JPH056144B2 - - Google Patents
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- JPH056144B2 JPH056144B2 JP58100320A JP10032083A JPH056144B2 JP H056144 B2 JPH056144 B2 JP H056144B2 JP 58100320 A JP58100320 A JP 58100320A JP 10032083 A JP10032083 A JP 10032083A JP H056144 B2 JPH056144 B2 JP H056144B2
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- ultrasonic
- scanning
- signal
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、観察すべき試料を載置する試料台
と、この試料台上に載置された試料に超音波ビー
ムを参照し、試料から反射される超音波を受波す
る音響レンズと、この音響レンズに装着された圧
電トランスデユーサと、前記試料台を超音波ビー
ムの軸線に垂直な走査平面と平行な面内で移動さ
せる走査機構と、前記試料台を傾斜させる傾斜調
整機構とを具え、前記試料台上の試料を超音波ビ
ームによつて走査して試料の超音波像を得るよう
にした超音波顕微鏡における試料台傾斜調整方法
に関するものである。
と、この試料台上に載置された試料に超音波ビー
ムを参照し、試料から反射される超音波を受波す
る音響レンズと、この音響レンズに装着された圧
電トランスデユーサと、前記試料台を超音波ビー
ムの軸線に垂直な走査平面と平行な面内で移動さ
せる走査機構と、前記試料台を傾斜させる傾斜調
整機構とを具え、前記試料台上の試料を超音波ビ
ームによつて走査して試料の超音波像を得るよう
にした超音波顕微鏡における試料台傾斜調整方法
に関するものである。
超音波顕微鏡は、光の代わりに超音波を用いて
物体の微視的な構造を観察する装置である。その
原理は、細く集束させた超音波ビームのスポツト
によつて試料面を走査し、試料表面あるいは試料
内部の音響的性質の差に応じて反射する反射超音
波を受信して電気信号に変換し、これをテレビジ
ヨン信号の輝度信号となるように処理してテレビ
ジヨン画像モニタ上に画像表示して観察するよう
にしたものであり、像の拡大は、前記テレビジヨ
ン画像モニタ上のラスタによる走査幅を、試料面
での超音波ビームの走査幅より大きくすることに
よつてなされる。
物体の微視的な構造を観察する装置である。その
原理は、細く集束させた超音波ビームのスポツト
によつて試料面を走査し、試料表面あるいは試料
内部の音響的性質の差に応じて反射する反射超音
波を受信して電気信号に変換し、これをテレビジ
ヨン信号の輝度信号となるように処理してテレビ
ジヨン画像モニタ上に画像表示して観察するよう
にしたものであり、像の拡大は、前記テレビジヨ
ン画像モニタ上のラスタによる走査幅を、試料面
での超音波ビームの走査幅より大きくすることに
よつてなされる。
第１図は、上記の原理による超音波顕微鏡の一
般的な基本構成を示すブロツク線図である。
般的な基本構成を示すブロツク線図である。
制御部１からの制御信号に同期した周期で超高
周波のバースト波高周波信号を発生する高周波パ
ルス発生器２からの高周波バースト信号は、サー
キユレータ３を経て、電気信号と超音波信号を可
逆変換する圧電トランスデユーサ４に加わり、超
音波に変換される。この超音波は、音響レンズ５
によつて集束され、超音波伝達媒体６たとえば水
を介して試料７の面上に微小スポツトとして照射
される。この照射された超音波は、試料７の音響
的特性に応じて反射し、音響レンズ５によつて集
音され圧電トランスデユーサ４により受信されて
電気信号に変換され、再びサーキユレータ３を介
して受信部８に導かれる。この受信部８に導かれ
た前記電気信号は、ここで制御部１からのゲート
信号によりゲートされて不必要な信号が除去され
た後、増幅および検波されて試料７からの反射強
度に応じて検波出力信号となる。このようにして
得た検波出力信号は、Ｘ方向走査部９およびＹ方
向走査部１０からの試料７の走査位置に関するＸ
