JPS5892904A - 面方向の検出方法及び同装置 - Google Patents
面方向の検出方法及び同装置Info
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- JPS5892904A JPS5892904A JP19084181A JP19084181A JPS5892904A JP S5892904 A JPS5892904 A JP S5892904A JP 19084181 A JP19084181 A JP 19084181A JP 19084181 A JP19084181 A JP 19084181A JP S5892904 A JPS5892904 A JP S5892904A
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- monochromatic light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、対象物の表面の特定の点(以下、特2o定点
と言う)の面方向を非接触的に検出する方法および同装
置に関するものである。
と言う)の面方向を非接触的に検出する方法および同装
置に関するものである。
従来、面の方向を検出画像から非接触的に測定する方法
としてベルソルド・ホーンの研究がある。
としてベルソルド・ホーンの研究がある。
この方法は、対象物に成る一方向から光を照射し、その
反射光によって得られた濃淡画像から反射面の各点の傾
きを求めるものである。
反射光によって得られた濃淡画像から反射面の各点の傾
きを求めるものである。
ホーンの研究によると、反射光の強さと面の傾きとの関
係は2個の未知数に関する非線形1階偏微分方程式で懺
わされる。この方程式を解くために、等価な5個の常微
分方程式に変換する。さらに、局所的な情報のみで面の
傾きを決定できる点(特異点)を濃淡画像から探し、こ
れを利用して初期曲線を計算する。そして、この初期曲
線に基づいて常微分方楊式を数値積分することにより、
各点における面の傾きを遂次計算してゆく。
係は2個の未知数に関する非線形1階偏微分方程式で懺
わされる。この方程式を解くために、等価な5個の常微
分方程式に変換する。さらに、局所的な情報のみで面の
傾きを決定できる点(特異点)を濃淡画像から探し、こ
れを利用して初期曲線を計算する。そして、この初期曲
線に基づいて常微分方楊式を数値積分することにより、
各点における面の傾きを遂次計算してゆく。
以上のようにホーンの方法は、局所的な画像情報だけか
らでは各点の面の方向を決定できないため、処理時間が
長いこと、計算誤差が伝播して累積する虞れがあること
等の問題がある。
らでは各点の面の方向を決定できないため、処理時間が
長いこと、計算誤差が伝播して累積する虞れがあること
等の問題がある。
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、反
射光強度の局所的情報から面の方向を迅速に算定し得る
方法、並びに上記の方法の実施に好適な装置を提供する
にある。
射光強度の局所的情報から面の方向を迅速に算定し得る
方法、並びに上記の方法の実施に好適な装置を提供する
にある。
次に、本発明方法の基本的原理を第1図乃至第4図につ
いて説明する。
いて説明する。
第1図は反射光の指向特性を示す図表である。
乱反射面Aの法@Hに対して角θで入射光Cを照射する
と、反射光強度の分布は反射光指向性曲線りのように、
法線Bに関して入射光Cと対称をなす線Eを長軸方向と
する楕円状をなす。
と、反射光強度の分布は反射光指向性曲線りのように、
法線Bに関して入射光Cと対称をなす線Eを長軸方向と
する楕円状をなす。
(第2図参照)入射光Cの方向と強さとを一定にし、反
射光観測方向Fを固定して乱反射画人を紙面と垂直に保
ったま才人射光Cの入射点0を中心にして回転させると
、反射光強度は乱反射面Aの法!!(図示せず)の関数
として反射光強度曲線GOようになる。上記の反射光強
変曲!1Gは入射光Cの方向と反射光観測方向Fとの2
等分&Hを長袖とする楕円状をなす。
射光観測方向Fを固定して乱反射画人を紙面と垂直に保
ったま才人射光Cの入射点0を中心にして回転させると
、反射光強度は乱反射面Aの法!!(図示せず)の関数
として反射光強度曲線GOようになる。上記の反射光強
変曲!1Gは入射光Cの方向と反射光観測方向Fとの2
等分&Hを長袖とする楕円状をなす。
第2図に基づき、反射光観測方向Fの反射光強度を測定
することによってこれから乱反射面Aの方向を算定しよ
うとすると欠配のような不具合がある。反射光強変曲@
Gは乱反射面Aの材料1表面状悪等によるが、一般に面
Aの法線方向について2価の関数である。従って、ある
強さの反射光を観測する面の方向として二つの解が得ら
れることになる。このため、入射点(即ち反射点)0か
らの反射光強度という局所的な情報のみによっては乱反
射面Aの方向を決定することができない。
することによってこれから乱反射面Aの方向を算定しよ
うとすると欠配のような不具合がある。反射光強変曲@
Gは乱反射面Aの材料1表面状悪等によるが、一般に面
