JPS5911497A - プロセス量測定装置 - Google Patents

プロセス量測定装置

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JPS5911497A
JPS5911497A JP57121017A JP12101782A JPS5911497A JP S5911497 A JPS5911497 A JP S5911497A JP 57121017 A JP57121017 A JP 57121017A JP 12101782 A JP12101782 A JP 12101782A JP S5911497 A JPS5911497 A JP S5911497A
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amplification factor
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JP57121017A
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一郎 和田
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、流量、圧力、温度等のプロセス量を測定する
プロセス量測定装置の改良に関する。
〔発明の技術的背景及びその問題点〕
従来、プロセス量の1つである流体の流量を測定するも
のとして電磁流量計がある。
この電磁流量計は、流体に磁界を作用させて流体に生ず
る起電力を流量として検出する流量検出部と、この流量
検出部の出力をコンピュータや指示計器等で読取れるよ
うな信号に変換する信号変換部とを備えている。そして
、これらの流量検出部と信号変換部は第1図に示すA。
Bのような出力特性を持っている。即ち、流量検出部は
、横軸をプロセス量Proとし、縦軸を検出電圧Eとす
ると、第1図Aに示すように広tltlなプロセス量Q
 −pronの変化に対し正確な検出電圧特性1を得る
ことができる。これに対し、信号変換部は、流量検出部
によって検出した検出電圧0〜Enの全範囲にわたって
連続的かつ正確に信号変換することはできない。
そこで、従来、次のような手段によって流量の測定を行
っている。つまり、プロセス量0〜Pronの大きさに
応じて測定流量スケール(以下、測定スパンと相称する
)を複数に分割する方法である。例えば第1図Bに示す
ように、プロセスi 0〜Prol 、 O〜pro2
1 …、 O〜Pron  に応じて測定スパンを変え
てプロセス量を測定する。このようにすれば、全範囲の
プロセス量を高精度に測定できる。
しかしながら、以上のような測定手段では次のような問
題が生じる。たとえば、0〜Prolの測定スパン流量
を測定した場合、0に近いプロセス量とprolに近い
プロセスmとでは、ソノ測定流量値における誤差が異な
る。この点を第2図で説明すると、任意の測定スパンに
おけるフルスケールの誤差を1〔チ〕とする。この測定
スノ臂ンでフルスケールの50 C% ] (DKN 
全測定した場合、その測定値の誤差は約2〔チ〕となる
。また、この測定スノ母ンでフルスケールの101:%
)の流量を測定した場合、その測定値の誤差は約10C
%)となる。したがって、同一の測定ス・千ンで数回流
量を測定した場合、その測定流量値に含まれる誤差は、
流量が少なくなるに従って大きくなっていく。このこと
は、正確な流量を測定することが困難であることを意味
する。
〔発明の目的〕
本発明は、以上のような問題を解決するためなされたも
ので、流量が変化しても誤差を生ぜず正確な流量を測定
することができるプロセス量測定装置を提供することを
目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は、プロセス量検出部からの検出信号を増幅し、
この増幅信号が予め定めた設定レベル値以上あるいは以
下になると、測定レンジを切換えると同時に、その切換
えた測定レンジに対応した増幅率をもって前記検出信号
を増幅し、この増幅された検出信号の電圧レベルに応じ
て/4’ルス+aOノ+ルス信号ト、このノ千ルス信号
のノ4ルス幅に比例した直流電圧を出力するプロセス量
測定装置である。
〔発明の実施例〕
以下、電磁流量計に適用した本発明の一実施例について
第3図を参照して説明する。この電磁流量計は、流量検
出部10と信号変換部2゜とで構成されている。流量検
出部1oは、流体を流通する管体11と、この管体11
の外側に流体の流れ方向と直交する方向に磁界を発生す
る2つのコイル12a、12bと、このコイル12a、
12bの励磁によって発生する磁界によって流体に生ず
る起電力を検出する一対の電極13a、13bとで構成
されている。
一方、信号変換部20は、電源21と、2つのコイル1
2a、12bへ励磁電流を与える励磁部22と、この励
磁部22からの励磁電流によって一対の電極13 a 
p 13 bで検出した信号を差動増幅する差動増幅部
23と、流速レベル設定部24と、・ぞルス幅変調部2
5と、演算部lX26と、電力増幅部27と、タイピン
グ信号を出力するタイミング信号発生部28とで構成さ
れている。
前記流速レベル設定部24は、複数の増幅率に可変しう
る増幅部24aと、この増幅部24mの増幅出力が予め
定めた設定値以上又は別に定め設定値以下となったとき
に流速レベルの切換えを行な℃)測定レベル設定信号を
出力する設定信号部24bと、この設定信号部24bの
出力に対応してプロセス量の流速に適する増幅率とする
だめの切換信号を増幅部24aに与えるとともに、どの
程度の増幅率かを示す増幅率信号を演算部26に与える
