JPS59105511A - デ−タ処理回路 - Google Patents
デ−タ処理回路Info
- Publication number
- JPS59105511A JPS59105511A JP21586582A JP21586582A JPS59105511A JP S59105511 A JPS59105511 A JP S59105511A JP 21586582 A JP21586582 A JP 21586582A JP 21586582 A JP21586582 A JP 21586582A JP S59105511 A JPS59105511 A JP S59105511A
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- Japan
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
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- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/06—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for operation by a null method
- G01D3/063—Comparing the measuring value with a reference value which periodically or incidentally scans the measuring range
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、直線上もしくは円周上に一定間隔に凹凸あ
るいはスリットなどのパターンが施こされた被測定体に
おける各パターン間隔毎の実測された計数値と、予じめ
設定されたパターン間隔の設定値との差である差分値を
連続的に演算処理するようにしたデータ処理回路に関す
る。
るいはスリットなどのパターンが施こされた被測定体に
おける各パターン間隔毎の実測された計数値と、予じめ
設定されたパターン間隔の設定値との差である差分値を
連続的に演算処理するようにしたデータ処理回路に関す
る。
ステンレスなどの金属板上に一定間隔のスリットを設け
たり、ガラス板上に蒸着などの手段により明・暗の繰返
しパターンを施こしたり、あるいは表面上に凹凸の段差
を有する繰返しパターンが加工された被測定体の上記各
パターン間隔を予じめ設定されたパターン間隔とどの程
度差があるのか、すなわち、設定値間隔に対してどの程
度精度良く被測定体上にパターンが施こされているのか
を測定したい場合がある。このような場合、例えば第１
図に示したように、ベッド１上を摺動するチーフル２」
二に一定間隔の連続したパターンが施こされた被測定体
３を固定し、テーブル２あるいは被測定体乙に直接高分
解能（例えば１−１０．１ μｍ ’）ノテシタル測長
器の検出部４を当接するか、あるいはレーザ測長器を利
用して被測定体ろ上に施こされたパターンの間隔を検出
部４の移動量をカウントしてデジタル量として出力する
演算回路５で実測し、この実測された計数値と予じめ設
定された設定値から計算によりその差分値を算出するよ
うにしていた。
たり、ガラス板上に蒸着などの手段により明・暗の繰返
しパターンを施こしたり、あるいは表面上に凹凸の段差
を有する繰返しパターンが加工された被測定体の上記各
パターン間隔を予じめ設定されたパターン間隔とどの程
度差があるのか、すなわち、設定値間隔に対してどの程
度精度良く被測定体上にパターンが施こされているのか
を測定したい場合がある。このような場合、例えば第１
図に示したように、ベッド１上を摺動するチーフル２」
二に一定間隔の連続したパターンが施こされた被測定体
３を固定し、テーブル２あるいは被測定体乙に直接高分
解能（例えば１−１０．１ μｍ ’）ノテシタル測長
器の検出部４を当接するか、あるいはレーザ測長器を利
用して被測定体ろ上に施こされたパターンの間隔を検出
部４の移動量をカウントしてデジタル量として出力する
演算回路５で実測し、この実測された計数値と予じめ設
定された設定値から計算によりその差分値を算出するよ
うにしていた。
従って、数十あるいは数百といった複数の連続したパタ
