JPS59104548A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59104548A JPS59104548A JP57214383A JP21438382A JPS59104548A JP S59104548 A JPS59104548 A JP S59104548A JP 57214383 A JP57214383 A JP 57214383A JP 21438382 A JP21438382 A JP 21438382A JP S59104548 A JPS59104548 A JP S59104548A
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- JP
- Japan
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- wave signal
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/34—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
- G01N29/341—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with time characteristics
- G01N29/343—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with time characteristics pulse waves, e.g. particular sequence of pulses, bursts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波顕微鏡に関するものである。
超音波顕微鏡は従来種々のものが提案されている。第１
図は反射形の超音波顕微鏡の基本構成を示すもので、制
御部１により高周波パルス発生器２を制御して超高周波
のバースト波電気信号を発生させ、これをサーキュレー
タ３を介して超音波送受部４の圧電トランスジューサ５
に供給し、こ＼で電気信号から超音波に変換して音響レ
ンズ（超音波収束レンズ）６および液体７を介して試料
台８上に載置された試料９にスポット状に投射する。音
響レンズ６および試料台８は、超音波スポットにより試
料９を二次元的に走査するため、制御部ｌの１伺御の下
にＸ方向走査部ｌＯおよびＹ方向走査部１１により、相
対的に二次元的に移動可能に構成される。一方、試料９
からの反射波は、音響レンズ６で集音し、圧電トランス
ジューサ５で電気（ｍ号に変換してサーキュレータ３を
介してゲート部１２に供給し、こ＼で制御部ｌの制御の
下に試料９からの反射波に対応する信号のみを取出し、
この信号を増幅・検波部１３で増幅、検波して輝度信号
として制御部１の制御の下にＸおよびＹ方向走査部１０
および１１からの位置に関する信号と共にスキャンコン
バータ１４に記録した後、表示部１５において画像とし
て表示する。
図は反射形の超音波顕微鏡の基本構成を示すもので、制
御部１により高周波パルス発生器２を制御して超高周波
のバースト波電気信号を発生させ、これをサーキュレー
タ３を介して超音波送受部４の圧電トランスジューサ５
に供給し、こ＼で電気信号から超音波に変換して音響レ
ンズ（超音波収束レンズ）６および液体７を介して試料
台８上に載置された試料９にスポット状に投射する。音
響レンズ６および試料台８は、超音波スポットにより試
料９を二次元的に走査するため、制御部ｌの１伺御の下
にＸ方向走査部ｌＯおよびＹ方向走査部１１により、相
対的に二次元的に移動可能に構成される。一方、試料９
からの反射波は、音響レンズ６で集音し、圧電トランス
ジューサ５で電気（ｍ号に変換してサーキュレータ３を
介してゲート部１２に供給し、こ＼で制御部ｌの制御の
下に試料９からの反射波に対応する信号のみを取出し、
この信号を増幅・検波部１３で増幅、検波して輝度信号
として制御部１の制御の下にＸおよびＹ方向走査部１０
および１１からの位置に関する信号と共にスキャンコン
バータ１４に記録した後、表示部１５において画像とし
て表示する。
このような超音波顕微鏡においては、制御部１から第２
図ａに示すような制御パルスを高周波パルス発生器２に
供給することにより、高周波パルス発生器２から超高周
波のバースト波電気信号を発生させて、超音波送受部４
を経て試料９に超音波を投射しているが、圧電トランス
