JPS59100549A - ウエハ−移し替え装置 - Google Patents
ウエハ−移し替え装置Info
- Publication number
- JPS59100549A JPS59100549A JP57210337A JP21033782A JPS59100549A JP S59100549 A JPS59100549 A JP S59100549A JP 57210337 A JP57210337 A JP 57210337A JP 21033782 A JP21033782 A JP 21033782A JP S59100549 A JPS59100549 A JP S59100549A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- carrier
- wafer
- wafers
- elevator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は半導体クエハーの製造工程において、クエハー
を処理する条件に適したボートに、キャリアからクエハ
ーを自動的に移し替える装置に利用される。
を処理する条件に適したボートに、キャリアからクエハ
ーを自動的に移し替える装置に利用される。
口、従来技術
半導体クエハーはその製造工程において薬液処理、熱処
理、エツチング処理、或いは洗浄処理等が施こされる。
理、エツチング処理、或いは洗浄処理等が施こされる。
これらの処理に際して半導体クエハーはテフロン等の耐
薬品性材料から製作されたキャリアに収納されて搬送さ
れ、又、石英等の耐熱性材料で製作されたボート内に収
納されて熱拡散処理等が行われる。
薬品性材料から製作されたキャリアに収納されて搬送さ
れ、又、石英等の耐熱性材料で製作されたボート内に収
納されて熱拡散処理等が行われる。
従って、半導体クエハーの製造工程においてキャリア、
ボート間のクエハーの移し替え作業は必要不可欠なもの
であるが、このようなりエバーの移し替え作業をピッチ
の異なるキャリア、ボート間で自動的に行う場合、従来
、真空吸着等によりクエハーを一度チャックし、移し替
えを行う方式が採用されている。しかし、この方式の場
合、チャックミスによるクエハーの落下、破損の危険性
、吸着パッドの材質による不純物の拡散等の問題点があ
る。又、ピッチの同じキャリア、ボート間のクエハー移
し替え作業けボートをキャリアに重ねて移し替えること
が出来るが、ショックによりウェハーの欠ける場合があ
る。
ボート間のクエハーの移し替え作業は必要不可欠なもの
であるが、このようなりエバーの移し替え作業をピッチ
の異なるキャリア、ボート間で自動的に行う場合、従来
、真空吸着等によりクエハーを一度チャックし、移し替
えを行う方式が採用されている。しかし、この方式の場
合、チャックミスによるクエハーの落下、破損の危険性
、吸着パッドの材質による不純物の拡散等の問題点があ
る。又、ピッチの同じキャリア、ボート間のクエハー移
し替え作業けボートをキャリアに重ねて移し替えること
が出来るが、ショックによりウェハーの欠ける場合があ
る。
更に、これらの移し替え作業においてボートを手で持つ
ことは出来ないため、第１因に示すようなホールド治具
でボートは支えられ、加熱炉％・−に鼎に（れる。
ことは出来ないため、第１因に示すようなホールド治具
でボートは支えられ、加熱炉％・−に鼎に（れる。
ハ０発り“ｊの目的
木発り］に保るクエハー移し替え装置はベルト搬送方式
でウェハーを移し替えることによシ、装置の小型化とボ
ートの交換作業の容易さを考慮したものである。
でウェハーを移し替えることによシ、装置の小型化とボ
ートの交換作業の容易さを考慮したものである。
二０発明の構成
木究り−ＪＫ保るクエハー移し替え装置（ｄ平行に配設
された複数のウェハー収納段を有するキャリアの載置台
をピッチ送りするエレベータ−と、平行に刻まれた複数
のウェハー収納溝を有し加熱炉に搬送・収容される拡散
用ポートをピンチ送りするエレベータ−と、前記２台の
エレベータ−の間に配設されるウェハー移送用無端搬送
機構と、ボートの傾斜角度をフェノ・−搬送時とポート
収シ外し時に変えられるようにウェハー移送方向を含む
鉛直面内で前記ボートの載置台を多段階回動させる機構
とから成る。
された複数のウェハー収納段を有するキャリアの載置台
をピッチ送りするエレベータ−と、平行に刻まれた複数
のウェハー収納溝を有し加熱炉に搬送・収容される拡散
用ポートをピンチ送りするエレベータ−と、前記２台の
エレベータ−の間に配設されるウェハー移送用無端搬送
機構と、ボートの傾斜角度をフェノ・−搬送時とポート
収シ外し時に変えられるようにウェハー移送方向を含む
