JPS59114881A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPS59114881A JPS59114881A JP57223810A JP22381082A JPS59114881A JP S59114881 A JPS59114881 A JP S59114881A JP 57223810 A JP57223810 A JP 57223810A JP 22381082 A JP22381082 A JP 22381082A JP S59114881 A JPS59114881 A JP S59114881A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波振動子、セラミックフィルタ等に用い
る圧電磁器組成物に関するものである。
る圧電磁器組成物に関するものである。
従来、この種の圧電磁器としてはジルコン・チタン酸鉛
(P bZr03 PbT103 )を主成分トスル
いわゆるPZT系圧電磁器やBaTiO3系磁器が用い
られてきたが、これらの磁器は本質的に高誘電率(10
00〜3000)磁器であるため高周波で用いる場合に
素子の入出力インピーダンスが低下し外部回路とのイン
ピーダンス整合に問題がでてくる。特に最近では圧電素
子の高周波化が進んでおシ、誘電率の比較的小さい(約
200)PbTiO3系磁器が注目されている。このP
bTiO3系磁器は、(1)誘電率が小さい、(2)電
気機械結合係数の異方性すなわち厚み縦振動と横方向振
動の電気機械結合係数比k t / k pが極めて大
きく10〜15に達しくPZTやBaTJOs磁器のk
t / k pは1〜2である)、かつ(3)厚み縦
振動の電気機械結合係数ktが比較的大きい(ktが約
0.5)という現在知られているどの圧電磁器にも見ら
れない極めて特異な材料である。
(P bZr03 PbT103 )を主成分トスル
いわゆるPZT系圧電磁器やBaTiO3系磁器が用い
られてきたが、これらの磁器は本質的に高誘電率(10
00〜3000)磁器であるため高周波で用いる場合に
素子の入出力インピーダンスが低下し外部回路とのイン
ピーダンス整合に問題がでてくる。特に最近では圧電素
子の高周波化が進んでおシ、誘電率の比較的小さい(約
200)PbTiO3系磁器が注目されている。このP
bTiO3系磁器は、(1)誘電率が小さい、(2)電
気機械結合係数の異方性すなわち厚み縦振動と横方向振
動の電気機械結合係数比k t / k pが極めて大
きく10〜15に達しくPZTやBaTJOs磁器のk
t / k pは1〜2である)、かつ(3)厚み縦
振動の電気機械結合係数ktが比較的大きい(ktが約
0.5)という現在知られているどの圧電磁器にも見ら
れない極めて特異な材料である。
それゆえ、この特色のある特性を利用した多くの応用素
子が実用化されている。たとえば、p b T iOa
磁器の電気機械結合係数の大きな異方性は、近年、医用
超音波篩[折装置等に用いる超音波探触子用圧電磁器と
して着目されている。すなわち、超音波診断装置の高周
波化が進んでいるが、周波数が5MH2,亀を越えると
従来のPZT系圧電磁器ではアレイ探触子を構成するこ
とが加工上困難になる。それはPZT系磁器の電気機械
結合係数の異方性が小さいため、アレイ全構成する要素
の厚みtと巾Wの比にW/l<1という制約があること
による。
子が実用化されている。たとえば、p b T iOa
磁器の電気機械結合係数の大きな異方性は、近年、医用
超音波篩[折装置等に用いる超音波探触子用圧電磁器と
して着目されている。すなわち、超音波診断装置の高周
波化が進んでいるが、周波数が5MH2,亀を越えると
従来のPZT系圧電磁器ではアレイ探触子を構成するこ
とが加工上困難になる。それはPZT系磁器の電気機械
結合係数の異方性が小さいため、アレイ全構成する要素
の厚みtと巾Wの比にW/l<1という制約があること
による。
そこで最近、この制約の原因となる不要な横方向振動の
電気機械結合係数kpが、必要な厚み方向振動の電気機
械結合係数1(tに比較して小さいPbTiO3系圧電
磁器が高周波探触子用材料として注目されている。これ
まで、(Pb+−axsmx)(Tit−yMny)0
3系や(Pbl−xCax)C(Cot/2 WVz)
yTi+−y)Os+ M n O系磁器でkPPO2
05,kt二0.50 (kt/kp=10)という特
性をもつ材料が開発され、その有用性が示されている。
電気機械結合係数kpが、必要な厚み方向振動の電気機
械結合係数1(tに比較して小さいPbTiO3系圧電
磁器が高周波探触子用材料として注目されている。これ
まで、(Pb+−axsmx)(Tit−yMny)0
3系や(Pbl−xCax)C(Cot/2 WVz)
yTi+−y)Os+ M n O系磁器でkPPO2
05,kt二0.50 (kt/kp=10)という特
性をもつ材料が開発され、その有用性が示されている。
しかし、mbTi03 系磁器を用いた探触子の検出
感度は小さく、さらに高周波化が進むと感度低下が増々
顕著となる。それゆえ、検出感度を増大させることが高
周波用探触子にとって大きな課題であり、そのためには
、厚み縦振動の電気機械結合係数1(tを大きくしなけ
ればならない。
感度は小さく、さらに高周波化が進むと感度低下が増々
顕著となる。それゆえ、検出感度を増大させることが高
周波用探触子にとって大きな課題であり、そのためには
、厚み縦振動の電気機械結合係数1(tを大きくしなけ
ればならない。
本発明の目的は、上記PbTjOa磁器のもつ特異な特
性をさらに一歩進め、P b T I O3磁器よシさ
らに低誘電率で大きな電気機械結合係数の異方性を有し
、かつ、厚み縦振動の電気機械結合係数がP b T
i Osよシ大きな圧電磁器組成物を提供することにあ
る。
性をさらに一歩進め、P b T I O3磁器よシさ
らに低誘電率で大きな電気機械結合係数の異方性を有し
、かつ、厚み縦振動の電気機械結合係数がP b T
i Osよシ大きな圧電磁器組成物を提供することにあ
る。
本発明ノ圧電磁器組成物はAをP b (F e+As
bl/z>03゜Pb (MnV2Tal/2 )03
、 Pb (Mn+/3SbVa )Os lPb
(Mn+/z S bvz )03+ Pb (Fel
/2 Nbl/2 )031Pb (Fel/3 Sb
η)os l pb (Mn+/3 Ta2/3 )0
3 lPb (Fel/3 Nb2/3 )Os +
Pb (Sb+/2 Tay2 )031Pb (F
el/3 Ta2/!I)Oa r Pb (Mnvs
Wya )Os rPb (S l)1/2Nbl/
2 )03. Pb (Fel/2 TaL/2 )0
3rおよびPb(Fe2/3Te1/3)03 から
なる群より選択した1物質とするとき、xPbZroa
yAで構成される2成分固溶体(但し、x+y=x
、oo)もしくはxPbZr03−yA−ZPbTiO
s (但し、x + Y + Z = 1. OO)で
構成される3成分固溶体からなシ、且つP b Z r
Q s の配合比Xが0,9以上含むことを特徴と
する圧電磁器組成物である。この2成分および3成分固
溶体の圧電磁器組成物は、共振周波数の経時安定性の優
れた圧電性磁器としてすでに知られている。しかし、こ
れらの圧電性磁器はP bZ ro、の配合比Xが0.
9を越えると安定度は劣化し、圧電性も実用に耐えない
程度に劣下するとされている。
bl/z>03゜Pb (MnV2Tal/2 )03
、 Pb (Mn+/3SbVa )Os lPb
(Mn+/z S bvz )03+ Pb (Fel
/2 Nbl/2 )031Pb (Fel/3 Sb
η)os l pb (Mn+/3 Ta2/3 )0
3 lPb (Fel/3 Nb2/3 )Os +
Pb (Sb+/2 Tay2 )031Pb (F
el/3 Ta2/!I)Oa r Pb (Mnvs
Wya )Os rPb (S l)1/2Nbl/
2 )03. Pb (Fel/2 TaL/2 )0
3rおよびPb(Fe2/3Te1/3)03 から
なる群より選択した1物質とするとき、xPbZroa
yAで構成される2成分固溶体(但し、x+y=x
、oo)もしくはxPbZr03−yA−ZPbTiO
s (但し、x + Y + Z = 1. OO)で
構成される3成分固溶体からなシ、且つP b Z r
Q s の配合比Xが0,9以上含むことを特徴と
する圧電磁器組成物である。この2成分および3成分固
溶体の圧電磁器組成物は、共振周波数の経時安定性の優
れた圧電性磁器としてすでに知られている。しかし、こ
れらの圧電性磁器はP bZ ro、の配合比Xが0.
