JPS59103253A - 走査変換型蓄積管の動作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はストレージオシロスコープ、Ａ−Ｄｆ換器等に
使用する走査変換型蓄積管の動作方法に関し、更に詳細
には、書き込み及び読み取りを迅速行うことが可能な蓄
積管の動作方法に関する。

従来技術 ゛電気信号を偏向板に印加し、信号に対応した波形を隠
子ビームによって蓄積ターゲット上に書き込み、必要に
応じて蓄積された波形全′亀気１８号として読み出すこ
とが出来る走査変換型蓄積管部ちスキャンコンバータ管
は公知である。また、特開昭５５−１０６６　　号公報
には、第１図及び菓２図に概略的に示す如く、絶縁物単
結晶基＆　ｉｌ＋の上に、単一のコレクタ電極（２）？
設け、絶縁物単結晶からなる蓄積層即ち蓄積憤域全鴫子
ビームで衝撃することによって電子−正孔対全発生させ
、これを蓄ぎ込みに利用して晋き込み速度全向上させる
構造の蓄積ターゲットが開示されている。

ところで、第１図及び第２図に示ｊ蓄積ターゲットに信
号を書き込む隙には、例えば特開昭５５−５０５５８号
公報に示されるように、まずプライム状態を侮るために
、コレクタ電極（２）の電位葡二次電子放出率δ（２次
電子数７１次嶌子数）が蚊初に１になる第１交走亀位以
上の値（例えば陰極に対して２３５０Ｖ）に設定し、電
子ビームでターゲット全衝撃する。これにより、基板（
１）の表面の蓄積面（３）はコレクタ電極（２）の電位
と同じ２３５０Ｖになる。次に、消去電位差ｖｇｉ１％
るために、コレクタ電極（２）の電位を第１又差電位以
下の例えば陰極に対して＋ｌＯ〜＋３０Ｖの範囲から選
択された＋ｌＯＶに設足し、丹び電子ビームで衝撃し、
蓄積面（３）を陰憾と同庫位にする。この結果、蓄積面
（３）とコレクタ電極（２）との曲に１０ｖの消去電位
差が生じる。

次に、蓄積ターゲットに信号を書き込むために、コレク
タ′屯惚（２）の電位を第１交差電位よりも商い例えば
陰極に対してｌ　Ｑ　ｋＶとし、蓄積ターゲットにビー
ム全信号に応じて選択的に投射する。これにより、書き
込み部分（ビーム＊撃部分）は陰極に対して例えば９９
９１Ｖ（コレクタ電極（２）に対して一９Ｖ）の電位と
なり、非督き込み部分（ま１０　ｋＶから消去′電位差
１０Ｖを引いた９９９０Ｖ（コレクタ電極（２）に対し
て一２０Ｖ）に保たれ、コレクタ電極（２）に対して一
９Ｖと−１−ＯＶとの電荷バタンか形成される。

次に、ＦＤｔみ取り時には、コレクタ電極＋２１を陰極
光射して例えば＋５Ｖに設足する。この結果日き込み部
分の電位は陰極に対して一４Ｖ、一方非誉き込み部分の
電位は一５Ｖ（陰極に対して）となる。今一　ターゲッ
トに於けるビームのカットオフ１圧が一５■である状態
で窯変ＡＭ子ビームによるラスク走資金行うと、−４Ｖ
の舊き込み部分には成子ビームが到達し、−５Ｖの非書
き込み部分には電子ビームが到達せ丁、これ等を区別し
て抗み取ることが可能になる。

ところが、従来の方式ではプライム動作及び消去動作に
よって的去電位差ｈヶ得た後に、書き込みを行うことが
必要であり、書き込みを迅速に開始させることが不可能
であった。また、絖木取り時には第ｌ父差電位よりも低
い電圧をコレクタ電極に印加するため、書き込み時と読
み取り時との間で大幅に電圧を変化させることが璧求さ
れ、迅速な電圧切換が内鑵であった。上記問題は、カラ
ス等の非晶′Ｘ絶縁物又は８ｉ０２等の多結晶絶縁物全
蓄積層とするターゲットに於いて同様に生じる。

