JPS59107619A - タンタル酸リチウム振動子 - Google Patents
タンタル酸リチウム振動子Info
- Publication number
- JPS59107619A JPS59107619A JP21739782A JP21739782A JPS59107619A JP S59107619 A JPS59107619 A JP S59107619A JP 21739782 A JP21739782 A JP 21739782A JP 21739782 A JP21739782 A JP 21739782A JP S59107619 A JPS59107619 A JP S59107619A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oscillator
- long side
- axis
- value
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02015—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
- H03H9/02031—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of ceramic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電体のタンタル酸リチウムを用いたタンタル
酸リチウム振動子に関する。
酸リチウム振動子に関する。
一般にタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ２） 、ニオブ
酸リチウム（ＬＩＮｂ０３）等の圧電素子は電気機械結
合係数が大きいため、広帯域フィルター、広い可変幅の
電圧制御発振器用の圧電材料として有用である。特にタ
ンタル酸リチウムを用いた厚みすべり振動子は加工が容
易で温度特性も比較的良好なために実用化の試みがなさ
れている。しかしながらこのようなタンタル酸リチウム
を用いだ振動子は、変位方向が互いに直交し、電気機械
結合係数の異なる２つの厚みすべり振動が同時に励振さ
れる。このため、一方の振動を主振動とすると他方の振
動は副振動となって存在するので種々の不都合がある。
酸リチウム（ＬＩＮｂ０３）等の圧電素子は電気機械結
合係数が大きいため、広帯域フィルター、広い可変幅の
電圧制御発振器用の圧電材料として有用である。特にタ
ンタル酸リチウムを用いた厚みすべり振動子は加工が容
易で温度特性も比較的良好なために実用化の試みがなさ
れている。しかしながらこのようなタンタル酸リチウム
を用いだ振動子は、変位方向が互いに直交し、電気機械
結合係数の異なる２つの厚みすべり振動が同時に励振さ
れる。このため、一方の振動を主振動とすると他方の振
動は副振動となって存在するので種々の不都合がある。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので簡単な構成
で副振動によるスノリアス成分を大幅に抑圧することが
でき、しかも形状が小型で高性能のタンタル酸リチウム
振動子を提供することを目的とするものである。
で副振動によるスノリアス成分を大幅に抑圧することが
でき、しかも形状が小型で高性能のタンタル酸リチウム
振動子を提供することを目的とするものである。
以下本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する
。第１図は平面図で１はタンタル酸リチウムからなる振
動子である。この振動子はタンタル酸リチウムの互いに
直交する結晶軸、ｘ、ｙ、ｚＯＸ軸に直角なｙ、ｚ平面
に沿って切シ出した主面を有する板体を矩形に成形し板
面に図示しない電極を形成してここに高周波信号を印加
して厚みすべり振動を励振するようにしている。そして
このようなタンタル酸リチウムのＸ板における木耳方程
式は次のように与えられる。
。第１図は平面図で１はタンタル酸リチウムからなる振
動子である。この振動子はタンタル酸リチウムの互いに
直交する結晶軸、ｘ、ｙ、ｚＯＸ軸に直角なｙ、ｚ平面
に沿って切シ出した主面を有する板体を矩形に成形し板
面に図示しない電極を形成してここに高周波信号を印加
して厚みすべり振動を励振するようにしている。そして
このようなタンタル酸リチウムのＸ板における木耳方程
式は次のように与えられる。
化されたスチフネスであり、この解としてＣは３個求め
ることカニできる。しかしそのうちの１個の解は圧電的
に励振されず、残る２個の解が圧電的に励振可能な解と
して求められる。またこの２個の解は、音速の速い横波
の振動ｖｌと。
ることカニできる。しかしそのうちの１個の解は圧電的
に励振されず、残る２個の解が圧電的に励振可能な解と
して求められる。またこの２個の解は、音速の速い横波
の振動ｖｌと。
遅い横波の振動Ｖ！である。また一般にタンタル酸リチ
ウムのＸ極では速い横波の振動ｖｌを主振動として利用
するが同時に遅い横波の振動Ｖ！による副振動によシス
プリアスを生じる。
ウムのＸ極では速い横波の振動ｖｌを主振動として利用
するが同時に遅い横波の振動Ｖ！による副振動によシス
プリアスを生じる。
したがって、円板状、正方形状等の振動子では主振動ｖ
１に対して副振動Ｖ！も略等しいレベルまで励振されて
しまう。そこで第１図に示すように主面を主振動ｖ１の
方向に細長い矩形状に成形することにより副振動Ｖ、の
レベルを、たとえば第２図に示す周波数応答特性図のよ
うに抑圧することができる。ここで主振動Ｖ、と副振動
ｖ２とのレベル差りは、振動子の主面の長辺をＹ軸から
時計方向に回転した回転角θに対して第３図に示すよう
に変化した。
１に対して副振動Ｖ！も略等しいレベルまで励振されて
しまう。そこで第１図に示すように主面を主振動ｖ１の
方向に細長い矩形状に成形することにより副振動Ｖ、の
レベルを、たとえば第２図に示す周波数応答特性図のよ
うに抑圧することができる。ここで主振動Ｖ、と副振動
ｖ２とのレベル差りは、振動子の主面の長辺をＹ軸から
時計方向に回転した回転角θに対して第３図に示すよう
に変化した。
この結果から明らかなように、最大のレベル差りは２０
ｄＢで回転角θ＝５３°で得られた。また上記レベル
