JPS589602B2 - 圧電磁器振動子の製造方法 - Google Patents
圧電磁器振動子の製造方法Info
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- JPS589602B2 JPS589602B2 JP16495080A JP16495080A JPS589602B2 JP S589602 B2 JPS589602 B2 JP S589602B2 JP 16495080 A JP16495080 A JP 16495080A JP 16495080 A JP16495080 A JP 16495080A JP S589602 B2 JPS589602 B2 JP S589602B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、厚み振動、径振動、拡がり振動、屈曲振動な
ど、あらゆる振動姿態を用いた圧電磁器振動子の製造方
法に係り、特に、能率的かつ経済的に大量生産すること
ができ、小形で特性の変動がない圧電磁器振動子の製造
方法に関する。
ど、あらゆる振動姿態を用いた圧電磁器振動子の製造方
法に係り、特に、能率的かつ経済的に大量生産すること
ができ、小形で特性の変動がない圧電磁器振動子の製造
方法に関する。
一般に、圧電磁器振動子は、その振動を阻害しないよう
に振動部付近に空間を設けることが必須要件であるが、
この空間形成は製造上難しいものである。
に振動部付近に空間を設けることが必須要件であるが、
この空間形成は製造上難しいものである。
従来、この空間形成を容易に行えるようにした製造方法
としては、例えは特公昭４５−２２３８４号公報に記載
されているように、圧電磁器板に設けられた電極部にワ
ックス等の材料により被膜を形成後、絶縁性樹脂層を形
成し、この樹脂層の形成時または形成後に加熱して前記
被膜を融解させて絶縁性樹脂層に吸収させることにより
電極部上に空間を設けるものが提案されている。
としては、例えは特公昭４５−２２３８４号公報に記載
されているように、圧電磁器板に設けられた電極部にワ
ックス等の材料により被膜を形成後、絶縁性樹脂層を形
成し、この樹脂層の形成時または形成後に加熱して前記
被膜を融解させて絶縁性樹脂層に吸収させることにより
電極部上に空間を設けるものが提案されている。
ところが、このような製造方法により製造された圧電磁
器振動子では、電極部上にのみ空間が形成され、圧電磁
器板の周辺部が絶縁性樹脂層で固定支持されてしまうの
で、エネルギーとじ込め形圧電磁器振動子にしか利用で
きず、本発明が対象とする非エネルギーとじ込め形の厚
み振動、径振動、拡がり振動、屈曲振動などの振動姿態
のものに利用できないものであった。
器振動子では、電極部上にのみ空間が形成され、圧電磁
器板の周辺部が絶縁性樹脂層で固定支持されてしまうの
で、エネルギーとじ込め形圧電磁器振動子にしか利用で
きず、本発明が対象とする非エネルギーとじ込め形の厚
み振動、径振動、拡がり振動、屈曲振動などの振動姿態
のものに利用できないものであった。
本発明は、このような従来のエネルギーとじ込め形圧電
磁器振動子の製造方法を改良して、あらゆる振動姿態の
圧電磁器振動子に利用でき、しかも能率的かつ経済的で
大量生産に適した、小形で特性の優れた圧電磁器振動子
の製造方法を提供することを目的とする。
磁器振動子の製造方法を改良して、あらゆる振動姿態の
圧電磁器振動子に利用でき、しかも能率的かつ経済的で
大量生産に適した、小形で特性の優れた圧電磁器振動子
の製造方法を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、電極を設けた圧電磁器基板すなわ
ち振動素子を、端子で支持する際、振動素子より大きな
外形を有する端子を用いることにより、空間形成材料が
確実に充分な量で振動素子全体を被覆するようにしたも
のである。
ち振動素子を、端子で支持する際、振動素子より大きな
外形を有する端子を用いることにより、空間形成材料が
確実に充分な量で振動素子全体を被覆するようにしたも
のである。
以下、本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
第１図において、１は圧電磁器振動素子で、チタン酸ジ
ルコン酸鉛などの圧電磁器基板１ａの両面に電極１ｂ，
１ｃが形成されてなる。
ルコン酸鉛などの圧電磁器基板１ａの両面に電極１ｂ，
