JPS59112221A - インクレメンタル測定装置 - Google Patents
インクレメンタル測定装置Info
- Publication number
- JPS59112221A JPS59112221A JP58230691A JP23069183A JPS59112221A JP S59112221 A JPS59112221 A JP S59112221A JP 58230691 A JP58230691 A JP 58230691A JP 23069183 A JP23069183 A JP 23069183A JP S59112221 A JPS59112221 A JP S59112221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- measuring device
- measuring
- selection element
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41092—References, calibration positions for correction of value position counter
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Paper (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は”特許請求の範囲第1項の前提概念によるイン
クレメンタル測定装置に関する。
クレメンタル測定装置に関する。
この種の測定装置では参照マークで生ずる制御パルスは
種々の方法で、例えばカウンタのゼロ位置の再生のため
、測定のはじめに所定の位置におくため、及び妨害パル
スの制御並びに後続の制御装置の負荷のために使われる
。
種々の方法で、例えばカウンタのゼロ位置の再生のため
、測定のはじめに所定の位置におくため、及び妨害パル
スの制御並びに後続の制御装置の負荷のために使われる
。
西独国特許出願公告公報2540412からインクレメ
ンタル測定装置が公知であり、ここでは測定尺上相互に
確定した間隔で目盛をつけである場合、−列の参照マー
クが設けられ、少なくとも一つの選択要素が測定尺自体
又はこの直ぐ近くで溝中に移動可能に配設されている。
ンタル測定装置が公知であり、ここでは測定尺上相互に
確定した間隔で目盛をつけである場合、−列の参照マー
クが設けられ、少なくとも一つの選択要素が測定尺自体
又はこの直ぐ近くで溝中に移動可能に配設されている。
選択要素によって一つ又は複数の参照マークが選択され
、それぞれスイッチ手段と共働して作用状態に持ち来た
される。これは測定過程で作用すべき各参照マークに一
つ、のマグネットが付設されておシ、マグネットは走査
装置の通過の際にその上(で付設された電気スイッチを
制御し、その電気的出力が電子構造要素に走置ユニット
の電気的出力と共働し、電子構造要素は走査ユニットの
出力とスイッチの出力とに同時に一つの電気信号がある
場合にの″み制御信号を発するという形で行われる。
、それぞれスイッチ手段と共働して作用状態に持ち来た
される。これは測定過程で作用すべき各参照マークに一
つ、のマグネットが付設されておシ、マグネットは走査
装置の通過の際にその上(で付設された電気スイッチを
制御し、その電気的出力が電子構造要素に走置ユニット
の電気的出力と共働し、電子構造要素は走査ユニットの
出力とスイッチの出力とに同時に一つの電気信号がある
場合にの″み制御信号を発するという形で行われる。
この種のインクレメンタル測定装置は例えば工作機材で
機械部分の相対位置の測定の声めに使用される。しかし
そのような機械で生ずる振動によって溝中の選択要素の
移動が生じ、その結果選択された参照マークのだめの選
択要素明白な整合、及び参照マークの有効化は最早保証
されない。近接した参照マークでは選択要素のこのよう
な移動の際正しくない参照マークも作用し、その結果正
しくない制御過程例えばゼロ過程がカウンタで発せられ
、カウンタは正しくない測定値を示す。マグネットの形
の選択景素は大量の金属切屑を吸引し、その除去は困難
である。
機械部分の相対位置の測定の声めに使用される。しかし
そのような機械で生ずる振動によって溝中の選択要素の
移動が生じ、その結果選択された参照マークのだめの選
択要素明白な整合、及び参照マークの有効化は最早保証
されない。近接した参照マークでは選択要素のこのよう
な移動の際正しくない参照マークも作用し、その結果正
しくない制御過程例えばゼロ過程がカウンタで発せられ
、カウンタは正しくない測定値を示す。マグネットの形
の選択景素は大量の金属切屑を吸引し、その除去は困難
である。
本発明は上記の形式の測定装置で、各参照マークのだめ
の選択要素の位置の簡単な固定を実現し、並びに完全な
機能を保証することを課題の基礎とする。
の選択要素の位置の簡単な固定を実現し、並びに完全な
機能を保証することを課題の基礎とする。
本発明の課題は特許請求の範囲第1項の特徴部によって
解決される。
解決される。
本発明によ′つて得られる利゛点は特に参照マークに対
する選択要素の位置の固定が選択要素の不当の移動を排
除する簡単かつ安浦な仕上げられる要素によって行わi
lる(とにある。締付要素を備えた選択要素のための7
・ウジングの形のこの要素は特に一体の合成樹脂から成
ることができる。更に金属切屑及びさもなくば汚れは選
択要素から容易に除去される。
する選択要素の位置の固定が選択要素の不当の移動を排
除する簡単かつ安浦な仕上げられる要素によって行わi
lる(とにある。締付要素を備えた選択要素のための7
・ウジングの形のこの要素は特に一体の合成樹脂から成
ることができる。更に金属切屑及びさもなくば汚れは選
択要素から容易に除去される。
本発明の有利な池の購或は実施態様項から把握される。
第1図において公知の光電的インクレメンタル長さ測定
装置が図式的にあられされており、この装置は測定尺1
aと走査ユニット2とから成り、走査ユニットは図示し
