JPS589601B2 - 圧電磁器振動子の製造方法 - Google Patents
圧電磁器振動子の製造方法Info
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- JPS589601B2 JPS589601B2 JP55164949A JP16494980A JPS589601B2 JP S589601 B2 JPS589601 B2 JP S589601B2 JP 55164949 A JP55164949 A JP 55164949A JP 16494980 A JP16494980 A JP 16494980A JP S589601 B2 JPS589601 B2 JP S589601B2
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- JP
- Japan
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- piezoelectric ceramic
- vibrating element
- space
- manufacturing
- terminal
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、厚み振動、径振動、拡がり振動、屈曲振動な
ど、あらゆる振動姿態を用いた圧電磁器振動子の製造方
法に係り、特に、能率的かつ経済的に大量生産すること
ができ、小形で特性の変動がない圧電磁器振動子の製造
方法に関する。
ど、あらゆる振動姿態を用いた圧電磁器振動子の製造方
法に係り、特に、能率的かつ経済的に大量生産すること
ができ、小形で特性の変動がない圧電磁器振動子の製造
方法に関する。
一般に、圧電磁器振動子は、その振動を阻害しないよう
に振動部付近に空間を設けることが必須要件であるが、
この空間形成は製造上難しいものである。
に振動部付近に空間を設けることが必須要件であるが、
この空間形成は製造上難しいものである。
従来、この空間形成を容易に行えるようにした製造方法
としては、例えは特公昭４５一２２３８４号公報に記載
されているように、圧電磁器板に設けられた電極部にワ
ックス等の材料により被膜を形成後、絶縁性樹脂層を形
成し、この樹脂層の形成時または形成後に加熱して前記
被膜を融解させて絶縁性樹脂層に吸収させることにより
電極部上に空間を設けるものが提案されている。
としては、例えは特公昭４５一２２３８４号公報に記載
されているように、圧電磁器板に設けられた電極部にワ
ックス等の材料により被膜を形成後、絶縁性樹脂層を形
成し、この樹脂層の形成時または形成後に加熱して前記
被膜を融解させて絶縁性樹脂層に吸収させることにより
電極部上に空間を設けるものが提案されている。
ところが、このような製造方法により製造された圧電磁
器振動子では、電極部上にのみ空間が形成され、圧電磁
器板の周辺部が絶縁性樹脂層で固定支持されてしまうの
で、エネルギーとじ込め形圧電磁器振動子にしか利用で
きず、本発明が対象とする非エネルギーとじ込め形の厚
み振動、径振動、拡がり振動、屈曲振動などの振動姿態
のものに利用できないものであった。
器振動子では、電極部上にのみ空間が形成され、圧電磁
器板の周辺部が絶縁性樹脂層で固定支持されてしまうの
で、エネルギーとじ込め形圧電磁器振動子にしか利用で
きず、本発明が対象とする非エネルギーとじ込め形の厚
み振動、径振動、拡がり振動、屈曲振動などの振動姿態
のものに利用できないものであった。
本発明は、このような従来のエネルギーとじ込め形圧電
磁器振動子の製造方法を改良して、あらゆる振動姿態の
圧電磁器振動子に利用でき、しかも能率的かつ経済的で
大量生産に適した、小形で特性の優れた圧電磁器振動子
の製造方法を提供することを主目的とする。
磁器振動子の製造方法を改良して、あらゆる振動姿態の
圧電磁器振動子に利用でき、しかも能率的かつ経済的で
大量生産に適した、小形で特性の優れた圧電磁器振動子
の製造方法を提供することを主目的とする。
すなわち、本発明は、電極を設けた圧電磁器基板すなわ
ち振動素子を、端子で支持する際、輪状の熱収縮性膜を
収縮させて支持を確実に行なっておいて後工程における
支持ずれを防止しようとするものである。
ち振動素子を、端子で支持する際、輪状の熱収縮性膜を
収縮させて支持を確実に行なっておいて後工程における
支持ずれを防止しようとするものである。
