JPS589210A - 薄膜コイル装置 - Google Patents
薄膜コイル装置Info
- Publication number
- JPS589210A JPS589210A JP10777881A JP10777881A JPS589210A JP S589210 A JPS589210 A JP S589210A JP 10777881 A JP10777881 A JP 10777881A JP 10777881 A JP10777881 A JP 10777881A JP S589210 A JPS589210 A JP S589210A
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- JP
- Japan
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- parts
- thin film
- thin
- patterns
- substrate
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄１１ｉ＝ｓイル装置に係シ、特に−属磁気、
ヘッドの；イル部に適用して有効なものである。
ヘッドの；イル部に適用して有効なものである。
磁気記録の分野では近年薄膜ヘッドが注目さ詐ている。
これ杜薄膜プ璽セスを用いて多層形成され九薄膜；イル
と磁性体パターンを形成するもＯである・薄膜プ四セス
社黴細Ａターｙを同時に大量に形成でき、一枚の小さな
基板上に多数の黴細な薄膜ヘッドを作シ上けることがで
きる・薄膜ヘッドを構成する薄膜コイルは非常に小吉（
形成で自る為、そのインダクタンスを小さ〈でき高速Ｏ
動作を可能とすゐ。又、高密度ＯｇＡ装ができる為、記
録密度の高密度化にも役立てるととができゐ。
と磁性体パターンを形成するもＯである・薄膜プ四セス
社黴細Ａターｙを同時に大量に形成でき、一枚の小さな
基板上に多数の黴細な薄膜ヘッドを作シ上けることがで
きる・薄膜ヘッドを構成する薄膜コイルは非常に小吉（
形成で自る為、そのインダクタンスを小さ〈でき高速Ｏ
動作を可能とすゐ。又、高密度ＯｇＡ装ができる為、記
録密度の高密度化にも役立てるととができゐ。
本実−は薄膜コイルＯこの高密度配列ＫｓＰける利点を
さらに伸ばすものとして考えられた・高いトラック密度
を得ゐためには、第１図〜第ｓｉｍｏ如（薄膜ヘッドを
基板上に複数個並設してヘッドＩＩａＩ！を得ることが
必要である０ヒれもの図は従来の薄膜ヘッド１璽を示す
部分図で、第ｉｍｌは斜視図、第２図は千薗層、第３図
は＄１１１６破断ｉ１ｍ−Ｊｌ’に＠う断璽園である０
１１にシーて、［はフェライト岬からなる確性１叡１、
□ ＩＩ韓基１［ｈ上に複数個並設され丸薄膜ヘッド部、３
社薄膜コイル、４はＣｕ等からなる導体薄膜パター７層
、Ｓは８ｉ０又ｄ８１０．等からなる絶縁層、６はリー
ド部、γはパーマ−（Ｎｉ −Ｆｅ合金）等からなる磁
性体パターン、８は磁気ギャフプである。
さらに伸ばすものとして考えられた・高いトラック密度
を得ゐためには、第１図〜第ｓｉｍｏ如（薄膜ヘッドを
基板上に複数個並設してヘッドＩＩａＩ！を得ることが
必要である０ヒれもの図は従来の薄膜ヘッド１璽を示す
部分図で、第ｉｍｌは斜視図、第２図は千薗層、第３図
は＄１１１６破断ｉ１ｍ−Ｊｌ’に＠う断璽園である０
１１にシーて、［はフェライト岬からなる確性１叡１、
□ ＩＩ韓基１［ｈ上に複数個並設され丸薄膜ヘッド部、３
社薄膜コイル、４はＣｕ等からなる導体薄膜パター７層
、Ｓは８ｉ０又ｄ８１０．等からなる絶縁層、６はリー
ド部、γはパーマ−（Ｎｉ −Ｆｅ合金）等からなる磁
性体パターン、８は磁気ギャフプである。
従来においては各薄１ｉｗイル３が一定の間隔ｂ（第２
図）で基板１上に蒸着等の手段で形成されておシ、具体
的には導体薄膜パターン層４と絶縁層５を順次積層する
と共に各層のバター７層４間を部分的に接続した多層巻
きコイルからなる。そしてリード部６に；イル電流を通
電することによシ基板１と垂直方向のフィル磁界が発生
し、蚊コイル磁界による磁束が磁性体パターン７−磁気
ギャップ８一基板１を回る磁気ループを形成して、矢印
Ｃで示す磁気ギャップ８に沿うて移動する磁気テープ等
の磁気記録媒体に対し情報を磁気記録する。
図）で基板１上に蒸着等の手段で形成されておシ、具体
的には導体薄膜パターン層４と絶縁層５を順次積層する
と共に各層のバター７層４間を部分的に接続した多層巻
きコイルからなる。そしてリード部６に；イル電流を通
電することによシ基板１と垂直方向のフィル磁界が発生
し、蚊コイル磁界による磁束が磁性体パターン７−磁気
ギャップ８一基板１を回る磁気ループを形成して、矢印
Ｃで示す磁気ギャップ８に沿うて移動する磁気テープ等
の磁気記録媒体に対し情報を磁気記録する。
とこ゛ろで、従来では隣接した薄膜コイル３は間隔すを
