JPS59100879A - 撮像装置試験器 - Google Patents
撮像装置試験器Info
- Publication number
- JPS59100879A JPS59100879A JP21111082A JP21111082A JPS59100879A JP S59100879 A JPS59100879 A JP S59100879A JP 21111082 A JP21111082 A JP 21111082A JP 21111082 A JP21111082 A JP 21111082A JP S59100879 A JPS59100879 A JP S59100879A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- digital pixel
- imaging device
- pixel signals
- memory
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は固体撮像素子の良否を判定する試験器Ｏこ関
し、特に試験（こ要する時間を短かくすることかできる
撮像装置試験器Ｇこ関する。
し、特に試験（こ要する時間を短かくすることかできる
撮像装置試験器Ｇこ関する。
〈発明の背景〉
テレビジョンカメラの小形化及び低消費電力化等を］」
的として固体撮像素子が開発暴れ実用化されつつある。
的として固体撮像素子が開発暴れ実用化されつつある。
固体撮像素子は周知のように半導体（こよって構成され
る光電変換セルが一面上（こ多数配列形成され、その光
電変換セルを選択信号によって逐次１個ずつ選択してそ
の光電変換セルに照射される光量をこ対応した画素信号
を得るよう（こし、その光電変換セルの選択を順次切換
えて面走査し、画像信号を得るものである。
る光電変換セルが一面上（こ多数配列形成され、その光
電変換セルを選択信号によって逐次１個ずつ選択してそ
の光電変換セルに照射される光量をこ対応した画素信号
を得るよう（こし、その光電変換セルの選択を順次切換
えて面走査し、画像信号を得るものである。
ここで各光電変換セルは半導体基板上に集積回路製造技
術をこより形成されるものであるから、その製造過程（
こおける不都合から光電変換セルの中に不良を発生する
ことがある。また各光電変換セルの相互間において例え
ば感光特性（こ差が生じたり、あるいはダイナミックレ
ンジに差が生じたり、またセル相互間（こおいて電気的
な漏洩が生じたりすることがある。
術をこより形成されるものであるから、その製造過程（
こおける不都合から光電変換セルの中に不良を発生する
ことがある。また各光電変換セルの相互間において例え
ば感光特性（こ差が生じたり、あるいはダイナミックレ
ンジに差が生じたり、またセル相互間（こおいて電気的
な漏洩が生じたりすることがある。
１個の固体撮像素子は大略５００ ｘ ５００個程度の
光電変換素子によって構成され、光電変換セルの数は大
きな値となる。このようをこ多くの光電変換セルを各１
個ずつ各種の特性（二ついて試験することはかなり大変
な作業となる。
光電変換素子によって構成され、光電変換セルの数は大
きな値となる。このようをこ多くの光電変換セルを各１
個ずつ各種の特性（二ついて試験することはかなり大変
な作業となる。
このような固体撮像素子を試験するための従来の撮像装
置試験器を第１図番こ示す。図中１０１は被試験固体撮
像素子を示しＣＣＬ）形、ＭＯＳ形又はその他の形式で
構成されている。１０２は固体撮像素子１０１（こセル
の選択信号を与える駆動回路を示す。この駆動回路１０
２をこより固体撮像素子１０１がその各光電変換セルの
配列（こ従って選択されて画素信号が次々と得られる。
置試験器を第１図番こ示す。図中１０１は被試験固体撮
像素子を示しＣＣＬ）形、ＭＯＳ形又はその他の形式で
構成されている。１０２は固体撮像素子１０１（こセル
の選択信号を与える駆動回路を示す。この駆動回路１０
２をこより固体撮像素子１０１がその各光電変換セルの
配列（こ従って選択されて画素信号が次々と得られる。
固体撮像素子１０１から得られた画素信号１０３は前置
増幅器１０４（こより増幅され、ＡＤ変換器１０５（こ
与えられる。ＡＤ変換器１０５は駆動回路１０２から与
えられるクロックパルス１００と同期して画素信号をＡ
Ｄ変換し、例えば８〜１６ビツトのディジタル画素信号