方向およびＹ方向情報信号とともにスキヤンコン
バータ１１に導かれ、ここで輝度信号として記録
された後、これをテレビジヨン信号に変換して読
み出し、表示部たとえばテレビジヨン画像モニタ
１２により試料７の超音波顕微鏡像として画像表
示する。なお、前記Ｘ方向走査部９およびＹ方向
走査部１０は、それぞれ制御部１からの制御信号
によつて駆動されて、そのＸ方向走査部９により
音響レンズ５がＸ方向に高速加振され、そのＹ方
向走査部１０により試料台１３がＹ方向に低速移
動する構成となつている。
周波のバースト波高周波信号を発生する高周波パ
ルス発生器２からの高周波バースト信号は、サー
キユレータ３を経て、電気信号と超音波信号を可
逆変換する圧電トランスデユーサ４に加わり、超
音波に変換される。この超音波は、音響レンズ５
によつて集束され、超音波伝達媒体６たとえば水
を介して試料７の面上に微小スポツトとして照射
される。この照射された超音波は、試料７の音響
的特性に応じて反射し、音響レンズ５によつて集
音され圧電トランスデユーサ４により受信されて
電気信号に変換され、再びサーキユレータ３を介
して受信部８に導かれる。この受信部８に導かれ
た前記電気信号は、ここで制御部１からのゲート
信号によりゲートされて不必要な信号が除去され
た後、増幅および検波されて試料７からの反射強
度に応じて検波出力信号となる。このようにして
得た検波出力信号は、Ｘ方向走査部９およびＹ方
向走査部１０からの試料７の走査位置に関するＸ
方向およびＹ方向情報信号とともにスキヤンコン
バータ１１に導かれ、ここで輝度信号として記録
された後、これをテレビジヨン信号に変換して読
み出し、表示部たとえばテレビジヨン画像モニタ
１２により試料７の超音波顕微鏡像として画像表
示する。なお、前記Ｘ方向走査部９およびＹ方向
走査部１０は、それぞれ制御部１からの制御信号
によつて駆動されて、そのＸ方向走査部９により
音響レンズ５がＸ方向に高速加振され、そのＹ方
向走査部１０により試料台１３がＹ方向に低速移
動する構成となつている。
上述の如き構成の超音波顕微鏡によつて、試料
７を観察する際し、高解像度の超音波顕微鏡像を
得るためには、試料７は、超音波ビームが最小に
しぼられる集束スポツトの位置に配置する必要が
ある。これを換言すれば、超音波ビームの集束ス
ポツトにより形成される走査平面と、観察すべき
試料７の面は、一致あるいは平行するように、試
料７を試料台１３上に載置しなければならない。
そのために、試料台１３として二方向に関する面
の平行度を調整することができるゴニオメータが
従来から用いられている。そしてその調整に当つ
ては、超音波ビームの集束スポツトにより形成さ
れる走査平面と、試料７の面を平行にするため
に、走査を何回も繰り返して、表示部１２に表示
される画像を観測しながら、その画像に非平行時
に現われる干渉縞が減るように、ゴニオメータを
何度も調整しなければならない煩わしさがあり、
そのため観察時間の大半をその調整に費やす等、
超音波顕微鏡の使用効率を防げる原因ともなつて
いる。
７を観察する際し、高解像度の超音波顕微鏡像を
得るためには、試料７は、超音波ビームが最小に
しぼられる集束スポツトの位置に配置する必要が
ある。これを換言すれば、超音波ビームの集束ス
ポツトにより形成される走査平面と、観察すべき
試料７の面は、一致あるいは平行するように、試
料７を試料台１３上に載置しなければならない。
そのために、試料台１３として二方向に関する面
の平行度を調整することができるゴニオメータが
従来から用いられている。そしてその調整に当つ
ては、超音波ビームの集束スポツトにより形成さ
れる走査平面と、試料７の面を平行にするため
に、走査を何回も繰り返して、表示部１２に表示
される画像を観測しながら、その画像に非平行時
に現われる干渉縞が減るように、ゴニオメータを
何度も調整しなければならない煩わしさがあり、
そのため観察時間の大半をその調整に費やす等、
超音波顕微鏡の使用効率を防げる原因ともなつて
いる。
本発明の目的は、上述の如き従来の超音波顕微
鏡における試料の面と超音波ビームの集束スポツ
トにより形成される走査平面との平行度の調整の
煩わしさを解消するため前記平行度の調整の容易
な、しかも自動調整することも可能な超音波顕微
鏡の試料台傾斜調整方法を提供しようとするもの
である。