ーンについての差分値を算出する場合にはその都度計算
しなければならず面倒であり、また計算ミスするといっ
た不都合を生じることがあり、仲々厄介であった。
ーンについての差分値を算出する場合にはその都度計算
しなければならず面倒であり、また計算ミスするといっ
た不都合を生じることがあり、仲々厄介であった。
との発明は係る上記の欠点に鑑みなされたもので、直線
上もしくは円周上に一定間隔に凹凸あるいはスリットな
どのパターンが施こさｔた被測定体の各パターン間隔毎
の実測された計数値と、予じめ設定されたパターン間隔
の設定値との差分値を連続的に演算処理するようにした
データ処理回路の提供を目的としたものである。
上もしくは円周上に一定間隔に凹凸あるいはスリットな
どのパターンが施こさｔた被測定体の各パターン間隔毎
の実測された計数値と、予じめ設定されたパターン間隔
の設定値との差分値を連続的に演算処理するようにした
データ処理回路の提供を目的としたものである。
上記の目的を達成するための、この発明の要旨とすると
ころは、前掲の特許請求の範囲の欄に掲記した通りであ
る。
ころは、前掲の特許請求の範囲の欄に掲記した通りであ
る。
つぎに、この発明の好適な実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第２図は、この発明のデータ処理回路の実施例を示した
ブロック図である。
ブロック図である。
第２図において、符号１０はラッチ回路で、第１図で示
したように被測定体６を固定して一体的に移動するテー
ブル２の移動量を検出する検出部４の出力信号を、アン
プ、アナログコンパレータ、方向弁別回路などの公知の
電気回路により、移動量に対応したパルスに変換し、そ
のパルスの数をカウントするカウンタ１００よりの計数
値Ｍを順次入力していく。１１はスイッチ回路で、第６
図に図示したように一定間隔ＰでスリットＳが連続に施
こされた直線上の被測定体乙の測定個所にスコープ乙に
施こされた基線Ｔ−Ｉが一致したときに測定者が、この
スイッチ回路１１を操作することにより、スイッチ回路
１１より制御信号Ｃが出力さする。この制御信号Ｃはラ
ッチ回路１０に出力されるとともに後述の演算回路１２
に出力される。ラッチ回路１０に、制御信号Ｃが入力さ
れると、ラッチ回路１０ば、入力された最新の計数値Ｍ
をラッチする。一方、演算回路１２は制御信号Ｃが入力
されると、ラッチされた計数値Ｍをラッチ回路１０から
呼び込むとともに、記憶回路１３の記憶値りを呼び込み
、これらの差である差算値Ｅを演算する。（すなわち、
差算値Ｅ＝Ｍ−Ｄ） ラッチされた計数値Ｍと記憶回路１６の記憶値りかにシ
フトさせて記憶回路１３に計数値Ｍを記憶させるための
シフト信号Ｆを記憶回路１６に出力するとともに、ラッ
チ回路１０のラッチを解除して新しい計数値Ｍの呼び込
みを可能とするためのラッチ解除信号Ｇを出力する。ま
た、演算回路１２は、デジタルスイッチ、テンキーなど
を有する設定部１４に予じめ設定された設定値Ｊを入力
して、この設定値Ｊと、前述のラッチされた計数値Ｍと
記憶値りとの演算結果である差算値Ｅとの差分をさらに
演算して、その差分である差算値Ｋ（Ｋ＝Ｅ−Ｊ）を表
示部１５あるいはプリンタ（図示せず）などの他の°機
器へ出力する。
したように被測定体６を固定して一体的に移動するテー
ブル２の移動量を検出する検出部４の出力信号を、アン
プ、アナログコンパレータ、方向弁別回路などの公知の
電気回路により、移動量に対応したパルスに変換し、そ
のパルスの数をカウントするカウンタ１００よりの計数
値Ｍを順次入力していく。１１はスイッチ回路で、第６
図に図示したように一定間隔ＰでスリットＳが連続に施
こされた直線上の被測定体乙の測定個所にスコープ乙に
施こされた基線Ｔ−Ｉが一致したときに測定者が、この
スイッチ回路１１を操作することにより、スイッチ回路
１１より制御信号Ｃが出力さする。この制御信号Ｃはラ
ッチ回路１０に出力されるとともに後述の演算回路１２
に出力される。ラッチ回路１０に、制御信号Ｃが入力さ
れると、ラッチ回路１０ば、入力された最新の計数値Ｍ
をラッチする。一方、演算回路１２は制御信号Ｃが入力
されると、ラッチされた計数値Ｍをラッチ回路１０から
呼び込むとともに、記憶回路１３の記憶値りを呼び込み
、これらの差である差算値Ｅを演算する。（すなわち、
差算値Ｅ＝Ｍ−Ｄ） ラッチされた計数値Ｍと記憶回路１６の記憶値りかにシ