鉛直面内で前記ボートの載置台を多段階回動させる機構
とから成る。
実施例
第２図は本発明の実施例の基本構成を示す概略図である
。第２図に示すように本発明に係るクエハー移し替え装
置［１）はフェノ・−＋２１を収納して搬送するキャリ
ア（３）から拡散用ボート（４）へ無端搬送機構（５）
によシクエハー（２）を自動的に移し替えるものである
。この時、ボート（４）はウェハー（２）の収容部が無
端搬送機構（５）に対向するように鉛直に立てられるが
、通常その形状のため鉛直方向に立てると第１因に示す
ホールド治具からの脱落の危険性がある。しかし、ボー
ト（４）を第２図のように傾斜させた場合はキャリア（
３）とボー ト＋４１の間隔が傾斜角度を大きくするに
伴い広ぐなるだめ、装置＋１１の寸法が大きくなシ、現
在の半導体ウェハー製造現場スペースに導入する隙の問
題点となってくる。そのため、装置（１）の４、’ｉ’
ｌ、Ｄ’Ｌ手段として第３図に示すようにキャリア（３
）からボート（４）ヘクエノ・−（２）の移し替え時に
は、ボート（４，の鉛直方向に対する傾斜角度（θ０）
を、の交換作業を行う際にはボート（４）の傾斜角度（
θ０）を大きくシ（θ＝３５°）、容易にボート（４）
の交換作業が行えるようにする。このようにすれば、ボ
ート（４）の脱落等の危険性をなくして、装置（１）を
小型化することが出来る。
。第２図に示すように本発明に係るクエハー移し替え装
置［１）はフェノ・−＋２１を収納して搬送するキャリ
ア（３）から拡散用ボート（４）へ無端搬送機構（５）
によシクエハー（２）を自動的に移し替えるものである
。この時、ボート（４）はウェハー（２）の収容部が無
端搬送機構（５）に対向するように鉛直に立てられるが
、通常その形状のため鉛直方向に立てると第１因に示す
ホールド治具からの脱落の危険性がある。しかし、ボー
ト（４）を第２図のように傾斜させた場合はキャリア（
３）とボー ト＋４１の間隔が傾斜角度を大きくするに
伴い広ぐなるだめ、装置＋１１の寸法が大きくなシ、現
在の半導体ウェハー製造現場スペースに導入する隙の問
題点となってくる。そのため、装置（１）の４、’ｉ’
ｌ、Ｄ’Ｌ手段として第３図に示すようにキャリア（３
）からボート（４）ヘクエノ・−（２）の移し替え時に
は、ボート（４，の鉛直方向に対する傾斜角度（θ０）
を、の交換作業を行う際にはボート（４）の傾斜角度（
θ０）を大きくシ（θ＝３５°）、容易にボート（４）
の交換作業が行えるようにする。このようにすれば、ボ
ート（４）の脱落等の危険性をなくして、装置（１）を
小型化することが出来る。
即ち、本発明に係るクエ／・−移し替え装置＋１１にお
いて、ウェハー（２）を収納して搬送されて来たキャリ
ア（３）は第５図に示すキャリアの載置台（６）に載面
される。そして、キャリアの載置台（６）がキャリア（
３）の収納段の／ピンチ分ずつピッチ送りするエレベー
タ−１７）によって降下し、収納されているウェハー（
２］が前記無端搬送機構（”ｌに到達して例えは第ｇ図
に示す高さ検出器（９）がウェハー（２）の位置を検知
した時、エレベータ（７）は停止し、ウェハー（２）は
キャリア（３）から無端搬送機構（５）に移る。ここで
、無端搬送機構（５）はダシ２図に示すように／対の０
リング１８） （８！をプーリー等に張架し、プーリー
等をモーターで回転駆動させるものであり、ウェハー（
２） ｈ ／対の０リング（３）（８）に載ってポーｌ
ｉｔで移送される。この時、無端搬送機構（６）は複数
組の／対の０リング＋８７１８．ｌで構成され、第７図
の場合、３組の／対の０リング［８） １８）で構成さ
れる。そして、ボート（４）付近の０リング（８１（８
）はウェハー（２）がボート（４）の収容溝に入シ易い
ように水平よりやや下方に傾斜している。又、キャリア
（３）に収納されているウェハー（２）の高さ検出器（
９）は、例えば第に図に示すように一端に凸部（９１を
形成し水平よシ上方に向けて設定されるものである。そ
して、クエ／−−［２１が下降して来て凸部（９１に到
達した時、高さ検出器（９）は支点（９）を中心に回転
するが、この高さ検出器（９）の回転を検知すれば、フ
ェノ−−１２１の下降位置も検知されることにガる０ このようにして、フェノ・＝（２）は順次、ボート（４
）まで移送されて行く。即ち、ボート（４）は、例えは
第２図に示すようにフェノ・−収納溝（１ｃｉを刻んだ
３木の棒状体（ｌＯ）を並列に並べ、それらの端部が二
等辺三角形の各頂点に位置するように配ｌＩ″ｉシた後
、各棒状体（ｌｏｊを２つの飼方体（Ｉｌｌ （１りの
間に架設したものであり、このようなボート（４）は第
２図に示すボートの載置台θ匂に載置される。
