JPS5889834A - ボンデイングヘツドの組立調整方法 - Google Patents
ボンデイングヘツドの組立調整方法Info
- Publication number
- JPS5889834A JPS5889834A JP56188627A JP18862781A JPS5889834A JP S5889834 A JPS5889834 A JP S5889834A JP 56188627 A JP56188627 A JP 56188627A JP 18862781 A JP18862781 A JP 18862781A JP S5889834 A JPS5889834 A JP S5889834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding
- bonding arm
- arm
- lower limit
- bonding head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング装置用のポンディングヘッ
ドの組立ｌＩＳ方法４こ関する。
ドの組立ｌＩＳ方法４こ関する。
ポンディングヘッドには、一端にツールが取付けられた
ボンディングアームが駆動機構で上下動するように取付
けられている。このボンディングアームの上限及び下限
位置の設定は、ポンディングヘッドに内蔵された上下限
検出部によって行われる。この上限及び下限の位置設定
は装置に無理な力が加わらない範囲でボンディングアー
ムが上下動するように調整する必要がある。また前記ツ
ールはボンディングを曳好暑こ行うためにボンディング
アームに垂直に取付ｉることを必要とする。
ボンディングアームが駆動機構で上下動するように取付
けられている。このボンディングアームの上限及び下限
位置の設定は、ポンディングヘッドに内蔵された上下限
検出部によって行われる。この上限及び下限の位置設定
は装置に無理な力が加わらない範囲でボンディングアー
ムが上下動するように調整する必要がある。また前記ツ
ールはボンディングを曳好暑こ行うためにボンディング
アームに垂直に取付ｉることを必要とする。
しかるに、従来はこれらの調整を感にたよって行ってい
るので、非常−に作業性が悪いという欠点があった。ま
た前記調整−は固定のテーブル上にポするたびに作業者
がポンディングヘッドを持ち上げて作業し易い配置にお
き変えたり、又は作業者が調整作業を行う面に移動して
作業しなければならなく、この点からも作業性が悪い。
るので、非常−に作業性が悪いという欠点があった。ま
た前記調整−は固定のテーブル上にポするたびに作業者
がポンディングヘッドを持ち上げて作業し易い配置にお
き変えたり、又は作業者が調整作業を行う面に移動して
作業しなければならなく、この点からも作業性が悪い。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、容
易に組立調整が行えるボンディングヘッドの組立調整方
法を提供することを目的とする。
易に組立調整が行えるボンディングヘッドの組立調整方
法を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ’矢視図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’矢視図
である。１は床に固定又は載置された作業台、２は組立
治具のベースで、四隅にはそれぞれポルト３が螺合され
ており、ベース２の水平方向の高さを一定に調整できる
ようになっている。
図のＡ−Ａ’矢視図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’矢視図
である。１は床に固定又は載置された作業台、２は組立
治具のベースで、四隅にはそれぞれポルト３が螺合され
ており、ベース２の水平方向の高さを一定に調整できる
ようになっている。
４は中空円筒形をしたポスで、ベース２に固定されてい
る。５はポス４の中空部に回転自在に嵌合された支柱で
、ポース４の中空部に挿入された部分に溝５ａが形成さ
れている。６は支柱５の抜けを防止するために先端が支
柱５の溝５畠に挿入された止めねじで、ポス４に螺合さ
れている。７は支柱５をポース４に固定するために先端
が支柱５の溝５ａに挿入されかつ先端で支柱５を押圧す
る固定ねじて、ポス４に螺合されている。８は支柱１０
は回転テーブル８に載置されたワイヤボンディング装置
のボンディングヘッドで、このボンディングヘッド１旧
こは先端にツール１１を保持したボッディングアーム１
２が垂直方向に上下動するように取付けられ、内部には
上下限検出部１３が設けられている。上下限検出部１３
は、ボンディングアーム１２に取付けられてボッディン
グアーム１２の上限゛及び下限を設定する検出板１４と