に変換する。
増幅器１０４（こより増幅され、ＡＤ変換器１０５（こ
与えられる。ＡＤ変換器１０５は駆動回路１０２から与
えられるクロックパルス１００と同期して画素信号をＡ
Ｄ変換し、例えば８〜１６ビツトのディジタル画素信号
に変換する。
ＡＤ変換器１０５でＡＤ変換されたディジタル画素信号
は記憶器１０６に取込まれる。記憶器１０６は駆動回路
１０２から与えられるクロックパルスをアドレスカウン
タ１０７で計数し、その計数出力をこよりアドレスが順
次１番地ずつ歩進されＡＤ変換器１０５から出力される
ディジタル画素信号を順次記憶する。
は記憶器１０６に取込まれる。記憶器１０６は駆動回路
１０２から与えられるクロックパルスをアドレスカウン
タ１０７で計数し、その計数出力をこよりアドレスが順
次１番地ずつ歩進されＡＤ変換器１０５から出力される
ディジタル画素信号を順次記憶する。
記憶器１０６（こ取込まれたディジタル画素信号はデー
タプロセッサ１０８＆こ順次転送される。このデータプ
ロセッサ１０８は各種の比較及び判定手段を有し、この
判定手段により光電変換セルの良否及び固体撮像素子１
０１全俸の良否を判定する。
タプロセッサ１０８＆こ順次転送される。このデータプ
ロセッサ１０８は各種の比較及び判定手段を有し、この
判定手段により光電変換セルの良否及び固体撮像素子１
０１全俸の良否を判定する。
１０９はコントローラである。このコントローラ１０９
）こより駆動回路１０２の起動・停止及びデータプロセ
ッサ１０８の制御を行なう。またコントローラ１０９は
光源１１１昏こ制御信号を与え光源１１１の光量の制御
や機械的位置の制御を行なう。
）こより駆動回路１０２の起動・停止及びデータプロセ
ッサ１０８の制御を行なう。またコントローラ１０９は
光源１１１昏こ制御信号を与え光源１１１の光量の制御
や機械的位置の制御を行なう。
この従来の撮像装置試験器（こおいては記憶器１０６蚤
こディジタル画素信号を格納するまでの時間、及びその
記憶器１０６＆こ格納されたディジタル画素信号をこ基
づいてデータプロセッサ１０８で各種の比較及び判定す
るための時間に長時間を要する。
こディジタル画素信号を格納するまでの時間、及びその
記憶器１０６＆こ格納されたディジタル画素信号をこ基
づいてデータプロセッサ１０８で各種の比較及び判定す
るための時間に長時間を要する。
すなわちディジタル画素信号を記憶器１０６に格納する
場合、固体撮像素子１０１を１回走査することにより得
られた画素信号をディジタル昏こ変換して記憶してもこ
のディジタル画素信号の信号対雑音比が充分でないため
精度のよい試験をすることかできない。このため１体撮
像紫子１０１の各光電変換セルを複数回例えば６４回走
査して得られた各゛光電変換セルの画素信号の平均値を
記憶器１０６に記憶するよう番こしている。従ってこの
平均値を得るためＱこ長時間を要する。
場合、固体撮像素子１０１を１回走査することにより得
られた画素信号をディジタル昏こ変換して記憶してもこ
のディジタル画素信号の信号対雑音比が充分でないため
精度のよい試験をすることかできない。このため１体撮
像紫子１０１の各光電変換セルを複数回例えば６４回走
査して得られた各゛光電変換セルの画素信号の平均値を
記憶器１０６に記憶するよう番こしている。従ってこの
平均値を得るためＱこ長時間を要する。
又記憶器１０６に格納された平均化されたディジタル画
素信号昏こ基づいてデータプロセッサ１０８で各種の比
較及び判定をする場合、各ディジタル画素信号を基準値
と比較してその大小を判断するような場合には迅速（こ
処理できるが、記憶器１（Ｊ６内のある一定のエリアを
指定し、そのエリア内の各ディジタル画素信号のうちの
一定値以上の値を有する信号を加算して平均を取り固体
撮像素子１０１のブルーミングを試験する場合や、光源
１１１の機械的位置ずれを補正するたｌ！＃）Ｇこ記憶
器１０６のアドレス変換をするような場合をこはその処
理をこかなりの時間を要する。
素信号昏こ基づいてデータプロセッサ１０８で各種の比
較及び判定をする場合、各ディジタル画素信号を基準値
と比較してその大小を判断するような場合には迅速（こ
処理できるが、記憶器１（Ｊ６内のある一定のエリアを
指定し、そのエリア内の各ディジタル画素信号のうちの
一定値以上の値を有する信号を加算して平均を取り固体
撮像素子１０１のブルーミングを試験する場合や、光源