発明の目的 そこで本発明の目的は書き込み、読み取りのサイクルを
短絡することが可能な走査変換型蓄積雷の動作方法を提
供することにある。

発明の構成 上記目的を達成するための本発明は、好ましくは抵抗率
が１０１叩Ω・確以上の単結晶、多結晶、ガラス等の非
晶質のような絶縁物質からなる蓄積基体上に複数のコレ
クタ電極を電気的に絶縁した状態で互いに平行に配置し
た構造の簀槓ターゲットに電子ビームを偏向して投射し
て電気信号全書き込み、しかる後読み取る除に、前記複
数のコレクタ電極と前記基体の、蓄積面との間に電位差
が実質的に無い状態にされている前記蓄積ターゲットの
少なくとも２つの前記コレクタＸ憧に２次電子放出率が
最初に１になる電圧よりも尚く且っ互いに異なる電圧全
印加し、この異なる電圧の印加状態を保って前記蓄積タ
ーゲットを電子ビームで選択的に備撃して電気信号を葺
き込み、次に別記値数のコレクタ電極に削ａ己第１交差
亀位よりも高い実質的に同一な電圧全印加し、この同ｉ
の電圧印加状態を保って無変調電子ビームで削記蓄積タ
ーゲット全走豊して書き込み信号音読み取ることを特徴
とする走食変換型蓄核管の動作方法に係わるものである
。

作用効果 上記発明によれば、値数のコレクタ電極を設け、異なる
電圧全印加してコレクタ屯極間に電位彦を生じさせるの
で、消去電位差が実質的に零であっても書き込みが可能
である。また、読み取り時にも第１交差電位より高い電
圧會コレクタ電稜に印加するので、書き込みから読み取
りにモードを切換えする際の電圧変化幅が小さくなり、
迅速な切換が可能圧なる。また、読み取りを第１交差電
位より尚い耐圧で行うために破壊読み取りとなり、読み
取りが完了すればコレクタ電極と蓄積領域とが実質的に
同電位となり、直ちに畜き込みが可能になる。また優き
込みの前に消去を行う場合であっても、消去電位差を与
えることが不要であるからプライムモードのみでよく、
消去時間を大幅に短縮することが出来る。

実施例 次に、図面を参照して本発明の実施例について述べる。

第１の実施例（第３図〜第６図） 第３図〜第４図に原理的に示す第１の実施例に係わる蓄
積ターゲット（４）は、絶体物単結晶であるサファイヤ
単結晶基板（５）の平担な一方の主表面上に、互いに電
気的に分離された第１のコレクタ電極（６）と第２のコ
レクタ東億（刀とを有する。サファイヤ単結晶基板ｔ５
１は電気的絶縁物であ・るので、第ｌ及び第２のコレク
タ電極ｔ６１　ｆ７）を分離して配置すれは両者は電気
的に絶縁さｎる。第１及び第２のコレクタ電極（６ｒ　
（７ｒはクロム（Ｃｒ　）寺の金属を厚さ０．０５μｍ
〜数μｍに被着させ、ホトレジスト技術によってくし歯
型に形成したものであり、幅０．５μｍ〜５０μｍ程夏
の線条部分（６ａ）（７ａ）を犬々Ｍする。くし歯状の
第１のコレクタぼ極（６）の腺条部分（６ａ）の相互間
に第２のコレクタ電極（７）の線条部分（７ａ）が挿入
され、各線条部分（６ａＸ７ａ）が交互に平行配置され
ている６、従ってターゲット有効域での電極パタンはス
トライプ状である。各線条部分（６ａ）（７りの相互間
には線条の蓄積面（８）即ち単結晶基板（５）からなる
蓄積領域（９）の表面の一部が露出している。尚線条部
分（６ａ）（７ａ）の相互間の間隔即ちピッチはに子ビ
ームの径より小さい数μｍ〜数１００μｍに設定されて
いる。

第５図は第３図及び第４図に示′ｊ′蓄積ターゲット（
４）を内蔵する定食変換型蓄積ｇを示す。この薔槓賃は
、真空包囲＝体叫の内に、電子銃側と、偏向系ｕ々と、
コリメーション糸１１３）と、蓄積ターゲット（４）と
を順次に配すことによって構成されている。