鏡における試料の面と超音波ビームの集束スポツ
トにより形成される走査平面との平行度の調整の
煩わしさを解消するため前記平行度の調整の容易
な、しかも自動調整することも可能な超音波顕微
鏡の試料台傾斜調整方法を提供しようとするもの
である。
本発明は、観察すべき試料を載置する試料台
と、この試料台上に載置された試料に超音波ビー
ムを照射し、試料から反射される超音波を受波す
る音響レンズと、この音響レンズに装着された圧
電トランスデユーサと、前記試料台を超音波ビー
ムの軸線に垂直な走査平面と平行な面内で移動さ
せる走査装置と、前記試料台を傾斜させる傾斜調
整機構とを具える超音波顕微鏡における傾斜調整
方法において、 前記音響レンズから試料面上の少なくとも２か
所において超音波ビームを試料に照射し、試料か
ら反射される超音波を受波して基準時刻から試料
から反射される超音波の受波時刻までの時間を計
測することによつて音響レンズと試料面上の少な
くとも２か所との間の距離を求め、これらの距離
が等しくなるように前記傾斜調整機構を調整する
ことによつて試料面と走査平面とを平行とするこ
とを特徴とするものである。
と、この試料台上に載置された試料に超音波ビー
ムを照射し、試料から反射される超音波を受波す
る音響レンズと、この音響レンズに装着された圧
電トランスデユーサと、前記試料台を超音波ビー
ムの軸線に垂直な走査平面と平行な面内で移動さ
せる走査装置と、前記試料台を傾斜させる傾斜調
整機構とを具える超音波顕微鏡における傾斜調整
方法において、 前記音響レンズから試料面上の少なくとも２か
所において超音波ビームを試料に照射し、試料か
ら反射される超音波を受波して基準時刻から試料
から反射される超音波の受波時刻までの時間を計
測することによつて音響レンズと試料面上の少な
くとも２か所との間の距離を求め、これらの距離
が等しくなるように前記傾斜調整機構を調整する
ことによつて試料面と走査平面とを平行とするこ
とを特徴とするものである。
以下、図面に基づいて本発明を詳細に説明す
る。
る。
第２図は、傾いた試料７を圧電トランスデユー
サ４と一体に構成した音響レンズ５が、Ｘ方向に
試料７を走査している様子を示している。図示の
ように音響レンズ５が試料７の面上の、たとえば
一番左側にある状態をＬ、一番右側にある状態を
Ｒとする。Ｌの状態における音響レンズ５と試料
７間の距離をL、Ｒの状態におけるそれをRと
する。図示の例ではL／Rの状態となつてい
る。第３図ａおよびｂに示したように、これら両
状態において、高周波パルス発生器２からバース
ト波高周波パルス信号P1が発生して、そのバー
スト波高周波パルス信号による超音波に対応した
試料７からの反射波の各受信信号P2，P2′が得ら
れるまでの時間を、それぞれtL，tRとすると、そ
の時間差Δt＝tR−tLは、第２図に示したように音
響レンズ５の試料７に対するそれぞれの位置にお
ける音響レンズ５と試料７の面間の距離L，R
の差によつて生じたものであつて、Δt＝２（R
−L）／Ｃ（Ｃは、超音波伝達媒体が水のときは
水中の音速）である。
サ４と一体に構成した音響レンズ５が、Ｘ方向に
試料７を走査している様子を示している。図示の
ように音響レンズ５が試料７の面上の、たとえば
一番左側にある状態をＬ、一番右側にある状態を
Ｒとする。Ｌの状態における音響レンズ５と試料
７間の距離をL、Ｒの状態におけるそれをRと
する。図示の例ではL／Rの状態となつてい
る。第３図ａおよびｂに示したように、これら両
状態において、高周波パルス発生器２からバース
ト波高周波パルス信号P1が発生して、そのバー
スト波高周波パルス信号による超音波に対応した
試料７からの反射波の各受信信号P2，P2′が得ら
れるまでの時間を、それぞれtL，tRとすると、そ
の時間差Δt＝tR−tLは、第２図に示したように音
響レンズ５の試料７に対するそれぞれの位置にお
ける音響レンズ５と試料７の面間の距離L，R
の差によつて生じたものであつて、Δt＝２（R
−L）／Ｃ（Ｃは、超音波伝達媒体が水のときは
水中の音速）である。
したがつて、音響レンズ５の直線往復運動の試
料７に対する左端の対向位置の状態Ｌのときに得
られた受信信号P2と、右端の対向位置の状態Ｒ
のときに得られた受信信号R2′が得られるまでの
基準時刻たとえば、発射超音波P1からのそれぞ