。
る。５はポス４の中空部に回転自在に嵌合された支柱で
、ポース４の中空部に挿入された部分に溝５ａが形成さ
れている。６は支柱５の抜けを防止するために先端が支
柱５の溝５畠に挿入された止めねじで、ポス４に螺合さ
れている。７は支柱５をポース４に固定するために先端
が支柱５の溝５ａに挿入されかつ先端で支柱５を押圧す
る固定ねじて、ポス４に螺合されている。８は支柱１０
は回転テーブル８に載置されたワイヤボンディング装置
のボンディングヘッドで、このボンディングヘッド１旧
こは先端にツール１１を保持したボッディングアーム１
２が垂直方向に上下動するように取付けられ、内部には
上下限検出部１３が設けられている。上下限検出部１３
は、ボンディングアーム１２に取付けられてボッディン
グアーム１２の上限゛及び下限を設定する検出板１４と
。
ボンディングヘッド１０に、固定された上限検出器１５
及び下限検出器１６とからなる。
及び下限検出器１６とからなる。
２０はボンディングアーム１２の下限位置を設定するた
めの高さ合せ治具、２１はツール１１の垂直方向を合せ
るための垂直合せ治具である。
めの高さ合せ治具、２１はツール１１の垂直方向を合せ
るための垂直合せ治具である。
次にボンディングヘッドの組立調整方法について説明す
る。ボンディングヘッド１０を回転テーブル８に１本又
は２本の図示しないボルトで簡単に止め、載量固定する
。また固定ねじ７をゆるめて回転テーブル８を回転自在
な状態にする。そこで、作業者が作業し易い方向に回転
テーブル８を（ロ）して作業する。
る。ボンディングヘッド１０を回転テーブル８に１本又
は２本の図示しないボルトで簡単に止め、載量固定する
。また固定ねじ７をゆるめて回転テーブル８を回転自在
な状態にする。そこで、作業者が作業し易い方向に回転
テーブル８を（ロ）して作業する。
まず、ボッディングアーム１２の下限位置調整方法につ
いて説明する。このボッディングアーム１２の下限位置
調整は回転テーブル８を回シテ第１図の状態が作業者の
前方に位置するよう番こした方が作業性が良い。ボッデ
ィングアーム１２を上昇させた状態でボンディングアー
ム１２の下方暑こおける回転テーブル８上に高さ合せ治
具２０をセットする。次にボンディングアーム１２の駆
動機構を手動に′より駆動してボンディングアーム１２
を垂直方向に下降させ、ボンディングアーム１２の下面
が高さ合せ治Ａ２０の上面と接触したところで停止させ
る。その後、検出板１４の下限検出部１４ｂに対応させ
て下限検出器１６の位置を合せて下限検出器１６をボン
ディングヘッド！０に固定スル。ボンディングアーム１
２の上限位置調整は従来と同様にボンディングアーム１
２の駆動機構を手動により駆動してボンディングアーム
１２を上昇させ、余裕を見込んで検出板１４の上限検出
部１４ｍに対応させて上限検出器１５の位置を合せて上
限検出器１５をボンディングヘッド１２に固定する。
いて説明する。このボッディングアーム１２の下限位置
調整は回転テーブル８を回シテ第１図の状態が作業者の
前方に位置するよう番こした方が作業性が良い。ボッデ
ィングアーム１２を上昇させた状態でボンディングアー
ム１２の下方暑こおける回転テーブル８上に高さ合せ治
具２０をセットする。次にボンディングアーム１２の駆
動機構を手動に′より駆動してボンディングアーム１２
を垂直方向に下降させ、ボンディングアーム１２の下面
が高さ合せ治Ａ２０の上面と接触したところで停止させ
る。その後、検出板１４の下限検出部１４ｂに対応させ
て下限検出器１６の位置を合せて下限検出器１６をボン
ディングヘッド！０に固定スル。ボンディングアーム１
２の上限位置調整は従来と同様にボンディングアーム１
２の駆動機構を手動により駆動してボンディングアーム
１２を上昇させ、余裕を見込んで検出板１４の上限検出
部１４ｍに対応させて上限検出器１５の位置を合せて上
限検出器１５をボンディングヘッド１２に固定する。
次にツール１１の垂直度調整につむ）で説明する。
この場合は前記の状態（第１図の状態）より回転テーブ
ル８を９０″回転させ、ボンディングアーム１２の前面
、即ち第３図の状態が作業者の前方曇こ位置するように
する。そして、垂直合せ治具２１の垂直面がツール１１
の側面に当接するよう暑こして回転テーブル８上に垂直
合せ治具２１をセ゛ントし、ボッディングアーム１２を
第３図番こ示す矢印方向に回して垂直合せ治具２１の一
直面に゛ンール１１側面を合せてボンディングアーム１
２をこのボッディングアーム１２のボンディングアーム
支持部１２ａに固定する。
ル８を９０″回転させ、ボンディングアーム１２の前面
、即ち第３図の状態が作業者の前方曇こ位置するように
する。そして、垂直合せ治具２１の垂直面がツール１１
の側面に当接するよう暑こして回転テーブル８上に垂直