Aの法線方向について2価の関数である。従って、ある
強さの反射光を観測する面の方向として二つの解が得ら
れることになる。このため、入射点(即ち反射点)0か
らの反射光強度という局所的な情報のみによっては乱反
射面Aの方向を決定することができない。
本発明方法は上述の考察に基づき、複数個の方向から光
線を照射してその反射光を測定することにより、局所的
な情報(即ち、特定の反射点0からの反射光強さ)に基
づいて一意的に乱反射面の方向を検知すること、並びに
、上記の複数個の方向の光線の投射・検知を同時に行い
得るよう、それぞれ方向と波長とを異にする複数個の単
色光を特定点に照射し、その反射光を特定の方向から観
測し、受光した光線を各単色光に分離してその強度をそ
れぞれ電気信号に変換し、上記の信号を電気的に演算処
理して瞬時的に特定点の面方向を検知することを特徴と
する。
線を照射してその反射光を測定することにより、局所的
な情報(即ち、特定の反射点0からの反射光強さ)に基
づいて一意的に乱反射面の方向を検知すること、並びに
、上記の複数個の方向の光線の投射・検知を同時に行い
得るよう、それぞれ方向と波長とを異にする複数個の単
色光を特定点に照射し、その反射光を特定の方向から観
測し、受光した光線を各単色光に分離してその強度をそ
れぞれ電気信号に変換し、上記の信号を電気的に演算処
理して瞬時的に特定点の面方向を検知することを特徴と
する。
Jig3図は本発明方法の原理的説明図で1、入射光C
1反射光観測方向F、及び入射点(反射点)0は前述の
第2図と同様のものを表わす。従って入射光Cの反射光
をF方向から観測した反射強度−@Gも!@2図と同ビ
曲線である。そして、本発明 □方法においては前
述の入射光Cと異なる方゛向から、前記の特定の入射点
0に向けてもう一つの入射光Jを照射する。この入射光
Jを観測方向Fから見た場合の反射光強度曲線はKのご
とくである。
1反射光観測方向F、及び入射点(反射点)0は前述の
第2図と同様のものを表わす。従って入射光Cの反射光
をF方向から観測した反射強度−@Gも!@2図と同ビ
曲線である。そして、本発明 □方法においては前
述の入射光Cと異なる方゛向から、前記の特定の入射点
0に向けてもう一つの入射光Jを照射する。この入射光
Jを観測方向Fから見た場合の反射光強度曲線はKのご
とくである。
この図表から容易に理解されるように、特定の反射点0
からの局所的な情報として、入射光Cの反射光強度と入
射光Jの反射光強度とをF方向から観測すれば、その測
定値をそれぞれ反射光強度曲線Gおよび同曲線にと対比
することにより、乱反射面Aの方向が一意的に決定され
る。
からの局所的な情報として、入射光Cの反射光強度と入
射光Jの反射光強度とをF方向から観測すれば、その測
定値をそれぞれ反射光強度曲線Gおよび同曲線にと対比
することにより、乱反射面Aの方向が一意的に決定され
る。
ただし、上述の面方向測定原理は乱反射面Aが紙面に垂
直の姿勢を保つということを前提条件としてお抄、この
条件範囲外、即ち乱反射画人が紙面と垂直でない姿勢の
場合は適用できない。
直の姿勢を保つということを前提条件としてお抄、この
条件範囲外、即ち乱反射画人が紙面と垂直でない姿勢の
場合は適用できない。
乱反射画人が3次元空間内で任意の方向となる場合、本
発明方法は第4図に示すように、特定点0に向けて入射
光C1同J1及び同りをそれぞれ3方向から照射し、か
つ、上記の特定点0からの反射光を特定の方向Fから観
測する。
発明方法は第4図に示すように、特定点0に向けて入射
光C1同J1及び同りをそれぞれ3方向から照射し、か
つ、上記の特定点0からの反射光を特定の方向Fから観
測する。
平面的に考察した第3図においては入射光Cの方向と反
射光観測方向Fとを定めることにより楕円状の反射光強
度−I!Gが得られたのと同様に、これを立体的に考察
した第4図においては入射光Cの方向と反射光観測方向
Fとを定めることにより、回転楕円面状の反射光強度曲
面(図示せず)が得られる。同様に入射光Jおよび同り
についてもそれぞれ回転楕円面状の反射光強度曲面(図
示せず)が得られる。
射光観測方向Fとを定めることにより楕円状の反射光強
度−I!Gが得られたのと同様に、これを立体的に考察
した第4図においては入射光Cの方向と反射光観測方向
Fとを定めることにより、回転楕円面状の反射光強度曲
面(図示せず)が得られる。同様に入射光Jおよび同り
についてもそれぞれ回転楕円面状の反射光強度曲面(図
示せず)が得られる。
以上説明した基本的原理により、第3図において乱反射
面である検出対象画人が紙面に垂直な未知の方向である
場合、入射光Cを照射してF方向の反射光強度を測定し
、次いで入射光Jを照射し□ てF方向の反射光強度を測定する・ことにより対象画人
の方向の算出が可能である。また、第4図において、上
記と同様に入射光C1同J1及び同りを順次に照射して
そのF方向の反射強度を?jN#1することにより対象
面Aの立体的方向の算出が可能である。そして、本発明
方法は複数種類の単色光を用いることにより、上記の2
回、又は3回の照射・観測を同時に行う。さらに、上記