れの時間tL，tRの時間差Δt＝tL−tRを求めること
によつて、試料７の傾きの様子を検出することが
できる。
料７に対する左端の対向位置の状態Ｌのときに得
られた受信信号P2と、右端の対向位置の状態Ｒ
のときに得られた受信信号R2′が得られるまでの
基準時刻たとえば、発射超音波P1からのそれぞ
れの時間tL，tRの時間差Δt＝tL−tRを求めること
によつて、試料７の傾きの様子を検出することが
できる。
本発明は、この原理に基づいき、前記tL，tRに
対応する信号を検出し、Δt＝tL−tR＝Ｏとするた
め、これら検出信号が等しくなるように試料台の
傾きを調整することによつて、試料面を超音波ビ
ームの集束スポツトにより形成される走査平面に
平行させるものである。
対応する信号を検出し、Δt＝tL−tR＝Ｏとするた
め、これら検出信号が等しくなるように試料台の
傾きを調整することによつて、試料面を超音波ビ
ームの集束スポツトにより形成される走査平面に
平行させるものである。
第４図は、本発明の実施例の構成の一例を示す
ブロツク線図であつて、第１図と同一部分は、同
一符号を付して示してある。
ブロツク線図であつて、第１図と同一部分は、同
一符号を付して示してある。
同図において、制御部１は、この実施例におけ
る各部動作の基本となる第５図ａに示す一定周期
のパルス信号を発生する。このパルス信号によつ
て制御される高周波パルス発生器２の出力が、第
１図により説明したようにサーキユレータ３を経
て圧電タランスジユーサ４加わり、試料７を超音
波により走査して受信部８から受信検波信号を得
るように構成してあり、この受信検波信号は、図
示を省略したスキヤンコンバータ１１およびテレ
ビジヨン画像モニタ１２等よりなる超音波顕微鏡
画像を形成する回路（第１図参照）に導かれる。
この実施例においては、前記制御部１からのパル
ス信号（第５図ａ）を積分器２１に導いてセツト
およびリセツトすることにより第５図ｂに示すの
こぎり波信号を得て、第４図に示すそれぞれのサ
ンプルホールド回路２２，２３に加える。
る各部動作の基本となる第５図ａに示す一定周期
のパルス信号を発生する。このパルス信号によつ
て制御される高周波パルス発生器２の出力が、第
１図により説明したようにサーキユレータ３を経
て圧電タランスジユーサ４加わり、試料７を超音
波により走査して受信部８から受信検波信号を得
るように構成してあり、この受信検波信号は、図
示を省略したスキヤンコンバータ１１およびテレ
ビジヨン画像モニタ１２等よりなる超音波顕微鏡
画像を形成する回路（第１図参照）に導かれる。
この実施例においては、前記制御部１からのパル
ス信号（第５図ａ）を積分器２１に導いてセツト
およびリセツトすることにより第５図ｂに示すの
こぎり波信号を得て、第４図に示すそれぞれのサ
ンプルホールド回路２２，２３に加える。
一方、試料７からの反射波による受信信号は、
受信部８において増幅、検波され、音響レンズ５
の内部反射等による不要な信号が取り除かれて、
第５図ｃに示すように、高周波パルス発生器２の
駆動用のパルス信号、すなわち試料７の照射超音
波ビームごとに、さきに説明したように、第５図
ａのパルス信号のタイミングを基準にして音響レ
ンズ５と試料７面間の距離に対応した時間tL，tR
だけ遅延した検波出力信号として取り出される。
この検波出力信号のうち、音響レンズ５のＸ方向
走査の両端の状態のときの検波出力信号DL，DR
について、基準時刻すなわち第５図ａのパルス信
号の時刻からそれぞれの検波出力信号の時刻まで
の時間tL，tRを比較すれば、その時間差をΔtが試
料７の面のＸ方向についての傾き程度を示すこと
になる。そこで、この実施例では、受信部８から
の検波出力信号をＬ・Ｒパルス発生器２４に導
き、ここで雑音等の音響を避けるために所定の基
準電圧Vpを超え、かつＸ方向走査部９によつて
Ｘ方向の走査に同期させて発生させた、Ｘ方向走
査の両端のタイミングを有する各ゲートパルスの
期間の検波出力信号DL，DRのみを取り出し、第
５図ｄおよびｅに示したようにそれら各検波出力
信号DL，DRのタイミングを有する各サンプリン
グプルスSL，SRを得る。これらのサンプリングパ
ルスSL，SRを各別に前記サンプルホールド回路２
２，２３に導いて、第５図ｂに示す積分器２１の
出力ののこぎり波信号のうちから電圧VLとVRを
それぞれサンプルホールドする。このようにして