ない方法で工作機械の被測定対象と結合されている。測
定尺1a上には直線格子の形の目盛6aがあり(第2図
)、直線格子は上方からの光で無接触で光電的に走査ユ
ニット2によって走査される。目盛3乙に清って測定尺
1a上に一列の等間隔参照マーク4aが設けられており
、参照マークは所定の線目盛を備えた線群から成る。目
盛6aの走査によって生じ、走査ユニットにおいて増巾
かれかつ矩形信号TI + T2に変形される周期的走
査信号は導線5.6を介して、デジタル測定値を示す電
子カウンタ7を制御する。目盛3aの格子定数のAだけ
位相のずらされた矩形信号TI、T2は走査方向の識別
に役立つ。参照マーク4aで生じた信号は走査ユニット
2で増巾され、矩形信号SB に変形され、かつ導線1
1を介して電子構成ユニット8に供給される。
装置が図式的にあられされており、この装置は測定尺1
aと走査ユニット2とから成り、走査ユニットは図示し
ない方法で工作機械の被測定対象と結合されている。測
定尺1a上には直線格子の形の目盛6aがあり(第2図
)、直線格子は上方からの光で無接触で光電的に走査ユ
ニット2によって走査される。目盛3乙に清って測定尺
1a上に一列の等間隔参照マーク4aが設けられており
、参照マークは所定の線目盛を備えた線群から成る。目
盛6aの走査によって生じ、走査ユニットにおいて増巾
かれかつ矩形信号TI + T2に変形される周期的走
査信号は導線5.6を介して、デジタル測定値を示す電
子カウンタ7を制御する。目盛3aの格子定数のAだけ
位相のずらされた矩形信号TI、T2は走査方向の識別
に役立つ。参照マーク4aで生じた信号は走査ユニット
2で増巾され、矩形信号SB に変形され、かつ導線1
1を介して電子構成ユニット8に供給される。
測定過程で作用すべき参照マーク4aの選択は測定尺1
aの案内溝16a中のマグネットの形の選択要素9aと
走査ユニット2との整合によって行われ、走置ユニット
2が近ずくとその磁界はリードスイッチの形の切換スイ
ッチ10を制御し、導線上のその出力信号SRは同時に
電子構成ユニット8に供給される。導線11゜12上の
信号SB、SRが同時に電子構成ユニット80入力にあ
ると、出力導線13上に信号SB′が生じて電子カウン
タ7に供給され、電子カウンタはそれによって例えば計
数「ゼロ」にセットされる。
aの案内溝16a中のマグネットの形の選択要素9aと
走査ユニット2との整合によって行われ、走置ユニット
2が近ずくとその磁界はリードスイッチの形の切換スイ
ッチ10を制御し、導線上のその出力信号SRは同時に
電子構成ユニット8に供給される。導線11゜12上の
信号SB、SRが同時に電子構成ユニット80入力にあ
ると、出力導線13上に信号SB′が生じて電子カウン
タ7に供給され、電子カウンタはそれによって例えば計
数「ゼロ」にセットされる。
本発明によればホロ図によるマグネットの形の選択要素
9bは側方ばねアームの形の締付要素15bを有する非
磁性体のノ・ウジング14bに格納されている。マ、グ
ネット9bを備えたノ・ウジング14bは第4図によれ
ば目盛3bを備えた測定尺1bの案内溝16b内で選択
された参照マーク4bに対するマグネット9bの整合の
目的で走査ユニット2の運動方向(測定方向X)に移動
可能である。当該参照マーク4bに関するマグネット9
bの位置の固定は締付要素151)によって行われ、そ
の締付力はIZIJえば振動によるマグネツ)91)の
不意の移動が排除されるようにされている。好ましくは
締付要素15bはその自由端に突起17を有し、突起は
案内溝16b中のハウジング14bの移動の際の選択さ
れた参照マーク4bに対する選択要素?bの明らかな位
置の整合を容易にするために案内溝16bの側面19の
凹部18に係入する。
9bは側方ばねアームの形の締付要素15bを有する非
磁性体のノ・ウジング14bに格納されている。マ、グ
ネット9bを備えたノ・ウジング14bは第4図によれ
ば目盛3bを備えた測定尺1bの案内溝16b内で選択
された参照マーク4bに対するマグネット9bの整合の
目的で走査ユニット2の運動方向(測定方向X)に移動
可能である。当該参照マーク4bに関するマグネット9
bの位置の固定は締付要素151)によって行われ、そ
の締付力はIZIJえば振動によるマグネツ)91)の
不意の移動が排除されるようにされている。好ましくは
締付要素15bはその自由端に突起17を有し、突起は
案内溝16b中のハウジング14bの移動の際の選択さ
れた参照マーク4bに対する選択要素?bの明らかな位
置の整合を容易にするために案内溝16bの側面19の
凹部18に係入する。
第5a図、・第、5 b図に分いて横断面図、及び破断
された図において、“カプセルに入った長さ測定装置が
示され−Cいる。測定尺1cの支持体20はシール部材
25によって閉鎖された中空形材として形成されておシ
中空形材の内面に測定尺1Cが固定されておりかつ走査
ユニット2Cによって走査される。走査ユニットは連行
ビン21と組立要素22を介して図示しない機械の往復
台23に固定されている。中空形材20は機械のベッド
24と結合されている。中空形材の機械と反対側の外側
のT形案内溝には締付要素15cを備えたハウジング1
4cの内方の図示しない選択要素が測定尺1C上の図示
しない参照マークに付設されている。案内溝は測定装置
の中空形材20の外方で機械のベッドにも設けられるこ
とができる。
された図において、“カプセルに入った長さ測定装置が
示され−Cいる。測定尺1cの支持体20はシール部材
25によって閉鎖された中空形材として形成されておシ
中空形材の内面に測定尺1Cが固定されておりかつ走査
ユニット2Cによって走査される。走査ユニットは連行
ビン21と組立要素22を介して図示しない機械の往復
台23に固定されている。中空形材20は機械のベッド
24と結合されている。中空形材の機械と反対側の外側
のT形案内溝には締付要素15cを備えたハウジング1
4cの内方の図示しない選択要素が測定尺1C上の図示
しない参照マークに付設されている。案内溝は測定装置
