JPS589385B2 - デンシブヒンノソクテイソウチ - Google Patents
デンシブヒンノソクテイソウチInfo
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- JPS589385B2 JPS589385B2 JP50115833A JP11583375A JPS589385B2 JP S589385 B2 JPS589385 B2 JP S589385B2 JP 50115833 A JP50115833 A JP 50115833A JP 11583375 A JP11583375 A JP 11583375A JP S589385 B2 JPS589385 B2 JP S589385B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- measurement
- measure
- temperature range
- measuring
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- Expired
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電子部品の電気的特性値をある温度範囲にお
いて精度よく測定する装置に関するものである。
いて精度よく測定する装置に関するものである。
従来電子部品の電気的特性値をある温度範囲において測
定する場合、恒温槽の内部の空気まだは、窒素等の気体
雰囲気中に前記電子部品および熱電対等の温度検出器を
入れて測定していたが、恒温槽内部の温度の均一性が容
易には得られず前記電子部品と前記温度検出器の温度に
若干の差が生じる事が多かった。
定する場合、恒温槽の内部の空気まだは、窒素等の気体
雰囲気中に前記電子部品および熱電対等の温度検出器を
入れて測定していたが、恒温槽内部の温度の均一性が容
易には得られず前記電子部品と前記温度検出器の温度に
若干の差が生じる事が多かった。
また前記温度範囲が、前記恒温槽内部の気体雰囲気の露
点以下を含む場合、前記雰囲気中に含まれる水蒸気が霜
又は水滴となって前記電子部品及び測定系の一部に付着
し、リーク電流が流れ精度よく測定する事が困難であっ
た。
点以下を含む場合、前記雰囲気中に含まれる水蒸気が霜
又は水滴となって前記電子部品及び測定系の一部に付着
し、リーク電流が流れ精度よく測定する事が困難であっ
た。
この発明は従来方法のこれらの欠点を解消し、精度よく
測定することのできる電子部品の測定装置を提供するこ
とを目的とする。
測定することのできる電子部品の測定装置を提供するこ
とを目的とする。
以下この装置の構成および測定法について説明する。
図は本発明電子部品の測定装置の主要部の斜視図で絶縁
性の液体を満すガラスあるいは金属性の容器１、試料固
定台２、熱電対等の温度検出器３、ソケット４および導
線５から成り、導線５および温度検出器３の前記容器１
からの取シ出し口は密閉されている。
性の液体を満すガラスあるいは金属性の容器１、試料固
定台２、熱電対等の温度検出器３、ソケット４および導
線５から成り、導線５および温度検出器３の前記容器１
からの取シ出し口は密閉されている。
前記装置を恒温槽内に入れ導線５および温度検出器３の
恒温槽からの取り出し口は密閉して使用する。
恒温槽からの取り出し口は密閉して使用する。
測定は前記容器１にフレオンなどの絶縁性の液体を満し
ソケット４に被測定試料を取りつけ、温度検出器３で温
度を測定しながら被測定試料の電気的特性値を測定する
ことにより行なう。
ソケット４に被測定試料を取りつけ、温度検出器３で温
度を測定しながら被測定試料の電気的特性値を測定する
ことにより行なう。
この装置を用いることにより、前記電子部品の表面およ
び測定系の一部にリーク電流が流れるのを防ぎ、かつ気
体中で測定する従来の装置より温度の均一性が良い為前
記電子部品と前記温度検出器３の温度を同一に保ちなが
ら測定できるので測定の精度が上がる。
び測定系の一部にリーク電流が流れるのを防ぎ、かつ気
体中で測定する従来の装置より温度の均一性が良い為前
記電子部品と前記温度検出器３の温度を同一に保ちなが
ら測定できるので測定の精度が上がる。
次にこの装置を用いた測定例を示す。
この例で用いた試料は密封容器に窒素を雰囲気として封
入したモノリシツク集積回路である。
入したモノリシツク集積回路である。
前記密封容器内雰囲気中の水蒸気が低温において前記密
封容器内の半導体チップ表面に付着し電流が流れるがこ
の電流値の温度変化を求めるのが目的であった。
封容器内の半導体チップ表面に付着し電流が流れるがこ
の電流値の温度変化を求めるのが目的であった。
この測定を従来の方法で行なうと、低温において前記密
封容器表面および測定系の一部に露が付着し、測定目的
である前記密封容器内の程度あるいはそれ以上のリーク
電流が前記密封容器表面および測定系の一部に流れ精度
よい測定は不可能であった。
封容器表面および測定系の一部に露が付着し、測定目的
である前記密封容器内の程度あるいはそれ以上のリーク
電流が前記密封容器表面および測定系の一部に流れ精度
よい測定は不可能であった。
また測定温度範囲全体において恒温槽の温度の不均一性
により再現性の良い測定が困難であった。
により再現性の良い測定が困難であった。
この発明による装置を用いて測定を行なうと温度範囲−
５０℃〜＋５０℃において数百ピコアンペアの電流の温
度変化が精度良く測定出来た。
５０℃〜＋５０℃において数百ピコアンペアの電流の温
度変化が精度良く測定出来た。
以上詳細に説明した様にこの発明による装置を用いると
従来の測定に比べある温度範囲における電気的特性値を
格段に精度良く測定出来る。
従来の測定に比べある温度範囲における電気的特性値を
格段に精度良く測定出来る。
図は本発明電子部品の測定装置の主要部の斜視図である
。 １・・・・・・容器、２・・・・・・試料固定台、３・
・・・・・温度検出器、４・・・・・・ソケット、５・
・・・・・導線。
。 １・・・・・・容器、２・・・・・・試料固定台、３・
・・・・・温度検出器、４・・・・・・ソケット、５・
・・・・・導線。
Claims (1)
- １ 測定温度範囲内に凝固点と沸点とを有しない絶縁性
液体に浸漬された被測定電子部品用ソケアトと温度検出
器とを備えた容器が恒温槽内に設置されていることを特
徴とする電子部品の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50115833A JPS589385B2 (ja) | 1975-09-25 | 1975-09-25 | デンシブヒンノソクテイソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50115833A JPS589385B2 (ja) | 1975-09-25 | 1975-09-25 | デンシブヒンノソクテイソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5240158A JPS5240158A (en) | 1977-03-28 |
| JPS589385B2 true JPS589385B2 (ja) | 1983-02-21 |
Family
ID=14672237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50115833A Expired JPS589385B2 (ja) | 1975-09-25 | 1975-09-25 | デンシブヒンノソクテイソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589385B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63194179U (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-14 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5627985B2 (ja) * | 1972-11-16 | 1981-06-29 |
-
1975
- 1975-09-25 JP JP50115833A patent/JPS589385B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63194179U (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5240158A (en) | 1977-03-28 |
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