以下、本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
第１図において、１は圧電磁器振動素子で、チタン酸ジ
ルコン酸鉛などの圧電磁器基板１ａの両面に電極１ｂ，
１ｃが形成されてなる。
ルコン酸鉛などの圧電磁器基板１ａの両面に電極１ｂ，
１ｃが形成されてなる。
２，３は端子で、同図ｂに抽出して示すように、振動素
子１（外形を点線で示す。
子１（外形を点線で示す。
）より大きな外形を有し、中心部付近に突部２ａ，３ａ
が設けられるとともに、各辺に切り欠き２ｂ，３ｂが設
けられ、一隅から引き出し部２ｃ ，３ｃが延長されて
いる。
が設けられるとともに、各辺に切り欠き２ｂ，３ｂが設
けられ、一隅から引き出し部２ｃ ，３ｃが延長されて
いる。
そして、振動素子１を取囲むごとく端子２，３に懸回さ
れた熱収縮性膜Ｔの収縮によって、端子２，３の突部２
ａ，３ａが振動素子１のノード点もしくはその近傍に接
触した状態を保つよう、端子２，３によって振動素子１
が圧着挾持されている。
れた熱収縮性膜Ｔの収縮によって、端子２，３の突部２
ａ，３ａが振動素子１のノード点もしくはその近傍に接
触した状態を保つよう、端子２，３によって振動素子１
が圧着挾持されている。
４は多孔性熱硬化性絶縁樹脂層で、振動素子１全体を空
間５を介して被覆するとともに、端子２，３の一部を（
実施例では端子下部のみならず端子周辺部も）固定して
いる。
間５を介して被覆するとともに、端子２，３の一部を（
実施例では端子下部のみならず端子周辺部も）固定して
いる。
ただし、周辺部といっても切り欠き２ｂ，３ｂの一部分
は除かれており、要するに、絶縁樹脂層４が振動素子１
に付いて振動素子１の振動を抑圧することがないように
、振動素子１の周囲全体に空間を設けれはよい。
は除かれており、要するに、絶縁樹脂層４が振動素子１
に付いて振動素子１の振動を抑圧することがないように
、振動素子１の周囲全体に空間を設けれはよい。
この絶縁樹脂層４には、後で詳述するように、ワックス
、パラフィン、ワセリン等の空間形成材料が含浸されて
いる。
、パラフィン、ワセリン等の空間形成材料が含浸されて
いる。
端子２，３の形状は上記実施例に限らず、振動素子１の
ノード点もしくはその近傍に接触する形状で、かつ熱収
縮性膜Ｔを懸回しやすい形状で、かつ振動素子の周囲全
体に充分な空間形成材料が被覆される形状であれば他の
いかなるものでもよい。
ノード点もしくはその近傍に接触する形状で、かつ熱収
縮性膜Ｔを懸回しやすい形状で、かつ振動素子の周囲全
体に充分な空間形成材料が被覆される形状であれば他の
いかなるものでもよい。
次に、上記した圧電磁器振動子の種々の製造方法を説明
する。
する。
（１） 第２図において、振動素子１を、下部で一体
に連結された端子２，３ではさむ。
に連結された端子２，３ではさむ。
このとき振動素子１のノ一ド点もしくはその近傍の定点
に端子２，３の突部２ａ ，３ａを一致させる。
に端子２，３の突部２ａ ，３ａを一致させる。
振動素子１を取囲むごとく端子２，３に熱収縮性膜Ｔを
懸回する。
懸回する。
熱収縮性膜Ｔは、熱が加えられることによって収縮し、
端子２，３が振動素子１を圧着挾持するのを助けるもの
である。
端子２，３が振動素子１を圧着挾持するのを助けるもの
である。
このようにして、振動素子１を端子２，３で固定する。
この振動素子１を、ワックス、ワセリン、パラフィンな
どの空間形成材料よりなる溶融液（溶解液であってもよ
い。
どの空間形成材料よりなる溶融液（溶解液であってもよ
い。
以下、溶融液という。）に浸漬する。
こうして端子２，３問および端子２，３の外面にその周
辺部を除いて上記空間形成材料を付着させて、第１層１
０を設ける。
辺部を除いて上記空間形成材料を付着させて、第１層１
０を設ける。
この第１層１０は、振動素子１が端子２，３間に位置さ
れかつ端子２，３の外形より小さくしてあるので、振動
素子１の周囲全体を確実に被覆することになる。
れかつ端子２，３の外形より小さくしてあるので、振動
素子１の周囲全体を確実に被覆することになる。
次に、第１層１０を設けた振動素子１を、フェノール系
またはエポキシ系などの多孔性熱硬化性絶縁樹脂よりな
る液中に浸漬して、第１層１０の外側に第２層１１を設
ける。
またはエポキシ系などの多孔性熱硬化性絶縁樹脂よりな
る液中に浸漬して、第１層１０の外側に第２層１１を設
ける。