１ｃが形成されてなる。
２，３は端子で、同図ｂに抽出して示すように、振動素
子１（外形を点線で示す。
子１（外形を点線で示す。
）より大きな外形を有し、中心部付近に突部２ａ ，３
ａが設けられるとともに、各辺に切り欠き２ｂ，３ｂが
設けられ、そして一隅から引き出し部２ｃ ，３ｃが延
長されている。
ａが設けられるとともに、各辺に切り欠き２ｂ，３ｂが
設けられ、そして一隅から引き出し部２ｃ ，３ｃが延
長されている。
この端子２，３の突部２ａ，３ａが振動素子、１のノー
ド点もしくはその近傍に一致するように、振動素子１が
端子２，３間で圧着挾持されている。
ド点もしくはその近傍に一致するように、振動素子１が
端子２，３間で圧着挾持されている。
４は多孔性熱硬化性絶縁樹脂層で、振動素子１全体を空
間５を介して被覆するとともに、端子２，３の周縁部を
固定している。
間５を介して被覆するとともに、端子２，３の周縁部を
固定している。
ただし、周縁部といっても切り欠き２ｂ ，３ｂの一部
分は除かれており、要するに、絶縁樹脂層４が振動素子
１に付いて振動素子１の振動を抑圧することがないよう
に、振動素子１の周囲全体に空間を設ければよい。
分は除かれており、要するに、絶縁樹脂層４が振動素子
１に付いて振動素子１の振動を抑圧することがないよう
に、振動素子１の周囲全体に空間を設ければよい。
この絶縁樹脂層４には、後で詳述するように、ワッシク
ス、パラフィン、ワセリン等の空間形成材料が含浸され
ている。
ス、パラフィン、ワセリン等の空間形成材料が含浸され
ている。
第２図は他の実施例を示す。
１０．１１は端子で、同図ｂに抽出して示すように、そ
の中心部付近に碗伏突部１０ａ，１１ａが形成され、こ
の突部１０ａ，１１ａの頂部、すなわち中央部には、そ
れぞれ孔ｉｏｂ．１ｉｂが形成されている。
の中心部付近に碗伏突部１０ａ，１１ａが形成され、こ
の突部１０ａ，１１ａの頂部、すなわち中央部には、そ
れぞれ孔ｉｏｂ．１ｉｂが形成されている。
振動素子１のノード点もしくはその近傍に孔１０ｂ，１
ｌｂが一致するように、振動素子１が端子１０，１１で
挾持されている。
ｌｂが一致するように、振動素子１が端子１０，１１で
挾持されている。
そして、孔１０ｂ， １ｌｂを通じてハンダ１２，
１３で突部１０ａ，１１ａと電極１ｂ，１ｃとがそれぞ
れ接続されている。
１３で突部１０ａ，１１ａと電極１ｂ，１ｃとがそれぞ
れ接続されている。
このようにして電極１ｂ，Ｉｃ上にそれぞれ端子１０．
１１が固定される。
１１が固定される。
他の構成は、第１図記載の実施例とほぼ同一であるから
、その説明を省略する。
、その説明を省略する。
第３図はさらに他の実施例を示す。
磁器基板１ａに設けられた電極１ｂ，Ｉｃ上には、ノー
ド点もしくはその近傍に凸部２０，２１が電極１ｂ，１
ｃと一体に形成されている。
ド点もしくはその近傍に凸部２０，２１が電極１ｂ，１
ｃと一体に形成されている。
他の構成は、第２図記載の実施例とほぼ同一であるから
、その説明を省略する。
、その説明を省略する。
次に、上記した圧電磁器振動子の種々の製造方法を説明
する。
する。
なお、説明の便宜上第３図記載のものだけについて述べ
る。
る。
（１）第４図において、圧電磁器基板１ａの両面に電極
１ｂ，１ｃを形成した振動素子１を、下部で一体に連結
された端子１０，１１ではさむ。
１ｂ，１ｃを形成した振動素子１を、下部で一体に連結
された端子１０，１１ではさむ。
このとき、振動素子１のノ一ド点もしくはその近傍の定
点である。
点である。
電極１ｂ，１ｃの凸部２０，２１に、端子１０，１１の
孔１０ｂ，１ｌｂを一致させる。
孔１０ｂ，１ｌｂを一致させる。
この端子１０．１１は、第２，３図のように、振動素子
１より大きな外形を有し、かつ各辺に切り欠き１０ｃ，
１１ｃを設けている。
１より大きな外形を有し、かつ各辺に切り欠き１０ｃ，
１１ｃを設けている。
そして、孔１０ｂ，１ｌｂにハンダ１２，１３を流し込
んで、突部１０ａ，１１ａと電極１ｂ，１ｃとをそれぞ
れ接続する。
んで、突部１０ａ，１１ａと電極１ｂ，１ｃとをそれぞ
れ接続する。
このとき、端子１０，１１の突部１０ａ，１１ａと電極
１ｂ，１ｃの凸部２０ ，２１によって、半田１２，１
３が電極１ｂ，Ｉｃ上の不要部分に流出するのを防ぐ。
１ｂ，１ｃの凸部２０ ，２１によって、半田１２，１
３が電極１ｂ，Ｉｃ上の不要部分に流出するのを防ぐ。
このようにして、電極１ｂ，１ｃ上にそれぞれ端子１０
