JPS5892909A - 磁気目盛スケ−ル - Google Patents
磁気目盛スケ−ルInfo
- Publication number
- JPS5892909A JPS5892909A JP56190926A JP19092681A JPS5892909A JP S5892909 A JPS5892909 A JP S5892909A JP 56190926 A JP56190926 A JP 56190926A JP 19092681 A JP19092681 A JP 19092681A JP S5892909 A JPS5892909 A JP S5892909A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- reading head
- scale plate
- scales
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、固定された目盛板又は読取ヘッドと対向する
読取ヘッド又は目盛板を移動させながら、目盛板に付し
た目盛を前記読取ヘッドで順次読み取って、読取ヘッド
又は目盛板の移動量を測定する磁気＠奈スケールに関す
るものである。
読取ヘッド又は目盛板を移動させながら、目盛板に付し
た目盛を前記読取ヘッドで順次読み取って、読取ヘッド
又は目盛板の移動量を測定する磁気＠奈スケールに関す
るものである。
従来、１一単位の目盛から大まかな移動量を読み出す主
尺ｉ置と、１／２００ ｗ単位の目盛から微小な移動量
を読み出す副尺装置とを具備した光学的な測定装置、例
えば、オプチカル・リーグ（商品名）や、等間隔に配列
したリング型磁気ヘッドと対応する信号の大小によシ、
最小１μｍ迄測定可能な測定装置、例えば、ソニー・マ
グネスケール（商品名）や、一定波長のレーザー光を用
いたレーザー測定装置等があるが、これ等の測定装置は
、構造が複雑なため、取付け、調整、取扱い等が面倒に
なる欠点があった。
尺ｉ置と、１／２００ ｗ単位の目盛から微小な移動量
を読み出す副尺装置とを具備した光学的な測定装置、例
えば、オプチカル・リーグ（商品名）や、等間隔に配列
したリング型磁気ヘッドと対応する信号の大小によシ、
最小１μｍ迄測定可能な測定装置、例えば、ソニー・マ
グネスケール（商品名）や、一定波長のレーザー光を用
いたレーザー測定装置等があるが、これ等の測定装置は
、構造が複雑なため、取付け、調整、取扱い等が面倒に
なる欠点があった。
本発明は、前記従来例の欠点を解消するために、磁性目
盛を鋸刃状に付した目盛板と、複数の磁気感応素子を１
列に配設した読取ヘッドとから成る磁気＠奈スケールを
提供するものである。以下、図面によシ、本発明の実施
例を詳細に説明する。
盛を鋸刃状に付した目盛板と、複数の磁気感応素子を１
列に配設した読取ヘッドとから成る磁気＠奈スケールを
提供するものである。以下、図面によシ、本発明の実施
例を詳細に説明する。
第１−図は、本発明Ω一実施例の構成を示す斜視図、第
２図は本発明の一実施例の部分拡大図、第３図は本発明
の一実施例の側面図で、１は、例えば、矢印入方向に移
動自在の読取ヘッドで、この読取ヘッド１の前面には、
９箇の磁気感応素子、例えば、磁気抵抗素子２が、移動
方向に対して垂直の方向に、等間隔で配列されている（
第２図参照）。３は、読取ヘッド１の移動路と平行に設
けた、熱膨張係数が小さく、平行・平面度が得易い非磁
性体、例えば、石英ガラス、特殊合金等の基板４に、一
定の幅ａで、読取ヘッド１の移動方向と垂直の方向に長
さｂだけ伸長し、且つ、読取ヘッド１の移動方向に一定
の間隔Ｃで１列に配した複数の主目盛５ａと、互いに隣
接する主目盛５ａの対角線上にそれぞれ配した一定の幅
ａの副目盛５ｂとから成る鋸刃状の対角線目盛５を付し
た目盛板（第２図参照）で、この目盛板３の対角線目盛
５は、対角線目盛５のパターイに合わせて基板４の表面
に蒸着・形成した強磁性材料膜に帯磁させたものである
。６は読取ヘッド１が目盛板３から読み取った信号を増
幅する増幅器、７は増幅器６から出力された信号のレベ
ルを比較してカウンタ８を作動させるレベル比較回路、
９は表示装置である。
２図は本発明の一実施例の部分拡大図、第３図は本発明
の一実施例の側面図で、１は、例えば、矢印入方向に移
動自在の読取ヘッドで、この読取ヘッド１の前面には、
９箇の磁気感応素子、例えば、磁気抵抗素子２が、移動
方向に対して垂直の方向に、等間隔で配列されている（
第２図参照）。３は、読取ヘッド１の移動路と平行に設
けた、熱膨張係数が小さく、平行・平面度が得易い非磁
性体、例えば、石英ガラス、特殊合金等の基板４に、一
定の幅ａで、読取ヘッド１の移動方向と垂直の方向に長
さｂだけ伸長し、且つ、読取ヘッド１の移動方向に一定
の間隔Ｃで１列に配した複数の主目盛５ａと、互いに隣
接する主目盛５ａの対角線上にそれぞれ配した一定の幅
ａの副目盛５ｂとから成る鋸刃状の対角線目盛５を付し
た目盛板（第２図参照）で、この目盛板３の対角線目盛
５は、対角線目盛５のパターイに合わせて基板４の表面
に蒸着・形成した強磁性材料膜に帯磁させたものである
。６は読取ヘッド１が目盛板３から読み取った信号を増
幅する増幅器、７は増幅器６から出力された信号のレベ
ルを比較してカウンタ８を作動させるレベル比較回路、
９は表示装置である。
このように構成された本実施例では、９箇の磁気抵抗素
子２の配列方向は、主目盛５ａの伸長方向と同一で、副
目盛５ｂの伸長方向と異なるので、読取ヘッド１と目盛
板３との間隔ｄを保持しながら（第３図参照）読取ヘッ
ド１を移動させると、主目盛５ａを読み取るときには、
主目盛５ａと向い合った９箇の磁気抵抗−′＋２全てか
ら一信号が同時に出力され、又、副目盛５ｂを読み取る
ときには、副目盛５ｂと交差する９箇の磁気抵抗素子２
の中の１つからのみ信号が出力される。ところで、主目
盛５ａは一定の間隔Ｃで配列され、又、副目盛５ｂと９
箇の磁気抵抗素子２との交点は副目盛５ｂを１０等分、
即ち、隣接する主目盛５ａの間を１０等分している。従
って、９箇の磁気抵抗素子２全てから信号が同時に出力
された回数ｍと、９箇の磁気抵抗素子２の何番目（ｎ）
の磁気抵抗素子２から信号が出力されているかを比較判
別すれば、読取ヘッド１の移動量、即ち、被測定物の長
さｌは、ｌ ＝ （ｍｘｃ ） ＋ （ｎｘＭ ）とな
