JPS5943540A - ウエハ収納カセツトの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

この発明は半導体、ガラス板、セラミック扱、プリント
基板などの薄板材（以後ウェハと称する。）の収納カセ
ットの搬送似、１１」゛にｔＷ＋するものである。 ウェハに金橋博牌の蒸着、フォトレジストの塗布、ベー
キング、露光、現像、エツチング、洗浄および剥膜など
の各処理がｌｌ、’＋’ｉ次Ｍ１ｊされて、／Ｃとえば
フ１）積回路の製作工程が迫めらハ２るのであるが、こ
ｔＬらの処理を行う成ＨＩ）装置ン“ゎ、フォトレジス
ト塗布装置などにウェハを送りこむに当ってｔ；

【、第
１図に示ずようなウェハ収納カセ・ノドにウェハを槓ノ
曽し、このウェハが収＾釣さｉ′１．たカセットを人手
で搬送し、前記各々ル理装置ルのカセット載置台上にセ
ットし、そのハンドリング機構′；によりウニ・・を１
枚ずつＩ楳り出すようにマｘｉ’ｔている。 ウェハ収拍カセ・フト財Ｉは、内面に多数個σ唇１ｊ１
１（１））か一定ピツチにて水平に刻ｉｉ’；ヒを几た
側板叫を、１、ｌｌｊに・、１８部＋１（１ｊ・介［７
て対向結合してＩｉ’ｉ成さｔ上、前：；ｊ：　ｆｒ　
ｉ’ｉ’■Ｃｌ１ｌ　ｋにウェハ時がその１ｙ１ｈ　ｉ
・二ρ部を１１．シて収納さｆ’Ｌるのであるが、この
収１’ｊ’ｌのためには、たとメ−ばカセット（１（す
合一角形ＩＪＪ欠６ｉｉを有するテーブルリフターしく
′セットし、１力ＩのリングベルトからなるコンベーＶ
を第１１ン１の矢印方向から前記角形切欠部匠柿入する
ように設け、とのコンベーヤをイ゛のゼ）′、送向が最
−ヒ段の尚（１１）の中心面に一致するよう、前ハ１４
テーブルリフターＶこよってカセット曲をＩＪ　’Ｔ−
させておいてから前２；ｌ）コンベヤによってつ１１−
ハ１１．ヤを送りとみ、最」Ｌ段の的０υ（〆（受は渡
１２、ついて（′ｉ゛・’ｆ（ＩＩＩのヒ゛・ソチ分だ
け［）１丁記テーフ゛ルリフターイト十列゛させ、ｎｉ
ｌ記同（十にコンベヤから送らｉＬでくるつ？Ｓ゛のウ
ニハリ；′９を一ヒから２ｒ・２目の６１１、（［Ｉ）
に・長け（＋）！’、−Ｊ゛といった６山イ乍を繰り髪
スすことによって７４；　Ｅｌｌ（の（山θυにウェハ
Ｏｊをそ〕′１．に手を触ｙすることな［２に収納する
方法がとられている。セしてウェハ（１，９がカセット
リ（警の各ｉ′７１イ（ｌｖに受は渡しさ１’Ｌる除ぞ
のオーバランをに％ノｊ・止」るどともに、ウェハ（１
；豪をＪｌ）・面方向しζ対１７てｆｉ！Ｉ　？ｕ　’
バー列杯−げるため、カセットｆ］（Ｊ　”：ａ：第１
