JPS5897609A - マ−ク位置検出装置 - Google Patents
マ−ク位置検出装置Info
- Publication number
- JPS5897609A JPS5897609A JP56196568A JP19656881A JPS5897609A JP S5897609 A JPS5897609 A JP S5897609A JP 56196568 A JP56196568 A JP 56196568A JP 19656881 A JP19656881 A JP 19656881A JP S5897609 A JPS5897609 A JP S5897609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- output
- electron beam
- signal
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明−１は、位置合わせ用マークを電子ビームで走査
してマークの中心位置を検出するマーク位置検出装置の
改良に関する。
してマークの中心位置を検出するマーク位置検出装置の
改良に関する。
発明の技術的背景とその問題点
近時、半導体ウエノ・やマスク基板等の試料に微細・ナ
ターンを形成するものとして各種の電子ビーム露光装置
が用いられているが、この装置では精度嵐い露光を可能
とするため試料の高精度な位置合わせが必要となる。こ
のため、試料、カセット或いは試料台等に位置合わせ用
マークを設け、このマークを電子ビームで走査して得ら
れる反射電子、２次電子或いは吸収電子等に基づいてマ
ーク位ｆｔ−検出し、これによシ試料の位置合わせを行
うようにしている。
ターンを形成するものとして各種の電子ビーム露光装置
が用いられているが、この装置では精度嵐い露光を可能
とするため試料の高精度な位置合わせが必要となる。こ
のため、試料、カセット或いは試料台等に位置合わせ用
マークを設け、このマークを電子ビームで走査して得ら
れる反射電子、２次電子或いは吸収電子等に基づいてマ
ーク位ｆｔ−検出し、これによシ試料の位置合わせを行
うようにしている。
ところで、上記マーク位置の検出に用いられるマーク位
置検出装置として、最近法の（ＩＯ２）に示す手法を利
用したものが考案されている。
置検出装置として、最近法の（ＩＯ２）に示す手法を利
用したものが考案されている。
（１） マークからの反射電子を検出して得られるマ
ーク信号のピークと基準値とから、マーク部が２値信号
の「１」を得るよ、うなレベルでマーク信号を２値化し
、２値信号の「１」と電子ビームの走査位置とから１次
モーメントを算出してマークの中心位置を求める手法。
ーク信号のピークと基準値とから、マーク部が２値信号
の「１」を得るよ、うなレベルでマーク信号を２値化し
、２値信号の「１」と電子ビームの走査位置とから１次
モーメントを算出してマークの中心位置を求める手法。
（２） マーク信号をム／Ｄ変換して記憶回路に配憶
すると共に、ｉ数回の電子ビーム走査を行いマーク信号
のＡ／Ｄ変換値を平均加算し、ノイズ成分を除去する。
すると共に、ｉ数回の電子ビーム走査を行いマーク信号
のＡ／Ｄ変換値を平均加算し、ノイズ成分を除去する。
かくして得られたマーク波形のＰ−Ｐ値（Ｐｅａｋ ｔ
ｏ Ｐ＠ａｋ ）からスライスレベルを求め、・そのス
ライスレベル以上のマーク波形のＡ／Ｄ変換値と電子ビ
ームの走査位置とから１次モーメントを算出してマーク
の中心位置を求める手法。
ｏ Ｐ＠ａｋ ）からスライスレベルを求め、・そのス
ライスレベル以上のマーク波形のＡ／Ｄ変換値と電子ビ
ームの走査位置とから１次モーメントを算出してマーク
の中心位置を求める手法。
しかしながら、この種の手法を用いたマーク位置検出装
置にあっては次のような問題があった。すなわち、前記
第１の手法では、マーク信号の一部しか利用していない
ため、マーク中心位置の検出精度が劣る。また、前記第
２の手法では、Ａ／Ｄ変換したマーク波形を平均加算す
るために多大な時間を要し、かつそのための記憶回路が
必要となシコスト高を招く等の問題があっ′た。
置にあっては次のような問題があった。すなわち、前記
第１の手法では、マーク信号の一部しか利用していない
ため、マーク中心位置の検出精度が劣る。また、前記第
２の手法では、Ａ／Ｄ変換したマーク波形を平均加算す
るために多大な時間を要し、かつそのための記憶回路が
必要となシコスト高を招く等の問題があっ′た。
そこで本発明者等は、位置合わせ用マークを電子ビーム
で走査して得られる反射電子、２次電子或いは吸収電子
を電子検出器で検出し、この検出信号の微分波形を所定
の振幅閾値Ｘｏでスライスし、翻値Ｘｏ以上の微分波形
の時系列が所定の連続時系−閾値Ｇ・以上連続している
場所をマーク端と判定し、このときの上記検出信号の振
幅値Ｘムを記憶し、該振幅値Ｘムよシ大きな検出信号の