もりて並設されておシ、これでは磁気記録媒体の高トラ
ック書度に対応できない欠点があり本発明はこの従来欠
点を解決するためのもので、この目的は導体薄膜パター
ン層が絶縁層を介して多層形成された薄膜コイルが基板
上に複数値並設された構成の薄膜コイル装置Ｋかいて、
隣接する前記薄ｌ［コイルが互いに絶縁を保ちつつ且つ
その多巻形成部で重なシ合うで形成されて−ることを４
Ｉ黴とした薄膜−イル装置によシ達成できる＠以下、本
発明の一実施例を第４図と第６図を参照しながら詳述す
る。
もりて並設されておシ、これでは磁気記録媒体の高トラ
ック書度に対応できない欠点があり本発明はこの従来欠
点を解決するためのもので、この目的は導体薄膜パター
ン層が絶縁層を介して多層形成された薄膜コイルが基板
上に複数値並設された構成の薄膜コイル装置Ｋかいて、
隣接する前記薄ｌ［コイルが互いに絶縁を保ちつつ且つ
その多巻形成部で重なシ合うで形成されて−ることを４
Ｉ黴とした薄膜−イル装置によシ達成できる＠以下、本
発明の一実施例を第４図と第６図を参照しながら詳述す
る。
第４図は本発明に係る薄膜磁気ヘッド基板の部分図で、
に）は平面図、（ロ）は（６）図の破断線ｄ−・ｄ′に
沿う断面図である。尚、腋部の符号については上述符号
と同じ部分を同一符号で表わしている。
に）は平面図、（ロ）は（６）図の破断線ｄ−・ｄ′に
沿う断面図である。尚、腋部の符号については上述符号
と同じ部分を同一符号で表わしている。
図から明らかな如く、本基板では各薄膜コイル３が隣接
コイル３の多巻形成部９（Ａ）図の斜一部分を互に絶縁
を保ちつつ且つ重な）会９で形成されておシ、従来の如
き間隔すをなくしている。
コイル３の多巻形成部９（Ａ）図の斜一部分を互に絶縁
を保ちつつ且つ重な）会９で形成されておシ、従来の如
き間隔すをなくしている。
第５図四〜［Ｆ］は薄膜コイル３の形成工程を示す平面
図である〇 本コイル３社先ず内閣に示す如く基板４上に一方のフィ
ル端子であるリード部フを複数個形成する。次にその上
に＠部とｆ部が合なるように（ロ）図に示すＣ形パター
ンとｌ形パターンを組とする導体薄膜パターン４１を複
数組被着形成する。次にその上に０図に示す如き略Ｇ形
の絶縁層パターンｓ１を（ロ）図のＣ形パターンのｇｓ
およびＩ形パターンのｆ部だけが露出するようにして被
着形成する。次に、０図に示すＩ形パターンとＣ形パタ
ーンを組とする導体薄膜パターン４２をＩ形ノ（ターン
のｈ部が（ロ）図のＣ形パターンの８部に且つＣ形パタ
ーンの置部が（ロ）図ｏＩ形パターンのｆ部に接続する
ようにして被着形成す“る。次に、その上に（ト）図に
示す略Ｇ形の絶縁層パターン５２を０図の■形パターン
の１部が゛露出し且つＣ形パターンのに部だけが露出す
るようにして被着形成する。この軸回〜（ト）図のパタ
ーン形成によシ１ターンのコイルが形成され、これを複
数回行なりた複数巻きコイルを形成した後に鋤図の絶縁
層パターン５２上に（ト）図の他方の；イル端子である
リード部γを０図ＯＩ形パターンのｋｌｌＫｊ部が且つ
Ｃ形パターンのに部Ｋ１部が接続するように被着形成す
る。
図である〇 本コイル３社先ず内閣に示す如く基板４上に一方のフィ
ル端子であるリード部フを複数個形成する。次にその上
に＠部とｆ部が合なるように（ロ）図に示すＣ形パター
ンとｌ形パターンを組とする導体薄膜パターン４１を複
数組被着形成する。次にその上に０図に示す如き略Ｇ形
の絶縁層パターンｓ１を（ロ）図のＣ形パターンのｇｓ
およびＩ形パターンのｆ部だけが露出するようにして被
着形成する。次に、０図に示すＩ形パターンとＣ形パタ
ーンを組とする導体薄膜パターン４２をＩ形ノ（ターン
のｈ部が（ロ）図のＣ形パターンの８部に且つＣ形パタ
ーンの置部が（ロ）図ｏＩ形パターンのｆ部に接続する
ようにして被着形成す“る。次に、その上に（ト）図に
示す略Ｇ形の絶縁層パターン５２を０図の■形パターン
の１部が゛露出し且つＣ形パターンのに部だけが露出す
るようにして被着形成する。この軸回〜（ト）図のパタ
ーン形成によシ１ターンのコイルが形成され、これを複
数回行なりた複数巻きコイルを形成した後に鋤図の絶縁
層パターン５２上に（ト）図の他方の；イル端子である
リード部γを０図ＯＩ形パターンのｋｌｌＫｊ部が且つ
Ｃ形パターンのに部Ｋ１部が接続するように被着形成す
る。
これによシ、第４図に示す如き隣接＝イ／ｌ／８の多巻
形成部会が互に絶縁をもち且つ重なｐ合う九本発明に係
る薄膜コイル３が形成でき、との上に磁性体パターン７
を被着するヒとによ〕複数個の薄膜へラドが基板上に並
設され九薄膜磁気ヘッド基板が得られる。
形成部会が互に絶縁をもち且つ重なｐ合う九本発明に係
る薄膜コイル３が形成でき、との上に磁性体パターン７
を被着するヒとによ〕複数個の薄膜へラドが基板上に並
設され九薄膜磁気ヘッド基板が得られる。
以上の本実−によれば小形で製造容易な薄膜コイル装置
が形成でき、その実用上の効果拡著しい％Ｏである・