尚電子銃側は順次に配された陰極側、制御１０５）、加
速電極ｕｂ＋、集束電極（１７）、及びアステイグ１１
＆から成り、ターゲット（４）の方向に向う電子ビーム
を生み出す。偏向系ｕ２１はビームパスにｆｄって配置
された一対の世直偏向板からなる垂直偏向系時と、一対
の水平偏向板からなる水平偏向系ｕｌＪｌとから成り、
垂直方向と水平方向との２つの直父方向に電子ビームｋ
ｍ向する。コリメーション糸ｌＪ３＋はウオール″ｌｌ
ｆ極ｃ７１Ｊとフィルドメツシュ電位（濶とから成り、
読み取り寺に煩ける低工不ルキ菟子ビーム全ターゲット
（４）に圭直に入射させるためのコリメーションレンズ
（凸レンズ）の働きをなす。蓄積ターケット（４）には
、第１及び第２のコレクタ電極ｔ６）　（１）に異なる
電圧全印加する手段として第１及び第２のリード部材（
ハ）（至）が接続され、これ等は包囲体ｕｔｌ）の外に
夫々尋出されている。

第１のリード部材１２濠は抵抗１２５）とスイッチ回路
−６）とを介して、プライム（消去）用心線１２７）、
第１の蓄き込み用心線Ｉ２８）、読み取り用達＃、シソ
）に選択的に接続される。第２のリード部材ｅ勾はスイ
ッチ回路−を介して書き込み時に第２の書き込み用型諒
曲に接続され、プライム、読み取り時には第１のリード
部材困に接続され、第１のリード部材の、：と同一電位
が付与される。同第１のリード部材シ均にはコンデンサ
ｕ２ヲ介して出力ラインがｆｌ：ｍされている。

第５図の蓄積管を動作させるために、例えば、隙惚圓に
は一１ｋＶ、制御電極ＵＳには陰極側を丞準にして０〜
−７５ｖ８度の電圧、加速電極α６）にはＱＶ（電極（
圓を基準圧して＋１ｋＶ）、集束電極μＤ及びアスティ
グ電惚Ｂａには電子ビームの童に応じて最適に調整され
た電圧、ウオール１１υにはＯＶ（陰極側に対して＋１
　ｋＶ）、フィールドメツシュ電極シ４には１．５　ｋ
Ｖ　（陰＝ａ４１に対して２．５ｋＶ）を印加する。

動　　　作 本発明罠従って、複数のコレクタ電極＋６１　（７１を
有するターゲット（４）を使用すると、消去電位層が苓
でも書き込みが可能である。そして、破壊説み取りを行
えば、プライムモード及び消去モードが本質的に不要で
ある。しかし、確実な消去状態を得るために、従来のプ
ライムモードに相当するステップを設けてもよい。この
ターゲット（４）に対する電気イを号の書き込みに先立
ってプライム状態（消去状態）全得る際には、まずスイ
ッチ回路シロ）の接点ａｆオン及びスイッチ回路ｃｏ）
の接点ｄ２オンにすることによって、第１及び第２のコ
レクタ電極（６）　（７１’ｒプライム用用型ｔ７！η
に接続し、コレクタ電極（６）（刀の電位全第１交遅電
位以上の例えば１３５０■（陰極に対して２３５．ＯＶ
）に夫々設定し、無変調電子ビームでターゲット（４）
の有効走責饋域の全部を衝＃！する。これにより、全て
の蓄積面（８）がコレクタ′亀＠！、１６１　（力と同
一の１３５０Ｖ（陰極に対して２３５０Ｖ）となる。即
ち、電子ビーム悔軍忙より、２（Ｋ電子と電子−正孔対
が発生するが、この実施例では°コレクタ電極ｔ６１　
（７）の′咀位全誉槓看で厳も高く設定しであるので、
放出された２仄電子が最も高い電位部分に捕獲される動
作に基づき、蓄積面（８）の電位の上昇が阻止され、薔
槓面（８）の電位はコレクタ電極（６７（７Ｊ　ｆ）電
位と同一になる。また成子−正孔対も蓄積面１８１とコ
レクタ’［０１（６１（７’ｌとの電位配置に依存し、
蓄積面（８）がコレクタ電極（６１（７１と同−電位に
なるように働く。従って、コレクタ電極（６１（７１と
蓄積面（８）との間に消去紙位差Ｖｚが芙實的に生じな
い。

