JPS5892745U - 半導体圧力変換器 - Google Patents
半導体圧力変換器Info
- Publication number
- JPS5892745U JPS5892745U JP18624781U JP18624781U JPS5892745U JP S5892745 U JPS5892745 U JP S5892745U JP 18624781 U JP18624781 U JP 18624781U JP 18624781 U JP18624781 U JP 18624781U JP S5892745 U JPS5892745 U JP S5892745U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure transducer
- semiconductor pressure
- conductive film
- shield plate
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図および
第３図はそれぞれ本考案の他の実施例を示す断面図であ
る。
第３図はそれぞれ本考案の他の実施例を示す断面図であ
る。
Claims (2)
- （１）半導体基板の略中央部に設けたダイヤフラム部の
一表面にピエゾ抵抗領域を設け、かつこのピエゾ抵抗領
域の表面上に絶縁膜を介して前記ダイヤフラムを構成す
る半導体材料ど線膨張係数の近似した導電材料からなる
導電体膜を設け、封入液中で使用する半導体圧力変換器
において、当該封入液に接する前記導電体膜上に、少な
（とも前記ピエゾ抵抗領域部分を覆うように前記封入液
を介して導電材料からなるシールド板を配置し、このシ
ールド板を前記導電体膜と同電位にしたことを特徴とす
る半導体圧力変換器。 - （２）導電体膜とシールド板の電位は基板と同電位であ
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18624781U JPS5892745U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 半導体圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18624781U JPS5892745U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 半導体圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892745U true JPS5892745U (ja) | 1983-06-23 |
| JPS6141255Y2 JPS6141255Y2 (ja) | 1986-11-25 |
Family
ID=29988024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18624781U Granted JPS5892745U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 半導体圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892745U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064470A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Denso Corp | 電気機器制御装置 |
| JP2008190970A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力センサ |
| JP2010249655A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気センサ |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP18624781U patent/JPS5892745U/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064470A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Denso Corp | 電気機器制御装置 |
| JP2008190970A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力センサ |
| JP2010249655A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6141255Y2 (ja) | 1986-11-25 |
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