の観測と演算とを電気的に行うことにより、検出対象面
の方向を瞬時的に算定する。
面である検出対象画人が紙面に垂直な未知の方向である
場合、入射光Cを照射してF方向の反射光強度を測定し
、次いで入射光Jを照射し□ てF方向の反射光強度を測定する・ことにより対象画人
の方向の算出が可能である。また、第4図において、上
記と同様に入射光C1同J1及び同りを順次に照射して
そのF方向の反射強度を?jN#1することにより対象
面Aの立体的方向の算出が可能である。そして、本発明
方法は複数種類の単色光を用いることにより、上記の2
回、又は3回の照射・観測を同時に行う。さらに、上記
の観測と演算とを電気的に行うことにより、検出対象面
の方向を瞬時的に算定する。
そして、上記の本発明に係る方法を適用すると、動いて
いる対象面が予め設定した方向になった瞬間を検知する
こともモき、また動いている面の方向を時々刻々に算定
することもできる。
いる対象面が予め設定した方向になった瞬間を検知する
こともモき、また動いている面の方向を時々刻々に算定
することもできる。
第5図乃至第8図に、本発明方法を実施するために構成
した面方向検出装置の各実施例を示し、それぞれの装置
の構成、並びに上記の各装置を用いて本発明方法を実施
した例を次に述べる。
した面方向検出装置の各実施例を示し、それぞれの装置
の構成、並びに上記の各装置を用いて本発明方法を実施
した例を次に述べる。
第5図において、21拡検出対象物の表面、20Fi方
向を検出する特定点である。本例の対象面21/Ii特
定点20を通る直線dを含み、上記直線Qを中心に回動
する。第5図はこのような対象面21が特定の位置Tに
なったときこれを検知するように構成した検出装置の一
例である。
向を検出する特定点である。本例の対象面21/Ii特
定点20を通る直線dを含み、上記直線Qを中心に回動
する。第5図はこのような対象面21が特定の位置Tに
なったときこれを検知するように構成した検出装置の一
例である。
タングステンランプ2aと投光レンズ4aとを同一光軸
上に設置し、その間に通過波長45Q amの光学フィ
ルタ3aを介装して波長450 nmの単色平行光束を
照射する光源1aを構成する。
上に設置し、その間に通過波長45Q amの光学フィ
ルタ3aを介装して波長450 nmの単色平行光束を
照射する光源1aを構成する。
同様に、タングステンランプ2bと投光レンズ4bと光
学フィルタ3bとにより波長550 nmの単色光源1
bを構成する。上記の単色光源111 lbの元軸をそ
れぞれ検出対象面21上の特定点20に向けて固定する
。
学フィルタ3bとにより波長550 nmの単色光源1
bを構成する。上記の単色光源111 lbの元軸をそ
れぞれ検出対象面21上の特定点20に向けて固定する
。
5は受光器で、特定点20に焦点を合わせた対物レンズ
6を共用する2個の7オトマル7m、 7bを列設し、
フォトマル7aiCId通過波長450 nm q)光
学フィルタ8鳳を、フォトツルアbに轄通過波長550
nmの光学フィルタ8bをそれぞれ設けて構成する。そ
して上記の受光器50光軸を、T位置になったときの対
象面21に対して垂直をなし、かつ特定点20を通るよ
うに固定する。
6を共用する2個の7オトマル7m、 7bを列設し、
フォトマル7aiCId通過波長450 nm q)光
学フィルタ8鳳を、フォトツルアbに轄通過波長550
nmの光学フィルタ8bをそれぞれ設けて構成する。そ
して上記の受光器50光軸を、T位置になったときの対
象面21に対して垂直をなし、かつ特定点20を通るよ
うに固定する。
フォトマル7m+ 7bの電気信号出力はそれぞれ増幅
器9a19bを介して比較演算器10に入力させる。
器9a19bを介して比較演算器10に入力させる。
この比較演算器10は双方の電気信号出力の強さを比較
演算して両者が許容娯差範囲内で等しくなったとき検出
出力信号11を発する構成のものである。
演算して両者が許容娯差範囲内で等しくなったとき検出
出力信号11を発する構成のものである。
これにより、光源11から照射される波長450nmの
単色光は特定点20で反射して受光器5に入射するが光
学フィルタ8b(550nm )を通過できないのでフ
ォトマル7bには入射せず、光学フィルタ13a(45
0nm ) ゛を通過してフォトマル7aに入射して電
気信号に変換される。
単色光は特定点20で反射して受光器5に入射するが光
学フィルタ8b(550nm )を通過できないのでフ
ォトマル7bには入射せず、光学フィルタ13a(45
0nm ) ゛を通過してフォトマル7aに入射して電
気信号に変換される。
同様にして光源1bから照射された波長550 nmの
単色光は特定点20で反射し、7オトマル7bによって
のみ検知され、電気信号に変換される。
単色光は特定点20で反射し、7オトマル7bによって
のみ検知され、電気信号に変換される。
このようにして、照射方向を異にする2個の単色光源1
a+ 1bの照射光束は互いに干渉することなくそれぞ
れフォトマル7aw7bにより個別的に検出される。こ
の作用により、先に第3図について説明した2方向の入
射光による面方向の検出を、入射光Cと入射光Jについ