しｊの中間１９′）１シイ１．’７．６’７の（′１１
Ｊ（１１）してそって（１月ｊＪ−（１−１士力からみ
た１（１「面１ソ１に゛丑２し１）に示さノ′えるよう
に、各！ｉｌｌ　他ｏ：ａ　Ｋ　ストソバビ、７　（■
４（が各（Ｉ’Ｉ’　Ｌｌｌ）ｆ　；ｌ拙してｉ１１’
　Ｌ込せフｉ、ていＺ）。 −またウェハＱ、−を・このカセヮ＋−ＵｔＳから取り
出す（では、前記しだ収拍時におけど、動作を逆方向に
行えばよい。いず）１．　（ｌζしてもカセ７１−を＋
３１１ｇ己し〜／こウェハの各処理装置のカセットＩ！
ｌｌ＋、髄台にセットずｎ、ば、ウェハの収納ηらびに
小（り出し２けｉ３ｉ＋ＡＩ−：　した；；・ＩＩ作捷
〕ξはこ１１、とり１１但の四１作を行うハンドリング
わ（叫ｐｉ　Ｖｃよって［］！１・ＩＪ的に１−１わノ
■るようにさＩＶでいるのであるが、ウェハ収％’、（
１１カセット００七ス１．自体の前記各処！！１！装置
ｊ’Ｘ間における１久込はセ℃来主として人手で行わ）
１．ている。そのために搬送時にウェハに被服などから
のゴミやホコリ等の静物が付着１〜やすく、ときにはカ
セットからウェハをンｈ下させることがあり、ウェハを
々下坏せずとも、前日己ストワバヒ゛ンより−ｉ１方に
ウェハを−４べり出させ、このプＪ−ヒッｌ”；３１１
！ＩＩ　ｎ己カセットｉ・ｋＩｉ′ｌｆ台にセットした
場合１／ｒ：、ノヒぎえｔｊ：ウェハ・ｆ１無ノ：：。 ’；：ｎ　１．Ｉ、ｆｒ’ｉ′、　（７）　ｉｉ！４％
ｊＩ作を招来するなどの欠点がｄ゛）つ／′己。１′／
こ一部Ｇ′て行わ７’Ｌ−こいるウェハ収納カセ・、　
ｌ−のＬｌ　−ｉ’ｊ　ｊ（（、ｉＡにおいても従来の
ｆ・・八゛り装ｗ１゛、でｔ、ｌ　ｌ１７、ｚ＜　：川
（ｌζ伴う振・：山などシ（工り？ｉＪ自−：したウェ
ハのすべり出し、憾らにはｉ’ｉ’ｒ下刃又１：、する
欠点を有していた。 このｉ７明（・−１、ウェハをウェハ収イ、内カセット
に１１５’伯１〜、各処」ジ）ｌ′ｌ＝′律富間を１（
：・」ｙり１ろ１１゜ｈ合ｔこおける＋’＋ｉｌ　ｆｔ
＋シイ＜　ｒ、＋ｓ台’４１Ｉｆどイ′肖する７ｙｄ〕
（てなさ）Ｉ、／こものであって・　ウェハＵＫ　’：
’：”カセットＳ：　１・、＋’（ｉ、ｌｌシ２．１メ
（ｒ送する１・７々に１１うｌ）、・・力などによるウ
ェハの１１に、１甲ｊ涼１かＣつのすべり出しを噛！ト
するようンこ；−、ノこウェハ収納カセットの：ｌ’　
ｈノｇ（ｉ仙■１を提供することを目的とし。 咽・；旧−７たウェハ収納カセット全体全；（持トｉＪ
Ｊ入するように［２プζウエハ収♀１１（カモ１．トの
１４’ｉ　送装置において、ウェハ収１１１３カセット
のｌＮ’１′送’４％　Ｕｑ時に、カセット全体を前上
