JPS5891850U - 電子顕微鏡等のシヤツタ−装置 - Google Patents
電子顕微鏡等のシヤツタ−装置Info
- Publication number
- JPS5891850U JPS5891850U JP18777781U JP18777781U JPS5891850U JP S5891850 U JPS5891850 U JP S5891850U JP 18777781 U JP18777781 U JP 18777781U JP 18777781 U JP18777781 U JP 18777781U JP S5891850 U JPS5891850 U JP S5891850U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding plate
- optical axis
- field type
- magnetic field
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Shutters For Cameras (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示すシャッター装置の縦断
面であり、第２図シャッタ一部分の斜視図である。 １：上磁極片、２：下磁極片、計スペーサ、４゜５：絶
縁板、６，７：伝導板、８．９＝弾性体、 ゛１０：
電子線遮蔽板、１０ａ、１０ｂ：電子線遮蔽板折り曲げ
部、１１．１２：熱吸収棒、１３：絶縁板。
面であり、第２図シャッタ一部分の斜視図である。 １：上磁極片、２：下磁極片、計スペーサ、４゜５：絶
縁板、６，７：伝導板、８．９＝弾性体、 ゛１０：
電子線遮蔽板、１０ａ、１０ｂ：電子線遮蔽板折り曲げ
部、１１．１２：熱吸収棒、１３：絶縁板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 磁界型レンズの光軸に対して略対称に且つ該゛光軸
と略平行に配置された弾性体の夫々の下端に電子線に対
する非磁性遮蔽板を取り付けるこ、とにより該遮蔽板が
磁界型レンズ磁極片間隙内に懸垂されて光軸と垂直な面
を移動できるように構成し、前記遮蔽板に電流を供給す
る電源を設けたことを特徴とする電子顕微鏡等のシャツ
・−ター装置。 ２ 前記該遮蔽板は縁の一部が熱吸収棒との接触面を大
きくするため折り曲げた構造となっている実用新案登録
請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡等のシャッター装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777781U JPS5891850U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 電子顕微鏡等のシヤツタ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777781U JPS5891850U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 電子顕微鏡等のシヤツタ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891850U true JPS5891850U (ja) | 1983-06-21 |
| JPS6242442Y2 JPS6242442Y2 (ja) | 1987-10-30 |
Family
ID=29990868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18777781U Granted JPS5891850U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 電子顕微鏡等のシヤツタ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891850U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5597953U (ja) * | 1978-12-28 | 1980-07-08 |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP18777781U patent/JPS5891850U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5597953U (ja) * | 1978-12-28 | 1980-07-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6242442Y2 (ja) | 1987-10-30 |
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