9を越えると安定度は劣化し、圧電性も実用に耐えない
程度に劣下するとされている。
本発明の圧電磁器組成物は、上記2成分および3成分の
固溶体のうちPbZrOsの配合比が0.9以上の組成
領域に属するものでアシ、配合組成比と合成条件の詳細
な検討からこれらの圧電磁器組成物が極めて優れた圧電
特性を有することを見出し7た。特に、電気機械結合係
数の異方性および厚みたて振動の電気機械結合係数がP
bTiO3よシ大きく、また、誘電率も小さいため高周
波での使用に耐える優れた超音波振動子あるいはフィル
タ用材料となυえる。
固溶体のうちPbZrOsの配合比が0.9以上の組成
領域に属するものでアシ、配合組成比と合成条件の詳細
な検討からこれらの圧電磁器組成物が極めて優れた圧電
特性を有することを見出し7た。特に、電気機械結合係
数の異方性および厚みたて振動の電気機械結合係数がP
bTiO3よシ大きく、また、誘電率も小さいため高周
波での使用に耐える優れた超音波振動子あるいはフィル
タ用材料となυえる。
また、機械的品質係数QMもPI)Tj03より数倍大
きいものもあシ、この場合はさらに好都合である。
きいものもあシ、この場合はさらに好都合である。
上記の優れた特性を示す磁器の組成範囲をさらに詳細に
表現すれば、xPbZr03 yAで構成される2成分
固溶体のうち、x+y=1.00としたとき、x=0.
90s〜0.960.y=0.040〜0.095と表
わされる組成範囲内にある。この組成範囲内において、
誘電率が小さく、かつ、電気機械結合係数の異方性およ
び厚み縦振動の電気機械結合係数がともに大きな圧電磁
器組成物になる。
表現すれば、xPbZr03 yAで構成される2成分
固溶体のうち、x+y=1.00としたとき、x=0.
90s〜0.960.y=0.040〜0.095と表
わされる組成範囲内にある。この組成範囲内において、
誘電率が小さく、かつ、電気機械結合係数の異方性およ
び厚み縦振動の電気機械結合係数がともに大きな圧電磁
器組成物になる。
この組成範囲よシもPbZrO3の配合比が多いと得ら
れる磁器は反強誘電体となシ通常は圧電磁器として使用
できない。またP b Z r Osの配合比が少ない
と誘電率が大きくなり、電気機械結合係数の異方性が小
さくなる。
れる磁器は反強誘電体となシ通常は圧電磁器として使用
できない。またP b Z r Osの配合比が少ない
と誘電率が大きくなり、電気機械結合係数の異方性が小
さくなる。
そして、xPbZr03−yA−ZPbTi03で構成
される3成分固溶体のう’−*、x+y+Z=1.00
としたとき、X+ y+ zがそれぞれX
y ZO,9050,0950,0
00 0,9600,0400,000 0,9320,0050,063 0,9050,0050,090 と表わされる組成比で囲まれる組成範囲内で、誘電率や
横方向振動の電気機械結合係数が小さく、厚み縦振動の
電気機械結合係数が大きくなる。加えて、その他の圧電
特性も良好な圧電磁器組成物となる。
される3成分固溶体のう’−*、x+y+Z=1.00
としたとき、X+ y+ zがそれぞれX
y ZO,9050,0950,0
00 0,9600,0400,000 0,9320,0050,063 0,9050,0050,090 と表わされる組成比で囲まれる組成範囲内で、誘電率や
横方向振動の電気機械結合係数が小さく、厚み縦振動の
電気機械結合係数が大きくなる。加えて、その他の圧電
特性も良好な圧電磁器組成物となる。
PbZrO3の配合比が上記有効な配合比よりも多くな
ると、反強誘電体となシ通常は圧電磁器として使用でき
ない。また、AおよびPbTiO3の配合比が上記の有
効な配合比よシ多くなると誘電率が大きくなる。これに
加えて機械的品質係数の大きくなるものもある。また、
横方向振動の電気機械結合係数kpが犬きくなシ、結合
係数比が小さくなる。さらに、Aの配合比が0.005
以下の組成、すなわち従来から公知のPZT磁器に近い
組成では焼結時にPbOの蒸発が著しく、安定な磁器を
得ることが困難である。加えて、電気抵抗が低下するた
め分極処理が困難となシ特性が不安定となるばかりでな
く、実効的に厚み縦振動の電気機械結合係数が低下する
。
ると、反強誘電体となシ通常は圧電磁器として使用でき
ない。また、AおよびPbTiO3の配合比が上記の有
効な配合比よシ多くなると誘電率が大きくなる。これに
加えて機械的品質係数の大きくなるものもある。また、
横方向振動の電気機械結合係数kpが犬きくなシ、結合
係数比が小さくなる。さらに、Aの配合比が0.005
以下の組成、すなわち従来から公知のPZT磁器に近い
組成では焼結時にPbOの蒸発が著しく、安定な磁器を
得ることが困難である。加えて、電気抵抗が低下するた
め分極処理が困難となシ特性が不安定となるばかりでな
く、実効的に厚み縦振動の電気機械結合係数が低下する
。
以下、本発明を実施例を参照して詳細に説明する。
実施例1
第1表にPbZr0.、−Pb(Fe1/2Sbs/2
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛用いた。
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛用いた。
第1表に示した範囲内の組成比の原料粉をボットミルを
用い約1時間湿式混合し、乾燥後、9o0Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350に
7/Crr12の圧力でプレス成形し、1250〜12
80Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX1
0wm’である。この焼結体を厚さ約1mに、切断し、
0.8m厚まで研磨して、両面に電極としてCr−AH
を蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分
極処理した。分極処理は、70〜150Cのシリコン・
オイル中で20〜50kV/Crnの直流電圧を10分
間印加することによシ行った。その後、誘電および圧電
特性の測定を行った。
用い約1時間湿式混合し、乾燥後、9o0Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350に
7/Crr12の圧力でプレス成形し、1250〜12
80Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX1
0wm’である。この焼結体を厚さ約1mに、切断し、
0.8m厚まで研磨して、両面に電極としてCr−AH
を蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分
極処理した。分極処理は、70〜150Cのシリコン・
オイル中で20〜50kV/Crnの直流電圧を10分
間印加することによシ行った。その後、誘電および圧電
特性の測定を行った。
第1表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の圧
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるもの
があり、PbTiOs磁器より大きいのが特徴である。
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるもの
があり、PbTiOs磁器より大きいのが特徴である。
試料5および6は、Pb (Fe1/2Sbs/2)O
s の配合比が0.10を越えた場合であるが、この
場合、誘電率が犬きくなシ、また横方向振動の電気機械
結合係数も大きくなシ異方性が低下する。
s の配合比が0.10を越えた場合であるが、この
場合、誘電率が犬きくなシ、また横方向振動の電気機械
結合係数も大きくなシ異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96を越える場
合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あシ圧電磁器として使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あシ圧電磁器として使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
実施例2
P bZ ros Pb (Fel/2 Sbl/2
)03 2成分固溶体の優れた特性は、さらにpbTi
03に固溶させたPbZrOs −Pb(Fel/2
Sbl/2)03−P’)Ti033成分固溶体におい
ても保存される。
)03 2成分固溶体の優れた特性は、さらにpbTi
03に固溶させたPbZrOs −Pb(Fel/2
Sbl/2)03−P’)Ti033成分固溶体におい
ても保存される。
試料の作成方法は実施例1の場合と同じである。
なおチタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti
O□)を用いた。
O□)を用いた。
第2表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明ら
かなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大きく
、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっておシ、また
厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3−Pb
(Fel/28bl/2)03 2成分固溶体よシ改善
されている。
かなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大きく
、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっておシ、また
厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3−Pb
(Fel/28bl/2)03 2成分固溶体よシ改善
されている。
上記の有効な組成比よりPbZrO3の配合比が少ない
場合、すなわち、Pb (Fe+/281)+72)0
3およびPbTiO3組成比が多いと誘電率が大きくな
り、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
場合、すなわち、Pb (Fe+/281)+72)0
3およびPbTiO3組成比が多いと誘電率が大きくな
り、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲より多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Fel/2 Sbl/2)03 を含
まない、いわゆるPbZr0g −PbTi03 磁
器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
まない、いわゆるPbZr0g −PbTi03 磁
器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例3
第3表にPbZrO3−Pb(Mnt/zTaVz)0
32成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示す
。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわらな
いかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸化
ジルコニウム(Zr02)、酸化マンガン(MnO)お
よび酸化タンタル(Ta205)の各粉末を用いた。
32成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示す
。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわらな
いかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸化
ジルコニウム(Zr02)、酸化マンガン(MnO)お
よび酸化タンタル(Ta205)の各粉末を用いた。
第3表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミルを
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350K
q/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜128
0t:’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10mtである。この焼結体を厚さ約1mに切断し、0
.8wn厚まで研磨して、両面に電極としてCr−Au
を蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分
極処理した。分極処理は、70〜150 C’のシリコ
ン・オイル中で20〜50kV/6nの直流電圧を10
分間印加することによシ行った。その後、誘電および圧
電特性の測定を行った。
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350K
q/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜128
0t:’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10mtである。この焼結体を厚さ約1mに切断し、0
.8wn厚まで研磨して、両面に電極としてCr−Au
を蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分
極処理した。分極処理は、70〜150 C’のシリコ
ン・オイル中で20〜50kV/6nの直流電圧を10
分間印加することによシ行った。その後、誘電および圧
電特性の測定を行った。
第3表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の圧
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と太きい。さらに、厚み
縦振、動の電気機械結合係数1(tが0.55を越える
ものがちり、pbTiOs磁器より大きいのが特徴であ
る。
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と太きい。さらに、厚み
縦振、動の電気機械結合係数1(tが0.55を越える
ものがちり、pbTiOs磁器より大きいのが特徴であ
る。
試料5および6は、P b (Mn 1/2 T a
+/2 ) 03 の配合比が0.10を越えた場合
であるが、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向
振動の電気機械結合係数も大きくなシ異方性が低下する
。
+/2 ) 03 の配合比が0.10を越えた場合
であるが、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向
振動の電気機械結合係数も大きくなシ異方性が低下する
。
試料7は、P b Z r Oaの配合比が0.96を
越える場合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電
体となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすると”と
は不可能でsb圧電磁器として使用することはできない
。なお、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ
、本発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体
晶である。
越える場合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電
体となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすると”と
は不可能でsb圧電磁器として使用することはできない
。なお、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ
、本発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体
晶である。
実施例4
PbZr03Pb(Mnl/2Tal/2)03 2成
分固溶体の優れた特性は、さらにPbTi03に固溶さ
せたPbZrOs Pb(Mnl/2Tal/2)
Os −PbTiOa 3成分固溶体においても保
存され、加えて機械的品質係数が大きくなる。
分固溶体の優れた特性は、さらにPbTi03に固溶さ
せたPbZrOs Pb(Mnl/2Tal/2)
Os −PbTiOa 3成分固溶体においても保
存され、加えて機械的品質係数が大きくなる。
試料の作成方法は実施例3の場合と同じである。
なおチタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti
Oz)を用いた。
Oz)を用いた。
第4表に試料8〜15t−まとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっておシ、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZrO3−Pb(Mnl/2Tal/2)03 2成
分固溶体より改善されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっておシ、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZrO3−Pb(Mnl/2Tal/2)03 2成
分固溶体より改善されている。
上記の有効な組成比よ、9PbZrOaの配合比が少な
い場合、すなわち、P b(Mn +/2 T a 1
/2 ) 03およびPbTiO3組成比が多いと誘電
率が大きくなシ、また、電気機械結合係数の異方性も小
さくなる。
い場合、すなわち、P b(Mn +/2 T a 1
/2 ) 03およびPbTiO3組成比が多いと誘電
率が大きくなシ、また、電気機械結合係数の異方性も小
さくなる。
また、PbZr0a の配合比が本発明の組成範囲よシ
多いと反強誘電体となる。
多いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Mnt/+ Tal/2)03 を含
まない、いわゆるPbZrOs pb’rto 3
磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
まない、いわゆるPbZrOs pb’rto 3
磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例5
第5表にPbZrO3Pb(Mnl/3Sb2/3)0
32成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示す
。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわらな
いかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸化
ジルコニウム(ZrO2)、酸化マンガン(MnO)お
よび酸化アンチモン(8b205)の各粉末を用いた。
32成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示す
。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわらな
いかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸化
ジルコニウム(ZrO2)、酸化マンガン(MnO)お
よび酸化アンチモン(8b205)の各粉末を用いた。
第5表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミルを
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
K9/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜12
801:’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16φ
×10Mtである。この焼結体を厚さ約1咽に切断し、
0.8rIrIn厚まで研磨して、両面に電極としてC
r−Au’i蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード
線を付は分極処理した。
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
K9/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜12
801:’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16φ
×10Mtである。この焼結体を厚さ約1咽に切断し、
0.8rIrIn厚まで研磨して、両面に電極としてC
r−Au’i蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード
線を付は分極処理した。
分極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で2
0〜50kV/crnの直流電圧を10分間印加するこ
とによシ行った。その後、誘電および圧電特性の測定を
行った。
0〜50kV/crnの直流電圧を10分間印加するこ
とによシ行った。その後、誘電および圧電特性の測定を
行った。
第5表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の圧
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるもの
があシ、PbTiOs磁器より大きいのが特徴である。
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるもの
があシ、PbTiOs磁器より大きいのが特徴である。
試料5および6は、Pb (Mn17a 5bll/l
)Os の配合比が0.10を越えた場合であるが、
この場合、誘電率が大きくなシ、また横方向振動の電気
機械結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
)Os の配合比が0.10を越えた場合であるが、
この場合、誘電率が大きくなシ、また横方向振動の電気
機械結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
試料7は、P bZ ro 3の配合比が0.96を越
える場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体
となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不
可能であシ圧電磁器として使用することはできない。な
お、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本
発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶で
ある。
える場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体
となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不
可能であシ圧電磁器として使用することはできない。な
お、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本
発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶で
ある。
実施例6
PbZr03 Pb (Mnt/s Sb2/3)0
3 2成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiOs
を固溶させたPbZrOs Pb(Mnl/3Sb2
/’1)03 PbTiO33成分固溶体においても
保存され、加えて機械的品質係数が大きくなる。
3 2成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiOs
を固溶させたPbZrOs Pb(Mnl/3Sb2
/’1)03 PbTiO33成分固溶体においても
保存され、加えて機械的品質係数が大きくなる。
試料の作成方法は実施例5の場合と同じである。
なおチタン(T i )の出発原料として酸化チタン(
TiCh)を用いた。
TiCh)を用いた。
第6表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明ら
かなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質係
数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さく
なっておシ、また厚み縦振動の電気機械結合係数がPb
ZrOs −Pb(Mnl/3Sb2/3)Os 2
成分固溶体よシ改善されている。
かなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質係
数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さく
なっておシ、また厚み縦振動の電気機械結合係数がPb
ZrOs −Pb(Mnl/3Sb2/3)Os 2
成分固溶体よシ改善されている。
上記の有効な組成比よ勺PbZrOs の配合比が少な
い場合、すなわち、Pb (Mnl/3 Sb2/3)
03およびPbTiO3組成比が多いと誘電率が犬きく
なシ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
い場合、すなわち、Pb (Mnl/3 Sb2/3)
03およびPbTiO3組成比が多いと誘電率が犬きく
なシ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よシ多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Mn+/3Sbvs)03 を含まない
、いわゆるPbZrO3PbTiOs磁器では厚み縦振
動の電気機械結合係数が小さくなる。
、いわゆるPbZrO3PbTiOs磁器では厚み縦振
動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例7
第7表にPbZr0a Pb(Mn+/28bl/2
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、
酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化マンガン(MnO
)および酸化アンチモン(SbzOs)の各粉末を用い
た。
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、
酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化マンガン(MnO
)および酸化アンチモン(SbzOs)の各粉末を用い
た。
第7表に示した範囲内の組成比の原料粉をボットミルを
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びボッド−ミルを用い混合した。乾燥後、350
Kf/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜12
8′OCで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10 run ’である。この焼結体全厚さ約1闘に
切断し、o、smm厚まで研磨して、両面に電極として
Cr −A uを蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリ
ード線を付は分極処理した。分極処理は、70〜150
Cのシリコン・オイル中で20〜50kV/Cmの直流
電圧を10分間印加することによシ行った。その後、誘
電および圧電特性の測定を行った。
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びボッド−ミルを用い混合した。乾燥後、350
Kf/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜12
8′OCで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10 run ’である。この焼結体全厚さ約1闘に
切断し、o、smm厚まで研磨して、両面に電極として
Cr −A uを蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリ
ード線を付は分極処理した。分極処理は、70〜150
Cのシリコン・オイル中で20〜50kV/Cmの直流
電圧を10分間印加することによシ行った。その後、誘
電および圧電特性の測定を行った。
第7表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の圧
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が太きい。さらに、厚み縦振動の電
気機械結合係数ktが0.53を越えるものかあシ、P
bTi0a磁器より大きいのが特徴である。
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が太きい。さらに、厚み縦振動の電
気機械結合係数ktが0.53を越えるものかあシ、P
bTi0a磁器より大きいのが特徴である。
試料5および6は、P b(Mn +/2 S b+/
2) Os の配合比が0.10を越えた場合である
が、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の
電気機械結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
2) Os の配合比が0.10を越えた場合である
が、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の
電気機械結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
試料7は、P b Z r Os の配合比が0.96
’i越える場合であり、この場合は得られた磁器は反強
誘電体となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にするこ
とは不可能であり圧電磁器として使用することはできな
い。なお、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であ
シ、本発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面
体晶である。
’i越える場合であり、この場合は得られた磁器は反強
誘電体となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にするこ
とは不可能であり圧電磁器として使用することはできな
い。なお、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であ
シ、本発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面
体晶である。
実施例8
PbZr03− Pb (Mn17□8bl/2 )O
a 2成分固溶体の優れ7’n%性は、さらにpb’p
t03 f固溶させたPbZrO3Pb(Mnl/28
bl/2)03−PbZr033成分固溶体においても
保存され、加えて機械的品質係数が大きくなる。
a 2成分固溶体の優れ7’n%性は、さらにpb’p
t03 f固溶させたPbZrO3Pb(Mnl/28
bl/2)03−PbZr033成分固溶体においても
保存され、加えて機械的品質係数が大きくなる。
試料の作成方法は実施例7の場合と同じである。
なおチタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti
02)を用いた。
02)を用いた。
第8表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明ら
かなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質係
数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さく
なっておシ、また厚み縦振動の電気機械結合係数がPb
ZrOa−Pb(Mn+/z、sl)+/2)03 2
成分固溶体より改善されている。
かなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質係
数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さく
なっておシ、また厚み縦振動の電気機械結合係数がPb
ZrOa−Pb(Mn+/z、sl)+/2)03 2
成分固溶体より改善されている。
上記の有効な組成比よIpPbZrOa の配合比が少
ない場合、すなわち、P b(Mn 1/2 S b
1/2 ) OsおよびP b T i Oa 組成比
が多いと誘電率が太きくなシ、また、電気機械結合係数
の異方性も小さくなる。
ない場合、すなわち、P b(Mn 1/2 S b
1/2 ) OsおよびP b T i Oa 組成比
が多いと誘電率が太きくなシ、また、電気機械結合係数
の異方性も小さくなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よシ多
いと反強誘電体とな、る。
いと反強誘電体とな、る。
最後に、P b (Mn 1/2 S b+/2 )
Oa を含まない、いわゆるPbZrO3PbTiO
s磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる
。
Oa を含まない、いわゆるPbZrO3PbTiO
s磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる
。
実施例9
第9表にPbZr03−Pb(Fel/Z Nbl/2
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、
酸化ジルコニウム(Zr02)、酸化鉄(Fe203)
および酸化ニオブ(Nb205) の各粉末を用いた
。
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、
酸化ジルコニウム(Zr02)、酸化鉄(Fe203)
および酸化ニオブ(Nb205) の各粉末を用いた
。
第9表に示した範囲内の組成比の原料粉をボットミルを
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350に
7/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜128
0Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX10
mm’である。この焼結体を厚さ約18に切断し、0.
8mm厚まで研磨して、両面に電極としてCr−Auを
蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分極
処理した。分極処理tま、70〜150t:’のシリコ
ン・オイル中で20〜50kV/crnの直流電圧を1
0分間印加することによシ行った。その後、誘電および
圧電特性の測定を行った。
用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間仮
焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉砕
後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350に
7/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜128
0Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX10
mm’である。この焼結体を厚さ約18に切断し、0.
8mm厚まで研磨して、両面に電極としてCr−Auを
蒸着した。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分極
処理した。分極処理tま、70〜150t:’のシリコ
ン・オイル中で20〜50kV/crnの直流電圧を1
0分間印加することによシ行った。その後、誘電および
圧電特性の測定を行った。
第9表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の圧
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越えるも
のがあり、PbTiOs磁器よシ大きいのが特徴である
。
電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越えるも
のがあり、PbTiOs磁器よシ大きいのが特徴である
。
試料5および6は、Pb (Fe I/2 Nb I/
2 ) 03 の配合比が0.10を越えた場合であ
るが、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動
の電気機械結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
2 ) 03 の配合比が0.10を越えた場合であ
るが、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動
の電気機械結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96’(j越え
る場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえで分極処理で圧電活性にすることは不可
能であり圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本発
明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶であ
る。
る場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえで分極処理で圧電活性にすることは不可
能であり圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本発
明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶であ
る。
実施例10
PbZrOs Pb (Fel/2 Nbl/2)0
32成分固溶体の優れた特性は、さらにpbTiOaを
固溶させたPbZrO3Pb(Fel/2Nbl/2)
03 PbTiO33成分固溶体においても保存され
る。
32成分固溶体の優れた特性は、さらにpbTiOaを
固溶させたPbZrO3Pb(Fel/2Nbl/2)
03 PbTiO33成分固溶体においても保存され
る。
試料の作成方法は実施例9の場合と同じである。
なおチタン(T1)の出発原料として酸化チタン(Ti
02)を用いた。
02)を用いた。
第10表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっておシ、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrOs −P
b (Fe+/+ Nbl/2 )Os 2成分固溶体
より改善されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっておシ、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrOs −P
b (Fe+/+ Nbl/2 )Os 2成分固溶体
より改善されている。
上記の有効な組成比よl) PbZr03 の配合比が
少ナイ場合、すなわち、Pb (Fel/2Nbl/2
)OsおよびPbTiO3組成比が多いと誘電率が大
きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくな
る。
少ナイ場合、すなわち、Pb (Fel/2Nbl/2
)OsおよびPbTiO3組成比が多いと誘電率が大
きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくな
る。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よシ多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、P b (Fe I/2 Nb 1/2 )
Oa を含まない、いわゆるPbZr0a PbT
iOs磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さく
なる。
Oa を含まない、いわゆるPbZr0a PbT
iOs磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さく
なる。
実施例11
第11表にPbZr03−Pb(Fel/3Sb2/3
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、
酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化鉄(Fe203)
オよび酸化77チモ7 (S bzOs)の各粉末を用
いた。
)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて
示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわ
らないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、
酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化鉄(Fe203)
オよび酸化77チモ7 (S bzOs)の各粉末を用
いた。
第11表に示した範囲内の組成比の原料粉をボットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
K4/cm2の圧力でプレス成形し、1250〜12
80Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φ×1
0Wtである。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
K4/cm2の圧力でプレス成形し、1250〜12
80Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φ×1
0Wtである。
この焼結体を厚さ約1閣に切断し、0.8m厚まで研磨
して、両面に電極としてCr−Au’に蒸着した。さら
に銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極
処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で20〜
50kV/mの直流電圧を10分間印加することにより
行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行った。
して、両面に電極としてCr−Au’に蒸着した。さら
に銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極
処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で20〜
50kV/mの直流電圧を10分間印加することにより
行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行った。
第11表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電蹴が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるも
のがあり、PbTiOs磁器より大きいのが特徴である
。
圧電磁器組成物は、誘電蹴が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるも
のがあり、PbTiOs磁器より大きいのが特徴である
。
試料5および6は、Pb (Fel/3 Sb2/3
)03 の配合比が0.10を越えた場合であるが、
この場合、誘電率が太きくなυ、また横方向振動の電気
機械結合係数も大きくなシ異方性が低下する。
)03 の配合比が0.10を越えた場合であるが、
この場合、誘電率が太きくなυ、また横方向振動の電気
機械結合係数も大きくなシ異方性が低下する。
試料7ば、pbZrOsの配合比が0.96i越える場
合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あり圧電磁器として使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あり圧電磁器として使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
実施例12
PbZr03−Pb(Fev3Sb2/3)032成分
固溶体の優れた特性は、さらにPbTi0a f:固溶
させたPbZr03Pb(Fel/3Sb2/3)03
PbTiO33成分固溶体においても保存される。
固溶体の優れた特性は、さらにPbTi0a f:固溶
させたPbZr03Pb(Fel/3Sb2/3)03
PbTiO33成分固溶体においても保存される。
試料の作成方法は実施例11の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti□+
)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti□+
)を用いた。
第12表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、′
また厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrOs
Pb(Fex/a Sb2/3)032成分固溶体より
改善されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、′
また厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrOs
Pb(Fex/a Sb2/3)032成分固溶体より
改善されている。
上記の有効な組成比よりPbZrO3の配合比が少ない
場合、すなわち、Pb(Fel/3 Sb2/3 )0
3およびPbTiO3組成比が多いと誘電率が大きくな
シ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
場合、すなわち、Pb(Fel/3 Sb2/3 )0
3およびPbTiO3組成比が多いと誘電率が大きくな
シ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲より多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Fel/38b2/3)03 k含1
ナイ、いわゆるPbZrO3−PbTi0a磁器では厚
み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
ナイ、いわゆるPbZrO3−PbTi0a磁器では厚
み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例13
第13表にPbZrO3Pb(Mnl/3Ta2/a)
032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示