り１１′１１斜姿う）に１゛伺寺させる１頃１ｌｉＩ＋
　４幾朴１をｉｔけプζことを特徴とするウェハ収納カ
セットのｌＱ：、ｉ送装＋ｒｑ　Ｋかかるものである。 以下この発明Ｖｃ力・かる５）ｆ、　７：）ｉ例’５Ｊ
：　ｉ；’ｉ″１（ついて１ソｊ面を谷照しながら詳１
Ｉ１１１ＫＩ況明する。 第ろ）・ンｊにＪこの装置■゛の夾部を示すノ１１親図
である。 ウェハ１Ｈｙ泊１１カセット（１（ｐｆ：に：（（：ｌ
送するこの首゛ｙ；）つ装「ｌノー　ｊ４ｉ３　Ｓニア
ず−７；ｌ　（７）　ｌｉ、ｉｉ　”、、５　ｅｊＤ　
ｉ／ｉ’：　ｋＪ、支＋左巾！ｔｃｌオｊ：び閂Ｉｔづ
フレーム翰がそ１］、ぞｆ１同定さ几でおり、この支持
＋１・１１堅りの中火位１ｙ、゛に（１，１’ｉ　を萌
ｊｉｔ１１イ１１す＋１１易シ０がｎｊ’＋１＋・１１
目在なるように係合さＪｌ、さ０に仁のｊｔ４Ｔ仙ｉ１
ｉ制御）早い）がその噛ｆ″ｉｌｔ　ＩＣで門形フレー
ム弼にエアシリンダ１−１４．Ｑを介し２て連結さｊｌ
、ている。エアシリンダ１ン′：ρ（ｄクレビスノＷの
ものが月１いらＪｌており、イｒのクレビスｔ’ｉｌ♂
が門形フレームＢａに固定しだブラダ７＋−にピン連１
とζ）１．るとともに、その作ｒ母１０７ドが、１ｌ−
（ｉ妙ｆｌｉＩＪ御オ゛＋Ｓ　ｅ：ｌ’ｌの端部上面に
固定ｌまたブラケットｉ＋？二自Ｏｆｆ己１行１４う−
Ｖζビン居四史さｎ５ている。ぞ［５゜てエアシリンダ
Ｉ２りがその作ｊ、１１．１０ッドを引き込んだ」船台
には１ゴＩ動Ｆｂｌｌ　Ｍａｉｌ程り吐ｊ１・２１示の
とおり水３１′に（＋、＋、持さ２１、その作ｊｆｈロ
ッドを折［７出した場合には１（百１１すＩ　ｆｌｊｉ
制御桿（ＩＸ）は支（Ｌ呻ｗ、３に対（〜で矢印でン斥
ず反時泪方向に回１ｉｉｊ＋　ｌ、、その左σ；１１６
を下方にシ、フこ前上りｉｌ、Ｉｌ斜＜ｆｆ、ｚ内ｌ−
を保っようにσノ１でいる。 ｉ　ｆｒ　１１．）ｉ　・Ｉ！＋　′１１ｉ１１　ｉ：
ｌＩＩＦｗｊ　Ｋ　＆１−　対ノー＋持韮案内＋ｌｑｈ
　Ｈが−ぞ−の中央Ｍ　（ｒζて固５１１智れており、
支持兼案内り・山σ（〕の−合フ１ぞ７１−１．、’、
’、　”、４（ｓにカセットセメ臼マ［Ｉｌ、！←；乃
が撰、１負り目ｆｌｌなるよりしこ１２７２合び）１て
いる。ぞしてカセッ日１３持１ｉｎｔ　ｌＺｌ’　ｉで
（・；［，２本の支持−１１１案内１１）ｊ峰（９の丁
度中間（＜ｉｌｉ’ｓ　ｋＴ　（’５　＋１ｌｊＩ１１
ソＩＡＤ　カ（７：ｎ　−ｐ　２１　固５’ｆ　＃　ｎ
、コノ作ｊｉｉｉ＋　、仮（ｉｏに、ｆ”ｊ’ｊ　Ｉ４
・ＩＪＪｌ１・１１１１”１賢４）の下面にそ才１．ぞ
れ７？中竿’ｉ　＋！−ＶζＶ；　’ｆｆ、”　’Ｊ　