差りを１９ ｄＢで許容するならば回転角θ＝５３°±
４°、すなわち４９°乃至５７°とすればよい。さらに
レベル差りを１７ ｄＢでよければ回転角θ＝５３°±
１０°、すなわち４３°乃至６３°とすればよい。さら
に長辺をＹ軸から時計方向へ５０°回転した幅１．５簡
厚みが略０．７■のＸ板において長辺の長さｔとｃｒ値
との関係は第４図に示すようになった。なお上記振動子
の共振周波数は３．５ ＭＨｚのものである。この結果
から明らかなように長辺ｔの長さを幅の２倍よシも長く
することによｆｉｃＩ値は低い一定の値になる。
ｄＢで回転角θ＝５３°で得られた。また上記レベル
差りを１９ ｄＢで許容するならば回転角θ＝５３°±
４°、すなわち４９°乃至５７°とすればよい。さらに
レベル差りを１７ ｄＢでよければ回転角θ＝５３°±
１０°、すなわち４３°乃至６３°とすればよい。さら
に長辺をＹ軸から時計方向へ５０°回転した幅１．５簡
厚みが略０．７■のＸ板において長辺の長さｔとｃｒ値
との関係は第４図に示すようになった。なお上記振動子
の共振周波数は３．５ ＭＨｚのものである。この結果
から明らかなように長辺ｔの長さを幅の２倍よシも長く
することによｆｉｃＩ値は低い一定の値になる。
したがって、クンタル酸リチウムのＸ板の主面の長辺を
Ｙ軸から時計方向に４３°乃至６３°回転した矩形の振
動子において、短辺に対する長辺の比を２倍以上とする
ことによシ副振動を充分に抑圧できしかも寸法が小さく
ＣＩ値の低い振動子を得ることができる。
Ｙ軸から時計方向に４３°乃至６３°回転した矩形の振
動子において、短辺に対する長辺の比を２倍以上とする
ことによシ副振動を充分に抑圧できしかも寸法が小さく
ＣＩ値の低い振動子を得ることができる。
以上詳述したように本発明は、タンタル酸リチウムのＸ
板を矩形に成形し、かつ長辺をＹ。
板を矩形に成形し、かつ長辺をＹ。
２千面内でＹ軸から時計方向に４３°乃至６３°回転し
、かつ主面の短辺に対する長辺の比を２倍以上にしたの
で副振動によるスノリアス成分を大幅に抑圧し、しかも
形状が小型でＣＩ値の低いタンタル酸リチウム振動子を
提供することができる。
、かつ主面の短辺に対する長辺の比を２倍以上にしたの
で副振動によるスノリアス成分を大幅に抑圧し、しかも
形状が小型でＣＩ値の低いタンタル酸リチウム振動子を
提供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図はタン
タル酸リチウム振動子の周波数応答特性を示す図、第３
図は長辺のＹ軸からの回転角とスゲリアスの減衰量との
関係を示す図、第５− ４図は長辺と短辺の比に対するＣＩ値の関係を示す図で
ある。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦６−
タル酸リチウム振動子の周波数応答特性を示す図、第３
図は長辺のＹ軸からの回転角とスゲリアスの減衰量との
関係を示す図、第５− ４図は長辺と短辺の比に対するＣＩ値の関係を示す図で
ある。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦６−
Claims (1)
- タンタル酸リチウムの結晶軸のＸ軸に直交するＹ、ｚ平
面に沿う主面を有１−かつ矩形に成形するとともに、長
辺を上記Ｙ、ｚ平面内でＹ軸から時計方向に４３°乃至
６３°回転し、かつ主面の短辺に対する長辺の比を２倍
以上にしたことを特徴とするタンタル酸リチウム振動子
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21739782A JPS59107619A (ja) | 1982-12-11 | 1982-12-11 | タンタル酸リチウム振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21739782A JPS59107619A (ja) | 1982-12-11 | 1982-12-11 | タンタル酸リチウム振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107619A true JPS59107619A (ja) | 1984-06-21 |
Family
ID=16703545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21739782A Pending JPS59107619A (ja) | 1982-12-11 | 1982-12-11 | タンタル酸リチウム振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107619A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5185688A (ja) * | 1975-01-27 | 1976-07-27 | Kinsekisha Lab Ltd | Koketsugoatsudenshindoshi |
| JPS5683110A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-07 | Toshiba Corp | Thickness slip oscillator of litium tantalate |
-
1982
- 1982-12-11 JP JP21739782A patent/JPS59107619A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5185688A (ja) * | 1975-01-27 | 1976-07-27 | Kinsekisha Lab Ltd | Koketsugoatsudenshindoshi |
| JPS5683110A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-07 | Toshiba Corp | Thickness slip oscillator of litium tantalate |
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