て順次に行うことを要せず、欠配のごとくして両人射光
の照射・検出を併行して同時に行なうことができる。
a+ 1bの照射光束は互いに干渉することなくそれぞ
れフォトマル7aw7bにより個別的に検出される。こ
の作用により、先に第3図について説明した2方向の入
射光による面方向の検出を、入射光Cと入射光Jについ
て順次に行うことを要せず、欠配のごとくして両人射光
の照射・検出を併行して同時に行なうことができる。
本実施例の装置を用いて対象面21がT位置になったこ
とを検出するには、予め対象面をT位置とし、このとき
に2個のフォトiルアm、7bから出た電気信号が同じ
レベルで比較演算器1oに入力するよう光源2m+ 2
bの光度、フォトマル7a、 7bの感度、又は増@
59a 、 9bの増11度を調節しておく。
とを検出するには、予め対象面をT位置とし、このとき
に2個のフォトiルアm、7bから出た電気信号が同じ
レベルで比較演算器1oに入力するよう光源2m+ 2
bの光度、フォトマル7a、 7bの感度、又は増@
59a 、 9bの増11度を調節しておく。
上記のように調整した後に対象面21の方向が変わると
、比較演算器10に入力される2個の信号出力の大きさ
が不同となる。そして更に対象面21が回動してT位置
に復元すると、その瞬間に前述した防制調整の状態が再
現されて比較演算器1oに入力する2個の電気信号が同
レベルとなり、比較演算器10祉検出出力信号11を発
信する。
、比較演算器10に入力される2個の信号出力の大きさ
が不同となる。そして更に対象面21が回動してT位置
に復元すると、その瞬間に前述した防制調整の状態が再
現されて比較演算器1oに入力する2個の電気信号が同
レベルとなり、比較演算器10祉検出出力信号11を発
信する。
本実施例によれば以上のようにして2次元的な・動きを
している乱反射面21を対象面として、この面が予め設
定した方向になったとき瞬時的にこれを検知することが
できる。
している乱反射面21を対象面として、この面が予め設
定した方向になったとき瞬時的にこれを検知することが
できる。
186図は上記の実施例と異なり、2次元的な動きをし
ている乱反射面21を対象面として、この面2oの方向
を時々刻々に検知するように構成した実施器5は前例(
第5図)におけると同様の構成部材である。受光器5を
構成するフォトマル7a+7bの検出信号出力をそれぞ
れA/D変換器12a+ 12bを介して自動計算機1
3に入力せしめる。上記の自動計算機13は参照データ
記憶装置14を備えている。
ている乱反射面21を対象面として、この面2oの方向
を時々刻々に検知するように構成した実施器5は前例(
第5図)におけると同様の構成部材である。受光器5を
構成するフォトマル7a+7bの検出信号出力をそれぞ
れA/D変換器12a+ 12bを介して自動計算機1
3に入力せしめる。上記の自動計算機13は参照データ
記憶装置14を備えている。
前記の自動計算機13はA/D変換器12a及び同12
bから入力される2個の信号の関係、即ち2個の信号の
強さの比率を算出し、これと対応させてその時の対象面
21の方向をデータとして記憶装置14に記憶させる機
能を有している。そして又、2個の信号を与えられると
その比率を算出し、記憶装置14の収録データを検索し
て上記の比率に対応する面方向データを探し出し、この
データを面方向データ号15として出力する機能をも有
している。
bから入力される2個の信号の関係、即ち2個の信号の
強さの比率を算出し、これと対応させてその時の対象面
21の方向をデータとして記憶装置14に記憶させる機
能を有している。そして又、2個の信号を与えられると
その比率を算出し、記憶装置14の収録データを検索し
て上記の比率に対応する面方向データを探し出し、この
データを面方向データ号15として出力する機能をも有
している。
本例の装置を用いて対象面21の方向を連続的に検知す
るには、予め対象面21の方向を種々に変化させる。(
例えば傾斜角を1°ずつ変化させ、又は1′ずつ変化さ
せる)。そして、各方向におけるA/D変換器12m及
び同12bの信号出力の関係(比率)に対応させてその
時の対象面21の方向(傾斜角)データを記憶装置14
に記憶させておく。
るには、予め対象面21の方向を種々に変化させる。(
例えば傾斜角を1°ずつ変化させ、又は1′ずつ変化さ
せる)。そして、各方向におけるA/D変換器12m及
び同12bの信号出力の関係(比率)に対応させてその
時の対象面21の方向(傾斜角)データを記憶装置14
に記憶させておく。
以上のように準備した後、対象面21が成る未知の方向
であるとき、A/D変換器12烏及び同12bからの信
号が計算機13に入力されると、同計算機13は二つの
入力信号の比率を算出し、記憶装置14の収録データを
検索して上記の比率に対応する面方向データを面方向出
力15として発信する。
であるとき、A/D変換器12烏及び同12bからの信
号が計算機13に入力されると、同計算機13は二つの
入力信号の比率を算出し、記憶装置14の収録データを
検索して上記の比率に対応する面方向データを面方向出
力15として発信する。