１１だ（白ｉ山）１づ・；・仏（“山１煤（この例では
ンレノイｈツｔ、ＩＩ）の作ｊｉＩｌｌロッド′、シ→
がそヅ１ぞ几ノ１１（結ＪＩ７．でいる。支４３」ｌ弓
え°内申Ｉｌ争１）にＶａｌ、セラりぞ才を端部（て４
ソ？け止めプッシュリリが固定−さハでいるとともＫ、
１１．１　動ｉｉｉ’ｌ　１．ｉｌ　（’＋’　””と
：ｈ　＋　ソトｌ’＜持Ｉｔｉｉ　Ｃ１ｈ間に、ＩＦ、
；Ｉ／ｉコイルｔｉｌｌハ（シがぞソＬぞブ１．係合σ
］している。したがってンレノイドｌン′！Ｊにｊｌ′
ｉＪ中１がなさプ１でいないとへは、圧１＜＜１コイル
げわ（、（→からの（ｊｌｌｌイ１−ｉ力によってカセ
ット挾持ル１１ｅθｒ１、支持゛々１′案内帖案内子っ
てそ１１．ぞ］］２外１１１外方１１１８１ｊｌｌ　＝
Ｘ−（ｊらズ７２、そ７１．ぞｎの外１１１１１面が抜
は正めヲッシコＩａｌ）　ＶＣ当接し、図示挟持１１！
＋１■７１は、その内１ｉｌｌｉ而にそ几ぞノ］、ゴム
などからなる一対の４火持片は１が接）−）口ｌｉｔ／
（より固定さｎ２ていＺ）。そしてカセット挾持１１）
（ψ７１が＋’７．＋示の位Ｉ１１に保７’（Ｊｌ、で
いる坊１合には、４・々持片にツの（７ｊ６持面間の１
ト）珪゛１・Ｔｌ−１、カセット叫の１１．−マ１法Ｂ
より十分に大きくなるようにｒ旬］２ている。 つき゛にこの装置ｒ；ＶＣおけるジ・ＩＩ作について説
明する。 い゛まウェハＯＷＮを収＜ｉ’ｌ　シたカセットｔｉ＋
ｊがｔｑ＋ｔパ己した処理か１１荀の１つのカセット載
置台（図示せず）に拘束されているものとし、このカセ
ットｕｔｓｔ１１１１記とは別な処理装部“へこの鏡面
によって揶フ送する」Ｌ′１合を例にあげて副、明する
。 エアシリンダψｊＫよりその作パリ１０ソドを引き１・
へ−まぜ、幀動制御桿ｅ６を図示のとおり水平状にして
おいて、この装置ｉ／、：　ｆ左方向からカセットリＯ
Ｋ図示のよう例高さをは１了一致させて接近させる。 この上り自ンレノイド閾Ｉ　Ｋ　ｋｉ　３ｒｆ＋電がな
されておらず、「）１■に１（シ／ことおりカセット秋
Ｌ’を腕汐）は七の間ｉ’ｉ’；’＋が４ツノ、げらノ
１−でいるので、カセット挾持腕察乃の１．り持片；ｉ
ｆ　’；ｆｉ・カセット（１りに接触きぜることなく、
１ν１示ノヨうＶｃＩ：自動ｆｌｆｌＪ　１ｌｌｌ桿（
２，１ｔｌ）前ｘｙｉ　ｕｒｒ　ｖｃ　ｔｒｙ　（４け
らｎ／Ｈマイクロスイッチリφの１、シ触ハをカセット
四の：：ｌ！　ｉｌ’ｉ！ｉ　！”、ｌｌイＪ’　（Ｂ
：　ｆｒ　：１．　ｊ＋！ｌ之’６　セラｉ　Ｌ　ル。 この１．！！１４１１・ＶＣよりマイクロスイッチ（（
第が作動し、この装置の前記］）り近：１ｉｌＩ作か停
止キＪすると同時シてソレノイドｆ、７’＋Ｊ　ＶＣｊ