す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわら
ないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(pbo)、酸
化ジルコニウム(ZrOz)、酸化マンガン(MnO)
および酸化タンタル(TazOs)の各粉末を用いた。
032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示
す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわら
ないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(pbo)、酸
化ジルコニウム(ZrOz)、酸化マンガン(MnO)
および酸化タンタル(TazOs)の各粉末を用いた。
第13表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
Kg/cm2の圧力でプレス成形し、1250〜128
0Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX 1
0 rrrm tである。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
Kg/cm2の圧力でプレス成形し、1250〜128
0Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX 1
0 rrrm tである。
この焼結体を厚さ約1間に切断し、0.8.m厚まで研
磨して、両面に電極としてCr−4uを蒸着し・た。さ
らに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分
極処理は、70〜150cのシリコン・オイル中で20
〜50kV/cmの直流電圧を10分間印加することに
よシ行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行っ
た。
磨して、両面に電極としてCr−4uを蒸着し・た。さ
らに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分
極処理は、70〜150cのシリコン・オイル中で20
〜50kV/cmの直流電圧を10分間印加することに
よシ行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行っ
た。
第13表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と太きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数k t カ0.5 sk越
エルモノカ、Sす、P b T i 03磁器より大き
いのが特徴である。
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と太きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数k t カ0.5 sk越
エルモノカ、Sす、P b T i 03磁器より大き
いのが特徴である。
試料5および6は、Pb(Mnl/3 Taz/s )
03 の配合比が0.10を越えた場合であるが、この
場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械
結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
03 の配合比が0.10を越えた場合であるが、この
場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械
結合係数も犬きくなシ異方性が低下する。
試料7は、PbZrO30D配合比カ0.96 ヲta
よる場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体
となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不
可能であシ圧電磁器として使用することはできない。な
お、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本
発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶で
ある。
よる場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体
となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不
可能であシ圧電磁器として使用することはできない。な
お、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本
発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶で
ある。
実施例14
PbZrOs−Pb(Mnl/3Ta2/3)Os 2
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶
させたPbZr03−Pb(Mnl/3Ta2/3)0
3 PbTiO33成分固溶体においても保存され、
加えて機械的品質係数が大きくなる。
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶
させたPbZr03−Pb(Mnl/3Ta2/3)0
3 PbTiO33成分固溶体においても保存され、
加えて機械的品質係数が大きくなる。
試料の作成方法は実施例13の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(TiOz
)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(TiOz
)を用いた。
第14表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっており、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZrOa−Pb(Mnl/3T12/3)Q3 2成
分固溶体より改善されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっており、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZrOa−Pb(Mnl/3T12/3)Q3 2成
分固溶体より改善されている。
上記の有効な組成比よりPbZrOs の配合比が少な
い場合、すなわち、Pb (Mnt/a Ta2/3
)03およびPbTiOs 組成比が多いと誘電率が大
きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくな
る。
い場合、すなわち、Pb (Mnt/a Ta2/3
)03およびPbTiOs 組成比が多いと誘電率が大
きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくな
る。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よυ多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に1Pb (Mnt/a Ta2/3 )03
を含まない、いわゆるPbZ rOa −PbT io
3磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくな
る。
を含まない、いわゆるPbZ rOa −PbT io
3磁器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくな
る。
実施例15
第15表にPbZr03−Pb(Fet/3Nb2A)
032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示
す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわら
ないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸
化ジルコニウム(ZrCh)、酸化鉄(Fe203)お
よび酸化ニア1−プ(Nb205) (D各粉末を用
いた。
032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示
す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわら
ないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸
化ジルコニウム(ZrCh)、酸化鉄(Fe203)お
よび酸化ニア1−プ(Nb205) (D各粉末を用
いた。
第15表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
に9/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜12
80tll’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16
φX 10tmn である。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
に9/crn2の圧力でプレス成形し、1250〜12
80tll’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16
φX 10tmn である。
この焼結体を厚さ約1mに切断し、0.8m厚まで研磨
−て、両面に電極としてCr−Auk蒸着した。さらに
銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極処
理は、70〜150Cのシリコン−オイル中で20〜5
0に■/crnの直流電圧を10分間印加することによ
り行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行った
。
−て、両面に電極としてCr−Auk蒸着した。さらに
銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極処
理は、70〜150Cのシリコン−オイル中で20〜5
0に■/crnの直流電圧を10分間印加することによ
り行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行った
。
第15表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越える
ものがあり、PbTiO3磁器よシ大きいのが特徴であ
る。
圧電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越える
ものがあり、PbTiO3磁器よシ大きいのが特徴であ
る。
試料5および6は、Pb(Fe1/3Nb2/3)03
の配合比が0.10を越えた場合であるが、この場合
、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結合
係数も大きくなり異方性が低下する。
の配合比が0.10を越えた場合であるが、この場合
、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結合
係数も大きくなり異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96を越える場
合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あり圧電磁器蔽して使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あり圧電磁器蔽して使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
実施例16
PbZr03−Pb(Fe1/5Nb2/3)032成
分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶さ
せたPbZr0s−Pb(Fel/3Nb2/3)03
PbTjOa3成分固溶体に1いても保存される。
分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶さ
せたPbZr0s−Pb(Fel/3Nb2/3)03
PbTjOa3成分固溶体に1いても保存される。
試料の作成方法は実施例15の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti(h
)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(Ti(h
)を用いた。
第16表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっておシ、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3Pb(
Fe1/3Nb2/3)032成分固溶体よシ改善され
ている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっておシ、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3Pb(
Fe1/3Nb2/3)032成分固溶体よシ改善され
ている。
上記の有効な組成比よJ)PbZr03の配合比が少な
い場合、すなわち、Pb (Fe、/s Nb2/3
)OsおよびPbTiOs組成比が多いと誘電率が大き
くなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる
。
い場合、すなわち、Pb (Fe、/s Nb2/3
)OsおよびPbTiOs組成比が多いと誘電率が大き
くなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる
。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よシ多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Fel/3 Nb2/11)03 f含
まない、いわゆるPbZrO3PbTi0a磁器では厚
み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
まない、いわゆるPbZrO3PbTi0a磁器では厚
み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例17
第17表にPbZr0a Pb(Sbl/2 Tal
/2)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまと
めて示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこ
とわらないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(PbO
)、酸化ジルコニウム(ZrOz) 、酸化アンチモン
(Sb20s)および酸化タンタル(Ta205)の各
粉末を用いた。
/2)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまと
めて示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこ
とわらないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(PbO
)、酸化ジルコニウム(ZrOz) 、酸化アンチモン
(Sb20s)および酸化タンタル(Ta205)の各
粉末を用いた。
第17表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をシイカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
Kg/cm2の圧力でプレス成形し、12oo〜128
0cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φXIO
岨1である。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をシイカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
Kg/cm2の圧力でプレス成形し、12oo〜128
0cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φXIO
岨1である。
この焼結体を厚さ約1m+nに切断し、0.8m厚まで
研磨して、両面に電極としてCr−Auを蒸着した。さ
らに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分
極処理は、70〜150cのシリコン・オイル中で20
〜25kV/(7)の直流電圧を10分間印加すること
によシ行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行
った。
研磨して、両面に電極としてCr−Auを蒸着した。さ
らに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分
極処理は、70〜150cのシリコン・オイル中で20
〜25kV/(7)の直流電圧を10分間印加すること
によシ行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行
った。
第17表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と太きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるも
のかあシ、PbTi0a磁器よシ大きいのが特徴である
。
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と太きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるも
のかあシ、PbTi0a磁器よシ大きいのが特徴である
。
試料5および6は、P b(S bI/2Tat/z
) Os の配合比が0.10を越えた場合であるが、
この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気
機械結合係数も大きくなり異方性が低下する。
) Os の配合比が0.10を越えた場合であるが、
この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気
機械結合係数も大きくなり異方性が低下する。
試料7は、PbZr0a の配合比が0.96 ヲ越え
る場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可
能であり圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本発
明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶であ
る。
る場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可
能であり圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本発
明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶であ
る。
実施例18
PbZr03−’pb(Sbl/2Ta+/2)032
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶
させたPbZr03 Pb (8bl/2 Tal/
2 )03 PbTiO33成分固溶体においても保
存される。
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶
させたPbZr03 Pb (8bl/2 Tal/
2 )03 PbTiO33成分固溶体においても保
存される。
試料の作成方法は実施例17の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(TiO2
)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(TiO2
)を用いた。
第18表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZr0.、Pb
(Sb1/zTa+/z)032成分固溶体より改善さ
れている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZr0.、Pb
(Sb1/zTa+/z)032成分固溶体より改善さ
れている。
上記の有効な組成比より PbZ rQ a の配合比
が少ナイ場合、t−ナワち、Pb (Sbl/2 Ta
l/2)03およびPbTiO3組成比が多いと誘電率
が大きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さ
くなる。
が少ナイ場合、t−ナワち、Pb (Sbl/2 Ta
l/2)03およびPbTiO3組成比が多いと誘電率
が大きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さ
くなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲、cシ
多いと反強誘電体となる。
多いと反強誘電体となる。
最後に、Pb (Sbl/2 Tal/2) 03
を含まない、いわゆるPbZrOs PbTiO3磁
器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
を含まない、いわゆるPbZrOs PbTiO3磁
器では厚み縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例19
第19表にPbZr03−Pb(Fel/3 Taz/
3)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめ
て示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこと
わらないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)
、酸化ジルコニウム(zro2)、酸化鉄(F e 2
Q 3 )および酸化タンタル(Ta2o5)ノ各粉
末を用いた。
3)032成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめ
て示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこと
わらないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)
、酸化ジルコニウム(zro2)、酸化鉄(F e 2
Q 3 )および酸化タンタル(Ta2o5)ノ各粉
末を用いた。
第19表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
に9/Crn2の圧力でプレス成形し、1200〜12
80Cで5時間焼結した。酸結体のサイズけ16φX
10 rran tである。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
に9/Crn2の圧力でプレス成形し、1200〜12
80Cで5時間焼結した。酸結体のサイズけ16φX
10 rran tである。
この焼結体を厚さ約1mmに切断し、0.8闘厚まで研
磨して、両面に電極としてCr−Aυを蒸着した。さら
に銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極
処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で20〜
50に■/釧の直流電圧を10分間印加することによシ
行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行った。
磨して、両面に電極としてCr−Aυを蒸着した。さら
に銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極
処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で20〜
50に■/釧の直流電圧を10分間印加することによシ
行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行った。
第19表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるも
のがあり、P b T s Q 3磁器より大きいのが
特徴である。
圧電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数ktが0.55を越えるも
のがあり、P b T s Q 3磁器より大きいのが
特徴である。
試料5および6は、Pb (Fel/3Ta2/3)0
3 の配合比が0.10を越えた場合であるが、この
場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械
結合係数も大きくなシ異方性が低下する。
3 の配合比が0.10を越えた場合であるが、この
場合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械
結合係数も大きくなシ異方性が低下する。
試料7は、PbZrOsの配合比が0.9・6を越える
場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体とな
る。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能
であシ圧電磁器として使用することはできない。なお、
反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本発明
の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である
。
場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体とな
る。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能
であシ圧電磁器として使用することはできない。なお、
反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であシ、本発明
の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である
。
実施例20
PbZrO3Pb(Fel/3Ta2/3)032成分
固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶させ
たPbZrO3Pb(Fel/3Ta2/3)03
PI)TjOa3成分固溶体においても保存される。
固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3を固溶させ
たPbZrO3Pb(Fel/3Ta2/3)03
PI)TjOa3成分固溶体においても保存される。
試料の作成方法は実施例19の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(TiO2
)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(TiO2
)を用いた。
第20表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3Pb(
Fel/3Ta2/3)032成分固溶体より改善され
ている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3Pb(
Fel/3Ta2/3)032成分固溶体より改善され
ている。
上記の有効な組成比よりPbZrO3の配合比が少ない
場合、すなわち、Pb (Fe+/3’I’a2/3)
O3およびP b ’l’ iQ s 組成比が多い
と誘電率が大きくなり、また、電気機械結合係数の異方
性も小さくなる。
場合、すなわち、Pb (Fe+/3’I’a2/3)
O3およびP b ’l’ iQ s 組成比が多い
と誘電率が大きくなり、また、電気機械結合係数の異方
性も小さくなる。
捷た、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲より多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Fel/3 Taz/a)Os を含ま
ない、いわゆるPbZrO3PbTi0a磁器では厚み
縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
ない、いわゆるPbZrO3PbTi0a磁器では厚み
縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例21
第21表VCPbZr03 Pb (Mnz/3W+
/3 )032成分固溶体に関する試料(1〜7)をま
とめて示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特に
ことわらないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(Pb
O)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化マyガフ(
MnO)および酸化タングステン(WOs)の各粉末を
用いた。
/3 )032成分固溶体に関する試料(1〜7)をま
とめて示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特に
ことわらないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(Pb
O)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化マyガフ(
MnO)および酸化タングステン(WOs)の各粉末を
用いた。
第21表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
にり/crn2の圧力でプレス成形し、1200〜12
80cで5時間焼結した。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びポットミルを用い混合した。乾燥後、350
にり/crn2の圧力でプレス成形し、1200〜12
80cで5時間焼結した。
焼結体のサイズは16φX10m+ である。この焼
結体を厚さ約1rrrInに切断し、0.8m厚まで研
磨して、両面に電極としてCr−4uf蒸着した。
結体を厚さ約1rrrInに切断し、0.8m厚まで研
磨して、両面に電極としてCr−4uf蒸着した。
さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した0
分極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で2
0〜50kV/crnの直流電圧を1o分間印加するこ
とにより行った。その後、誘電および圧電特性の測定を
行った。
分極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で2
0〜50kV/crnの直流電圧を1o分間印加するこ
とにより行った。その後、誘電および圧電特性の測定を
行った。
第21表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係1jik t7>Eo、55
eMえるものが6り、PbTiOs磁器より大きいのが
特徴である。
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係1jik t7>Eo、55