ジューサ５がら音響レンズ６に発射された超音波は、音
響レンズ６と圧電トランスジューサ５との間で多重反射
し、これらの反射波が試料反射波と共に圧電トランスジ
ューサ５でそれぞれ電気信号に変換されてサーキュレー
タ３を経てゲート部１２に供給される。そこで、一般に
は超音波送受部４内での多重反射波の強圧が試料反射波
の強度よりも低くなるように、音響レンズ６の面に反射
防止膜を設けると共に、試料９からの反射波が超音波送
受部４内での第１反射波および第２反射波間で受信され
るように超音波送受部４を設計して、例えば第２図すに
示すような信号がゲート部１２に供給されるようにして
いる。第２図すにおいて、最初の信号Ａは高周波パルス
発生器２がらサーキュレータ３・に送られた超高周波の
バースト波電気信号のゲート部１２への漏洩信号を表わ
し、信号Ｂ、Ｄ、Ｅは超音波送受部４内での多重反射に
よる第１．第２、第３の反射波信号で、圧電トランスジ
ューサ５と音響レンズ６との間の距離をｌ、その間の音
速をＣとすると、ｔ、 −２１７，の間隔で減衰しなが
ら繰返し現われる。また、信号Ｃは試料９からの反射波
信号を示し、音響レンズ６と試料９との間の距離をｆ（
焦点距離）、液体７中での音速をＣ８とすると、局周波
パルス発生器２においてバースト波が発生してから、ｔ
ｌ ” ｔｆ （ｔｆ ”” ”Ｇ ）の時間に発生す
る。そこで、従来はゲート部１２においてＴ、ｔ ＋
ｊｆに発生する信号のみを取出せるように、制御部１か
らゲート部１２へ第２図Ｏに示すように、制御パルス（
第２図ａ）の発生からゲートパルスを発生させるまでの
時間ｔｇおよびゲートパルスの幅ｔｗを調整したゲート
信号を供給することにより、第２図ｄに示すように試料
反射波信号Ｃのみを取出すようにしている。
図ａに示すような制御パルスを高周波パルス発生器２に
供給することにより、高周波パルス発生器２から超高周
波のバースト波電気信号を発生させて、超音波送受部４
を経て試料９に超音波を投射しているが、圧電トランス
ジューサ５がら音響レンズ６に発射された超音波は、音
響レンズ６と圧電トランスジューサ５との間で多重反射
し、これらの反射波が試料反射波と共に圧電トランスジ
ューサ５でそれぞれ電気信号に変換されてサーキュレー
タ３を経てゲート部１２に供給される。そこで、一般に
は超音波送受部４内での多重反射波の強圧が試料反射波
の強度よりも低くなるように、音響レンズ６の面に反射
防止膜を設けると共に、試料９からの反射波が超音波送
受部４内での第１反射波および第２反射波間で受信され
るように超音波送受部４を設計して、例えば第２図すに
示すような信号がゲート部１２に供給されるようにして
いる。第２図すにおいて、最初の信号Ａは高周波パルス
発生器２がらサーキュレータ３・に送られた超高周波の
バースト波電気信号のゲート部１２への漏洩信号を表わ
し、信号Ｂ、Ｄ、Ｅは超音波送受部４内での多重反射に
よる第１．第２、第３の反射波信号で、圧電トランスジ
ューサ５と音響レンズ６との間の距離をｌ、その間の音
速をＣとすると、ｔ、 −２１７，の間隔で減衰しなが
ら繰返し現われる。また、信号Ｃは試料９からの反射波
信号を示し、音響レンズ６と試料９との間の距離をｆ（
焦点距離）、液体７中での音速をＣ８とすると、局周波
パルス発生器２においてバースト波が発生してから、ｔ
ｌ ” ｔｆ （ｔｆ ”” ”Ｇ ）の時間に発生す
る。そこで、従来はゲート部１２においてＴ、ｔ ＋
ｊｆに発生する信号のみを取出せるように、制御部１か
らゲート部１２へ第２図Ｏに示すように、制御パルス（
第２図ａ）の発生からゲートパルスを発生させるまでの
時間ｔｇおよびゲートパルスの幅ｔｗを調整したゲート
信号を供給することにより、第２図ｄに示すように試料
反射波信号Ｃのみを取出すようにしている。
このように、従来は高周波パルス発生器２からバースト
波が発生してからｔ、＋ｔｆの時刻に発生する試料反射
波信号Ｃのみを取出せるようにゲート（、：８号のｔｇ
およびｔｗを調整している。このため、超音波送受部４
として圧電トランスジューサ５と音響レンズ６との間の
距離ｌ、音響レンズ６の焦点距ｇｆｆｆ ｆの異なった
ものを用いる場合には、上記ｔｔ 、 ｊｆがそれに応
じて異なるために、その都度衛およびｔｗを調整してゲ
ート信号を発生する必要がある。すなわち、上記ｌおよ
びｆが第２図すの場合よりも短い場合および長い場合に
は、ゲート部１２に供給される信号はそれぞれ第２図ｅ
およびｆに示すようになり、第２図ｅにおいてはバース
ト波が発生してから必要な試料反射波信号Ｇ’が現われ
る時刻ｊ／、 ＋ｊ／ｆは第２図すのｔ、＋ ｔｆより