フトさせて記憶回路１３に計数値Ｍを記憶させるための
シフト信号Ｆを記憶回路１６に出力するとともに、ラッ
チ回路１０のラッチを解除して新しい計数値Ｍの呼び込
みを可能とするためのラッチ解除信号Ｇを出力する。ま
た、演算回路１２は、デジタルスイッチ、テンキーなど
を有する設定部１４に予じめ設定された設定値Ｊを入力
して、この設定値Ｊと、前述のラッチされた計数値Ｍと
記憶値りとの演算結果である差算値Ｅとの差分をさらに
演算して、その差分である差算値Ｋ（Ｋ＝Ｅ−Ｊ）を表
示部１５あるいはプリンタ（図示せず）などの他の°機
器へ出力する。
つぎに、具体的な数値により、この発明よりなるデータ
処理回路を説明する。
処理回路を説明する。
まず、第３図に示された被測定体ろに施こされるスリッ
トＳの予じめ設定された間隔ＰがＰ−１０とすると、設
定部１４により設定値Ｊ＝ＰすなわちＰ−１０と入力さ
れ、演算回路１２に設定値Ｊ−１０が記憶される。つぎ
に第１図のように、被測定体３を固定したテーブル２を
移動させ第６図に示したスコープ６の基線Ｈが被測定体
乙のひとつのスリットＳの左端に一致したところでリセ
ットして、ラッチ回路１０、記憶回路１ろを初期状態の
ゼロにセラ）−する。（尚、このゼロリセット機能につ
いては、本発明の範囲外であるので説明を省略するがゼ
ロリセットをかけなくとも、後述の説明から理解できる
ように最初の測定における差分値が不正確となる可能性
がある丈で２回目以降の差分値はゼロリセットしたと同
様に正確な差分値が保証さ扛る。）続いて、テーブル２
を移動させることにより、第３図に示したようにスリッ
ト３を１ピツチ移動させたところ、すなわち相対的に基
線Ｉ４がつぎのスリットＳの左端に一致（一致した状態
の基線Ｈを図中点線で示し符号Ｈ′を付しである）した
ところでテーブル２の移動を停止する。基線ＨがＨの位
置に移動する過程においては、テーブル２に当接された
検出器４からテーブル２の移動量に比例した信号が発生
し、カウンタ１００から計数値Ｍとして最終的にＭ、＝
９が出力されているとする。
トＳの予じめ設定された間隔ＰがＰ−１０とすると、設
定部１４により設定値Ｊ＝ＰすなわちＰ−１０と入力さ
れ、演算回路１２に設定値Ｊ−１０が記憶される。つぎ
に第１図のように、被測定体３を固定したテーブル２を
移動させ第６図に示したスコープ６の基線Ｈが被測定体
乙のひとつのスリットＳの左端に一致したところでリセ
ットして、ラッチ回路１０、記憶回路１ろを初期状態の
ゼロにセラ）−する。（尚、このゼロリセット機能につ
いては、本発明の範囲外であるので説明を省略するがゼ
ロリセットをかけなくとも、後述の説明から理解できる
ように最初の測定における差分値が不正確となる可能性
がある丈で２回目以降の差分値はゼロリセットしたと同
様に正確な差分値が保証さ扛る。）続いて、テーブル２
を移動させることにより、第３図に示したようにスリッ
ト３を１ピツチ移動させたところ、すなわち相対的に基
線Ｉ４がつぎのスリットＳの左端に一致（一致した状態
の基線Ｈを図中点線で示し符号Ｈ′を付しである）した
ところでテーブル２の移動を停止する。基線ＨがＨの位
置に移動する過程においては、テーブル２に当接された
検出器４からテーブル２の移動量に比例した信号が発生
し、カウンタ１００から計数値Ｍとして最終的にＭ、＝
９が出力されているとする。
そこで、スイッチ回路１１のスイッチ（図示せず）を測
定者が操作して、制御信号Ｃを出力すると、ラッチ回路
１０で数値９がラッチされ、ラッチされた計数値Ｍ、＝
９となる。一方、演算回路１２内では制御信号Ｃｖｃ基
づいて、計数値Ｍ＝９と、記憶値１）＝Ｑが呼び込まれ
、差算値Ｂ＝９−ＣＩ＝９が演算されるとともに、記憶
回路１３内に計数値Ｍ＝９がシフトされて、記憶値りを
ゼロから９に変える。
定者が操作して、制御信号Ｃを出力すると、ラッチ回路
１０で数値９がラッチされ、ラッチされた計数値Ｍ、＝
９となる。一方、演算回路１２内では制御信号Ｃｖｃ基
づいて、計数値Ｍ＝９と、記憶値１）＝Ｑが呼び込まれ
、差算値Ｂ＝９−ＣＩ＝９が演算されるとともに、記憶
回路１３内に計数値Ｍ＝９がシフトされて、記憶値りを
ゼロから９に変える。
すなわち、記憶値Ｄ＝９となる。また、ラッチ回路１０
はラッチ解除信号Ｇによってラッチが解除さｎる。演算
回路１２は、差算値Ｅ＝９が演算されると、さらに前述
した設定値Ｊ−１０と差算値Ｅ＝９との差分が演算され
、差分値にとしてＫ ＝ ９−１０＝−１が演算回路１