，１１を固定する。
，１１を固定する。
この端子１０．１１が固定された振動素子１を、ワック
ス、ワセリン、パラフィンなどの空間形成材料よりなる
溶融液（溶解液であってもよい。
ス、ワセリン、パラフィンなどの空間形成材料よりなる
溶融液（溶解液であってもよい。
以下、溶融液という。
）に浸漬する。こうして端子１０，１１問および端子１
０，１１の外面にその周縁部を除いて上記空間形成材料
を付着させて、第１層３０を設ける。
０，１１の外面にその周縁部を除いて上記空間形成材料
を付着させて、第１層３０を設ける。
この１層３０は、振動素子１が端子１０．１１間に位置
されかつ端子１０，１１の外形より小さくしてあるので
、振動素子１の周囲全体を確実に被覆することになる。
されかつ端子１０，１１の外形より小さくしてあるので
、振動素子１の周囲全体を確実に被覆することになる。
次に、第１層３０を設けた振動素子１を、フェノール系
またはエボキシ系などの多孔性熱硬化性絶縁樹脂よりな
る液中に浸漬して、第１層３０の外側に第２層３１を設
ける。
またはエボキシ系などの多孔性熱硬化性絶縁樹脂よりな
る液中に浸漬して、第１層３０の外側に第２層３１を設
ける。
そして、この第２層３１を乾燥後加熱して、第１層３０
のワックスなどの材料を液化または気化させ、多孔質の
第２層３１に吸収またはその外部に放出させて、第１層
３０の部分に空間３２を形成する。
のワックスなどの材料を液化または気化させ、多孔質の
第２層３１に吸収またはその外部に放出させて、第１層
３０の部分に空間３２を形成する。
このときワックスなどの材料が第２層に吸収またはその
外部に放出されやすいように、端子ｉｏ，ｉ１にたとえ
は４つの切り欠きが設けられている。
外部に放出されやすいように、端子ｉｏ，ｉ１にたとえ
は４つの切り欠きが設けられている。
したがって、振動素子１の周囲全体に空間３２を形成で
き、かつ端子１０，１１の周縁部を第２層３１で固定で
きて、振動姿態がどのようなものであってもその振動は
伺ら抑圧されないから、所望の圧電磁器振動子が得られ
る。
き、かつ端子１０，１１の周縁部を第２層３１で固定で
きて、振動姿態がどのようなものであってもその振動は
伺ら抑圧されないから、所望の圧電磁器振動子が得られ
る。
（２）第４図において、第１層３０を、常温で粘性を有
するワックス、パラフィン、ワセリンなどの空間形成材
料よりなる溶融液に浸漬して設ける。
するワックス、パラフィン、ワセリンなどの空間形成材
料よりなる溶融液に浸漬して設ける。
この方法によれは、上記した第１の方法に比較して、第
１層３０で振動素子１の周囲全体をより確実に被覆でき
る。
１層３０で振動素子１の周囲全体をより確実に被覆でき
る。
したがって、振動素子１の振動に必要な空間が充分に確
保される。
保される。
（３）第５図は第３の製造方法を示し、４０は容器で、
この内部に多数の孔４１ａを設けた基板４１を有すると
ともに、その下部に空気を容器４０内に送り込む管４２
が設けられている。
この内部に多数の孔４１ａを設けた基板４１を有すると
ともに、その下部に空気を容器４０内に送り込む管４２
が設けられている。
この容器４０内で基板４１上に、ワックス、パラフィン
、ワセリンなどの粉末を入れる。
、ワセリンなどの粉末を入れる。
そして管４２がら空気を送って上記粉末４３を拡乱させ
る。
る。
そして、第３図で示した第１の方法と同様にして端子１
０．１１を設けた振動素子１をヒーター４４により加熱
した後、前記拡乱粉末４３中に入れる。
０．１１を設けた振動素子１をヒーター４４により加熱
した後、前記拡乱粉末４３中に入れる。
すると、振動素子１の全体に粉末４３を溶融付着させて
第１層を設ける。
第１層を設ける。
第２層を設ける工程と、空間を形成する工程とは第１の
方法と同一であるから説明を省略する。
方法と同一であるから説明を省略する。
（第４図参照）
（４）第６図は第４の製造方法を示し、５０は容器で、
噴霧口５１ａを具えた導管５１が設けられている。
噴霧口５１ａを具えた導管５１が設けられている。
この容器５０内に、ワックス、パラフィン、ワセリンな
どの空間形成材料５２を入れ４そして、噴霧口５１ａの
近傍に空気ノズル５３を配置し、この空気ノズル５３か
ら噴霧口５１ａに空気を吹きつけで、前記材料５２を霧
状に噴射させる。
どの空間形成材料５２を入れ４そして、噴霧口５１ａの
近傍に空気ノズル５３を配置し、この空気ノズル５３か
ら噴霧口５１ａに空気を吹きつけで、前記材料５２を霧