も早くなり、また第２図ｆにおいては必要な試料反射波
信号Ｃ”が現われる時刻ｔＮ、＋ｔ″、は第２図すの１
． ＋ １ｆよりも遅くなる。このため、従来は必要な
試料反射波信号ｃ 、 ｃ’ 、 Ｏ’を取出すために
使用する超音波送受部４のｌおよびｆに応じて、ゲート
信号のｔｇ ｒ ｔｗをそれぞれ調整するようにしてい
るが、この作業は極めて煩雑である。
波が発生してからｔ、＋ｔｆの時刻に発生する試料反射
波信号Ｃのみを取出せるようにゲート（、：８号のｔｇ
およびｔｗを調整している。このため、超音波送受部４
として圧電トランスジューサ５と音響レンズ６との間の
距離ｌ、音響レンズ６の焦点距ｇｆｆｆ ｆの異なった
ものを用いる場合には、上記ｔｔ 、 ｊｆがそれに応
じて異なるために、その都度衛およびｔｗを調整してゲ
ート信号を発生する必要がある。すなわち、上記ｌおよ
びｆが第２図すの場合よりも短い場合および長い場合に
は、ゲート部１２に供給される信号はそれぞれ第２図ｅ
およびｆに示すようになり、第２図ｅにおいてはバース
ト波が発生してから必要な試料反射波信号Ｇ’が現われ
る時刻ｊ／、 ＋ｊ／ｆは第２図すのｔ、＋ ｔｆより
も早くなり、また第２図ｆにおいては必要な試料反射波
信号Ｃ”が現われる時刻ｔＮ、＋ｔ″、は第２図すの１
． ＋ １ｆよりも遅くなる。このため、従来は必要な
試料反射波信号ｃ 、 ｃ’ 、 Ｏ’を取出すために
使用する超音波送受部４のｌおよびｆに応じて、ゲート
信号のｔｇ ｒ ｔｗをそれぞれ調整するようにしてい
るが、この作業は極めて煩雑である。
本発明の目的は、上述した点に鑑み、超音波送受部を変
換しても何らの調整を行なうことなく、常に所要の試料
反射波信号のみを有効に取出せるよう適切に構成した超
音波顕微鏡を提供しようとするものである。
換しても何らの調整を行なうことなく、常に所要の試料
反射波信号のみを有効に取出せるよう適切に構成した超
音波顕微鏡を提供しようとするものである。
本発明の超音波顕微鏡は、所定の時間間隔をもった一対
の制御パルスを発生する手段と、その各制御パルスに基
いて試料に超音波を投射する手段と、前記一対の制御パ
ルスのうちの先頭の制御パルスに対応する超音波の反射
波信号から試料反射波ｆｍ号を検出する手段と、この検
出手段による試料反射波１１号の検出時点から前記一対
の制御パルスのＲ間間隔にはヌ等しい時間の経過後に、
該一対の制御パルスのうちの後方の制御パルスに対応す
る反射波信号をサンプリングしてその試料反射波信号を
抽出する手段とを具えることを特徴とするものである。
の制御パルスを発生する手段と、その各制御パルスに基
いて試料に超音波を投射する手段と、前記一対の制御パ
ルスのうちの先頭の制御パルスに対応する超音波の反射
波信号から試料反射波ｆｍ号を検出する手段と、この検
出手段による試料反射波１１号の検出時点から前記一対
の制御パルスのＲ間間隔にはヌ等しい時間の経過後に、
該一対の制御パルスのうちの後方の制御パルスに対応す
る反射波信号をサンプリングしてその試料反射波信号を
抽出する手段とを具えることを特徴とするものである。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明の超音波顕微鏡の一例の構成を・示すブ
ロック図であり、第１図に示す符号と同一符号は同一の
作用を成すものを表わす。本例では、制御部］から高周
波パルス発生器２に、第４図ａに示すように所定の時間
間隔ｔ□をもった一対の制御パルスをｔ２の周期で供給
し、これら制御ノクルスにより高周波パルス発生器２に
おいてそれぞれ超高周波のバースト波電気信号を発生さ
せ、これをサーキュレータ３を介して超音波送受部４の
圧電トランスジューサ５に供給して超音波に変換し、そ
の一対の制御パルスに対応する超音波を音響レンズ６お
よび液体７を経て試料台８上に載置された試料９の同一
位置においてスポット状に投Ｕ”Ｊ する。圧電トラン
スジューサ５から発射された超音波の反射波は、該圧電
トランスジューサ５で・受信して電気信号に変換し、サ
ーキュレータ３を経てゲート部１２に供給する。ここで
ゲート部１２に供給される信号は、例えば第４図すに示
すように、各制御パルスに対応して漏洩信号Ａ１超音波
送受部４内での第１反射波信号Ｂ１試料反射波１１３号
Ｃ１超音波送受部４内での第２および第３反射波信号り
およびＥが順次に現われ、対を成す制御パルスに対応す
る反射波信号は互いに等しく・その試料反射波信号Ｃは
超音波送受部４の！およびｆに無関係に１し」御パルス
の時間間隔ｔ□と等しい時間差ｔ工をもって現われる。