が形成でき、その実用上の効果拡著しい％Ｏである・
第１図〜第３固状従来の薄膜磁気へラド基Ｉ［Ｏ構造を
示す斜視図と千ｗｍ＊よび断藺図である。 第４図（２）＠紘本発明に係る薄膜磁気ヘッド！Ｉ［を
示す千＊ｍと断面図、第５ｌｌｌ（２）〜（ト）は第４
図における薄膜コイルの形成工程を示す平面図でＴｏＡ
・〔符号Ｏ１！明〕
示す斜視図と千ｗｍ＊よび断藺図である。 第４図（２）＠紘本発明に係る薄膜磁気ヘッド！Ｉ［を
示す千＊ｍと断面図、第５ｌｌｌ（２）〜（ト）は第４
図における薄膜コイルの形成工程を示す平面図でＴｏＡ
・〔符号Ｏ１！明〕
Claims (2)
- （１） 導体薄膜パターン層が絶縁層を介して多層形
成された薄膜コイルが基板上に複数個並設された構成・
の薄Ｗ４：Ｉイル装置において、隣接す為前記薄膜コイ
ルが互いに絶縁を保ちつつ且つその多巻形成部で重な勤
合うで形成されていることをｑ＃愼とした薄ｌＩ′：Ｉ
イル装置。 - （２） 前記基板を磁性体とし、且つ該基板上に前記
薄膜コイルの前記多巻形成部、を跨いで磁性体パターン
を被着形成し、諌磁性体パターンの外方端部と前記基板
とで磁気ギ・ヤップを形成して薄膜ヘッド基板を構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜コ
イル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10777881A JPS589210A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 薄膜コイル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10777881A JPS589210A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 薄膜コイル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589210A true JPS589210A (ja) | 1983-01-19 |
Family
ID=14467774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10777881A Pending JPS589210A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 薄膜コイル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589210A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4722597A (en) * | 1984-06-08 | 1988-02-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electrooptic shutter array element |
| FR2679374A1 (fr) * | 1991-07-17 | 1993-01-22 | Accumulateurs Fixes | Bobinage de transformateur constitue d'un ruban isolant comportant des motifs electriquement conducteurs. |
| KR100244364B1 (ko) * | 1996-12-30 | 2000-03-02 | 김형국 | 튜브교정용 롤러머신 |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10777881A patent/JPS589210A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4722597A (en) * | 1984-06-08 | 1988-02-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electrooptic shutter array element |
| FR2679374A1 (fr) * | 1991-07-17 | 1993-01-22 | Accumulateurs Fixes | Bobinage de transformateur constitue d'un ruban isolant comportant des motifs electriquement conducteurs. |
| KR100244364B1 (ko) * | 1996-12-30 | 2000-03-02 | 김형국 | 튜브교정용 롤러머신 |
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