状に噴射させる。
そして、第３図で示した第１の方法と同様にして端子１
０，１１を設けた振動素字１を、前記霧伏材料５２中に
置き、振動素子１の全体に材料５２を付着させて第１層
を形成する。
０，１１を設けた振動素字１を、前記霧伏材料５２中に
置き、振動素子１の全体に材料５２を付着させて第１層
を形成する。
第２層を設ける工程と、空間を形成する工程とは第１の
方法と同一であるから説明を省略する。
方法と同一であるから説明を省略する。
（第４図参照）本発明は、以上のようなものであり、あ
らゆる振動姿態のものに利用でき、しかも能率的かつ経
済的に大量生産を行うのにきわめて有効である。
らゆる振動姿態のものに利用でき、しかも能率的かつ経
済的に大量生産を行うのにきわめて有効である。
特に、振動素子より大きな外形を有する端子を使用する
ので、振動素子の周囲全体に空間形成材料を確実に付着
でき、すなわち振動素子の周囲全体に空間を確実に設け
られる。
ので、振動素子の周囲全体に空間形成材料を確実に付着
でき、すなわち振動素子の周囲全体に空間を確実に設け
られる。
したがって、振動素子が他の部材でその振動を阻害され
ることなく、振動素子自体の本来の共振特性をそのまま
圧電磁器振動子の出力として取り出せて、特性の優れた
ものとなる。
ることなく、振動素子自体の本来の共振特性をそのまま
圧電磁器振動子の出力として取り出せて、特性の優れた
ものとなる。
第１図〜第３図はそれぞれ本発明の実施例を示す図、第
４〜６図は本発明による圧電磁器振動子を製造する方法
を示す図である。 １は圧電磁器振動素子、２および３は端子、４は多孔性
熱硬化性絶縁樹脂層、５は空間。
４〜６図は本発明による圧電磁器振動子を製造する方法
を示す図である。 １は圧電磁器振動素子、２および３は端子、４は多孔性
熱硬化性絶縁樹脂層、５は空間。
Claims (1)
- １ 圧電磁器振動素子と、この圧電磁器振動素子のノー
ド点もしくはその近傍の定点にその一部が接触する端子
とを有する圧電磁器振動子の製造方法において、圧電磁
器振動素子より大きな外形を有する端子で圧電磁器振動
素子を支持し、ついで圧電磁器振動素子全体に、ワック
ス、パラフィン、ワセリン等の空間形成材料を付着させ
、端子の一部を除いて全体に多孔性熱硬化性絶縁樹脂を
付着させ、熱によって空間形成材料を液化または気化さ
せて多孔性熱硬化性絶縁樹脂に吸収またはその外部に放
出させて、圧電磁器振動素子全体を空間を介して硬化し
た絶縁樹脂で被覆する圧電磁器振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16495080A JPS589602B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 圧電磁器振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16495080A JPS589602B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 圧電磁器振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5678214A JPS5678214A (en) | 1981-06-27 |
| JPS589602B2 true JPS589602B2 (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=15802934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16495080A Expired JPS589602B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 圧電磁器振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589602B2 (ja) |
-
1980
- 1980-11-21 JP JP16495080A patent/JPS589602B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5678214A (en) | 1981-06-27 |
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