いて、ウェハー（２）を収納して搬送されて来たキャリ
ア（３）は第５図に示すキャリアの載置台（６）に載面
される。そして、キャリアの載置台（６）がキャリア（
３）の収納段の／ピンチ分ずつピッチ送りするエレベー
タ−１７）によって降下し、収納されているウェハー（
２］が前記無端搬送機構（”ｌに到達して例えは第ｇ図
に示す高さ検出器（９）がウェハー（２）の位置を検知
した時、エレベータ（７）は停止し、ウェハー（２）は
キャリア（３）から無端搬送機構（５）に移る。ここで
、無端搬送機構（５）はダシ２図に示すように／対の０
リング１８） （８！をプーリー等に張架し、プーリー
等をモーターで回転駆動させるものであり、ウェハー（
２） ｈ ／対の０リング（３）（８）に載ってポーｌ
ｉｔで移送される。この時、無端搬送機構（６）は複数
組の／対の０リング＋８７１８．ｌで構成され、第７図
の場合、３組の／対の０リング［８） １８）で構成さ
れる。そして、ボート（４）付近の０リング（８１（８
）はウェハー（２）がボート（４）の収容溝に入シ易い
ように水平よりやや下方に傾斜している。又、キャリア
（３）に収納されているウェハー（２）の高さ検出器（
９）は、例えば第に図に示すように一端に凸部（９１を
形成し水平よシ上方に向けて設定されるものである。そ
して、クエ／−−［２１が下降して来て凸部（９１に到
達した時、高さ検出器（９）は支点（９）を中心に回転
するが、この高さ検出器（９）の回転を検知すれば、フ
ェノ−−１２１の下降位置も検知されることにガる０ このようにして、フェノ・＝（２）は順次、ボート（４
）まで移送されて行く。即ち、ボート（４）は、例えは
第２図に示すようにフェノ・−収納溝（１ｃｉを刻んだ
３木の棒状体（ｌＯ）を並列に並べ、それらの端部が二
等辺三角形の各頂点に位置するように配ｌＩ″ｉシた後
、各棒状体（ｌｏｊを２つの飼方体（Ｉｌｌ （１りの
間に架設したものであり、このようなボート（４）は第
２図に示すボートの載置台θ匂に載置される。
そして、第２図と第２図においてボートの載置台（１２
）の回動機イ苛が示される。即ち１、載置台（１２）は
ボルト０３）に固定されるが、ボルトα３）はボルト（
１（１）によってフオーム歯車（＋５）の軸α６）と結
合される。
）の回動機イ苛が示される。即ち１、載置台（１２）は
ボルト０３）に固定されるが、ボルトα３）はボルト（
１（１）によってフオーム歯車（＋５）の軸α６）と結
合される。
従ってフオーム歯車（１５）が回動すると、ボルト０３
）はフオーム歯車１ｉＩＩ！Ｉ（＋５）を中心にして、
ボルトα３）とフオーム歯車軸（１５）の間の距離を半
径とする円を描き、同時に載置台（＋２］もフオーム歯
車軸（１５）を中心にして回動する。この時、フオーム
歯車軸ｏｒ、’＋は昇降台（川に固定されている昇降板
θηに収シ付けられていて、昇降台（１６）と共に上下
する。又、ポル）＋１３１は第２図に示すように昇降板
θ力に設けられている楕円状の孔（＋７５を通シ、楕円
状の孔ｏ４内を回動する。更に、フオーム歯車軸（１５
５にはその回法数から昇降台０６）の高さを検知する検
出器（１８）の回転板（１８）が同軸にＫｙ、シ付けら
れている。そして、検出器（１８）は昇降板０７）に固
定されている基板（１９）に取り付けられるが、昇降板
（１７）にｄ：フオーム（２Ｄ）を回転屈動させるモー
ター（２］）も取シ付けられておシ、昇降台（１６）と
共に昇降する。即ち、第２図に示すようにフオーム（２
０）はモーター（２］）からベルト（２功によって回転
を伝達される。そして、昇降台（１Ｇ）は内部ねじエレ
ベータ−１即ちシャツ） （２：３）の回転によ！ｌｌ
「ねじ案内」で上下する。
）はフオーム歯車１ｉＩＩ！Ｉ（＋５）を中心にして、
ボルトα３）とフオーム歯車軸（１５）の間の距離を半
径とする円を描き、同時に載置台（＋２］もフオーム歯
車軸（１５）を中心にして回動する。この時、フオーム
歯車軸ｏｒ、’＋は昇降台（川に固定されている昇降板
θηに収シ付けられていて、昇降台（１６）と共に上下
する。又、ポル）＋１３１は第２図に示すように昇降板
θ力に設けられている楕円状の孔（＋７５を通シ、楕円
状の孔ｏ４内を回動する。更に、フオーム歯車軸（１５
５にはその回法数から昇降台０６）の高さを検知する検
出器（１８）の回転板（１８）が同軸にＫｙ、シ付けら
れている。そして、検出器（１８）は昇降板０７）に固
定されている基板（１９）に取り付けられるが、昇降板
（１７）にｄ：フオーム（２Ｄ）を回転屈動させるモー
ター（２］）も取シ付けられておシ、昇降台（１６）と
共に昇降する。即ち、第２図に示すようにフオーム（２
０）はモーター（２］）からベルト（２功によって回転