そして、この第２層１１を乾燥後加熱して、熱収縮性膜
Ｔも、もし完全に収縮していないのなら完全に収縮させ
て端子２，３が振動素子１を充分に圧着挾持するように
するとともに、第１層１０のワックスなどの材料を液化
または気化させて多孔質の第２層１１に吸収またはその
外部に放出させて、第１層１０の部分に空間１２を形成
する。
Ｔも、もし完全に収縮していないのなら完全に収縮させ
て端子２，３が振動素子１を充分に圧着挾持するように
するとともに、第１層１０のワックスなどの材料を液化
または気化させて多孔質の第２層１１に吸収またはその
外部に放出させて、第１層１０の部分に空間１２を形成
する。
このときワックスなどの材料が第２層に吸収またはその
外部に放出されやすいように、端子２，３に切り欠き２
ｂ ，３ｂが設けられている。
外部に放出されやすいように、端子２，３に切り欠き２
ｂ ，３ｂが設けられている。
したがって、振動素子１の周囲全体に空間１２を形成で
き、かつ端子２，３の周縁部を第２層１１で固定できて
、振動姿態がどのようなものであってもその振動は何ら
抑圧されないから、所望の圧電磁器振動子が得られる。
き、かつ端子２，３の周縁部を第２層１１で固定できて
、振動姿態がどのようなものであってもその振動は何ら
抑圧されないから、所望の圧電磁器振動子が得られる。
（２）第３図は第２の製造方法を示し、２０は容器で、
この内部に多数の孔２１ａを設けた基板２１を有すると
ともに、その下部に空気を容器２０内に送り込む管２２
が設けられている。
この内部に多数の孔２１ａを設けた基板２１を有すると
ともに、その下部に空気を容器２０内に送り込む管２２
が設けられている。
この容器２０内で基板２１上に、ワックス、パラフィン
、ワセリンなどの粉末２３を入れる。
、ワセリンなどの粉末２３を入れる。
そして、管２２がら空気を送って上記粉末２３を拡乱さ
せる。
せる。
そして、第２図で示した第１の方法と同様にして端子２
，３を設けた振動素子１を、ヒーター２４により加熱し
た後、前記拡乱粉末２３中に入れる。
，３を設けた振動素子１を、ヒーター２４により加熱し
た後、前記拡乱粉末２３中に入れる。
すると、振動素子１の全体に粉末２３が溶融付着して第
１層が設けられる。
１層が設けられる。
第２層を設ける工程と、空間を形成する工程とは第１の
方法と同一であるから説明を省略する。
方法と同一であるから説明を省略する。
（第２図参照）（３）第４図は第３の製造方法を示し、
３０は容器で、噴霧口３１ａを具えた導管３１が設けら
れている。
３０は容器で、噴霧口３１ａを具えた導管３１が設けら
れている。
この容器３０内に、ワックス、パラフィン、ワセリンな
どの空間形成材料３２を入れる。
どの空間形成材料３２を入れる。
そして、噴霧口３１ａの近傍に空気ノズル３３を配置し
、この空気ノズル３３から噴霧口３１ａに空気を吹きつ
けて、前記材料３２を霧状に噴射させる。
、この空気ノズル３３から噴霧口３１ａに空気を吹きつ
けて、前記材料３２を霧状に噴射させる。
そして、端子２，３を設けた振動素子１を、前記霧状材
料３２中に置き、振動素子１の全体に材料３２を付着さ
せて第１層を形成する。
料３２中に置き、振動素子１の全体に材料３２を付着さ
せて第１層を形成する。
第２層を設ける工程と、空間を形成する工程とは第１の
方法と同一であるから説明を省略する。
方法と同一であるから説明を省略する。
（第２図参照）ところで、端子と振動素子とを固定する
にはハンダづけによるのが一般的であるが、ハンダづけ
のさい、ハンダが必要でない範囲まで電極上を拡散して
しまって、端子と振動素子とが点接触しないことがある
。
にはハンダづけによるのが一般的であるが、ハンダづけ
のさい、ハンダが必要でない範囲まで電極上を拡散して
しまって、端子と振動素子とが点接触しないことがある
。
このため、ハンダづけに熟練を要し、また、振動子の共
振抵抗が高くなって損失が増大する欠点がある。
振抵抗が高くなって損失が増大する欠点がある。
それに、ハンダごての熱によっていわゆる電極が喰われ
る現象が生じることがある。
る現象が生じることがある。
さらに、ハンダづけによると、電極と端子とが必要以上
に強く接着されてしまうので、圧電磁器基板と電極との
接合力が弱い場合、衝撃によって電極が圧電磁器基板の
表面からはがれてしまうことがある。
に強く接着されてしまうので、圧電磁器基板と電極との
接合力が弱い場合、衝撃によって電極が圧電磁器基板の
表面からはがれてしまうことがある。