得られた第５図ｆおよびｇのサンプルホールド信
号の各レベルVL，VRは、同図ｃに示す試料両端
を走査したとき得られた各検波出力信号DL，DR
の基準時刻（第５図のａに示すパルス信号の時
刻）からそれら検波出力信号DL，DRが得られる
までの時間tL，tRに対応する。これらのサンプル
ホールド信号はゲート部２５に導かれ、ここで第
５図ｈに示すタイミングのゲート信号Ｇにより同
時にゲートされて、同図ｉおよびｊに示すよう
に、前記時間tL，tRにそれぞれ対応した傾斜情報
信号IL，IRを同時に得る。なお、第５図ｈのゲー
ト信号Ｇは、２３で示したサンプルホールド回路
に導くＬ・Ｒパルス発生器２４からのサンプリン
グパルスSR（第５図ｅ）を分岐して遅延パルス発
生器２６に加えることにより、そのサンプリング
パルスSRより若干時間tDだけ遅延したタイミング
で発生させている。このように検出した傾斜情報
信号IL，IRを差動増幅器２７に供給して、それら
傾斜情報信号IL，IRの振幅差に対応した出力信号
により、傾斜調整機構２８を自動制御し、もつて
前記差動増幅器２７の出力が零値を示すように試
料台１３のＸ方向についての傾斜を調整する。し
かる後、そのＸ方向の傾斜を保持させた状態で、
試料台１３を手動操作により90°回転させれば、
試料台１３上の試料７に関してＹ方向の傾斜は解
消したことになる。この状態で再びＸ方向につい
て試料台１３の傾斜を調整すれば、Ｘ方向および
Ｙ方向について、傾斜が調整されることとなり、
音響レンズ５による超音波ビームの集束スポツト
が形成する走査平面に対し、試料７の面は、完全
な平行状態に調整されることになる。
受信部８において増幅、検波され、音響レンズ５
の内部反射等による不要な信号が取り除かれて、
第５図ｃに示すように、高周波パルス発生器２の
駆動用のパルス信号、すなわち試料７の照射超音
波ビームごとに、さきに説明したように、第５図
ａのパルス信号のタイミングを基準にして音響レ
ンズ５と試料７面間の距離に対応した時間tL，tR
だけ遅延した検波出力信号として取り出される。
この検波出力信号のうち、音響レンズ５のＸ方向
走査の両端の状態のときの検波出力信号DL，DR
について、基準時刻すなわち第５図ａのパルス信
号の時刻からそれぞれの検波出力信号の時刻まで
の時間tL，tRを比較すれば、その時間差をΔtが試
料７の面のＸ方向についての傾き程度を示すこと
になる。そこで、この実施例では、受信部８から
の検波出力信号をＬ・Ｒパルス発生器２４に導
き、ここで雑音等の音響を避けるために所定の基
準電圧Vpを超え、かつＸ方向走査部９によつて
Ｘ方向の走査に同期させて発生させた、Ｘ方向走
査の両端のタイミングを有する各ゲートパルスの
期間の検波出力信号DL，DRのみを取り出し、第
５図ｄおよびｅに示したようにそれら各検波出力
信号DL，DRのタイミングを有する各サンプリン
グプルスSL，SRを得る。これらのサンプリングパ
ルスSL，SRを各別に前記サンプルホールド回路２
２，２３に導いて、第５図ｂに示す積分器２１の
出力ののこぎり波信号のうちから電圧VLとVRを
それぞれサンプルホールドする。このようにして
得られた第５図ｆおよびｇのサンプルホールド信
号の各レベルVL，VRは、同図ｃに示す試料両端
を走査したとき得られた各検波出力信号DL，DR
の基準時刻（第５図のａに示すパルス信号の時
刻）からそれら検波出力信号DL，DRが得られる
までの時間tL，tRに対応する。これらのサンプル
ホールド信号はゲート部２５に導かれ、ここで第
５図ｈに示すタイミングのゲート信号Ｇにより同
時にゲートされて、同図ｉおよびｊに示すよう
に、前記時間tL，tRにそれぞれ対応した傾斜情報
信号IL，IRを同時に得る。なお、第５図ｈのゲー
ト信号Ｇは、２３で示したサンプルホールド回路
に導くＬ・Ｒパルス発生器２４からのサンプリン
グパルスSR（第５図ｅ）を分岐して遅延パルス発
生器２６に加えることにより、そのサンプリング
パルスSRより若干時間tDだけ遅延したタイミング
で発生させている。このように検出した傾斜情報
信号IL，IRを差動増幅器２７に供給して、それら
傾斜情報信号IL，IRの振幅差に対応した出力信号
により、傾斜調整機構２８を自動制御し、もつて
前記差動増幅器２７の出力が零値を示すように試
料台１３のＸ方向についての傾斜を調整する。し