り、この値が表示装置９に表示される。
子２の配列方向は、主目盛５ａの伸長方向と同一で、副
目盛５ｂの伸長方向と異なるので、読取ヘッド１と目盛
板３との間隔ｄを保持しながら（第３図参照）読取ヘッ
ド１を移動させると、主目盛５ａを読み取るときには、
主目盛５ａと向い合った９箇の磁気抵抗−′＋２全てか
ら一信号が同時に出力され、又、副目盛５ｂを読み取る
ときには、副目盛５ｂと交差する９箇の磁気抵抗素子２
の中の１つからのみ信号が出力される。ところで、主目
盛５ａは一定の間隔Ｃで配列され、又、副目盛５ｂと９
箇の磁気抵抗素子２との交点は副目盛５ｂを１０等分、
即ち、隣接する主目盛５ａの間を１０等分している。従
って、９箇の磁気抵抗素子２全てから信号が同時に出力
された回数ｍと、９箇の磁気抵抗素子２の何番目（ｎ）
の磁気抵抗素子２から信号が出力されているかを比較判
別すれば、読取ヘッド１の移動量、即ち、被測定物の長
さｌは、ｌ ＝ （ｍｘｃ ） ＋ （ｎｘＭ ）とな
り、この値が表示装置９に表示される。
尚、読取ヘッド１を固定すると共に、目盛板３−を移動
して、目盛板３の移動量を測定してもよい。
して、目盛板３の移動量を測定してもよい。
又、読取ヘッド１に配列する磁気抵抗素子２を増せば、
測定精度が高くなる。
測定精度が高くなる。
以上説明したように、本発明によれば、構造が単純なだ
め、取付、調整、取扱いが楽になる利点がある。又、目
盛板の対角線目盛は、非磁性体の基板に高磁性材料を蒸
着する等して形成したものであるため、トリミング等の
手段で目盛を整形でき、測定精度を高めることができる
利点がある。
め、取付、調整、取扱いが楽になる利点がある。又、目
盛板の対角線目盛は、非磁性体の基板に高磁性材料を蒸
着する等して形成したものであるため、トリミング等の
手段で目盛を整形でき、測定精度を高めることができる
利点がある。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２図
は本発明の一実施例の部分拡大図、第３図は本発明の一
実施例の側面図である。 １ ・・・・・・・・・読取ヘッド、 ２・・・・・・
・・・磁気抵抗素子、３・・・・・・・・・目盛板、
４・・・・・・・・・基板、 ５・・・・・・・・・対
角線目盛、 ５ａ・・・・・・・・・主目盛、５ｂ・・
・・・・・・副目盛。
は本発明の一実施例の部分拡大図、第３図は本発明の一
実施例の側面図である。 １ ・・・・・・・・・読取ヘッド、 ２・・・・・・
・・・磁気抵抗素子、３・・・・・・・・・目盛板、
４・・・・・・・・・基板、 ５・・・・・・・・・対
角線目盛、 ５ａ・・・・・・・・・主目盛、５ｂ・・
・・・・・・副目盛。
Claims (1)
- 固定された目盛板又は読取ヘッドとそれぞれ対向する前
記読取ヘッド又は前記目盛板を移動させながら、前記目
盛板に付した目盛を前記読取ヘッドで順次読み取って、
前記読取ヘッド又は前記目盛板の移動量を測定するスケ
ールにおいて、前記目盛板は、複数の主目盛を前記移動
方向に一定の間隔で１列に配すると共に、副目盛を互い
に隣接する前記主目盛の対角線上にそれぞれ配した鋸刃
状の対角線目盛が、非磁性体の基板に、帯磁された磁性
体によって付されてなり、前記読取ヘッドは）複数の磁
気感応素子が前記移動方向に対して垂直の方向に一定の
間隔で１列に配設されていることを特徴とする磁気目盛
スケール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56190926A JPS5892909A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 磁気目盛スケ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56190926A JPS5892909A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 磁気目盛スケ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892909A true JPS5892909A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16265981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56190926A Pending JPS5892909A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 磁気目盛スケ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892909A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62133108U (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-22 | ||
| US5420413A (en) * | 1992-12-31 | 1995-05-30 | United Technologies Corporation | Actuator with an optical position sensor using a variable magnetic field |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP56190926A patent/JPS5892909A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62133108U (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-22 | ||
| US5420413A (en) * | 1992-12-31 | 1995-05-30 | United Technologies Corporation | Actuator with an optical position sensor using a variable magnetic field |
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