しかしながら本発明は、端子を熱収縮性膜の収縮によっ
て振動素子に圧着しているので、端子の突部の先端を充
分細くすることができ、端子と振動素子とが理想的に接
触する。
て振動素子に圧着しているので、端子の突部の先端を充
分細くすることができ、端子と振動素子とが理想的に接
触する。
このため、端子による振動素子の機械的ダンピングが軽
減されて、振動子の損失が減少する。
減されて、振動子の損失が減少する。
また、ハンダづけのように熟練のいる工程が不要になっ
てコストダウンがはかれる。
てコストダウンがはかれる。
さらに、端子と振動素子の電極とがハンダづけされてい
ないので、衝撃によって電極がはがれることがなくなる
。
ないので、衝撃によって電極がはがれることがなくなる
。
本発明は、以上のようなものであり、あらゆる振動姿態
のものに利用でき、しかも能率的かつ経済的に大量生産
を行うのにきわめて有効である。
のものに利用でき、しかも能率的かつ経済的に大量生産
を行うのにきわめて有効である。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２〜４図は本発
明による圧電磁器振動素子を製造する方法を示す図であ
る。 １は圧電磁器振動素子、２および３は端子、４は多孔性
熱硬化性絶縁樹脂層、５は空間。
明による圧電磁器振動素子を製造する方法を示す図であ
る。 １は圧電磁器振動素子、２および３は端子、４は多孔性
熱硬化性絶縁樹脂層、５は空間。
Claims (1)
- １ 圧電磁器振動素子と、この圧電磁器振動素子のノー
ド点もしくはその近傍の定点にその一部が接触する端子
とを有する圧電磁器振動子の製造方法において、圧電磁
器振動素子より大きな外形を有する端子を有し、圧電磁
器振動素子を取囲むごとく端子に熱収縮性膜を懸回し、
熱によって熱収縮性膜を収縮させて、端子が圧電磁器振
動子を保持するようにし、ついで圧電磁器振動素子全体
に、ワックス、パラフィン、ワセリン等の空間形成材料
を付着させ、端子の一部を除いて全体に多孔性熱硬化性
絶縁樹脂を付着させ、熱によって空間形成材料を液化ま
たは気化させて多孔性熱硬化性絶縁樹脂に吸収またはそ
の外部に放出させて、圧電磁器振動素子全体を空間を介
して硬化した絶縁樹脂で被覆したことを特徴とする圧電
磁器振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55164949A JPS589601B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 圧電磁器振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55164949A JPS589601B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 圧電磁器振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5678213A JPS5678213A (en) | 1981-06-27 |
| JPS589601B2 true JPS589601B2 (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=15802913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55164949A Expired JPS589601B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 圧電磁器振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589601B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4817876U (ja) * | 1971-07-13 | 1973-02-28 |
-
1980
- 1980-11-21 JP JP55164949A patent/JPS589601B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5678213A (en) | 1981-06-27 |
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