本発明によれば、消去電位差ＶＫが苓でも書き込みが可
能であるので、直ちに書き込み状態に移行力信号を供給
する。また、第１のコレクタＫ　！　（６１と第２のコ
レクタｔｍ（７）とに数ボルトから数１００ボルトの範
囲の電位差が生じるように異なる電圧を供給する。即ち
スイッチ回路（２ｂ）の接点すをオンにして第１の書き
込み用電源Ｉ７！８１から第１のコレクタ電極（６）に
フィルドメツシュ電極（２４の電圧よりも高い例えば９
ｋＶ（陰極に対してｘｏｋＶ）の電圧を印加し、またス
イッチ回路ｑの接点ｅｆｃオンにして第２の曹き込み用
電源６４から例えば９．ｌｋＶ陰極に対してｉｏ、ｉ　
ｋｖ）の電圧□を第２のコレクタ電極（７）に印加する
。

第６図は書き込みの動作を説明するだめの模式的バンド
ダイヤグラムであり、消去によって蓄積面（８）とコレ
クタ電極（６）（刀とが同電位になった状態を第６図囚
とすれば、書き込み時にコレクタ’４．憧ｆ６Ｊ　（７
１に異なる電圧を印加することによって第６図（６）に
示す状態となり、電極（６）　（７）間の蓄積領域にコ
レクタ電位差■＝ｉｏｏｖに対応したドリフト電界が生
じる。尚、コレクタ電極（７３の電位がコレクタ電極（
６）よりも旨いものとする。

第６図（６）に示すようにコレクタ闇電位差を与え且つ
第１父差電位以上の状態での電子ビーム衝撃で書き込み
を行うと２次電子が放出され、また固体内に電子−正孔
対が発生する。放出された２次電子及び固体内の成子は
コレクタ電極（７）に捕獲されるが、正孔は蓄積面側の
近傍の表面準位に獲えられて蓄積面（８）の電位を上昇
させ、第６図０に示すようなバンド状態全形成する。

次に、スイッチ回路６υの接点ｄｉオンにし且つスイッ
チング回路シロ）の接点Ｃ全オンにして第１及び第２の
コレクタ’ｄｊｉ　倹（６１（１）に読み取り用’Ｗａ
：　ＴＪ−’Ａ　Ｕｌ’ｄ）がら同一の１圧全印加する
と、書き込み部分に於いては第６図囚に示すようなバン
ドの曲りが生じ、蓄積１１ｉ］ｔＳ＋の中央がコレクタ
岨惚ｔ６）　（７）より高い電位となる。一方、書き込
みがなされなかった部分は第６図（４）の状態に保たれ
る。これにより、ターゲット（４）上に書き込みに応じ
た電荷パタンか生じる。

読み取りモードに於けるコレクタＭ　極１６）　（７）
の電圧は、第１交差電位以上であり、好ましくは書き込
み時のコレクタ電極（６１１１）の電圧との赤が数１０
０ボルトの範囲になる値である。コレクタ電極（６１（
７１に同一の電圧を印加した状態で無変調電子ビームで
ターゲット（４）の全面全走査すると、第６図■に示す
状態の書き込み部分に於いては成子ビーム価撃によって
生じた１子の一部が正孔の中和に使用されるので、コレ
クタｉｔ　ｋ　ｔ６）　（１）　Ｋ流れ込む電子の量が
少な（なる。一方、第６図囚に示すような非書き込み部
分に於いては、正孔の中オロが生じないので、コレクタ
電極［６１（７）に流れ込む電子の量が多い。従って、
コレクタ電極Ｌ極（６１（７）から得られる゛電流の大
小によって書き込み部分と非誓ぎ込み部分とを区別して
検出することが可能になる。上述の如き読み取りを行う
と、理想的な場合には、読み取り後に蓄積面（８）の電
位がコレクタ電極＋６１　（７）の電位と同一になり、
結局消去状態となる。尚、第５図のようにフィルドメツ
シュ電極（２々を有する場合には、コレクタ電極（６）
　（７１の電位をフィルドメツシュ電極四の電位より高
く設定することが必要である。