の中空形材20の外方で機械のベッドにも設けられるこ
とができる。
第4図によればハウジング14b内のマグネット9bは
好適な方法で磁力線の出口面が走査ユニット(第2図)
のスイッチ装置10に面したハウジング14の外面26
から始ってこの外面26より内方にあるように設計され
ている。
好適な方法で磁力線の出口面が走査ユニット(第2図)
のスイッチ装置10に面したハウジング14の外面26
から始ってこの外面26より内方にあるように設計され
ている。
それによってこの外面26上に集まる金属微粉がス)
IJツバによって容易に除去される。そのわけはこの外
面260縁範囲では金属粉を吸着するには磁力が最早不
充分であるからである。
IJツバによって容易に除去される。そのわけはこの外
面260縁範囲では金属粉を吸着するには磁力が最早不
充分であるからである。
第6a図、第6b図において締付要素15dを備えたハ
ウジング1’4dが縦断面図及び平面図で示されており
、その内方に選択要素9dが配設されておシ、選択要素
は磁気プレート27上の二つの反対極に配列されたマグ
ネット28から成り、それによってスイッチ手段10の
正確な制御のだめの磁力線の特定された方向が生ずる。
ウジング1’4dが縦断面図及び平面図で示されており
、その内方に選択要素9dが配設されておシ、選択要素
は磁気プレート27上の二つの反対極に配列されたマグ
ネット28から成り、それによってスイッチ手段10の
正確な制御のだめの磁力線の特定された方向が生ずる。
図示しない方法で締付要素をIjfffえたノ・ウジン
グにマグネットの代りにリードス・fツチの形のスイッ
チ手段も配設されることができ、一方走査ユニットには
マグネットが設けられている。
グにマグネットの代りにリードス・fツチの形のスイッ
チ手段も配設されることができ、一方走査ユニットには
マグネットが設けられている。
好壕しくは締付要素15を備えたハウジング14は中に
選択要素9が埋込まれた合成樹脂から一体につくられる
。
選択要素9が埋込まれた合成樹脂から一体につくられる
。
スイッチ手段としてのリードスイッチの代りに磁界板も
使用されることができる。多数の選択要素9も各参照マ
ーク4に付設されるととができ、同様に誘導的、及び容
量的選択要素も使用されることができる。
使用されることができる。多数の選択要素9も各参照マ
ーク4に付設されるととができ、同様に誘導的、及び容
量的選択要素も使用されることができる。
図示しない方法で締付要素を備えたハウジングは光学的
選択要素、特に鏡、プリズム、又は光源の収容のための
水透過性材料によっても形成されるととができる。鏡又
tまプリズムを選択要素とする場合、走査ユニット上に
光源又は受光器が配設されており、鏡又はプリズムを通
った時に光源からの光は選択要素を介してスイッチ手段
としての光電受光器に入射する。選択要素が光源から成
る場合、光シよ点図スイッチ要素としての光電受光器に
入射する。
選択要素、特に鏡、プリズム、又は光源の収容のための
水透過性材料によっても形成されるととができる。鏡又
tまプリズムを選択要素とする場合、走査ユニット上に
光源又は受光器が配設されており、鏡又はプリズムを通
った時に光源からの光は選択要素を介してスイッチ手段
としての光電受光器に入射する。選択要素が光源から成
る場合、光シよ点図スイッチ要素としての光電受光器に
入射する。
本発明は光電的測定装置に限られることなく、むしろ磁
気的、誘導的及び容量的測定装置でも使用可能である。
気的、誘導的及び容量的測定装置でも使用可能である。
本発明はインクレメンタルトラックを有するアブソリュ
ート測定装置(符号発信器)でも使用可能である。
ート測定装置(符号発信器)でも使用可能である。
第1図は公知のインクレメンタル測定装置の図式図、
第2図は第1図による測定装置の測定尺の平面図、
第3図は本発明による締付要素を備えたハウジング、
9 選択要素
14 ハウジング
15 締付黙素
16 案内
17 突起
代理人 江 崎 光 好
代理人 江 崎 光 史
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)測定尺の目盛に滑って参照マークを備え、参照マ
ークは目盛に絶対的に付設されており、参照マークにお
いて走査ユニットと共働して再生可能な電気パルスが発
生し、そのパルスは測定装置の電子カウンタ及び又は制
御装置を負荷し、その際少なくとも一つの選択要素は測
定尺自体の上に、又は案内中であって運動方向において
測定尺の直ぐ近くに、配設されておシ、選択要素は走査
ユニット又は走査ユニットの支持体の電気的スイッチ手
段との作用関係をつくるために各参照マークに付設され
ることができ、その結果一つ又は複数の参照マークが選
択されかつ作用状態に持ち来される、インクレメンタル
測定装ナベにおいて、選択要素(9)はハウジング(1
4)内に格納されており、選択要素は案内(16)への
ハウジング(14)の固定のために自由端に突起(17
)を備えた側方はねアームの形の少なくとも一つの締付
要素(15)を有することを時的要素から成る、特許請
求の範囲第1項記載の測定装置。 (3)選択要素(9d)が磁気プレート(27)上に対
抗極的に配設された二つのマグネット(28)から成る
、特許請求の範囲第2項記載の測定装置。 (4) マグネツl−(9)の磁力線の射出面が外局(
26)の内方のハウジング(14)の外面かつこの外面
(26)より内方にある、特許請求の範囲第1項又は第
2項記載の測定装置。 (5)測定尺(1c)のための支持体が測定尺(1c)
の収容のだめの中空形材(2o)として形成されており
、案内(1/)C)が中空形材(20)の外側又は内側
に配設されている、特許請求の範囲第1項記載の測定装
置。 (6)面(19)内の案内(16b)はノ・ウジング(
14)の締付要素(15)の突起(17)の収容のだめ
の四部(18)を有する、特許請求の範囲第1項記載の
測定装置。 (7) ハウジング(14)及び締付要素(15)が
非磁性材料、特に合成樹脂から成る、特許請求の範囲第