ロック図であり、第１図に示す符号と同一符号は同一の
作用を成すものを表わす。本例では、制御部］から高周
波パルス発生器２に、第４図ａに示すように所定の時間
間隔ｔ□をもった一対の制御パルスをｔ２の周期で供給
し、これら制御ノクルスにより高周波パルス発生器２に
おいてそれぞれ超高周波のバースト波電気信号を発生さ
せ、これをサーキュレータ３を介して超音波送受部４の
圧電トランスジューサ５に供給して超音波に変換し、そ
の一対の制御パルスに対応する超音波を音響レンズ６お
よび液体７を経て試料台８上に載置された試料９の同一
位置においてスポット状に投Ｕ”Ｊ する。圧電トラン
スジューサ５から発射された超音波の反射波は、該圧電
トランスジューサ５で・受信して電気信号に変換し、サ
ーキュレータ３を経てゲート部１２に供給する。ここで
ゲート部１２に供給される信号は、例えば第４図すに示
すように、各制御パルスに対応して漏洩信号Ａ１超音波
送受部４内での第１反射波信号Ｂ１試料反射波１１３号
Ｃ１超音波送受部４内での第２および第３反射波信号り
およびＥが順次に現われ、対を成す制御パルスに対応す
る反射波信号は互いに等しく・その試料反射波信号Ｃは
超音波送受部４の！およびｆに無関係に１し」御パルス
の時間間隔ｔ□と等しい時間差ｔ工をもって現われる。
本例では、ゲート部１２において７ｕ１」件部１からの
制御パルスに基いて第４図ｇに示すようなゲート信号を
作成し、これにより不要信号の１つである漏洩信号Ａの
みを除去し、他の信号は増幅・検波部１３に供給して第
４図ｄに示すような検波信号を得る。この検波信号はサ
ンプルホールド部２１に供給すると共に、比較器２２の
一方の入力端子に供給する。比較器２２の他方の大力端
子には、第１反射波信号Ｂのピーク値よりも大きく、か
つ試料反射波信号Ｃのピーク値よりも小さい基準値Ｖ。
制御パルスに基いて第４図ｇに示すようなゲート信号を
作成し、これにより不要信号の１つである漏洩信号Ａの
みを除去し、他の信号は増幅・検波部１３に供給して第
４図ｄに示すような検波信号を得る。この検波信号はサ
ンプルホールド部２１に供給すると共に、比較器２２の
一方の入力端子に供給する。比較器２２の他方の大力端
子には、第１反射波信号Ｂのピーク値よりも大きく、か
つ試料反射波信号Ｃのピーク値よりも小さい基準値Ｖ。
を供給し、これにより試料反射波信号Ｃを検出して第４
図ｇに示すようなパルスＦおよびＧを発生させ、これを
パルス制御部２．３＆こ供給する。パルス制御部２８に
おいては、比較器２２から供給されるパルスＦおよびＧ
のうち、対を成す制御パルスのうち・の先頭の制御パル
スに対応する試料反射波信号の発生タイミングを表わす
パルスＦを検出して、このパルスＦの検出からほぼｔ０
経過した時点で第４ｉｆｆｌｆに示すように、サンプル
ホールド部２１において増幅・検波部１３からの検波信
号をサンプリングするパルスＨを発生させると共に、所
定時間１８（１工〈ｔ３〈ｔ２）経過した時点でサンプ
ルホールド部２１をリセットするパルス■を発生させて
、サンプルホールドｆＡｓ ２１において第４図ｇに示
すように増幅・検波部１８からの検波信号をサンプリン
グしてホールドする。したがってこのサンプルホールド
部２１には対を成す制御パルスのうちの後方の制御パル
スに対応する試料反射波信号Ｃがサンプリングされてホ
ーノＶドされることになる。
図ｇに示すようなパルスＦおよびＧを発生させ、これを
パルス制御部２．３＆こ供給する。パルス制御部２８に
おいては、比較器２２から供給されるパルスＦおよびＧ
のうち、対を成す制御パルスのうち・の先頭の制御パル
スに対応する試料反射波信号の発生タイミングを表わす
パルスＦを検出して、このパルスＦの検出からほぼｔ０
経過した時点で第４ｉｆｆｌｆに示すように、サンプル
ホールド部２１において増幅・検波部１３からの検波信
号をサンプリングするパルスＨを発生させると共に、所
定時間１８（１工〈ｔ３〈ｔ２）経過した時点でサンプ
ルホールド部２１をリセットするパルス■を発生させて
、サンプルホールドｆＡｓ ２１において第４図ｇに示
すように増幅・検波部１８からの検波信号をサンプリン
グしてホールドする。したがってこのサンプルホールド
部２１には対を成す制御パルスのうちの後方の制御パル
スに対応する試料反射波信号Ｃがサンプリングされてホ
ーノＶドされることになる。
このサンプルホールド部２１の出力は、第１図において
説明したと同様に、輝度信号として制御部Ｊの制御の下
にＸおよびＹ方向走査部１０および１１からの位１１σ
に関する信号と共にスキャンコンバータト１に記録した