ｌｉｊ　’＋ｉ℃がなｒ＼Ｉｊ−る。そして作動ロッド
Ｃすがぞスフ、ぞノ１．内側力向に引き込まハ、ること
によって、カセット４）３　ｉｌＩ”　ＩＩ”ｌ！ンＶ
が用縮コイルばね’（’り　（７）　９Ｑｉ　３ｉ６カ
ニｒＪ′Ｌ１７テ、ｉＪ’：丁”ｌｉｉ、　’ｊ；　内
ＩＴｈ（（ａ９　＆Ｃ−’ｅ　ッテーｆ−：ｔＬピｆ１
．内１ｉｉ方向へ平行１２１萌を行い、七〕ＬぞｆＬの
４．）！　ｔ−！７片Ｖ：Ｐがカセット（１（ｙの例１
＋ｌｌ＋而ンこ押ＩＦＥさｔ’する。 このようにカセット挾持１１’・１１シｌ）にカセット
００を確′ガトで１：・５ｉＩｔびせてから、カセット
（＋＋ｓ　（７）　ｒｉｉＩ　ｒ；ｃ：　シたカ七′ノ
Ｉ”ｌｔ゛２　ｕ　ｉ台との拘束をｌｉｉ７除する。つ
いでエアシリンダｅａｌ）を作Ｆ、ｌＩＩ　Ｇせ、その
作動ロッドを押し出坏せ、ｌ：、ｔｌ　ｉＬ！＋　ｆｌ
＋ｌｌ　（含１１４’１〜（ハ）を水平位置からたとえ
ば１（１°〜１５°）″１！１ρ−ｔ１′１ス、シさせ
、その状１とに保つ。このようＶＣｌｌ、ｌ’ｌ　！、
Ｊ（Ｉ４　ｆ曲御稈ｅゆに前上り知斜惨′、ぴをとらせ
ると、そｎ、に−夕・１の支持１卜にｉ′内帖ｖ・ｉｌ
ケ介（２て１（、合さ］７．でいるカセット４）☆持ｆ
＋！ｉｔ・２／）ならびに七ノ１−にｌＦｔ　ｊ”ｙさ
ノ１−でいるカセット（止（ｒＪいず７１．も同じ前」
−リドＦ１″ｉ、［姿邦卆ｋ・１″（“つことｈなる。 １．／こがってこのづＣ′、１とＴ、（・こおいては、
）’Ｉｆｆ　ＮＬ：　ＬｙプことおりそノＬが１火持す
るカセット四を前上りＶζ頗斜σせ／こ状盾）Ｖこセラ
（Ｉ寺り、なからつきの工１“、：のタリ用４・”；　
ＴＩ′、’？へ１４すこむことから、カセット０（ｊの
各面（Ｉｔｌｔｚこ収う１１されているウェハｊｌ’Ｑ
　（ＩＩイずノ１．もｉ　ノＣ’ｊｌ　ｋ　ＱＮ；而が
）（’（ｊ　Ｑｌｊ　ＶＣ’；％出するストッパビン１
１勺にそ〕１ぞれ自１５０分力にてＪ’＋ＩＩ〜イ・］
りらノＩ１ト１′Ｊ送［１ｊ１に４放１１山などが力Ｉ
Ｊえら才するこ表かあっても前方（図でに右方向）へす
べり出すこと（弓なく、捜Ｔ号さｉｔｚ、。仄エイ“ｔ
の処３Ｊｐ−レ・１・′Ｃのカセット載１づ台にウェハ
ｉ’（＜＃ｉＪカセットｌｊＯを・ｉ・’ｙ、　ｉｌ′
％するに肖ってｉｒ、１１　、エアシリンダ（？：Ｑ　
Ｋよりその作動ロッドを引き込まぜ、ｊ４ｆ、　！！・
υｆｉｌ：：　（、］ｌｌ桿ＣＯを水平状ｙＩＬに車幅
させ、七ｎ、に伴い挟持）ｒ”、ｒ　ｆ＝７＋を水平傷
（みに、挾持腕し／）に仏持σノ１．でいるウェハ収１
１１３カセッ）　ａｔ＞を図示のり直ν〉勢１／ｒそノ