１１１の機械的位置ずれを補正するたｌ！＃）Ｇこ記憶
器１０６のアドレス変換をするような場合をこはその処
理をこかなりの時間を要する。
このよう（こ従来の撮像装置試験器においては被試験固
体撮像素子の試験を高速に実行することができないとい
う欠点があった。
体撮像素子の試験を高速に実行することができないとい
う欠点があった。
〈発明の目的〉
この発明は上記の欠点を除去して固体撮像素子の試験を
高速（こ実行することができる撮像装置試験器を提供し
ようとするものである。
高速（こ実行することができる撮像装置試験器を提供し
ようとするものである。
〈発明の概要〉
この発明では平均化により信号対雑音比を向上させかつ
そのディジタル画素信号を格納するための記憶器の他に
、その記憶器から転送されたディジタル画素信号を格納
し、その格納されたディジタル画素信号Ｑこ基づいて各
種の比較判冗をするための他の記憶器を設けている。こ
のため画素信号を平均化するための動作と、得られたデ
ィジタル画素信号を用いて各種の比較及び判定をする動
作とを同時（こ平行して実行することができる。従って
従来の撮像装置試験器のよう（こ１の記憶器※こよって
平均化したディジタル画素信号を得、その後その記憶器
からディジタル画素信号を逐次読み出して比較判定をす
るのと異なり、この発明（こよる撮像装置試験器では２
つの記憶器を設け、平均化のための動作と比較判定のた
めの動作とを別個（こ同時に行なうため全体としての試
験（こ要する時間を短縮することができる。
そのディジタル画素信号を格納するための記憶器の他に
、その記憶器から転送されたディジタル画素信号を格納
し、その格納されたディジタル画素信号Ｑこ基づいて各
種の比較判冗をするための他の記憶器を設けている。こ
のため画素信号を平均化するための動作と、得られたデ
ィジタル画素信号を用いて各種の比較及び判定をする動
作とを同時（こ平行して実行することができる。従って
従来の撮像装置試験器のよう（こ１の記憶器※こよって
平均化したディジタル画素信号を得、その後その記憶器
からディジタル画素信号を逐次読み出して比較判定をす
るのと異なり、この発明（こよる撮像装置試験器では２
つの記憶器を設け、平均化のための動作と比較判定のた
めの動作とを別個（こ同時に行なうため全体としての試
験（こ要する時間を短縮することができる。
〈発明の実施例〉
第２図番ここの発明による撮像装置試験器の一実施例を
示す。第２図番こおいて第１図と共通する部分は第１図
と同一番号を付している。
示す。第２図番こおいて第１図と共通する部分は第１図
と同一番号を付している。
第２図において１１５は記憶器でありコントローラ１０
９の制御（こより、記憶器１０６に格納された平均化さ
れたデジタル画素信号が転送され格納される。
９の制御（こより、記憶器１０６に格納された平均化さ
れたデジタル画素信号が転送され格納される。
コントローラ１０９Ｇこより駆動回路１０２が起動され
、被試験固体撮像素子１０１の各光電変換セルがその配
列に従って選択され光＃１１１からの受光量に応じた画
素信号が次々と得られる。この画素信号が前置増幅器１
０４Ｑこより増幅されてＡＤ変換器１０５に与えられデ
ジタル信号Ｏこ変換され、このデジタル画素信号は記憶
器１０６中の固体撮像素子１０１の各光電変換セルの位
置に対応するアドレス（こ格納される。
、被試験固体撮像素子１０１の各光電変換セルがその配
列に従って選択され光＃１１１からの受光量に応じた画
素信号が次々と得られる。この画素信号が前置増幅器１
０４Ｑこより増幅されてＡＤ変換器１０５に与えられデ
ジタル信号Ｏこ変換され、このデジタル画素信号は記憶
器１０６中の固体撮像素子１０１の各光電変換セルの位
置に対応するアドレス（こ格納される。
このとき試験精度を向」ニさせるため固体撮像索子１０
１を複数回走査しそのときのデジタル画素信号の平均値
を求めることにより信号対雑音比を大きくするよう（こ
している。この平均化のための動作は記憶器１０６（こ
より行なわれるが、その動作の詳細は昭和５７年特許願
第１８０３８４ Ｇこ記載されている。
１を複数回走査しそのときのデジタル画素信号の平均値
を求めることにより信号対雑音比を大きくするよう（こ
している。この平均化のための動作は記憶器１０６（こ
より行なわれるが、その動作の詳細は昭和５７年特許願
第１８０３８４ Ｇこ記載されている。