振幅値と電子ビームの走査位置とから１次モーメントを
算出し、この算出結果をマークの中心位置として検出す
るマーク位置検出装置を提案した。
で走査して得られる反射電子、２次電子或いは吸収電子
を電子検出器で検出し、この検出信号の微分波形を所定
の振幅閾値Ｘｏでスライスし、翻値Ｘｏ以上の微分波形
の時系列が所定の連続時系−閾値Ｇ・以上連続している
場所をマーク端と判定し、このときの上記検出信号の振
幅値Ｘムを記憶し、該振幅値Ｘムよシ大きな検出信号の
振幅値と電子ビームの走査位置とから１次モーメントを
算出し、この算出結果をマークの中心位置として検出す
るマーク位置検出装置を提案した。
この提案によれば、マーク信号全体の情報を無駄なく利
用でき、マーク中心位置の検出を精度良く行うことがで
きる。また、平均加算する必要がなく、そのためのメモ
リが不要となり、さらに平均加算のための時間も不要と
なる。しかも、電子ビーム走査と同時に計算するようＫ
しているので、マーク中心位置検出のための時間を短縮
化し得る轡の利点がある。
用でき、マーク中心位置の検出を精度良く行うことがで
きる。また、平均加算する必要がなく、そのためのメモ
リが不要となり、さらに平均加算のための時間も不要と
なる。しかも、電子ビーム走査と同時に計算するようＫ
しているので、マーク中心位置検出のための時間を短縮
化し得る轡の利点がある。
しかしながら、このような装置にあっては１次モーメン
トの計算範囲を決定するのに複雑な回路が必要となり、
装置構成の複雑化を招いた。
トの計算範囲を決定するのに複雑な回路が必要となり、
装置構成の複雑化を招いた。
また、上記計算範囲によ多位置検出用マークの中心位置
の検出精度が低ドする等の問題があった。
の検出精度が低ドする等の問題があった。
発明の目的
本発明の目的は、１次モーメントを計算する１囲を限定
する必要がなく、装置構成の簡略化およびマーク位置検
出精度の向上をはかり得るマーク位置検出装置を提供す
ることにある。
する必要がなく、装置構成の簡略化およびマーク位置検
出精度の向上をはかり得るマーク位置検出装置を提供す
ることにある。
発明の概要
本発明は、位置検出に供されるマークを電子ビームで走
査し該走査による反射電子、２次電子或いは吸収電子を
電子検出器により検出してマーク信号を得、遅延回路お
よび減算器等により上記マーク信号と該マーク信号を所
定時間Ｔだけ遅延させた遅延信号との差の絶対値を求め
、乗洒器、累積加算器および減算器等にょシ上記絶対値
と前記電子ビームの走査位置とから１次モーメントを求
め、減算器によシ上記１次モーメントから前記時間Ｔに
相当する電子ビーム走査距離の１／２１に減算してマー
クの中心位置を検出するようにしたものである。
査し該走査による反射電子、２次電子或いは吸収電子を
電子検出器により検出してマーク信号を得、遅延回路お
よび減算器等により上記マーク信号と該マーク信号を所
定時間Ｔだけ遅延させた遅延信号との差の絶対値を求め
、乗洒器、累積加算器および減算器等にょシ上記絶対値
と前記電子ビームの走査位置とから１次モーメントを求
め、減算器によシ上記１次モーメントから前記時間Ｔに
相当する電子ビーム走査距離の１／２１に減算してマー
クの中心位置を検出するようにしたものである。
発明の効果
本発明によれば、１次モーメントの計算範囲を決定する
複雑な回路を必要とすることなく。
複雑な回路を必要とすることなく。
各種の演算器を用いることでマークの中心位置を検出す
ることができる。このため、装置構成の簡略化およびマ
ーク位置検出ｎ度の向上′ｆ！−はかり得る等の効果を
奏する。
ることができる。このため、装置構成の簡略化およびマ
ーク位置検出ｎ度の向上′ｆ！−はかり得る等の効果を
奏する。
発明の実施例
第１図は本発明の一実施例の概略構成を示すブロック図
である。図中１は位置合わせ用マークであり、このマー
ク１を電子ビーム２で走査したときに得られるマーク１
からの反射電子は、反射電子検出器３にて検出される。
である。図中１は位置合わせ用マークであり、このマー
ク１を電子ビーム２で走査したときに得られるマーク１
からの反射電子は、反射電子検出器３にて検出される。
ここで、反射電子検出器３の検出信号（マーク信号）４
は、第２図に示す如く電子ビーム２がマーク１ｔ−横切
るときその振幅が大きいものとなる。マーク信号４はア
ナログ・デノタル・コンバータ（以ＦＡ／Ｄと略記する
）５に供給され、デジタル信号に変換される。そして、
この変換出力Ｘは直接減算器７に供給されると共に、遅
延回路（以下ＤＬと略記する）６に介して一定時間Ｔだ
け遅延されて上記減算器７に供給される。減算器７では
、上記ｖＤ５の変換出力ＸとＤＬ＃ｉ介した遅延信号Ｘ
′との差ｘ −ｘ’が算出される。この差出力ｘ −ｘ
’は絶対値回路８を介して減算器９に供給される。減算
器９には上記絶対値回路８の出力１ｘ−ｘ’ｌと共にノ
イズ除去のための設定値Ｐが入力されている。そして、