かる後、そのＸ方向の傾斜を保持させた状態で、
試料台１３を手動操作により90°回転させれば、
試料台１３上の試料７に関してＹ方向の傾斜は解
消したことになる。この状態で再びＸ方向につい
て試料台１３の傾斜を調整すれば、Ｘ方向および
Ｙ方向について、傾斜が調整されることとなり、
音響レンズ５による超音波ビームの集束スポツト
が形成する走査平面に対し、試料７の面は、完全
な平行状態に調整されることになる。
なお、上記の実施例においては、傾斜調整機構
２８の駆動源を差動増幅器２７の出力により自動
制御する例を示したが、その作動増幅器２７に導
くゲート部２５から得られた第５図ｉおよびｊの
各信号を表示して、これら両信号が等しくなるよ
うに手動操作により傾斜調整機構２８を調整する
ようにしてもよいことは勿論である。また、試料
７を超音波ビームによりＸ−Ｙ二次元走査して、
その試料７の面のほぼ中心を通るＸ方向およびＹ
方向の各走査端近傍における四箇所から得た受信
検波出力信号について、それぞれ基準時刻から受
信されるまでの時間に対応した各傾斜情報信号を
それぞれ検出し、Ｘ方向の両端部から得た傾斜情
報信号間の差信号およびＹ方向の両端部から得た
傾斜情報信号間の差信号が、共に零となるように
試料台のＸ方向およびＹ方向の傾きを自動制御す
るように構成することもできる。
２８の駆動源を差動増幅器２７の出力により自動
制御する例を示したが、その作動増幅器２７に導
くゲート部２５から得られた第５図ｉおよびｊの
各信号を表示して、これら両信号が等しくなるよ
うに手動操作により傾斜調整機構２８を調整する
ようにしてもよいことは勿論である。また、試料
７を超音波ビームによりＸ−Ｙ二次元走査して、
その試料７の面のほぼ中心を通るＸ方向およびＹ
方向の各走査端近傍における四箇所から得た受信
検波出力信号について、それぞれ基準時刻から受
信されるまでの時間に対応した各傾斜情報信号を
それぞれ検出し、Ｘ方向の両端部から得た傾斜情
報信号間の差信号およびＹ方向の両端部から得た
傾斜情報信号間の差信号が、共に零となるように
試料台のＸ方向およびＹ方向の傾きを自動制御す
るように構成することもできる。
以上の実施例の説明から明らかなように、本発
明によれば超音波ビームの集束スポツトが、試料
面を二次元走査することによつて形成される走査
平面に対し、当該試料平面を容易かつ迅速と精度
高く平行させることができる効果がある。従つ
て、本発明を実施した超音波顕微鏡においては、
従来のように試料を何回となく超音波ビームによ
り繰り返し走査しながら、テレビジヨン画像モニ
タ上の超音波顕微鏡を観察し、干渉縞が発生しな
いように、試料台の傾斜を調整しなければならな
かつた煩雑な作業を大幅に省略することができ、
超音波顕微鏡の使用効率上極めて有効である。
明によれば超音波ビームの集束スポツトが、試料
面を二次元走査することによつて形成される走査
平面に対し、当該試料平面を容易かつ迅速と精度
高く平行させることができる効果がある。従つ
て、本発明を実施した超音波顕微鏡においては、
従来のように試料を何回となく超音波ビームによ
り繰り返し走査しながら、テレビジヨン画像モニ
タ上の超音波顕微鏡を観察し、干渉縞が発生しな
いように、試料台の傾斜を調整しなければならな
かつた煩雑な作業を大幅に省略することができ、
超音波顕微鏡の使用効率上極めて有効である。
第１図は、超音波顕微鏡の基本的構成を示すブ
ロツク線図、第２図は、本発明の原理を説明する
ための音響レンズの走査位置と傾斜した試料面の
関係を示す説明図、第３図は、同じく、第２図の
状態における受信信号のタイミング関係を示す波
形図、第４図は、本発明の実施例の構成の一例を
示すブロツク線図、第５図は、第４図に示した実
施例の動作を説明するための波形図である。 １……制御部、２……高周波パルス発生器、３
……サーキユレータ、４……圧電トランスデユー
サ、５……音響レンズ、８……受信部、９……Ｘ
方向走査部、１３……試料台、２１……積分器、
２２，２３……サンプルホールド回路、２４……
Ｌ・Ｒパルス発生器、２５……ゲート部、２６…
…遅延パルス発生器、２７……差動増幅器、２８
……傾斜調整機構。
ロツク線図、第２図は、本発明の原理を説明する
ための音響レンズの走査位置と傾斜した試料面の
関係を示す説明図、第３図は、同じく、第２図の