このよう（こして記憶器１０６昏こ得られたデジタル画
素信号はコントローラ１０９の制御により記憶器１１５
に転送され格納される。データプロセッサ１０８はコン
トローラ１０９からの制御をこより記憶器１１５から必
要なデータを逐次読み出し各種の比較や判定を行なう。
素信号はコントローラ１０９の制御により記憶器１１５
に転送され格納される。データプロセッサ１０８はコン
トローラ１０９からの制御をこより記憶器１１５から必
要なデータを逐次読み出し各種の比較や判定を行なう。
又その比較、判定の結果をモニタ１３ヲこより表示する
場合もある。
場合もある。
このようＧこ記憶器１１５とデータプロセッサ１０８間
で各種の試験が行なわれている間、記憶器１０６（こは
コントローラ１０９からの制御により次の試験に使用す
るための画素信号がＡＤ変換されて与えられ、記憶器１
０６（こおいて各画素のデジタル画素信号の平均化を行
なう。すなわちこの実施例ではデジタル画素信号の平均
値を求める動作と、平均化された各デジタル画素信号を
用いて各種の比較及び判定を行なう動作とが同時刻（こ
並行して行なわれる。
で各種の試験が行なわれている間、記憶器１０６（こは
コントローラ１０９からの制御により次の試験に使用す
るための画素信号がＡＤ変換されて与えられ、記憶器１
０６（こおいて各画素のデジタル画素信号の平均化を行
なう。すなわちこの実施例ではデジタル画素信号の平均
値を求める動作と、平均化された各デジタル画素信号を
用いて各種の比較及び判定を行なう動作とが同時刻（こ
並行して行なわれる。
〈発明の効果〉
このようをここの発明によれはデジタル画素信号の平均
値を求めて記憶する記憶器の他（こさら（こ１の記憶器
を設け、この記憶器Ｑこデジタル画素信号を転送して、
各種の比較・判定をするよう（こしているから、平均化
と比較判定を同時に並行して実行することができ、この
ため試験（こ要する時間を短縮することができる。
値を求めて記憶する記憶器の他（こさら（こ１の記憶器
を設け、この記憶器Ｑこデジタル画素信号を転送して、
各種の比較・判定をするよう（こしているから、平均化
と比較判定を同時に並行して実行することができ、この
ため試験（こ要する時間を短縮することができる。
第１図は従来の撮像装置試験器の構成を示すブロック図
、第２図はこの発明による撮像装置試験器の一実施例を
示すブロック図である。 １０１；被試験固体撮像素子 １０２；駆動回路 １０５ ； ＡＤ変換器１
（Ｊ６．１１５ ；記憶器 １０８；データ、プロセッサ １０９；コントローラ １１１；光 源 手続補正書（自発） １． 事件の表示 女／−以／／／／Ｄ昭和
５７年１２月１日提出の特許願（２）２、 発明の名称 撮像装置試験器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 タケダ理研工業株式会社 ４、代理人 埼玉県行田市富士見町１丁目１６番１号６、 補正の内
容
、第２図はこの発明による撮像装置試験器の一実施例を
示すブロック図である。 １０１；被試験固体撮像素子 １０２；駆動回路 １０５ ； ＡＤ変換器１
（Ｊ６．１１５ ；記憶器 １０８；データ、プロセッサ １０９；コントローラ １１１；光 源 手続補正書（自発） １． 事件の表示 女／−以／／／／Ｄ昭和
５７年１２月１日提出の特許願（２）２、 発明の名称 撮像装置試験器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 タケダ理研工業株式会社 ４、代理人 埼玉県行田市富士見町１丁目１６番１号６、 補正の内
容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光源から撮像装置に光信号を与えその撮像装置から出力
されたデータに基づいてその撮像装置の良否その他の判
定をするようにした撮像装置試験器において、 へ０．被試験撮像装置の各光電変換セルから受光量をこ
対応して得られる画素信号を順次デジタル画素信号に変
換するＡＤ変換器と、 Ｂ、このＡＤ変換器から出力される各光電変換セルの凹
１素信号Ｑこ対応するデジタル画素信号を所定回数得て
それらを平均化し、その平均化した各デジタル画素信号
を記憶する第１の記憶器と、 Ｃ・ この第１の記憶器から転送されたデジタル画素信
号を記憶する第２の記憶器と、 Ｄ、この第２の記憶器に記憶されたデジタル画素信号を
