JPS5910084B2 - 弾性表面波素子の測定法 - Google Patents
弾性表面波素子の測定法Info
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- JPS5910084B2 JPS5910084B2 JP13488377A JP13488377A JPS5910084B2 JP S5910084 B2 JPS5910084 B2 JP S5910084B2 JP 13488377 A JP13488377 A JP 13488377A JP 13488377 A JP13488377 A JP 13488377A JP S5910084 B2 JPS5910084 B2 JP S5910084B2
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- surface acoustic
- measurement method
- piezoelectric body
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/316—Testing of analog circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波素子の電気的特性を測定する測定法
に関するものである。
に関するものである。
近年、圧電体物質の表面にスダレ状電極を有する弾性表
面波フィルターが開発されている。
面波フィルターが開発されている。
その代表的な構造は、第１図に示すように、圧電体１上
に、トランスデューサ、例えば、インターデジタル形入
力電極２および出力電極３を設けて、電気信号を表面波
にまた、表面波を電気信号に変換して所望の周波数特性
を持つ弾性表面波フィルターを形成している。
に、トランスデューサ、例えば、インターデジタル形入
力電極２および出力電極３を設けて、電気信号を表面波
にまた、表面波を電気信号に変換して所望の周波数特性
を持つ弾性表面波フィルターを形成している。
本発明は、この弾性表面波素子の製作時において、１枚
のウエーハ状態で各素子の電気的特性をチェックする際
に、浮遊容量に伴なう影響を無くし、しかも容易に測定
できる測定法を提供するものである。
のウエーハ状態で各素子の電気的特性をチェックする際
に、浮遊容量に伴なう影響を無くし、しかも容易に測定
できる測定法を提供するものである。
まず、第２図に示すように、１枚のウエーハ（例えば、
２インチサイズで基板は、Ｐ Ｚ Ｔ ，Ｌ ｔ Ｎｂ
０３ ，水晶等で構成される。
２インチサイズで基板は、Ｐ Ｚ Ｔ ，Ｌ ｔ Ｎｂ
０３ ，水晶等で構成される。
）上に、ホトエッチング法を用いて、金属膜によるイン
ターデジタル電極を形成する。
ターデジタル電極を形成する。
そしてこの時、例えば２インチサイズの圧電体には、６
ヶの素子が製作され、それらは最終的に点線で示す部分
を、ダイシングソー，スライシングマシン等によって切
断し、各素子に分割される。
ヶの素子が製作され、それらは最終的に点線で示す部分
を、ダイシングソー，スライシングマシン等によって切
断し、各素子に分割される。
しかし、各素子の良不良の判断を、いずれかの工程で行
なうことが必要であり、ウエーハ状態で測定することが
できれば、不良の素子を切断する手間が省け、工数の削
減上きわめて好都合となる。
なうことが必要であり、ウエーハ状態で測定することが
できれば、不良の素子を切断する手間が省け、工数の削
減上きわめて好都合となる。
本発明は、このウエーハ状態において、より正確に電気
的特性の測定を行なうことができる方法を提供する・も
のであり、以下、本発明の一実施例を説明する。
的特性の測定を行なうことができる方法を提供する・も
のであり、以下、本発明の一実施例を説明する。
第３図は、弾性表面波素子がウエーハ状態時において、
各素子の電気的特性を測定する例を示すものであり、圧
電体１上のインターデジタル電極の入出力電極２，３の
各端子に、金属性バネ４によって電気的接触を保って、
入力信号を印加し、出力電極３から各出力を得て、各素
子の電気的特性を測定する。
各素子の電気的特性を測定する例を示すものであり、圧
電体１上のインターデジタル電極の入出力電極２，３の
各端子に、金属性バネ４によって電気的接触を保って、
入力信号を印加し、出力電極３から各出力を得て、各素
子の電気的特性を測定する。
この測定によって、周波数特性及び中心周波数等の測定
が行なえる。
が行なえる。
この場合本発明では第４図に示すように、圧電体１と同
程度の形状の金属板５を接地して、その上にインターデ
ジタル電極２，３が形成された圧電体１を設置する。
程度の形状の金属板５を接地して、その上にインターデ
ジタル電極２，３が形成された圧電体１を設置する。
この状態で金属製バネ４によって、インターデジタル電
極のそれぞれの入出力部に電気的接触を行ない、各電極
に入力信号を印加して、各素子の電気的測定を行なう。
極のそれぞれの入出力部に電気的接触を行ない、各電極
に入力信号を印加して、各素子の電気的測定を行なう。
ここで圧電体１下に接地電極を設けない場合と設けた場
合との弾性表面波素子の周波数特性を比較すると、それ
ぞれ第５図及び第６図に示すようになり、圧電体裏面を
接地しない場合は各素子間等の浮遊容量等の影響等によ
って、直流分の増加が発生し、圧電体下に接地電極を設
けた場合は、ほとんど弾性表面波素子としての特性を満
足するデータが得られる。
合との弾性表面波素子の周波数特性を比較すると、それ
ぞれ第５図及び第６図に示すようになり、圧電体裏面を