1項記載の測定装置。 (8) ハウジング(14)が光学的選択要素、特に
・ 鏡、プリズム又は光源の収容のための光透過性材料
から形成されている、特許R1t求の範囲第1項記載の
測定装置。 (9) ハウジング(14)と締付要素(15)とが
一体になっている、特許請求の範囲第1項記載の測定装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3245357A DE3245357C2 (de) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | Inkrementale Meßeinrichtung |
| DE3245357.4 | 1982-12-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59112221A true JPS59112221A (ja) | 1984-06-28 |
| JPH0372931B2 JPH0372931B2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=6180086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58230691A Granted JPS59112221A (ja) | 1982-12-08 | 1983-12-08 | インクレメンタル測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4459751A (ja) |
| EP (1) | EP0115572B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59112221A (ja) |
| AT (1) | ATE53659T1 (ja) |
| DE (2) | DE3245357C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310108A (ja) * | 1989-05-05 | 1991-01-17 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 基準マークを備えた増分式位置測定装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT396631B (de) * | 1984-07-06 | 1993-10-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales messsystem |
| DE3707190A1 (de) * | 1987-03-06 | 1988-09-22 | Pav Praezisions Apparatebau Ag | Messkluppe |
| AT390674B (de) * | 1989-02-07 | 1990-06-11 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales messsystem |
| AT394446B (de) * | 1990-10-11 | 1992-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales laengenmesssystem |
| DE4432827C2 (de) * | 1994-09-15 | 1998-10-22 | Festo Ag & Co | Positionsbestimmungseinrichtung |
| GB9605278D0 (en) * | 1996-03-13 | 1996-05-15 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| EP0836078B1 (de) * | 1996-10-11 | 2002-12-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Massstab einer Längenmesseinrichtung sowie Verfahren zur Anbringung eines Massstabs |
| JP2001041853A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Tsubakimoto Chain Co | 光学センサ保守用の感度判定方法及び感度判定フィルタ |
| US6912797B2 (en) * | 2001-04-05 | 2005-07-05 | Anton Rodi | Measuring system for recording absolute angular or position values |
| DE102006024680B4 (de) * | 2006-05-26 | 2016-04-28 | Leopold Kostal Gmbh & Co. Kg | Positionsmeßvorrichtung |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2540412C3 (de) * | 1975-09-11 | 1987-01-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementales Meßsystem |
| DE2948854A1 (de) * | 1979-12-05 | 1981-06-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementales messsystem |
| DE3007311C2 (de) * | 1980-02-27 | 1985-11-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3037810C2 (de) * | 1980-10-07 | 1982-11-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