状態における受信信号のタイミング関係を示す波
形図、第４図は、本発明の実施例の構成の一例を
示すブロツク線図、第５図は、第４図に示した実
施例の動作を説明するための波形図である。 １……制御部、２……高周波パルス発生器、３
……サーキユレータ、４……圧電トランスデユー
サ、５……音響レンズ、８……受信部、９……Ｘ
方向走査部、１３……試料台、２１……積分器、
２２，２３……サンプルホールド回路、２４……
Ｌ・Ｒパルス発生器、２５……ゲート部、２６…
…遅延パルス発生器、２７……差動増幅器、２８
……傾斜調整機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 観察すべき試料を載置する試料台と、この試
料台上に載置された試料に超音波ビームを照射
し、試料から反射される超音波を受波する音響レ
ンズと、この音響レンズに装着された圧電トラン
スデユーサと、前記試料台を超音波ビームの軸線
に垂直な走査平面と平行な面内で移動させる走査
装置と、前記試料台を傾斜させる傾斜調整機構と
を具え、前記試料台上の試料を超音波ビームによ
つて走査して試料の超音波像を得るようにした超
音波顕微鏡における試料台傾斜調整方法におい
て、 前記音響レンズから試料面上の少なくとも２か
所において超音波ビームを試料に照射し、試料か
ら反射される超音波を受波して音響レンズと試料
面上の前記少なくとも２か所との間の距離を求
め、これらの距離が等しくなるように前記傾斜調
整機構を調整することによつて試料面と走査平面
とを平行とすることを特徴とする超音波顕微鏡の
試料台傾斜調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100320A JPS59225349A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 超音波顕微鏡の試料台傾斜調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100320A JPS59225349A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 超音波顕微鏡の試料台傾斜調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59225349A JPS59225349A (ja) | 1984-12-18 |
| JPH056144B2 true JPH056144B2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=14270888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58100320A Granted JPS59225349A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 超音波顕微鏡の試料台傾斜調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59225349A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61259170A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡における試料の傾き調整装置 |
| JP2008046096A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波顕微鏡システムの調整方法、及び超音波顕微鏡システム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0112192Y2 (ja) * | 1981-06-03 | 1989-04-10 |
-
1983
- 1983-06-07 JP JP58100320A patent/JPS59225349A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59225349A (ja) | 1984-12-18 |
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