これは、欣み取りビームで衝撃することによって発生し
た２次電子がフィルドメツ７ユ電極シに捕獲されてコレ
クタ電極＋６１　ｆ７Ｊに捕獲されるの會防ぐためであ
る。

上述から明らかなように本実流側には次の利点がある。

ｔａｌ　　消去と暮ぎ込みと読み取りとから成るーサイ
クル、又は書き込みと読み取りとから成るーサイクルの
間にコレクタ電極＋６１ｔ７Ｊの電圧値を第１交差電位
以上の冒い値に保つので、モード切換時に於ける電圧変
化幅が小さくなり、モード切換時間を短縮することが出
来る。この為、書き込み直後の読み取りも可能になり、
はぼリアルタイムで僅き込み及び読み取り金行うオシロ
スコープ又はＡ−Ｕコンバータ等を提供することが出来
る。

ｆｂｌ　　消去電位差−が零の状態でも、コレクタ間電
位遅Ｖｗの効果で書き込みを行うことが出来るので、消
去電位差Ｖｔ　ｆ与える動作が不要になり、迅速な書き
込み開始が可能になる。

（Ｃ１読み取り後は消去状態となるので、消走動作（プ
ライム動作）′！ｉｌ−省くことも可能である。

（ｄ）　　コレクタを極（６）（７）の電圧変動幅が小
さいので、切換回路の構成が容易になる。

＋６１　　読み取り時のコレクタ電極（６）　＋７１の
電位′（Ｉ−蓄積管で最も高くしたので、読み取りビー
ムに基づいて発生する２次電子がフィルドメツシュｗ、
ａ（＋７４等で捕獲されず、読み取りを正確に行うこと
が可能になる。

第２実施例（第７図） 第７図に示す本発明の第２の実施例に係わる走査変換型
畜碩管は、第５図の蓄積管からフィルドメツ７ユ電極シ
４を省いたものである。従って、第５図と共通する部分
には同一の符号を付してその説明を省略する。このよう
に、フィルドメツシュ電極を設けない場合であっても、
第１の実施例と全（同僚に書き込み及び読み取りを行う
ことが可能であり、更に次の作用効果が侮られる。

■　フィルドメツシュ′岨惚を設けないと、電子ビーム
がフィルドメツシュ電憔に捕獲されないので、ビーム効
率が艮くなり、書き込み速度が速くなる。

■　フィルドメツシュ電極からの２次電子による書き込
みがなくなり、解像度が上昇する。

尚この第７図の蓄積管による読み取り及び消去時に於い
て、ウオールアノード【１υがフィルドメツシュ電極と
同様にターゲット（４）に関係するので、コレクタ電ｉ
　（６１（７）の電位全ウオールアノード電極Ｃυの電
位よりも尚く設定しなければならな（・。

第３の実施例（第８図、第９図） 第８図及び第９図に示すターゲット（４ａ）は第３図の
ターゲット（４）と同様にサファイヤ単蒋晶基板（５）
の上に第１及び第２のコレクタを憔ｔ６１　（力ヲ＜シ
歯状に設け、史に、両者の間に第３のコレクタ電惚圓を
蛇行状に設けたものである。尚各電極の線条部分（６ａ
）（７ａ）（３４ａ）の幅は０．５μｍ〜５０μｍ１こ
れ等のピッチは数μｍ〜数１００μｍとされている。こ
のように３つのコレクタ′醒極（６）（刀１３１設はテ
モ、ターゲット有効域では夫々の綴条部分（６ａ）（７
ａ）（３４ａ）が互いに平行に配置され、全体としてス
トライプ状となるので、第３図のターゲット（４）と同
様に使用することが出来る。