１ぞノＬさせてかし〕、とのつ〕−ハ収納力セッｌ−リ
（戸を前屈１白七の１す（５，’＋’Ｌ　’ｌ”、’ｌ
　：：”ｉ　（ｌｊｌ　１′・Ｑ、　ｌｉＩ’、　ｌ、
、ソｌ／／イド（コ千への：１１．ｌｊ　’ｉｌ？、を
しゃ１１，１テし、力士ソ）　４＋、ｉ＜　４．１口１
ｌｌＩ　１２／Ｊを１（漬、１１（コ・イルばねい→の
′〆ｊ’）ｉ’力に、しって外１１１ｉ１方向へ押し２
出さ−け、ウェハ１ｌｔ４　Ｘ、ＮＬカー）こノド四の
挟持をｉ！！’（萌゛ＪするようにすＪ１ｉ６ＬＪ、い
。 この′−）（）７Ｆｌ、ｆ′ｔＩＩシ″（二おいてＣコ
、カセットのｆｔＬｌ・１．ｊ）イ幾＋１・ｌにエアシ
リンダ（ｉ！！〕をメ１）いているが、１；ｌノ、のｊ
Ｐ１！ｆｉｌｌ形、１・（・Ｉ＋ｉｌ　Ｉ（＼：た〕−
７ぐげｒ’ＡＩ［：Ｉ３形ソレノイドを用いるよう（・
？″１．′？−も」、い。寸プｃ５　カセット４２３１
″ｌ−１ｒ１ｉ、　ｉ′／７）Ｉ’ｉｌ’：　ＩＦｋ持
ｚｌ、ｌ　１’ｈ折ゴｆわＷる１白、Ｉｉ山ノ［乱用・
、ｊｌｌｌ、ｉ　ｉ夷（てソレノイド（１）を用いマー
いるが、この代りにニアシリンダン二背中合せに１１１
合シＩ″ＣＪ［１いてもよい。 こ　し’））　Ｍ、合して　１．９１　、　　ツノ　セ
　ノ　ト　セλ１　：）：＋７　帽Ｉ１．／′ｌ）の４
″：）Ｓ　４、’＋　小’ｏｆｔなｔつぴい＝−ぞの汁
１゛Ｉ′眉１団ｆ乍をいすＪｌもエアシリンダＶＣＡ・
′ｖ（・（・ζ的にｉｆわせうるので、支持兼案内１１
ｉ１＋　＋詞に（４合］２プｃ−１−Ｌ：　ｉｔ？・ｉ
　コ４　ルＬＬ　ネ・’う６１　’）２　ｔ、　ｆｘ　
イ。 以トの、：、ｉ、７．　Ｑ、ｌｉによって明らかなよう
に、この発明し・（かかるワエハ収イ１１（カモノドの
１９．）　、Ｊ＜装Ｕｑ番でおいでｉ、、１．’、　ｆ
；ピッ１（カセソトシこ設を−ｊ’　ｌ’７）ノ］、て
いるストッパ部月のダ（に」句東ｒｆｌ（、ＩＳＩ　；
ｓ−イτ１〕川ぜずともウエノ・を拘束することかで（
１、ウェハｌｉｔ／、　、：、Ｉｔ力十ソトをイー）Ｌ
Ｋウェハを収納り、ｉｌ状、ｉ／′’：で、ウニたハの
イ１処Ｊ：ｉｊ＋′−防間のｌ＋ｉ・□・送を行うＶこ
当って、１：、１・ｊ米１１゛Ｊに１１−うすく・１弓
＋ｆｒど＋（二よって・ウェハをカセソ）−からすべり
Ｌｌ”１へ１−ｉ′、と９　ＶＣｉ１’ｉ’ｉ’＋トい
ｔＪ］るといつブ、−トラブルを１・ＩＩ・１ｌ１１μ
るイ）（２めることかでさン］）とＪ−もＩｔ’ｌ、ウ
ェハの収泊１（をする力士ノドＪＥ？１戸９０自・、山
ｆにかできることにより［Ｉ゛ヒ来主して行わ）１てい
るつ１ノ・ｌｉｇ　ｊ４’１ツノ士、トの人手による偏
）、”＞　’Ｊ（−おけ６　ｉ’＞服などかＣ−、（７