後、表示部１５において画像として表示する。
説明したと同様に、輝度信号として制御部Ｊの制御の下
にＸおよびＹ方向走査部１０および１１からの位１１σ
に関する信号と共にスキャンコンバータト１に記録した
後、表示部１５において画像として表示する。
このように、所定の時間間隔ｔ□をもった一対の制御パ
ルスのうちの最初の制御パルスに対応する反射波信号か
ら試料反射波信号Ｃを検出し、この検出時点からほぼｔ
□を経過した時点で次の制御パルスに対応する反射波信
号をサンプリングすれば、一対の制御パルスに対応する
試料反射波信号Ｃは、超音波送受部４のｌおよびｆに無
関係にその対を成す１ｔｌＪ御パルスの時間間隔ｔ□と
等しい時間差ｔ０をもって現われるから、超音波送受部
４を交換しても何らの調整を行なうことなく、常に所要
の試料反射波信号のみを有効に取出すことができる。
ルスのうちの最初の制御パルスに対応する反射波信号か
ら試料反射波信号Ｃを検出し、この検出時点からほぼｔ
□を経過した時点で次の制御パルスに対応する反射波信
号をサンプリングすれば、一対の制御パルスに対応する
試料反射波信号Ｃは、超音波送受部４のｌおよびｆに無
関係にその対を成す１ｔｌＪ御パルスの時間間隔ｔ□と
等しい時間差ｔ０をもって現われるから、超音波送受部
４を交換しても何らの調整を行なうことなく、常に所要
の試料反射波信号のみを有効に取出すことができる。
第１図は反射形層音波顕微鏡の基本構成を示す線図、
第２図ａ −ｆはその動作を説明するための信号波形図
、 第８図は本発明の超音波顕＊ａの一例の構成を示す線図
、 第４図ａ −ｇはその動作を説明するための信号波形図
である。 １・・・制御部 ２・・・高周波パルス発生
器３・・・サーキュレータ ４・・・超音波送受部５
・・・圧電トランスジューサ ６・・・音響レンズ ７・・・液体８・・・試料
台 ９・・・試料１０・・・Ｘ方向短−ｉ、
ｆ′Ａ １１・・・Ｙ方向走査部１２・・・ゲート部
１３・・・増幅・検波部１４・・・スキャンコ
ンバータ １５・・・表示部 ２１・・・サンプルホールド部 ２２・・・比較器 ２３・・・パルス制御部。
、 第８図は本発明の超音波顕＊ａの一例の構成を示す線図
、 第４図ａ −ｇはその動作を説明するための信号波形図
である。 １・・・制御部 ２・・・高周波パルス発生
器３・・・サーキュレータ ４・・・超音波送受部５
・・・圧電トランスジューサ ６・・・音響レンズ ７・・・液体８・・・試料
台 ９・・・試料１０・・・Ｘ方向短−ｉ、
ｆ′Ａ １１・・・Ｙ方向走査部１２・・・ゲート部
１３・・・増幅・検波部１４・・・スキャンコ
ンバータ １５・・・表示部 ２１・・・サンプルホールド部 ２２・・・比較器 ２３・・・パルス制御部。
Claims (1)
- Ｌ 所定の時間間隔をもった一対の制御パルスを発生す
る手段と、その各制御パルスに基いて試料に超音波を投
射する手段と、前記一対の制御パルスのうちの先頭の制
御パルスに対応する超音波の反射波信号から試料反射波
信号を検出する手段ど、この検出手段による試料反射波
信号の検出時点から前記一対の制御パルスの時間間隔に
はヌ等しい時間の経過後に、該一対の制御パルスのうち
の後方の制御パルスに対応する反射波信号をサンプリン
グしてその試料反射波信号を抽出する手段とを具えるこ
とを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57214383A JPS59104548A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57214383A JPS59104548A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59104548A true JPS59104548A (ja) | 1984-06-16 |
Family
ID=16654873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57214383A Pending JPS59104548A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59104548A (ja) |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP57214383A patent/JPS59104548A/ja active Pending
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