即ち、このターゲラ）　（４ａ）は第３図のターゲット
（４）と同様に第５図又は第６図に示すような蓄積管に
組み込んで使用される。蓄積肯に組み込む除には、３つ
のコレクタ’４　惚ｔ６１　を方図のリード部材（ハ）
シ滲田を真空包囲体から独立に導出し、コレクタ電極１
６１　（７）図に電圧全独立に印加することがｏＪ能な
構成とする。このターゲット（４ａ）’に使用して種々
の書き込み及び読み出しの動作方法が可能であるが、代
表的な動作方法を次に述べる。

まず、消去する場合には、３つのコレクタ電極（６）（
刀図に同一電圧を印加し、第３図の第１の実施例の場合
と同様に行う。即ち同一電圧を各コレクタ電極（６）（
力１３勺に印加すれば、単一電極とみなせるので、第３
図と全く同様に消去することが出来る。

次に、書き込む場合には、第１及び第２のコレクタ電極
（６）　＋７）に同一電圧（例えば９　ｋＶ）を目コ加
し、第３のコレクタ電極曳には第１及び第２のコレクタ
’Ｋ　Ｑｓ＜　（６）　（７）よりも高い電圧（例えば
９，１　ｋＶ）（ｉ７印加し、第１の実施例の場合と同
様にビーム衝撃音なす。これにより第１０笑施例の場合
と全く同牙な曹き込みが出来る。即ち、創１ｊ電位差Ｖ
ｗｉ有する状態での書き込みが可能となり、第１の実施
例と全く同様な作用効果が得られる。

読み取り時には第１、第２、及び第３のコレクタ電極（
６）（方図に同一電圧を印加し、第１の実施例の場合と
同様に行う。

第６図のターゲラ）　（４ｂ）に対する別の書き込み方
法として、各電極（６）（７）６旬に夫々異なる直圧を
印加して書き込みビーム全投射する方法がある。この場
合には、第１のコレクタ電極（６）に例えば９　ｋＶを
印加し、第３のコレクタ′電極６勺に次に高い例えば９
．１　ｋＶ　　を印加し、第２のコレクタ電極（刀に最
も普い例えばｇ、２ｋｖｌ印刀口する。これにより、各
屯倹間に１００ｖの電位差Ｖｗｉ与えることが可能にな
り、第１の実施例の場合と全く同様な書き込みが可能に
なる。

変形例 以上、本発明の実施例について述べたが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、例えば次のように変形例も含
むものである。

囚　４１０図に示すようにターゲラ）　（４ｂ）に第３
のコレクタ電ｐ　（３４ａ）　ｋ格子状に設けてもよい
。

即ち、す７アイヤ単結晶基板（５）の上に、まず、第３
のコレクタ電極例を格子状に設け、ターゲット有効域外
の第３のコレクタ電極図上に絶＠　ｒ＠　３６）を設け
、次に、第１及び第２のコレクタ電極＋６１　＋７１全
くし歯状に設けてもよい。このように形成しても、各電
極の線条部分（６ａ）（７ａ）（３４ａ）がターゲット
有効域で互いに平行に配置されるので、ｆ、８図のター
ゲット（４ａ）と全く同様な作用効果が慢られる。

（５）基板ｔ５１の背面に背面電惚全設け、適当な′電
圧を印加してもよい。

（Ｃ）　　シリコンの上に多結晶構造の５ｉＯｚ層を設
け、この５４０２屑に絶縁物蓄積層として使用してもよ
い。

０　サファイヤ牟結晶基板（５１の代りに、ＭｇＯ１Ｃ
ａＦ２．　ＭｇＦｚ等の絶縁物ｊＩｌ結晶基板全便用し
てもよい。

（ト）基板（５）金ガラス等の非晶負杷縁物としてもよ
い。

（？）　　’に＆憧ｔ６１（７）１３４１ｋ　Ｃｒ　、
　ＡＩ　、　Ｎｉ　、　ＩＶＩＯ、Ａｕ等の早−又は複
合層で形成してもよい。また、５ｎ（Ｊ２等の透明電極
としてもよい。