接地しない場合は各素子間等の浮遊容量等の影響等によ
って、直流分の増加が発生し、圧電体下に接地電極を設
けた場合は、ほとんど弾性表面波素子としての特性を満
足するデータが得られる。
以上の方法によれば、弾性表面波素子の特性を測定する
に際し、圧電体ウエーハ状態において、圧電体裏面に接
地電極を設けておくことによって、ウエーハ状態で各素
子の正確な電気的特性の測定が行なえるものであり、製
作上、（工数の削減）大きな利点である。
に際し、圧電体ウエーハ状態において、圧電体裏面に接
地電極を設けておくことによって、ウエーハ状態で各素
子の正確な電気的特性の測定が行なえるものであり、製
作上、（工数の削減）大きな利点である。
また、この方法によれば、圧電体裏面に、例えば銀ペー
スト等の導電性物質を一枚、一枚のウエーハに塗布する
こともなく、ただ、金属性の台に乗せそ測宗すれば良い
ため生産性も高い。
スト等の導電性物質を一枚、一枚のウエーハに塗布する
こともなく、ただ、金属性の台に乗せそ測宗すれば良い
ため生産性も高い。
ところで、弾性表面波素子においては素子の端部等から
反射される音波の影響を無視することはできない。
反射される音波の影響を無視することはできない。
第７図はこの不要反射音波の影響をなくすようにした方
法を示すもので、圧電体１の端部及び裏面に不要音波を
吸収するための吸収剤６．７（例えば、ビニールテープ
、エポキシ系接着剤等）をそれぞれ接着し、接地された
金属板５上にこのウエーハを固定し、各素子の電気的特
性を測定すると、不要音波による影響もなく、より正確
な弾性表面波素子の測定がウエーハ状態においてできる
ものである。
法を示すもので、圧電体１の端部及び裏面に不要音波を
吸収するための吸収剤６．７（例えば、ビニールテープ
、エポキシ系接着剤等）をそれぞれ接着し、接地された
金属板５上にこのウエーハを固定し、各素子の電気的特
性を測定すると、不要音波による影響もなく、より正確
な弾性表面波素子の測定がウエーハ状態においてできる
ものである。
また、本発明は絶縁物（ガラス板等）上にインターデジ
タル電極を形成し、その上に圧電体を形成してなる弾性
表面波素子においても適用される。
タル電極を形成し、その上に圧電体を形成してなる弾性
表面波素子においても適用される。
このように本発明によれば作業性よく弾性表面波素子の
正確に測定することができる。
正確に測定することができる。
第１図は弾性表面波素子の構造を示す平面図、第２図は
ウエーハ状態の弾性表面波素子を示す平面図、第３図は
ウエーハ状態での測定法の一例を示す斜視図、第４図は
本発明の測定法の基本原理を示す斜視図、第５図、第６
図はそれぞれ従来の方法および本発明の方法による測定
データ、第７図は本発明の測定法における不要音波の影
響を除去するための構成を示す斜視図である。 １・・・・・・圧電体、２，３・・・・・・インターデ
ジタル電極、４・・・・・・金属バネ、５・・・・・・
接地電極、６，７・・・・・・音波吸収剤。
ウエーハ状態の弾性表面波素子を示す平面図、第３図は
ウエーハ状態での測定法の一例を示す斜視図、第４図は
本発明の測定法の基本原理を示す斜視図、第５図、第６
図はそれぞれ従来の方法および本発明の方法による測定
データ、第７図は本発明の測定法における不要音波の影
響を除去するための構成を示す斜視図である。 １・・・・・・圧電体、２，３・・・・・・インターデ
ジタル電極、４・・・・・・金属バネ、５・・・・・・
接地電極、６，７・・・・・・音波吸収剤。
Claims (1)
- １ 圧電体の表面にインターデジタル電極を形成し、前
記インターデジタル電極形成部以外の圧電体表面端部お
よび裏面に音波吸収剤を形成した弾性表面波素子ウエー
ハを、接地された金属板上に設置して電気的特性を測定
することを特徴とする弾性表面波素子の測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13488377A JPS5910084B2 (ja) | 1977-11-09 | 1977-11-09 | 弾性表面波素子の測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13488377A JPS5910084B2 (ja) | 1977-11-09 | 1977-11-09 | 弾性表面波素子の測定法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5467791A JPS5467791A (en) | 1979-05-31 |
| JPS5910084B2 true JPS5910084B2 (ja) | 1984-03-07 |
Family
ID=15138726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13488377A Expired JPS5910084B2 (ja) | 1977-11-09 | 1977-11-09 | 弾性表面波素子の測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5910084B2 (ja) |
-
1977
- 1977-11-09 JP JP13488377A patent/JPS5910084B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5467791A (en) | 1979-05-31 |
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