）□Ｉ・□′７のウェハへのイ・Ｉ　ノｙｌ’ｌ：　ｌ
＞’ｊ止でＬχ、かつ牛Ｎｉ＜　ｉ’ｔ、　Ｉ）向上し
て夕、１１をヴするものである。 ４１・′Ｉ旧の１１：Ｉ中な１１弾、１９ｊ出１１゛１
＆Ｊウエハ１←（゛（右上リドの′ｌ゛し′！１．し２
）、１１ル２［＋１．１は）Ｃ−の中間品σ１）γｆｊ
の、・＋’ｆζ十一つだｉｌ、ｉｒ聞を上方からみたＩ
＋Ｊｉ開図、第３１ン１はこの祐［ｊＪｉにかかる１′
＆ｉｌ、’イ；ＩＩ　Ｑ−１ｃｍｉ′の大部ｋ　７ｉ＼
ｌ、プｔ　１；゛）　ｒ’ａ、しＩである。 ＋１＋１−−−　Ｉ＞　ｘ　ハ’！’Ｊ　：；４’ｌ　
、／Ｊ　Ａ＝　ノドＨ−ｉ１ｉ’Ｙ　　　　　　　　　
　　　　　　　ＩＪ７Ｊ　−−−ｆ：ｉｌ　４反０→・
・・連結部月　　　　（１す・・・ウニ・・（１４）・
・°ストツバ、小村（ストッパビン）Ｑ４・−・ｌ’Ｊ
Ｉ　ＩＩ’ｌｌ　ｉ！ｉｌｉ侶１１（？（＋１口・・ｉ
ｔ’、＋　４；ｔす）１モｉ′ｌｊへ１４Ｊｌｌ幾（エ
ア／す／ダ））、・す・・・支七Ｐ？ｌｉｉ、案内１山
鱒・・・カセット＋：゛（持１１ｉ’ｊ＠・・・作！（
す）板 いｂ・・・ソレノイド（直Ｉ’ｄ形、ＩＳ／１）ｉ・ｊ
＋ｌズ１．）（１＋＃・・・作（′・１１０ツド ー（４→・・・Ｌ丁プ１（１コイルＱ、【ね代　ダ）】
　人　　弁」−１ノ士　　北　　＋゛ｔ１’；、ｉ、−
，：４（＝’、− □、、ハ【　１ 中古・ 第１図 −，１５５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　内面に多数個の溝が一定のピッチにて水平に刻設
   された側板を連結部材を介して対向結合し、前記海にウ
   エノ・をぞの周縁部を托してそ几ぞ〕１．収納するよう
   にさノ１１、収納された各ウェハ龜力部を垂直方向に対
   して前後整列させ、かつ後方へのウェハの移動を防止す
   るスト・ツバ部材を１ｉｉ＋えてなるウエノヘ収納カセ
   ・ノドを二１夾１’：′ｌ′ｔｌ＋ｊ送するようにした
   ウエノ・１１又珀カセ・ントの（♂）ニア・送杖向゛に
   お・いて、ウェハ収納カセットの１４１−５送移動時に
   、カセット全体を前上り傾斜姿勢にＵＮ　４４４させる
   傾動機構を設けたことを特徴とするウエノ・１１ン納カ
   セ・ソトの搬送装置。 ２、傾す・）１わＩ？、　Ｊ’ｉ’Ｌを傾動制御桿と、
   こｎ７を！す１作せしめる１Ｇ動形原軸磯とから１１６
   成するようにし、ウェハ１１文納カセット搬゛送移動時
   にこの直動形部動機を動作せしめるようにしだ管１９′
   ↑請求の範囲第１項記載のウェハ収納カセ・ソトの４ｋ
   ・送装置首。