本実施例は以上のようにして2次元的な動きをしている
乱反射面21を対象面として、この面の方向を時々刻々
に検知することができる。
乱反射面21を対象面として、この面の方向を時々刻々
に検知することができる。
第7図は更に異なる実施例を示し、第5図に示し九実施
例を3元化したものでめる。即ち、第5図の実施例は2
次元的に方向を変化させる対象面21が予め設定した方
向になった瞬間にこれを検知するように構成したもので
あるが、本実施例(第7図)は、対象面21が3次元的
に方向を変化させる場合に対象面21が予め設定した方
向になった瞬間にこれを検知するように構成したもので
ある。
例を3元化したものでめる。即ち、第5図の実施例は2
次元的に方向を変化させる対象面21が予め設定した方
向になった瞬間にこれを検知するように構成したもので
あるが、本実施例(第7図)は、対象面21が3次元的
に方向を変化させる場合に対象面21が予め設定した方
向になった瞬間にこれを検知するように構成したもので
ある。
本例は第4図について説明した基本原理に基づい、て3
方向からそれぞれ波長を異にする単色光を照射し、その
反射光を抽出・分離して電気信号に変換して電気的に演
算処理するよう、欠配のごとく構成する。
方向からそれぞれ波長を異にする単色光を照射し、その
反射光を抽出・分離して電気信号に変換して電気的に演
算処理するよう、欠配のごとく構成する。
光源1a及び同1bは前例におけると同様の構成部材で
ある。
ある。
光源1Cは上記“の光源1J 1bと類似の構成部側で
、タングステンランプ2cとレンズ4cとの間に通過波
長650 nmの光学フィルタ3cを設け、波長<S5
0nmの単色光の平行光束を照射し得るように構成し、
特定点20に向けて固定する。
、タングステンランプ2cとレンズ4cとの間に通過波
長650 nmの光学フィルタ3cを設け、波長<S5
0nmの単色光の平行光束を照射し得るように構成し、
特定点20に向けて固定する。
受光器5′は前例の受光器5と類似の構成部材であって
、対物レンズ6を共用する3個の同一構造の7オトマル
7a、 7b17cを列設し、それぞれ光学フィルタ8
a+ 8b+ 8cを備える。上記の光学フィルタ8a
t abは前例におけると同様の構成部材であり、光学
フィルタ9c#i通過波長650nrnのものでるる。
、対物レンズ6を共用する3個の同一構造の7オトマル
7a、 7b17cを列設し、それぞれ光学フィルタ8
a+ 8b+ 8cを備える。上記の光学フィルタ8a
t abは前例におけると同様の構成部材であり、光学
フィルタ9c#i通過波長650nrnのものでるる。
上記の各7オトマル7i、 7b、 7cは検出信号出
方をそれぞれ増幅Flit 9a+ 9b+ 9cを介
して比較演算器10に入力させる。上記の比較演算器1
oは前例(第5図)におけると同様の構成部材で、増幅
器9at9b+ 9cから入力される3個の信号が等し
くなったとき検出出力信号11を発信する。
方をそれぞれ増幅Flit 9a+ 9b+ 9cを介
して比較演算器10に入力させる。上記の比較演算器1
oは前例(第5図)におけると同様の構成部材で、増幅
器9at9b+ 9cから入力される3個の信号が等し
くなったとき検出出力信号11を発信する。
本例の装置を用いて対象面21が成る方向の位置、例え
ばTになったことを検知するには、予め対象面21をT
位置とし、このとき3個の増幅器9199bt9Cの信
号出力が勢レベルになるよう光源、フォトマル、又は増
幅器を調節しておく。その後、対象面21が穆々に動い
て成る瞬間にT位置になると、3個の増幅器9a+ 9
b* 9cの出力が等レベルになり、比較演算器10は
検出出力信号11を発信する。
ばTになったことを検知するには、予め対象面21をT
位置とし、このとき3個の増幅器9199bt9Cの信
号出力が勢レベルになるよう光源、フォトマル、又は増
幅器を調節しておく。その後、対象面21が穆々に動い
て成る瞬間にT位置になると、3個の増幅器9a+ 9
b* 9cの出力が等レベルになり、比較演算器10は
検出出力信号11を発信する。
本実施例によれば以上のようにして3次元的に方向を変
える対象面が予め設定した方向になったとき、即時にこ
れを検知することができる。
える対象面が予め設定した方向になったとき、即時にこ
れを検知することができる。
第8図は更に異なる実施例を示し、本例は3次元的に方
向を変える対象面21の方向を連続的に検出し得るよう
に構成したものである。本例において光源1a、1b、
1Cおよび受光器i′は前例(第7図)におけると同様
の構成部材である。
向を変える対象面21の方向を連続的に検出し得るよう
に構成したものである。本例において光源1a、1b、
1Cおよび受光器i′は前例(第7図)におけると同様
の構成部材である。
3個の7オトマル7117bl 7Cの検出信号はそれ
ぞれA/D変換器12as 12b+ 12cを介して
記憶装置14を備えた自動計算機13に入力させる。上
記の計算機13および記憶装置14は第6図の実施例に
おける計算機13および記憶装置14と類似の構成部材
である。
ぞれA/D変換器12as 12b+ 12cを介して