を伝達される。そして、昇降台（１Ｇ）は内部ねじエレ
ベータ−１即ちシャツ） （２：３）の回転によ！ｌｌ
「ねじ案内」で上下する。
このようにして、ボートの載置台（１匂は昇降板α′υ
上の楕円上の孔（１７）内を回動するボルトα匈に固定
されて、鉛直方向に対しｊｏからＪ′５°まで回動する
。そして、クエハー（２）の移し替え時にはボートの載
置台α匂を鉛直方向に幻し、５°に設定し、ボート（４
）の交換時には載置台０２）を３５０まで回動させる。
上の楕円上の孔（１７）内を回動するボルトα匈に固定
されて、鉛直方向に対しｊｏからＪ′５°まで回動する
。そして、クエハー（２）の移し替え時にはボートの載
置台α匂を鉛直方向に幻し、５°に設定し、ボート（４
）の交換時には載置台０２）を３５０まで回動させる。
へ０発明の効果
本発明によれば、半導体クエハーを搬送用キャリアから
拡散用ボートまでベルト搬送方式で移し替えるようにし
たので、装面寸法が小型化され、現在の半導体フェノ・
−装造現場スペースに連合する。しかも、拡散用ボート
のＧ１１台の傾斜角度を、フェノ・−の移し替え時とボ
ートの交換時にそれぞれ変えられるようにしたから、ボ
ートの交換作業も容易となる。
拡散用ボートまでベルト搬送方式で移し替えるようにし
たので、装面寸法が小型化され、現在の半導体フェノ・
−装造現場スペースに連合する。しかも、拡散用ボート
のＧ１１台の傾斜角度を、フェノ・−の移し替え時とボ
ートの交換時にそれぞれ変えられるようにしたから、ボ
ートの交換作業も容易となる。
ｇ４Ｓ ／図は拡散用ボートのホールド治具の４要略図
、第２図は本発明に係るクエハー移し替え装置の基本構
成を示す概略図、第３図は本発明に係るクエハー移し替
え装置の基本動作を示す概略図、第７図は本発明に係る
フェノ・−移し替え装置の実施例の平面概略図で、第５
図はその側面概略図、第２図は搬送用キャリアに収納さ
れているクエハーの位置検出器の概略図、第２図は拡散
用ボードの斜視図、第２図は本発明に係るクエハー移し
替え装置のボートの載置台の回ｌＩノｊ機構の正面図で
、第２図はその側面図である（１）・・クエハー移し替
え装置、（２）・・半導体クエハー、（３）・・キャリ
ア、（４）・・ボート、（５）・・無端搬送機構、（６
）・・キャリアの載置台、（７）−・キャリア用エレベ
ータ−１（８）・・無端搬送機構の０リング、００ｒ・
・ボートのフェノ・−収納溝、０匂・・ボートの載置台
、（＋５）φ・ボートの載り台を回動させるフオーム歯
車、Ｃ”）・・フオーム、（２１）・・モーター、（ロ
）・・フオームにモーターの回転を伝えるベルト、（財
）・・昇降台を上下させるシャフト。 簸 １ 図 給 ８ 図
、第２図は本発明に係るクエハー移し替え装置の基本構
成を示す概略図、第３図は本発明に係るクエハー移し替
え装置の基本動作を示す概略図、第７図は本発明に係る
フェノ・−移し替え装置の実施例の平面概略図で、第５
図はその側面概略図、第２図は搬送用キャリアに収納さ
れているクエハーの位置検出器の概略図、第２図は拡散
用ボードの斜視図、第２図は本発明に係るクエハー移し
替え装置のボートの載置台の回ｌＩノｊ機構の正面図で
、第２図はその側面図である（１）・・クエハー移し替
え装置、（２）・・半導体クエハー、（３）・・キャリ
ア、（４）・・ボート、（５）・・無端搬送機構、（６
）・・キャリアの載置台、（７）−・キャリア用エレベ
ータ−１（８）・・無端搬送機構の０リング、００ｒ・
・ボートのフェノ・−収納溝、０匂・・ボートの載置台
、（＋５）φ・ボートの載り台を回動させるフオーム歯
車、Ｃ”）・・フオーム、（２１）・・モーター、（ロ
）・・フオームにモーターの回転を伝えるベルト、（財
）・・昇降台を上下させるシャフト。 簸 １ 図 給 ８ 図
Claims (1)
- （１） 平行に配設された枚数のクエハー収納段を消
するキャリアの載置台をピッチ送りするエレベータ−と
、平行に刻まれｆｃ複故のクエハー収納？１１７ｊを有
するボートをピンチ送シするエレベータ−と、前記２台
のエレベータ−の間に配設されるウェハー移送用無端搬
送機構と、ウェハー搬送時とボート取り外し時とにおい
てボートの傾斜角度を変えるようにクエハー移送方向を
含む鉛直面内で前記ボートの載置台を多段階回動させる