期待値と比較し又は演算その他の各種試験を行ない被試
験撮像装置の良否を判定する判定手段と、 Ｅ、上記第１の記憶器から第２の記憶器へのデジタル画
素信号の転送、上記第２の記憶器から上記判定手段への
デジタル画素信号の転送、その他の動作の手順を制御す
る制御回路と、を有することを特徴とする撮像装置試験
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21111082A JPS59100879A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | 撮像装置試験器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21111082A JPS59100879A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | 撮像装置試験器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59100879A true JPS59100879A (ja) | 1984-06-11 |
Family
ID=16600570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21111082A Pending JPS59100879A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | 撮像装置試験器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59100879A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007033981A1 (fr) * | 2005-09-23 | 2007-03-29 | Atelier Informatique Et Electronique | Procede et systeme de traitement d'une image pour test d'un capteur cdd/cmos |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5744867A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-13 | Toshiba Corp | Measuring device for charge coupled element |
-
1982
- 1982-12-01 JP JP21111082A patent/JPS59100879A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5744867A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-13 | Toshiba Corp | Measuring device for charge coupled element |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007033981A1 (fr) * | 2005-09-23 | 2007-03-29 | Atelier Informatique Et Electronique | Procede et systeme de traitement d'une image pour test d'un capteur cdd/cmos |
| FR2891388A1 (fr) * | 2005-09-23 | 2007-03-30 | Atelier Inf Et Electronique Sa | Procede et systeme de traitement d'une image pour test d'un capteur cdd/cmos |
| CN101268702B (zh) | 2005-09-23 | 2011-08-24 | 信息与电子工作室 | Ccd/cmos传感器检测用的图像处理方法和系统 |
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