記憶装置14を備えた自動計算機13に入力させる。上
記の計算機13および記憶装置14は第6図の実施例に
おける計算機13および記憶装置14と類似の構成部材
である。
本例の装置を用いて対象面21の方向を連続的に検知す
るには、予め対象面21の方向を種々に変え、(九とえ
ばY軸について傾斜角1′ごと、Y軸について傾斜角1
′ごとに変え)各方向にお妙るA/D変換器12a11
2b、12Cの出力信号の関係に対応させてその時の対
象面21の方向をデータとして記憶装置14に記憶させ
ておく。
るには、予め対象面21の方向を種々に変え、(九とえ
ばY軸について傾斜角1′ごと、Y軸について傾斜角1
′ごとに変え)各方向にお妙るA/D変換器12a11
2b、12Cの出力信号の関係に対応させてその時の対
象面21の方向をデータとして記憶装置14に記憶させ
ておく。
以上のように準備した後、対象面21が成る未知の方向
を向いているとき、各フォトマル7a+7b+7cO検
出信号を各A/D変換器12a+ 12b+ 12cを
介して自動計算機13に入力させると、自動計算機13
に上記3個の信号の比率を算出し、記憶装置14の収鍮
データを検索しそ上記の比率に対応する面方向データを
探し出し、このデータを面方向出力信号15として発信
する。
を向いているとき、各フォトマル7a+7b+7cO検
出信号を各A/D変換器12a+ 12b+ 12cを
介して自動計算機13に入力させると、自動計算機13
に上記3個の信号の比率を算出し、記憶装置14の収鍮
データを検索しそ上記の比率に対応する面方向データを
探し出し、このデータを面方向出力信号15として発信
する。
本実施例によれば以上のようにして3次元的に方向を変
える対象面の方向を時々刻々に検知する仁とができる。
える対象面の方向を時々刻々に検知する仁とができる。
、
以上説明した4例の実施例に示したように、本発明に係
る面方向の検出方法は、複数の方向から特定の一点に向
けてそれぞれ異る波長の単色光を照射し、上記時点の一
点において乱反射され大壷数種類の単色光のうち特定方
向に反射した元のみを抽出し、かつこれを各単色光に分
離してそれぞれ電気信号に変換し、上記の電気信号を電
気的に演算処理することにより、上記特定の一点から反
射された尤のみに基づいて対象面の方向を即時、かつ非
接触的に検知することができる。
る面方向の検出方法は、複数の方向から特定の一点に向
けてそれぞれ異る波長の単色光を照射し、上記時点の一
点において乱反射され大壷数種類の単色光のうち特定方
向に反射した元のみを抽出し、かつこれを各単色光に分
離してそれぞれ電気信号に変換し、上記の電気信号を電
気的に演算処理することにより、上記特定の一点から反
射された尤のみに基づいて対象面の方向を即時、かつ非
接触的に検知することができる。
才た、第5図及び第7図の各実施例に示したごとく、本
発明に係る装置a複数の方向から特定の一点に向けて異
った波長の単色光を照射する手段と、特定点における乱
反射光のうち特定方向の元紗を抽出する手段と、上記の
抽出手段によって得られ九光線を各単色光に分離する手
段と、分離された各単色光の強度を電気信号に変換する
手段と、上記の各電気信号を比較してこれらの電気信号
が予め設定した特定の関係になったことを検出する手段
とを設けることにより、前記の特定面が予め設定された
特定方向になったとき即時的にこれを検知することがで
き、前記の本発明方法を容易に実施してその効果を発揮
せしめ得る。
発明に係る装置a複数の方向から特定の一点に向けて異
った波長の単色光を照射する手段と、特定点における乱
反射光のうち特定方向の元紗を抽出する手段と、上記の
抽出手段によって得られ九光線を各単色光に分離する手
段と、分離された各単色光の強度を電気信号に変換する
手段と、上記の各電気信号を比較してこれらの電気信号
が予め設定した特定の関係になったことを検出する手段
とを設けることにより、前記の特定面が予め設定された
特定方向になったとき即時的にこれを検知することがで
き、前記の本発明方法を容易に実施してその効果を発揮
せしめ得る。
また、第6図及び第8図の各実施例に示したごとく、本
発明に係る装置社、複数の方向から特定の一点に向けて
異った波長の単色光を照射する手段と、特定点における
乱反射光のうち特定方向の光線を抽出する手段と、上記
の抽出手段によって得られた光線を各単色光に分離する
手段と、分離された各単色光の強度を電気信号に変換す
る手段と、上記の各電気信号に基づいて上記特定点にお
ける対象面の方向を算出する自動演算手段とを設けるこ
とにより、対象面が任意方向にあるときその方向を即時
的にかつ連続的に検知することができ、前述の本発明方
法を容易に実施してその効果を充分に発揮せしめ得る。
発明に係る装置社、複数の方向から特定の一点に向けて
異った波長の単色光を照射する手段と、特定点における
乱反射光のうち特定方向の光線を抽出する手段と、上記
の抽出手段によって得られた光線を各単色光に分離する
手段と、分離された各単色光の強度を電気信号に変換す
る手段と、上記の各電気信号に基づいて上記特定点にお
ける対象面の方向を算出する自動演算手段とを設けるこ