減算器９により絶対値出力ＩＸ−Ｘ’ｌからノイズ分が
除去された信号ａが第１の累積加算器１０および乗算器
１１に供給されるものとなっている。
は、第２図に示す如く電子ビーム２がマーク１ｔ−横切
るときその振幅が大きいものとなる。マーク信号４はア
ナログ・デノタル・コンバータ（以ＦＡ／Ｄと略記する
）５に供給され、デジタル信号に変換される。そして、
この変換出力Ｘは直接減算器７に供給されると共に、遅
延回路（以下ＤＬと略記する）６に介して一定時間Ｔだ
け遅延されて上記減算器７に供給される。減算器７では
、上記ｖＤ５の変換出力ＸとＤＬ＃ｉ介した遅延信号Ｘ
′との差ｘ −ｘ’が算出される。この差出力ｘ −ｘ
’は絶対値回路８を介して減算器９に供給される。減算
器９には上記絶対値回路８の出力１ｘ−ｘ’ｌと共にノ
イズ除去のための設定値Ｐが入力されている。そして、
減算器９により絶対値出力ＩＸ−Ｘ’ｌからノイズ分が
除去された信号ａが第１の累積加算器１０および乗算器
１１に供給されるものとなっている。
一方、電子ビームの位置を示す信号Ｘは前記乗算器Ｉノ
に供給される。乗算器１ノでは、上記信号島と信号Ｘと
が乗算され、この乗算出力、ａ’ｘは纂２の累積加算＊
ＩＸに供給される。
に供給される。乗算器１ノでは、上記信号島と信号Ｘと
が乗算され、この乗算出力、ａ’ｘは纂２の累積加算＊
ＩＸに供給される。
第２の累積加算器１２では、上記乗算出力ａ・Ｘが累積
加算される。そして、この累積加算出力Σａ”ｘは除算
器１３に供給される。筐た、第１の累積加算器１ｏでは
、前記信号ａが累積加算され、この累積加算出方Σａは
除算器１３に供給される。除算器１３では上記各累積加
算出方Σａ”ｘ 、Σａが除算され、この除算出力Σｈ
−ｘ／Ｘａは減算ａ１４に供給される。減算器１４には
、上記除算出力Σａｘ／Σａと共に、前記ＤＬ６による
遅延時間Ｔに相当するビーム移動距離ｔｏ軸に相当する
設定値Ｑが入力されている。そして、この減算器１４に
ょシΣａ−ｘ／Σａ −ｔ／２が求められ、マーク１の
中心位置が検出されるものとなっている。
加算される。そして、この累積加算出力Σａ”ｘは除算
器１３に供給される。筐た、第１の累積加算器１ｏでは
、前記信号ａが累積加算され、この累積加算出方Σａは
除算器１３に供給される。除算器１３では上記各累積加
算出方Σａ”ｘ 、Σａが除算され、この除算出力Σｈ
−ｘ／Ｘａは減算ａ１４に供給される。減算器１４には
、上記除算出力Σａｘ／Σａと共に、前記ＤＬ６による
遅延時間Ｔに相当するビーム移動距離ｔｏ軸に相当する
設定値Ｑが入力されている。そして、この減算器１４に
ょシΣａ−ｘ／Σａ −ｔ／２が求められ、マーク１の
中心位置が検出されるものとなっている。
このように構成された本装置の作用について第３図（−
〜（ｆ） を適時参照して説明する。
〜（ｆ） を適時参照して説明する。
まず、第３図（−に示す如きマークｌを電子ビーム２で
走査したときに得られるマーク信号はＡ／Ｉ） Ｊにょ
クアナログ・ｒノタル変換すれ、この変換出力Ｘは同図
（ｂ）に示す如くなる。また、この変換出方ＸをＤＬ−
にょル遅延させることによシ第３図（、）に示す如ｔａ
蝙出カＸ′が得られる。し次がって、減算器７の出力ｘ
−ｘ’は第３図（ｄ）に示す如くなる。この出力ｘ−
ｘ’が絶対値回路８に供給されると該出力の負成分が反
転されるので、絶対値回路８の出力１ｘ−ｘ’ｌは第４
図（ｅ）に示す如くなる。絶対値出力１ｘ−ｘ’１が減
算器９に供給される。その雑音成分（設定１直Ｐより小
さな成分）が除去される。このためｄＬ簾器９の出力畠
は第３図（ｆ）に示す如くなる。
走査したときに得られるマーク信号はＡ／Ｉ） Ｊにょ
クアナログ・ｒノタル変換すれ、この変換出力Ｘは同図
（ｂ）に示す如くなる。また、この変換出方ＸをＤＬ−
にょル遅延させることによシ第３図（、）に示す如ｔａ
蝙出カＸ′が得られる。し次がって、減算器７の出力ｘ
−ｘ’は第３図（ｄ）に示す如くなる。この出力ｘ−
ｘ’が絶対値回路８に供給されると該出力の負成分が反
転されるので、絶対値回路８の出力１ｘ−ｘ’ｌは第４
図（ｅ）に示す如くなる。絶対値出力１ｘ−ｘ’１が減
算器９に供給される。その雑音成分（設定１直Ｐより小
さな成分）が除去される。このためｄＬ簾器９の出力畠
は第３図（ｆ）に示す如くなる。
そして、この出力ａと前記ビーム位置との関係から、的
記累積加算器１０．１２、乗算＠１１および除算器１３
により１次モーメントが求められる。この１次モーメン
トは前記出力ａが変換出力Ｘと遅延出力Ｘ′との差に基
づいているため、マーク１の中心位置より鍵記遅嬌時間
Ｔに相当するビーム移動距１１１ｔのｉだけ進んでいる
。したがって、減算器１４の出力Σａ’ｘ／’Σ、
ｔ ／ ２はマーク１の中心位置を示すことになる。
記累積加算器１０．１２、乗算＠１１および除算器１３
により１次モーメントが求められる。この１次モーメン
トは前記出力ａが変換出力Ｘと遅延出力Ｘ′との差に基