２より出力されて１回目のデータ処理が終了する。この
結果実際に施とさｒたパターンの間隔は設定値に対して
−またけずｎていることが計算しなくとも分る。つぎに
、またテーブル２を移動して、被測定体３のつぎのスリ
ットＳの左端と基線Ｈとが一致したところで、テーブル
２の移動を停止したとき、ラッチ回路１０への計数値Ｍ
がＭ＝２０だとすると、スイッチ回路１１を操作して制
御信号Ｃを出力することにより、計数値Ｍ＝２０がラッ
チさｒ、演算回路１２によって、差分値Ｅ＝Ｍ−Ｄの演
算から差算値Ｅ＝２０−９＝１１が算出され、つづいて
、差分値Ｋ ＝ Ｅ −Ｊよりに一’１１−１０＝ １
が演算回路１２より出力され第２回目のデータ処理が終
了する。この結果、実際に施こされたスリットの間隔は
設定値に対して＋１だけ大きいことが分ることになる。
はラッチ解除信号Ｇによってラッチが解除さｎる。演算
回路１２は、差算値Ｅ＝９が演算されると、さらに前述
した設定値Ｊ−１０と差算値Ｅ＝９との差分が演算され
、差分値にとしてＫ ＝ ９−１０＝−１が演算回路１
２より出力されて１回目のデータ処理が終了する。この
結果実際に施とさｒたパターンの間隔は設定値に対して
−またけずｎていることが計算しなくとも分る。つぎに
、またテーブル２を移動して、被測定体３のつぎのスリ
ットＳの左端と基線Ｈとが一致したところで、テーブル
２の移動を停止したとき、ラッチ回路１０への計数値Ｍ
がＭ＝２０だとすると、スイッチ回路１１を操作して制
御信号Ｃを出力することにより、計数値Ｍ＝２０がラッ
チさｒ、演算回路１２によって、差分値Ｅ＝Ｍ−Ｄの演
算から差算値Ｅ＝２０−９＝１１が算出され、つづいて
、差分値Ｋ ＝ Ｅ −Ｊよりに一’１１−１０＝ １
が演算回路１２より出力され第２回目のデータ処理が終
了する。この結果、実際に施こされたスリットの間隔は
設定値に対して＋１だけ大きいことが分ることになる。
以下同様にテーブル２を移動して、基線Ｈとつぎのスリ
ットＳの左端とが一致したところで移動を停止して、ス
イッチ回路１１を操作して制御信号Ｃを出力すれば、予
じめ設定されたスリットＳの設定値ＪＫ対する実測され
た計数値Ｍとの差である差分値Ｋが繰返して連続的に出
力されることになる。
ットＳの左端とが一致したところで移動を停止して、ス
イッチ回路１１を操作して制御信号Ｃを出力すれば、予
じめ設定されたスリットＳの設定値ＪＫ対する実測され
た計数値Ｍとの差である差分値Ｋが繰返して連続的に出
力されることになる。
尚、これまでの説明においては、被測定体３に施こさ八
たパターンを直線上に施こさｔたスリットとして説明し
てきたが、円周上に施こされたスリット、凹凸などのパ
ターンを有する被測定体であってもよく、この場合には
被測定体を固定するテーブルを直線上を摺動させるかわ
ゆに、テーブルを回転させることによって、基線をパタ
ーンに一致させるようにしてやればよい。
たパターンを直線上に施こさｔたスリットとして説明し
てきたが、円周上に施こされたスリット、凹凸などのパ
ターンを有する被測定体であってもよく、この場合には
被測定体を固定するテーブルを直線上を摺動させるかわ
ゆに、テーブルを回転させることによって、基線をパタ
ーンに一致させるようにしてやればよい。
以上詳述したように、この発明よりなるデータ処理回路
は直線上もしくは円周上に一定間隔に施こされたパター
ンの連続したピッチ間隔の予じめ設定さ八た設定値と実
測された計数値との差で差算値を連続的に演算処理でき
るため、従来のように、設定値と実測値からその差であ
る差分値を測定者がその都度いちいち計算によって求め
る必要がなくなり、データの処理時間が短縮さするとと
もに計算ミスが皆無となる。
は直線上もしくは円周上に一定間隔に施こされたパター
ンの連続したピッチ間隔の予じめ設定さ八た設定値と実
測された計数値との差で差算値を連続的に演算処理でき
るため、従来のように、設定値と実測値からその差であ
る差分値を測定者がその都度いちいち計算によって求め
る必要がなくなり、データの処理時間が短縮さするとと
もに計算ミスが皆無となる。
また、さらに異なるパターン間隔を有する被測定体の測
定においても、設定部において容易にしかも任意に設定
値を設定することが出来るため、途中でパターン間隔が
異なって施こされた被測定体の測定においても極めて有
効である。
定においても、設定部において容易にしかも任意に設定
値を設定することが出来るため、途中でパターン間隔が