合せ治具２１をセ゛ントし、ボッディングアーム１２を
第３図番こ示す矢印方向に回して垂直合せ治具２１の一
直面に゛ンール１１側面を合せてボンディングアーム１
２をこのボッディングアーム１２のボンディングアーム
支持部１２ａに固定する。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法によれｊｆ
、回転テーブル上にボンディングへ゛ンドを載置し、ボ
ンディングアームの高さ合せ治具及びツール−の垂直合
せ治具を用いてボンディングアームの下限及びツールの
垂直度を調整するので、作業が迅速にかつ容易に行える
。
、回転テーブル上にボンディングへ゛ンドを載置し、ボ
ンディングアームの高さ合せ治具及びツール−の垂直合
せ治具を用いてボンディングアームの下限及びツールの
垂直度を調整するので、作業が迅速にかつ容易に行える
。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２、図は＠
１図のＡ−に矢視図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’矢視図
である。− ８・・・回転テーブル、 １０・・・ポンディング
ヘッド、 １１・・・ツール、 １２・・・ボ
ッディングアーム、 １２ａ−・・ボンディングア
ーム支持部、１４・・・検出板、 １４ｂ・・
・下限検出部、１６・・・下限検出器、 ２０・
・・高さ合せ治具、２１・・・垂直合せ治具。
１図のＡ−に矢視図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’矢視図
である。− ８・・・回転テーブル、 １０・・・ポンディング
ヘッド、 １１・・・ツール、 １２・・・ボ
ッディングアーム、 １２ａ−・・ボンディングア
ーム支持部、１４・・・検出板、 １４ｂ・・
・下限検出部、１６・・・下限検出器、 ２０・
・・高さ合せ治具、２１・・・垂直合せ治具。
Claims (1)
- 回転可能な回転テーブル上にポンディングヘッドを載置
し、前記ボンディングヘッドに上下動可能ｌζ設けられ
たボンディングアームの下方の前記回転テーブル上に高
さ合せ治具をセットし、前記ボンディングアームを下降
させて前記高さ合せ治具に当接させ、前記ボンディング
アームに＠定された検出板の下限検出部に合せて下限検
出器を前記ポンディングヘッドに固定し、また前記ボン
ディングアームの先端に取付けられたソールの側面ｉｃ
垂直合せ治具の垂直面が当接するように前記回転テーブ
ル上にセットし、この垂直合せ治具の垂直面に前記ツー
ルの儒−が合うように前記ポジディングアームを回動さ
せてこのボンディングアームをボンディングアーム支持
部に固定することを特徴とするポンディングヘッドの組
立調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56188627A JPS5889834A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | ボンデイングヘツドの組立調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56188627A JPS5889834A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | ボンデイングヘツドの組立調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5889834A true JPS5889834A (ja) | 1983-05-28 |
| JPS6256660B2 JPS6256660B2 (ja) | 1987-11-26 |
Family
ID=16226996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56188627A Granted JPS5889834A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | ボンデイングヘツドの組立調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5889834A (ja) |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP56188627A patent/JPS5889834A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6256660B2 (ja) | 1987-11-26 |
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