイクロスイッチ
16を作用させるピン17を植設したものである。
本考案と上記登録実用新案を併用するとさらに経済的で
ある効果を得ることができる。
ある効果を得ることができる。
すなわち、圧縮空気のノズル孔2から圧縮空気を供給し
、隔室3、吸気孔5、吸気ホース6及び吸盤7側に所定
の真空度が得られると、ピストン15がスプリング14
を押縮して摺動し、マイクロスイッチ16を接続等作用
させる。
、隔室3、吸気孔5、吸気ホース6及び吸盤7側に所定
の真空度が得られると、ピストン15がスプリング14
を押縮して摺動し、マイクロスイッチ16を接続等作用
させる。
このマイクロスイッチ16の作用により圧縮空気の供給
孔1に接続されている圧縮空気の供給源例えばコンプレ
ッサー等を停止させるよう構成する。
孔1に接続されている圧縮空気の供給源例えばコンプレ
ッサー等を停止させるよう構成する。
その結果、圧縮空気の供給が停止され、チェックバルブ
9が閉じられ、隔室3、吸気孔5、吸気ホース6及び吸
盤7部は所定の真空度に保持され、吸盤7により物品す
等を移動等させることができる。
9が閉じられ、隔室3、吸気孔5、吸気ホース6及び吸
盤7部は所定の真空度に保持され、吸盤7により物品す
等を移動等させることができる。
つぎに真空度が所定の価より低下するとピストン15が
スプリング14により復帰させられ、マイクロスイッチ
16の接続等が解除させられる。
スプリング14により復帰させられ、マイクロスイッチ
16の接続等が解除させられる。
その場合に予め圧縮空気の供給源、例えばコンプレッサ
ー等を自動的に稼動させるよう構成しておけば再び圧縮
空気の噴射放出が行われ、チェックバルブ9が開かれ所
定の真空度を維持することができるものである。
ー等を自動的に稼動させるよう構成しておけば再び圧縮
空気の噴射放出が行われ、チェックバルブ9が開かれ所
定の真空度を維持することができるものである。
第3図には上記真空状態確認装置を気体ニジエフクーポ
ンプaとは別に吸気ホース6の適位置に設け、ピストン
にかえてベローズ18を使用し、さらにマイクロスイッ
チに変えて歪ゲージ19を使用した例が示されている。
ンプaとは別に吸気ホース6の適位置に設け、ピストン
にかえてベローズ18を使用し、さらにマイクロスイッ
チに変えて歪ゲージ19を使用した例が示されている。
歪ゲージ19はセンサー板20とその表裏に歪みにより
抵抗値が変化する歪センサ−21、22により構成され
、歪みにより電気信号を得ることができるもので、一端
を固定部材である支持柱23に止着し、他端をベローズ
18側に止着し、隔室13内の真空に伴いベローズ18
が収縮された場合に歪ゲージ19に歪みが生ずるよう構
成されている。
抵抗値が変化する歪センサ−21、22により構成され
、歪みにより電気信号を得ることができるもので、一端
を固定部材である支持柱23に止着し、他端をベローズ
18側に止着し、隔室13内の真空に伴いベローズ18
が収縮された場合に歪ゲージ19に歪みが生ずるよう構
成されている。
したがって歪ゲージ19により真空状態を確認し、歪ゲ
ージ19からの電気信号により圧縮空気の供給源、例え
ばコンプレッサー等を制御すれば第1図、第2図実施例
と同様の効果を得ることができるものである。
ージ19からの電気信号により圧縮空気の供給源、例え
ばコンプレッサー等を制御すれば第1図、第2図実施例
と同様の効果を得ることができるものである。
上記のごとく、本考案は圧縮空気をノズル孔から隔室内
の円錐状孔に向けて噴射放出し、該隔室内を負圧にし、
その−側壁に吸気孔を設けた気体ニジエフクーポンプに
おいて、円錐状孔先端部に、ノズル孔からの圧縮空気の
噴射放出により開かれ噴射放出の停止により閉じられる
チェックバルブを設けたものであり、その結果、所定の
真空度が得られた後に圧縮空気の供給を停止してもその
真空度を維持することができ、したがって圧縮空気を節
約することができ、極めて経済的である効果を有するも
のである。
の円錐状孔に向けて噴射放出し、該隔室内を負圧にし、
その−側壁に吸気孔を設けた気体ニジエフクーポンプに
おいて、円錐状孔先端部に、ノズル孔からの圧縮空気の
噴射放出により開かれ噴射放出の停止により閉じられる
チェックバルブを設けたものであり、その結果、所定の
真空度が得られた後に圧縮空気の供給を停止してもその
真空度を維持することができ、したがって圧縮空気を節
約することができ、極めて経済的である効果を有するも
のである。
上記と同様の効果を得るため真空状態確認装置の信号で
吸気孔側の適位置を電気的に制御することも考えられる
が、その場合には別に制御装置が必要であり、さらに本
考案では真空状態確認装置を使用することなく、圧縮空
気の供給量から経験則にもとづいてその供給を停止して
吸盤等により物品の移動等をすることもできるものであ
る。
吸気孔側の適位置を電気的に制御することも考えられる
が、その場合には別に制御装置が必要であり、さらに本
考案では真空状態確認装置を使用することなく、圧縮空
気の供給量から経験則にもとづいてその供給を停止して
吸盤等により物品の移動等をすることもできるものであ
る。
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図はその使
用状態を示す要部断面図、第2図は気体ニジエフクーポ
ンプの正面図、第3図は他の実施例を示す使用状態を示
す要部の断面図である。 1・・・・・・(圧縮空気の)供給孔、2・・・・・・
ノズル孔、3・・・・・・隔室、4・・・・・・円錐状
孔、5・・・・・・吸気孔、9・・・・・・チェックバ
ルブ、a・・・・・・気体ニジエフクーポンプ。
用状態を示す要部断面図、第2図は気体ニジエフクーポ
ンプの正面図、第3図は他の実施例を示す使用状態を示
す要部の断面図である。 1・・・・・・(圧縮空気の)供給孔、2・・・・・・
ノズル孔、3・・・・・・隔室、4・・・・・・円錐状
孔、5・・・・・・吸気孔、9・・・・・・チェックバ
ルブ、a・・・・・・気体ニジエフクーポンプ。
Claims (1)
- 圧縮空気をノズル孔から隔室内の円錐状孔に向けて噴射
放出し、該隔室内を負圧にし、その−側壁に吸気孔を設
けた気体ニジエフクーポンプにおいて、前記円錐状孔先
端部に、ノズル孔からの圧縮空気の噴射放出により開か
れ、噴射放出の停止により閉じられるチェックバルブを
設けたことを特徴とする真空発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17042678U JPS588960Y2 (ja) | 1978-12-11 | 1978-12-11 | 真空発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17042678U JPS588960Y2 (ja) | 1978-12-11 | 1978-12-11 | 真空発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5585600U JPS5585600U (ja) | 1980-06-12 |
| JPS588960Y2 true JPS588960Y2 (ja) | 1983-02-17 |
Family
ID=29173410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17042678U Expired JPS588960Y2 (ja) | 1978-12-11 | 1978-12-11 | 真空発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS588960Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6937037B2 (en) | 1995-11-09 | 2005-08-30 | Formfactor, Et Al. | Probe card assembly for contacting a device with raised contact elements |
-
1978
- 1978-12-11 JP JP17042678U patent/JPS588960Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6937037B2 (en) | 1995-11-09 | 2005-08-30 | Formfactor, Et Al. | Probe card assembly for contacting a device with raised contact elements |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5585600U (ja) | 1980-06-12 |
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