eMえるものが6り、PbTiOs磁器より大きいのが
特徴である。
試料5および6は、P b (Mn 2/3 wI/s
) 03 (7) 配合比が0.10を越えた場合で
あるが、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振
動の電気機械結合係数も大きくなり異方性が低下する。
) 03 (7) 配合比が0.10を越えた場合で
あるが、この場合、誘電率が大きくなり、また横方向振
動の電気機械結合係数も大きくなり異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96を越える場
合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あり圧電磁器として使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体となる
。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能で
あり圧電磁器として使用することはできない。なお、反
強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明の
優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である。
実施例22
I’bZrO3Pb(Mn2/3W1/3)03 2成
分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiOs を固溶
させたPbZr03−Pb(Mn2/aW+/3)03
PbTi033成分固溶体においても保存され、加えて
機械的品質係数が大きくなる。
分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiOs を固溶
させたPbZr03−Pb(Mn2/aW+/3)03
PbTi033成分固溶体においても保存され、加えて
機械的品質係数が大きくなる。
試料の作成方法は実施例21の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(’rio
2)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(’rio
2)を用いた。
第22表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数や険械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっており、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZrO3−P b (Mn 2/:I W]/3)
Os 2成分固溶体より改善されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数や険械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっており、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZrO3−P b (Mn 2/:I W]/3)
Os 2成分固溶体より改善されている。
上記の有効な組成比よりPbZrO3の配合比が少なイ
場合、すなわち、P b (Mn 2/3 W+/3
) OsおよびPbTiO3組成比が多いと誘電率が犬
きくなシ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくな
る。
場合、すなわち、P b (Mn 2/3 W+/3
) OsおよびPbTiO3組成比が多いと誘電率が犬
きくなシ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくな
る。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲より多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Mn2/3W1/a)03 ’に含まな
い、いわゆるPbZrO3PbTiO3磁器では厚み縦
振動の電気機械結合係数が小さくなる。
い、いわゆるPbZrO3PbTiO3磁器では厚み縦
振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例23
第23表にPbZrO3Pb(Sb1/zNb1/2)
Os2成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示
す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわら
ないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸
化ジ/l/ コニウム(Zr02) 、酸化アンチモン
(Sb2011)および酸化ニオブ(N b20s )
の各粉末を用いた。
Os2成分固溶体に関する試料(1〜7)をまとめて示
す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にことわら
ないかぎシ純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)、酸
化ジ/l/ コニウム(Zr02) 、酸化アンチモン
(Sb2011)および酸化ニオブ(N b20s )
の各粉末を用いた。
第23表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
Kg 7cm”の圧力でプレス成形し、1200〜1
280Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10mm’である。
を用い約1時間室式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
Kg 7cm”の圧力でプレス成形し、1200〜1
280Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10mm’である。
この焼結体を厚さ約1簡に切断し、0.8mm厚まで研
磨して、両面に電極としてCr−Au″ff:蒸着した
。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した
。分極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で
20〜50kV/crr1の直流電圧を10分間印加す
ることにより行った。その後、誘電および圧電特性の測
定を行った。
磨して、両面に電極としてCr−Au″ff:蒸着した
。さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した
。分極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で
20〜50kV/crr1の直流電圧を10分間印加す
ることにより行った。その後、誘電および圧電特性の測
定を行った。
第23表の試料1〜4から明らかなように、本実施の圧
電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越えるも
のがあり、P t)T t Os磁器よシ大きいのが特
徴である。
電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気機
械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚み
縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越えるも
のがあり、P t)T t Os磁器よシ大きいのが特
徴である。
試料5および6は、Pb(SbsANbt/2)03
の配合比が0.10を越えた場合であるが、この場合、
誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結合係
数も大きくなシ異方性が低下する。
の配合比が0.10を越えた場合であるが、この場合、
誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結合係
数も大きくなシ異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96 ’i越え
る場合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可
能であり圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方、晶であシ、本
発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶で
ある。
る場合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可
能であり圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方、晶であシ、本
発明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶で
ある。
実施例24
PbZrOa Pb(8bl/2Nbl/2)032
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3’e固
溶させたPbZr03−Pb(Sb1/zNb1/2)
03 PbTiOs3成分固溶体においても保存され
る。
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3’e固
溶させたPbZr03−Pb(Sb1/zNb1/2)
03 PbTiOs3成分固溶体においても保存され
る。
試料の作成方法は実施例23の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(T i
02 )を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(T i
02 )を用いた。
第24表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3Pb(
Sbl/2 Nbl/2)032成分固溶体よシ改善さ
れている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZrO3Pb(
Sbl/2 Nbl/2)032成分固溶体よシ改善さ
れている。
上記の有効な組成比よfiPbZr03 の配合比が少
ない場合、すなわち、Pb(8bl/2 Nbl/2)
03およびpbTioa組成比が多いと誘電率が大きく
なシ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
ない場合、すなわち、Pb(8bl/2 Nbl/2)
03およびpbTioa組成比が多いと誘電率が大きく
なシ、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よシ多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb (Sbl/2 Nbl/2 )03を含
まない、いわゆるPbZrO3PbT10g磁器では厚
み縦振動の電気機械結合係数が/J’tさくなる。
まない、いわゆるPbZrO3PbT10g磁器では厚
み縦振動の電気機械結合係数が/J’tさくなる。
実施例25
第25表にPbZr0s−Pb (Fe1/z Tas
/z)Oa2成分固溶体に関する試料(1〜7)をまと
めて示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこ
とわらないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(PbO
)、酸化ジルコニウム(Zr02)、酸化鉄(FezO
3)および酸化タンク/l/(Ta20B)(7)各粉
末を用いた。
/z)Oa2成分固溶体に関する試料(1〜7)をまと
めて示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこ
とわらないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(PbO
)、酸化ジルコニウム(Zr02)、酸化鉄(FezO
3)および酸化タンク/l/(Ta20B)(7)各粉
末を用いた。
第25表に示した範囲内の組成比の原料粉をポットミル
を用い約1時量産式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
K97cm2の圧力でプレス成形し、1200〜12
80t:’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16φ
X 10 rtvn tである。
を用い約1時量産式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
K97cm2の圧力でプレス成形し、1200〜12
80t:’で5時間焼結した。焼結体のサイズは16φ
X 10 rtvn tである。
この焼結体を厚さ約1mに切断し、0.8rmn厚まで
研磨して、両面に電極としてCr−Aue蒸着した。さ
らに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分
極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で20
〜50kV/Crnの直流電圧を10分間印加すること
により行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行
った。
研磨して、両面に電極としてCr−Aue蒸着した。さ
らに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分
極処理は、70〜150Cのシリコン・オイル中で20
〜50kV/Crnの直流電圧を10分間印加すること
により行った。その後、誘電および圧電特性の測定を行
った。
第25表の試料1〜4から明らか々ように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越える
ものがあり、、PbTjOs磁器よシ大きいのが特徴で
ある。
圧電磁器組成物は、誘電率が200以下と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数1(tが0.55を越える
ものがあり、、PbTjOs磁器よシ大きいのが特徴で
ある。
試料5および6は、Pb (Fex/z Tal/2
)Osの配合比が0.10を越えた場合であるが、この
4合、誘電率が犬きくなシ、また横方向振動の電気機械
結合係数も大きくなり異方性が低下する。
)Osの配合比が0.10を越えた場合であるが、この
4合、誘電率が犬きくなシ、また横方向振動の電気機械
結合係数も大きくなり異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96’!r越え
る場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可
能であシ圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発
明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶であ
る。
る場合であり、この場合は得られた磁器は反強誘電体と
なる。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可
能であシ圧電磁器として使用することはできない。なお
、反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発
明の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶であ
る。
実施例26
PbZrO3−Pb (Fel/2 Ta+/z )0
32成分固溶体の優れた特性は、さらにpbTi03