づいているため、マーク１の中心位置より鍵記遅嬌時間
Ｔに相当するビーム移動距１１１ｔのｉだけ進んでいる
。したがって、減算器１４の出力Σａ’ｘ／’Σ、
ｔ ／ ２はマーク１の中心位置を示すことになる。
かくして本装置によれは、マーク１の中心位置検出を、
マーク信号全体の情報を無駄なく利用して行うことがで
きる。しかも、１次モーメントの計算範囲を決定する複
雑な回路を必要とすることなく、各種の演算器を用いる
ことでマークの中心位ｔを検出することができる。この
ため、装置構成の簡略化および位置検出の高精度化をは
かシ得る。また、電子ビームの走査と同時に各種演算を
行うようにしているので、位置検出に要する時間を＠ｌ
縮化することができる。
マーク信号全体の情報を無駄なく利用して行うことがで
きる。しかも、１次モーメントの計算範囲を決定する複
雑な回路を必要とすることなく、各種の演算器を用いる
ことでマークの中心位ｔを検出することができる。この
ため、装置構成の簡略化および位置検出の高精度化をは
かシ得る。また、電子ビームの走査と同時に各種演算を
行うようにしているので、位置検出に要する時間を＠ｌ
縮化することができる。
さらに、平均加算を行う必要がないため、そのためのメ
モリが不要とな９コスト高を招くこともない。
モリが不要とな９コスト高を招くこともない。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。例えば、前記反射電子検出器の代りには、マークを
電子ビームで走査したときに得られる吸収電子或いは２
次電子を検出するものを用いてもよい。さらに、電子ビ
ームの代りに光ビームを用いることも可能である。ただ
し、この場合電子検出器の代りに光検出器を用いる必要
がある。また、前記１次モーメントΣ＠ １１ Ｘ ／
Σ１から減算する設定値ｔ／２ Ｆｉマーク信号が重心
に対して対称の場合に適用される本のであり、マーク信
号が重心に対し非対称の場合は多少の補正が必要である
。さらに、前記遅娩時間Ｔをマーク波形の連続時間より
長くすることも可能である。その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
い。例えば、前記反射電子検出器の代りには、マークを
電子ビームで走査したときに得られる吸収電子或いは２
次電子を検出するものを用いてもよい。さらに、電子ビ
ームの代りに光ビームを用いることも可能である。ただ
し、この場合電子検出器の代りに光検出器を用いる必要
がある。また、前記１次モーメントΣ＠ １１ Ｘ ／
Σ１から減算する設定値ｔ／２ Ｆｉマーク信号が重心
に対して対称の場合に適用される本のであり、マーク信
号が重心に対し非対称の場合は多少の補正が必要である
。さらに、前記遅娩時間Ｔをマーク波形の連続時間より
長くすることも可能である。その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
第１図は本発明の一実施例の概略構成を示すブロック図
、第２図は上記実施例に係わる電子ビーム走査とマーク
波形との関係を示す図、第３図（、）〜（ｆ）は上記実
施例の作用を説明するための図である。 １・・・マーク、２・・・電子ビーム、３・・・反射電
子検出器、４・・・マーク信号、５・・・アナログ・デ
ジタル。コンバータ（Ａ／Ｄ）、６・・・達観回路（Ｄ
Ｌ）、７，９．１４・・・減算器、８・・・絶対値回路
、１０．１２・・・累積加算器、１１・・・乗算器、１
３・・・除算器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１Ｒ１図 第２１！＋１ ：；４ −ｆ■二 第３図
、第２図は上記実施例に係わる電子ビーム走査とマーク
波形との関係を示す図、第３図（、）〜（ｆ）は上記実
施例の作用を説明するための図である。 １・・・マーク、２・・・電子ビーム、３・・・反射電
子検出器、４・・・マーク信号、５・・・アナログ・デ
ジタル。コンバータ（Ａ／Ｄ）、６・・・達観回路（Ｄ
Ｌ）、７，９．１４・・・減算器、８・・・絶対値回路
、１０．１２・・・累積加算器、１１・・・乗算器、１
３・・・除算器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１Ｒ１図 第２１！＋１ ：；４ −ｆ■二 第３図
Claims (1)
- 位置検出に供されるマークを電子ビームで走査し該走査
による反射電子、２次電子或いは吸収電子を検出してマ
ーク信号を得る手段と、上記マーク信号と該マーク信号
を所定時間Ｔだけ遅延させた遅延信号との差の絶対値を
求める手段と、上記絶対値と前記電子ビームの走査位置
とから１次モーメントを求める手段と、上記１次モーメ
ントから前記時間Ｔに相当する電子ピー工走査距離の１
／２を減算する手段とを具備してなることを特徴とする