とにより、対象面が任意方向にあるときその方向を即時
的にかつ連続的に検知することができ、前述の本発明方
法を容易に実施してその効果を充分に発揮せしめ得る。
第1図は入射光の方向と乱反射面の方向とを一定にした
場合の反射指向性を示す図表、第2図および第3図は入
射光の方向と反射光観測方向とを一定にした場合の反射
光強度の分布を示す図表、5第4図#′i3方向からの
入射光の反射光を特定方向から観測する状態を模式的に
示した斜視図、第5図乃至第8図は本発明に係る装置の
それぞれ異なる実施例の光学系統を模式的に示し九斜視
図に電気配線図を付記した図である。 1si+ 1b+ ic ”・光源、2a+ 2bs
2c、−、タングステンランプ、5a+ 5b+ 5c
m光学フィルタ、4a+ 4b+ 4c・、レンズ、5
.5’・・・受光器、6・・・対物レンズ、7a17b
17C・・・フォトマル、Bar 8b+ 8c・・・
光学フィルタ、9s。 9b19C・・・増幅器、10・・・比較演算器、11
.15・・・検出15出力信号、12a、 12b、
12cm・・A / D変換器、15−・・自動計算機
、14・・・参照データ記憶装置。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第1図 第3図 第5図 第6図 3 第7図 第8図
場合の反射指向性を示す図表、第2図および第3図は入
射光の方向と反射光観測方向とを一定にした場合の反射
光強度の分布を示す図表、5第4図#′i3方向からの
入射光の反射光を特定方向から観測する状態を模式的に
示した斜視図、第5図乃至第8図は本発明に係る装置の
それぞれ異なる実施例の光学系統を模式的に示し九斜視
図に電気配線図を付記した図である。 1si+ 1b+ ic ”・光源、2a+ 2bs
2c、−、タングステンランプ、5a+ 5b+ 5c
m光学フィルタ、4a+ 4b+ 4c・、レンズ、5
.5’・・・受光器、6・・・対物レンズ、7a17b
17C・・・フォトマル、Bar 8b+ 8c・・・
光学フィルタ、9s。 9b19C・・・増幅器、10・・・比較演算器、11
.15・・・検出15出力信号、12a、 12b、
12cm・・A / D変換器、15−・・自動計算機
、14・・・参照データ記憶装置。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第1図 第3図 第5図 第6図 3 第7図 第8図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 対象物表面の特定の点における面の方向を非接触
的に検出する方法において、複数の方向から上記の特定
点に向けてそれぞれ異った波長の単色光を照射し、特定
点における乱反射光のうち特定方向のjt、!Iを抽出
し、上記の抽出した光線を前記複数種類の単色光に分離
して各単色光の強度を電気信号に変換し、上記の電気信
号を電気的に演算処理して特定点の面方向を検出するこ
とを特徴とする面方向の検出方法。 λ 対象物表面の特定の点における面の方向を検出する
装置において、複数の方向から上記特定点に向けてそれ
ぞれ異った波長の単色光を照射する手段と、特定点にお
ける乱反射光のうち特定方向の光線を抽出する手段と、
上記の抽出手段によって得られた光線を前記の複数種類
の単色光に分離する手段と、分離された各単色光の強度
を電気信号に変換する手段と、上記の変換された複数個
の電気信号を比較してこれらの電気信号が予め設定され
た特定の関係になったことを検出する手段とよりなり、
特定点における面の方向が予め設定された特定方向にな
ったときこれを検知することを特徴とする面方向の検出
装置。 五 対象物表面の特定の点における面の方向を検出する
装置において、複数の方向から上記特定点に向けてそれ
ぞれ異った波長の単色光を照射する手段と、特定点にお
ける乱反射光のうち特定方向の光線を抽出する手段と、
上記の抽出手段によって得られた光線を前記の複数−類
の単色光に分離する手段と、分離された各単色光の強度
を電気信号に変換する手段と、上記の変換された複数個
の電気信号を入力されて特定点における面の方向を算出
する自動演算手段とよりなり、対象物表面が任意の方向
にあるときその方向を算定することを特徴とする面方向
の検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19084181A JPS5892904A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 面方向の検出方法及び同装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19084181A JPS5892904A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 面方向の検出方法及び同装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892904A true