k固溶させたPbZr03−Pb(Fel/2Tal/
2)03 PbTjO33成分固溶体においても保存
される。
32成分固溶体の優れた特性は、さらにpbTi03
k固溶させたPbZr03−Pb(Fel/2Tal/
2)03 PbTjO33成分固溶体においても保存
される。
試料の作成方法は実施例25の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(T i
02 )を用いた。
チタン(Ti)の出発原料として酸化チタン(T i
02 )を用いた。
第26表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZr03pb
(Fel/2 Tal/2)032成分固溶体よシ改善
されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数が極めて大き
く、かつ多くの組成物で誘電率が小さくなっており、ま
た厚み縦振動の電気機械結合係数がPbZr03pb
(Fel/2 Tal/2)032成分固溶体よシ改善
されている。
上記の有効な組成比よりpbZrOa の配合比が少な
い場合、すなわち、Pb (Fe+/z Tal/2)
03およびPbTiOs 組成比が多いと誘電率が大き
くなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる
。
い場合、すなわち、Pb (Fe+/z Tal/2)
03およびPbTiOs 組成比が多いと誘電率が大き
くなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さくなる
。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲より多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb(Fel/2Tavz)Oa k含まない
、いわゆるPbZr0a PbTiO3磁器では厚み
縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
、いわゆるPbZr0a PbTiO3磁器では厚み
縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
実施例27
第27表にPbZr03−pb (Fe2/3Te+/
3)032成分固溶体に関する試料(1〜7)を1とめ
て示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこと
わらないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)
、酸化ジ/L/ コニウム(ZrO2)、酸化鉄(Fe
20s) および酸化テルル(Te02)の各粉末を
用いた。
3)032成分固溶体に関する試料(1〜7)を1とめ
て示す。本発明の磁器を得る出発原料としては特にこと
わらないかぎり純度99.9%以上の酸化鉛(PbO)
、酸化ジ/L/ コニウム(ZrO2)、酸化鉄(Fe
20s) および酸化テルル(Te02)の各粉末を
用いた。
第27表に示した範囲内の組成比の原料粉をボットミル
を用い約1時量産式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
K97cm2の圧力でプレス成形し、1200〜13
00Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10 rtm ’である。
を用い約1時量産式混合し、乾燥後、900Cで2時間
仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機を用いて粉
砕後、再びボットミルを用い混合した。乾燥後、350
K97cm2の圧力でプレス成形し、1200〜13
00Cで5時間焼結した。焼結体のサイズは16φX
10 rtm ’である。
この焼結体を厚さ約1胴に切断し、0.8Wm厚1で研
磨して、両面に電極としてCr−Auを蒸着した。さら
に銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極
処理は、70〜150C(7)シIJ rン・オイル中
で20〜50 kV 7cmの直流電圧を1o分間印加
することにより行った。その後、誘電および圧電特性の
測定を行った。
磨して、両面に電極としてCr−Auを蒸着した。さら
に銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。分極
処理は、70〜150C(7)シIJ rン・オイル中
で20〜50 kV 7cmの直流電圧を1o分間印加
することにより行った。その後、誘電および圧電特性の
測定を行った。
第27表の試料1〜4から明らかなように、本実施例の
圧電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数k t カ0.55 ’j
t)越j;=7:r モ(Dカあり、PbTfOa磁器
よシ大きいのが特徴である。
圧電磁器組成物は、誘電率が200程度と小さく、電気
機械結合係数の異方性が10以上と大きい。さらに、厚
み縦振動の電気機械結合係数k t カ0.55 ’j
t)越j;=7:r モ(Dカあり、PbTfOa磁器
よシ大きいのが特徴である。
試料5および6は、Pb (Fe2/3 Te+/a)
03の配合比が0.10を越えた場合であるが、この場
合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結
合係数も大きくなり異方性が低下する。
03の配合比が0.10を越えた場合であるが、この場
合、誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結
合係数も大きくなり異方性が低下する。
試料7は、PbZrO3の配合比が0.96 i越える
場合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電体とな
る。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能
であり圧電磁器として使用することはできない。なお、
反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明
の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である
。
場合であシ、この場合は得られた磁器は反強誘電体とな
る。それゆえ、分極処理で圧電活性にすることは不可能
であり圧電磁器として使用することはできない。なお、
反強誘電体となる磁器の結晶系は斜方晶であり、本発明
の優れた圧電特性を示す磁器の結晶系は菱面体晶である
。
実施例28
PbZrOa Pb(Fe2/3Tel/3)032
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3に固溶
させたPbZr03−Pb(Fe2/aTe+/a)0
3Pb’l:’1033成分固溶体においても保存され
、加えて機械的品質係数が大ぎくなる。
成分固溶体の優れた特性は、さらにPbTiO3に固溶
させたPbZr03−Pb(Fe2/aTe+/a)0
3Pb’l:’1033成分固溶体においても保存され
、加えて機械的品質係数が大ぎくなる。
試料の作成方法は実施例27の場合と同じである。なお
チタン(Ti)の出発原料とし、て酸化チタン(TiO
z)を用いた。
チタン(Ti)の出発原料とし、て酸化チタン(TiO
z)を用いた。
第28表に試料8〜15をまとめて示す。各試料から明
らかなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっており、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZr03−Pb(Fe2/3 Te1/3)03 2
成分固溶体より改善されている。
らかなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質
係数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さ
くなっており、また厚み縦振動の電気機械結合係数がP
bZr03−Pb(Fe2/3 Te1/3)03 2
成分固溶体より改善されている。
上記の有効な組成比よ’) P bZ r Q 3 の
配合比が少ない場合、すなわち、Pb (Fe2/3
Tel/3 )03およびPbTiO3組成比が多いと
誘電率が大きくなシ、また、電気機械結合係数の異方性
も小さくなる。
配合比が少ない場合、すなわち、Pb (Fe2/3
Tel/3 )03およびPbTiO3組成比が多いと
誘電率が大きくなシ、また、電気機械結合係数の異方性
も小さくなる。
また、PbZrO3の配合比が本発明の組成範囲よシ多
いと反強誘電体となる。
いと反強誘電体となる。
最後に、Pb (Fe2/3 TeH/5)03に含ま
ない、いわゆるPbZrO3PbTiO3磁器では厚み
縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
ない、いわゆるPbZrO3PbTiO3磁器では厚み
縦振動の電気機械結合係数が小さくなる。
以上説明したごとく、xPbZro 3 YA2成分
固溶体のうち、x+y=1.00とした時、X=0.9
05〜0.960. y=0.040〜0.095と表
わされる組成範囲内の圧電磁器組成物、そして、xPb
Zro 3 yA−ZPbTi033PbTiO33成
、x+y+z=1.00とした時、3元組成図で、X、
y、zがそれぞれ X y Z O,9050,0950,000 0,9600,0400,000 0,9320,0050,063 0,9050,0050,090 で表わされる組成比の点で囲まれる組成範囲内の圧電磁
器組成物は、優れた圧電性を保有しており、とくに低誘
電率でかつ、電気機械結合係数の異方性が大きく、加え
て厚み縦振動の電気機械結合係数も太きいため、PbT
iO3磁器に代る圧電磁器として、これまでにない優れ
た特性を持つことは明らかでちる。
固溶体のうち、x+y=1.00とした時、X=0.9
05〜0.960. y=0.040〜0.095と表
わされる組成範囲内の圧電磁器組成物、そして、xPb
Zro 3 yA−ZPbTi033PbTiO33成
、x+y+z=1.00とした時、3元組成図で、X、
y、zがそれぞれ X y Z O,9050,0950,000 0,9600,0400,000 0,9320,0050,063 0,9050,0050,090 で表わされる組成比の点で囲まれる組成範囲内の圧電磁
器組成物は、優れた圧電性を保有しており、とくに低誘
電率でかつ、電気機械結合係数の異方性が大きく、加え
て厚み縦振動の電気機械結合係数も太きいため、PbT
iO3磁器に代る圧電磁器として、これまでにない優れ
た特性を持つことは明らかでちる。
\
第1図は本発明の圧電磁器組成物であるPbZrO3−
Aなる2成分固溶体およびPbZrO3A PbTi
0gなる3成分固溶体ニオいて優れた圧電特性を示す組
成範囲ならびに各実施例に掲げる組成物の配合比を示す
組成図である。
Aなる2成分固溶体およびPbZrO3A PbTi
0gなる3成分固溶体ニオいて優れた圧電特性を示す組
成範囲ならびに各実施例に掲げる組成物の配合比を示す
組成図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 、 AkPb(FeVz 8bl/2 )031P
b (MnV2Tal/2 )Os + Pb (Mn
1/s 8b2ys )03+Pb (Mn+/2Sb
l/2 )03. Pb (FeV2Nbl/2)0
3 +Pb (Fex、/3Sb2/3 )03. P
b (MntATa2/3)03 *Pb (Fe+/
a Nbra ) 03. Pb (Sbl/2 Ta
l/2 )031Pb (Fey3Ta2A) 03
+ Pb (Mn2/3 W14 )031Pb(Sb
l/2 Nbl/2 )03+ Pb (Fel/2
T”1/2)03 +およびPb (Fevs Tes
/3) Osからなる群よシ選択した1物質とするとき
、xPbZrOa−yAで構成される2成分固溶体から
なシ、且つx 十y=1゜OO、0,905≦X≦0.
960で示される組成を有することを特徴とする圧電磁
器組成物。 2、AをPb (Fe+/z 5bxA)Oa +Pb
(Mn+/2Tal/2 )03 + Pb (Mn
ys Sb2/3 )Oa +Pb (Mnl/2 S
bl/2 )Os 、 Pb (FelANbl/
2 )03 +Pb (Fe+/a Sb2/3 )
Oa 、 Pb (Mnl/3 Ta2/3 )Os
+Pb (FeVa Nbv3)03. Pb (Sb
l/2 Tal/2)03 +Pb (Fel/3 T
a2/3 )Os * Pb (Mn2/3 Wl
ys )Os *Pb (Sbl/!2 Nbl/2)
03 + Pb (Fel/2 Tal/+I)O3+
およびP b (F e2A T etA) 03から
なる群よシ選択した1物質とするとき、XPbZrO3
YA−g P b T t Osで構成される3成分固
溶体からなり、且つX + % 1.00なる関係を満
足し、上記3成分からなる組成物の組成を示す3元組成
図における点P(xが0.905.Yが0.095.Z
がo、oooの点)、点Q(xが0.960. Yが0
.040゜2がo、oooの点)、点R(Xが0.93
2.Yが0.005.Zが0.063の点)、点S(X
が0.905 。 yが0.005.zが0.090 (7)点)および該
点Pを順次直線で結んで形成された4角形内(y軸を除
く各辺上を含む)の座標で示される組成を有することを
特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57223810A JPS59114881A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 圧電磁器組成物 |
| US06/513,424 US4565642A (en) | 1982-07-14 | 1983-07-13 | Piezoelectric substances |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57223810A JPS59114881A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59114881A true JPS59114881A (ja) | 1984-07-03 |
| JPH0474299B2 JPH0474299B2 (ja) | 1992-11-25 |
Family
ID=16804071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57223810A Granted JPS59114881A (ja) | 1982-07-14 | 1982-12-22 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59114881A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110734286B (zh) * | 2019-11-08 | 2021-04-20 | 华中科技大学 | 一种铁基石榴石陶瓷材料、其制备和应用 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4924760A (ja) * | 1972-07-10 | 1974-03-05 |
-
1982
- 1982-12-22 JP JP57223810A patent/JPS59114881A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4924760A (ja) * | 1972-07-10 | 1974-03-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0474299B2 (ja) | 1992-11-25 |
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