マーク位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196568A JPS5897609A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | マ−ク位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196568A JPS5897609A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | マ−ク位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897609A true JPS5897609A (ja) | 1983-06-10 |
| JPH029281B2 JPH029281B2 (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16359896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56196568A Granted JPS5897609A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | マ−ク位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897609A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63178523A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-22 | Toshiba Corp | 自動焦点合わせ方法 |
-
1981
- 1981-12-07 JP JP56196568A patent/JPS5897609A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63178523A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-22 | Toshiba Corp | 自動焦点合わせ方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029281B2 (ja) | 1990-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS639807A (ja) | 膜厚測定方法およびその装置 | |
| JP4215220B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
| JPS5897609A (ja) | マ−ク位置検出装置 | |
| JPS631918A (ja) | 距離検出装置 | |
| JPH11142109A (ja) | ３次元計測装置、及び３次元計測方法 | |
| JPS5972134A (ja) | パタ−ン検出装置 | |
| JPH0399207A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPS61290313A (ja) | 立体形状測定装置 | |
| JPH041494B2 (ja) | ||
| JPH10281743A (ja) | 共焦点光学装置及び該装置の合焦位置算定方法 | |
| JP3479515B2 (ja) | 変位測定装置および方法 | |
| JPS6262208A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
| JPS58223326A (ja) | マ−ク幅測定装置 | |
| JPH08145623A (ja) | 変位測定装置 | |
| JP3526724B2 (ja) | 形状測定装置における誤差補正方法 | |
| JPS6478206A (en) | Detecting method for defocusing quantity | |
| JPS61225604A (ja) | 寸法測定方法 | |
| JP2000292127A (ja) | 物体形状測定方法 | |
| JPH04274711A (ja) | 荷電ビームを用いたパターン寸法測定方法 | |
| JPH01113608A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH05248830A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPS62298705A (ja) | リニアセンサ光源制御方式 | |
| JPH07280514A (ja) | 変位計 | |
| JPS61118606A (ja) | 光学式寸法測定機 | |
| JPH05167129A (ja) | 画像処理によるレーザスポットの中心算出方法 |