機構とから成ることを特徴とするクエハー移し替え装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57210337A JPS59100549A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | ウエハ−移し替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57210337A JPS59100549A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | ウエハ−移し替え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59100549A true JPS59100549A (ja) | 1984-06-09 |
Family
ID=16587737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57210337A Pending JPS59100549A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | ウエハ−移し替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59100549A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62130534A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-12 | Deisuko Saiyaa Japan:Kk | 縦型ウエ−ハ処理装置のためのウエ−ハ搬送装置 |
| JPS6324615A (ja) * | 1986-05-16 | 1988-02-02 | シリコン・バレイ・グル−プ・インコ−ポレイテッド | ウェーハ移送方法及び装置 |
| JPS6422719A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Sanyo Electric Co | Substrate carrier |
| JPH05137832A (ja) * | 1991-10-19 | 1993-06-01 | Sankyo Kk | 弾球遊技機 |
| JPH05137833A (ja) * | 1991-10-19 | 1993-06-01 | Sankyo Kk | 弾球遊技機 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5475272A (en) * | 1977-11-07 | 1979-06-15 | Kasper Instruments | Semiconductor wafer carrier |
| JPS5943540A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ウエハ収納カセツトの搬送装置 |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP57210337A patent/JPS59100549A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5475272A (en) * | 1977-11-07 | 1979-06-15 | Kasper Instruments | Semiconductor wafer carrier |
| JPS5943540A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ウエハ収納カセツトの搬送装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62130534A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-12 | Deisuko Saiyaa Japan:Kk | 縦型ウエ−ハ処理装置のためのウエ−ハ搬送装置 |
| JPS6324615A (ja) * | 1986-05-16 | 1988-02-02 | シリコン・バレイ・グル−プ・インコ−ポレイテッド | ウェーハ移送方法及び装置 |
| JPS6422719A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Sanyo Electric Co | Substrate carrier |
| JPH05137832A (ja) * | 1991-10-19 | 1993-06-01 | Sankyo Kk | 弾球遊技機 |
| JPH05137833A (ja) * | 1991-10-19 | 1993-06-01 | Sankyo Kk | 弾球遊技機 |
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