◎　各実施例では緋条部分（６ａ）（７ａ）（ａ４ａ）
の延びる方向をビームの水平定食方向に一致させたが、
両者が互いに直交するように配してもよい。

０　第５図の蓄積管ではウオール′１１υとフィルドメ
ツシュ帽１４とでコリメーション糸ｕ３１　ｋ　設けた
が、コリメーション糸Ｑ３）を省いた構成とじてもよい
。

（Ｉ）　　波形を書き込むのみでなく、デジタル信号の
書き込みにも勿論適用可能である。

（Ｊ）　　アルミナ基板等の上に絶縁物蓄積層を設けた
構成としてもよい。

（６）　第１及び第２のコレクタ電極＋６１　（７）に
′電圧を印加する回路を第１１図に示すように構成して
もよい。即ち、電源（２８１則を例えば１００Ｖの暖位
彊金有する異なる電圧諒とし、消去及び説み散り時のみ
スイッチ回路Ｕの接点ｄｉオンにして２つのコレクタ電
極（６）（刀に同一電圧を印加し、葺き込み時にスイッ
チ回路山の接点ｅ七オンにして２つのコレクタ電極（６
）（７）に異なる電圧を供給するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のターゲット全原理的に示す平面図、第２
図は第１図のターゲットの…−ＩＩ線断面図、第３図は
本発明の第１の実施例のターゲットを原理的に示す平面
図、第４図は第３図のターゲットのＩＶ　−ＩＶ　ａ断
面図、第５図は第３図のターゲット全組み込んだ蓄積Ｖ
を原理的に示す横断面図、第６図は第３図のターゲット
に於ける薔き込みの状態をエネルキバンドで模式的に示
すバンド図、第７図は第２の実施例の蓄４′Ｉｌｔ青を
ＪＱ理的に示す慣Ｗ丁面図、第８図は第３図の実施例の
ターゲット全原理的に示す平面図、第９図は第８図のタ
ーゲットの■ＩＸｉ線断面図、第１０図は変形例のター
ゲットを原理的に示す平面図、第１１図は変形例のコレ
クタ電極厩圧印加回路を示す回路図である。 （４）°・・蓄積ターゲット、（５）・・・基板、（６
）・・・第１のコレクタ電極、（７）・・・第２のコレ
クタ電極転（８）・・・蓄積面、（９）・・・蓄積憤域
。 代理人　高野則次 手続補正書く自発） 特許庁長官　若杉和夫　　殿 １、事件の表示 昭和５７年　特　許　願第２１２３７６号２、発明の名
称　走査変換型蓄積管の動作方法３、　補正をする者 事件との関係　　出願・人 ４、代理人 明細書の発明の詳細な説明の欄。 ＋１＋　　明細書第７頁第５行の「絡」を「ｍＪに補正
する０ （２）明細書第１８頁第４行の「α渇」をｒ　（８１Ｊ
に補正する。 （３）　　明細書第１８頁第７行のｒｃ３１］Ｊを「圓
」に補正する。 （４）明細書第２１頁第１１行の「走」を「去」に補正
する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｆｉｌ　　絶縁物質からなる蓄積基体上に複数のコレク
   タ電極を電気的に絶縁した状態で互いに平行に配置した
   構造の蓄積ターゲラ）Ｋ電子ビームを偏向して投射して
   電気信号を書き込み、しかる後読み取る際に、 前記複数のコレクタ電極と前記基体の蓄積面との間に電
   位差が実質的に無い状態にされている前記蓄積ターゲッ
   トの少なくとも２つの前記コレクタ覗住に２次電子放出
   率が最初に１になる電圧よりも尚く且つ互いに異なる電
   圧全印加し、この異なる電圧の印加状態を保って前記蓄
   積ターゲット金電子ビームで選択的に衝撃して電気信号
   全書き込み、次に前記複数のコレクタ′屯極に前記第１
   交差電位よりも高い実質的に同一な電圧全印加し、この
   同一の電圧印加状態を保って無変調゛電子ビームで前記
   畜槓ターゲットを走査して書き込み信号ｋｍみ取ること
   を特徴とする走査変換型蓄積管の動作方法。 ［２１ｎｉｌ記読み取り時に剖記候数のコレクタ電極Ｖ
   ｃｌ：ｉ′］加する′電圧は、前記蓄積管の中で最も尚
   い′電圧である特許請求の範囲第１項記載の走査変換型
   蓄積管の動作方法。