異なって施こされた被測定体の測定においても極めて有
効である。
第１図は一定間隔にパターンの施こされた被測定体のパ
ターン間隔を測定する測定原理図、第２図はこの発明よ
りなるデータ処理回路のブロック図、第６図は被測定体
のパターン測定位置関係を示す説明図である。 １０・・ラッチ回路、１１・・・スイッチ回路、１２・
・・演算回路、１３・記憶回路、１４・ｉ設定部、Ｍ・
・・計数値、Ｃ・・・制御信号、Ｄ 記憶信号、Ｅ・・
・差算値、Ｆ・・・シフト信号、Ｇ・・・ラッチ解除信
号、Ｊ ・設定値、Ｋ・差分値。 出願人 河ロ湖糟密秩オ全妊Ｗ、（λ第 １
肥 ｌ 第 ３ 図 第 ２ 図
ターン間隔を測定する測定原理図、第２図はこの発明よ
りなるデータ処理回路のブロック図、第６図は被測定体
のパターン測定位置関係を示す説明図である。 １０・・ラッチ回路、１１・・・スイッチ回路、１２・
・・演算回路、１３・記憶回路、１４・ｉ設定部、Ｍ・
・・計数値、Ｃ・・・制御信号、Ｄ 記憶信号、Ｅ・・
・差算値、Ｆ・・・シフト信号、Ｇ・・・ラッチ解除信
号、Ｊ ・設定値、Ｋ・差分値。 出願人 河ロ湖糟密秩オ全妊Ｗ、（λ第 １
肥 ｌ 第 ３ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被測定体の移動量に比例したパルスをカウントするカウ
ンタより出力される計数値を入力するラッチ回路と；記
憶回路と；スイッチ回路と；演算回路と；設定部とを備
え、 前記スイッチ回路は前記ラッチ回路へ入力される計数値
をラッチするとともに、前記演算回路にラッチ回路より
の計数値と前記記憶回路の記憶値とを呼び込むための制
御信号を出力し、前記演算回路は前記スイッチ回路の制
御信号に基づいて前記計数値と記憶値とを呼び込み、そ
の差算値を演算するとともに前記記憶回路へ前記ラッチ
回路の計数値を呼び込ませるためのシフト信号と、前記
ラッチ回路のラッチを解除するためのラッチ解除信号を
出力し、さらに前記設定部により予じめ設定された設定
値と上記差算値との差である差分値を出力するようにし
たデータ処理回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21586582A JPS59105511A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | デ−タ処理回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21586582A JPS59105511A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | デ−タ処理回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59105511A true JPS59105511A (ja) | 1984-06-18 |
Family
ID=16679548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21586582A Pending JPS59105511A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | デ−タ処理回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59105511A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5156666A (en) * | 1974-11-14 | 1976-05-18 | Hitachi Koki Kk | Katsujiberutono pitsuchisokuteisochi |
-
1982
- 1982-12-09 JP JP21586582A patent/JPS59105511A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5156666A (en) * | 1974-11-14 | 1976-05-18 | Hitachi Koki Kk | Katsujiberutono pitsuchisokuteisochi |
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