JPS5892904A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16264655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19084181A Pending JPS5892904A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 面方向の検出方法及び同装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892904A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5015097A (en) * | 1988-10-07 | 1991-05-14 | Hitachi, Ltd. | Method for inspecting filled state of via-holes filled with fillers and apparatus for carrying out the method |
| JP2002535668A (ja) * | 1999-01-28 | 2002-10-22 | エスティーエフアイ | 受光面の決定方法 |
| KR100416772B1 (ko) * | 2001-05-21 | 2004-01-31 | 엘지전자 주식회사 | 다종 금속 표면의 검사 및 측정 장치 |
| WO2010024254A1 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 株式会社ブリヂストン | 被検体の凹凸検出方法とその装置 |
| WO2013100124A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社ブリヂストン | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| JP5737390B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-06-17 | コニカミノルタ株式会社 | マルチアングル測色計 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4953068A (ja) * | 1972-09-21 | 1974-05-23 |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP19084181A patent/JPS5892904A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4953068A (ja) * | 1972-09-21 | 1974-05-23 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5015097A (en) * | 1988-10-07 | 1991-05-14 | Hitachi, Ltd. | Method for inspecting filled state of via-holes filled with fillers and apparatus for carrying out the method |
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| US8948491B2 (en) | 2008-08-26 | 2015-02-03 | Kabushiki Kaisha Bridgestone | Method and apparatus for detecting surface unevenness of object under inspection |
| JP5737390B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-06-17 | コニカミノルタ株式会社 | マルチアングル測色計 |
| WO2013100124A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社ブリヂストン | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| JP2013137239A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Bridgestone Corp | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| US9310278B2 (en) | 2011-12-28 | 2016-04-12 | Bridgestone Corporation | Appearance inspection apparatus and appearance inspection method with uneveness detecting |
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