-
1982
- 1982-12-08 DE DE3245357A patent/DE3245357C2/de not_active Expired
-
1983
- 1983-10-19 DE DE8383110402T patent/DE3381644D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1983-10-19 AT AT83110402T patent/ATE53659T1/de not_active IP Right Cessation
- 1983-10-19 EP EP83110402A patent/EP0115572B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1983-11-30 US US06/556,624 patent/US4459751A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-12-08 JP JP58230691A patent/JPS59112221A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310108A (ja) * | 1989-05-05 | 1991-01-17 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 基準マークを備えた増分式位置測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4459751A (en) | 1984-07-17 |
| DE3245357A1 (de) | 1984-06-14 |
| EP0115572A3 (en) | 1987-03-25 |
| ATE53659T1 (de) | 1990-06-15 |
| JPH0372931B2 (ja) | 1991-11-20 |
| DE3245357C2 (de) | 1985-02-14 |
| DE3381644D1 (de) | 1990-07-19 |
| EP0115572B1 (de) | 1990-06-13 |
| EP0115572A2 (de) | 1984-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0480323B2 (ja) | ||
| US4101764A (en) | Incremental measuring system | |
| JPS59112221A (ja) | インクレメンタル測定装置 | |
| US4462159A (en) | Reference mark selection system for measuring apparatus | |
| US7057161B2 (en) | Position measuring device | |
| US4573000A (en) | Measuring instrument | |
| DE68924633D1 (de) | Sonde für einen optischen Sensor. | |
| JPH0749970B2 (ja) | 測定装置 | |
| JPH043810B2 (ja) | ||
| US5007177A (en) | Incremental measuring system | |
| EP0238224A2 (en) | Optical head devices for use in disc players | |
| DE68917965D1 (de) | Fehlerdetektorvorrichtung für einen optischen Abtastkopf. | |
| DE3208591C2 (de) | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem | |
| US20050077457A1 (en) | Optical position measuring system | |
| US4672201A (en) | Phase controlled incremental distance measuring system | |
| US3348057A (en) | Method and apparatus for checking the straightness of machine tool ways and the like | |
| DE59000842D1 (de) | Feststehendes portal fuer ein praezisions-koordinatenmessgeraet. | |
| US4996778A (en) | Incremental measuring system | |
| DE69223592D1 (de) | Spurwechseldetektorschaltung für eine digitale Servoschaltung für einen optischen Plattenspieler | |
| JP3130463B2 (ja) | 変位検出装置 | |
| SU1155909A1 (ru) | Устройство дл измерени износа материалов | |
| JPH0359404A (ja) | 光ビームの位置測定装置 | |
| SU1430892A1 (ru) | Электроизмерительный прибор | |
| SU1610267A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени объекта | |
| SU1064208A1 (ru) | Оптическа система каротажного осциллографа |