流速レベル切換部24cとから碌っている。
次に、パルス幅変調部25は、増幅部24hの出力′重
圧を受けこの出力電圧のレベルに応じた・ぐルス幅のノ
J?ルス信号を出力する。演算部26は、流速レベル切
換部24cからの増幅率信号によシパルス幅変調部25
の・母ルス信号ヲ増幅部241で増幅する以前の電圧レ
ベルにもどし、直流電圧信号に変換して出力する。また
演算部26は従来の流速レベル切換部26mを有してい
る。電力増幅部27は、直流電圧信号を増幅し表示部3
0にその信号を送る。この表示部3oVi電力増幅部2
7の信号を表示する。
タイばング信号発生部28は、励磁部22、流速レベル
切換部24cおよび・ぞルス幅変調部25の各動作のタ
イミングをとって雑音の影響を々くすものである。
以上のように構成された一実施例の動作について説明す
る。電源の投入後、励磁部22は、タイミング信号発生
部28のタイミングによりコイル12a、12bに励磁
電流を流す。コイル121L112bは、この電流によ
り流体と直交する方向に磁界を発生する。これにより、
流体に生ずる起電力を一対の電%113h、13bで検
出する。このようにして流量検出部10で検出しPc検
出電圧は@号交換部20に送られる。この信号変換部2
0は、この検出信号を流量表示が可能な信号に変換する
。このとき、流速レベル切換部261は、たとえば6 
(m/a )の流速レベルを演算部26に設定していた
とする。そして、この流速レベルにおいて流量を測定中
に流体の流速が3 [m/s ]未満に減速したとする
。これにより、流量検出部10の出力は減少し、これが
信号変換部20に送られる。この検出出力は、差動増幅
部23により差動増幅され流速レベル設定部24に送ら
れる。
そこで、流速レベル設定部24は、次のような動作を行
う。壕ず、増幅部24aは、差動増幅部23の増幅電圧
を所定の増幅率で増幅し出力する。そして、設定信号部
24bは、増幅部24&の出力電圧の電圧レベルを検出
する。増幅部24thからの出力電圧は、流体の流速の
減速によって低下しあらかじめ設定された電圧値よシ低
くなる。そこで、設定信号部24bは、流速レベル切挨
部24cに流速レベルを30〆8〕にするような信号を
送る。これにより、流速レベル切換部24eは、流速レ
ベルを6[m/a:1から5 (m/a ] →4 [
: Iv/s ]と切換え最後に3Crrv’s:1と
するように迅速に切換る。これと同時に、増幅部24a
の増幅率が流速レベル3 [m/s 〕と対応する増幅
率に設定される。そして、流速レベル切換部24cは、
演算部26に増幅部24aで増幅する以前の電圧レベル
にもどすための増幅率信号を送る。現状態での増幅率信
号は、流速レベル切換部24cが3〔rrV/II〕で
、演算部26に内蔵の流速レベル切換部26aが6(r
V/ll)と設定されるので演算部26に3/6倍させ
るような信号である。
以上のような流速レベル設定部24の動作により増幅部
24hの出力電圧が・e7レス幅変調部25に送られる
。ノ4ルス幅変調部25は、増幅部241Lの出力電圧
の電圧レベルに応じてAルス幅を可変し、パルスデュー
ティ信号として演舞°部26に送る。演算部26はパル
スデューティ信相の電圧レベルを増幅信号により3/6
倍にし、かつパルスデューティ信号をそのデユーティ比
に対応した7M流電圧に変換し出力する。そして、電力
増幅部27は、演算部26からの直流電圧を増幅し表示
部30に送る。これにより表示部30は、たとえばレコ
ーダ、積算計力との計器で流量の表示を行なう。ここで
タイミング信号発生部28は、励磁部22、流速レベル
切換部24c、・灼レス幅変調部25の各動作タイミン
グを設定している。また、流速レベルの切換は、第4図
に示す測定値に影響を与えない・そルス幅の区間aで行
なう。第4図のbは流量を測51U する場合のサンプ
リング区間である。
したがって、演NVA26に内蔵の流速レベル切換oB
 26@で流速レベル(予測される最大流量値より少し
大きい値)を設定しておけば、流量が大きく減少した場
合でも、流速レンジ設定部24において差動増幅部23
の出力を所定の増幅率で増幅し、演算部26で増幅前の
電圧レベルにもどすので、誤差を生ぜず正確な流量を測
定することができる。
さらに流速レベル切換部24cに有する板敷の流速レベ
ルを組み合わせることにLつて細かい流速レベルを設定
すれば、流量の測定精度は更に向上さぜることができる
また、流速レベル切換部24cの流速レベルを10〔r
rV/II〕に設定し、演算部26に内蔵の流速レベル
切換部26&で流速レベルの設定をせずに流量の測定を
行左うことができる。この場合、表示部をデノタpv表
示にし、測定流量全範囲にわたり表示し正確な流量を測
定することができる。
表示部30は、多重目盛のレコーダ、積算針等を用いる
必要はなく、ルンジ用のレコーダ、積算計等の表示装置
で良い。
なお、本発明は、上記−突施例に限定されるものでは力
い。上記一実施例は、流量の測定のみであるが流量検出
部10を変更することに−より多種類のプロセス量に対
する測定が行なえる。
たとえば、第5図(、) (b) (C)に示す各流量
検出部30〜32の如くである。第5図(、)は、熱電
対30mに発生する起電力(el と抵抗Rの両端の電
圧降下e2との差eX−eI−02)を検出して温度の
測定を行なうための温度検出部30である。8g5図(
b)は、第5図(−)と同様に温度を測定するための温
度検出部31であ・る。この温度検出部31は、ブリッ
ジ回路に測定抵抗体RTを設は温度変化によりブリッジ
回路の不平衡で生ずる電圧差を検出するものである。第
5図(c)は、回転体の回転数を検出する回転数検出部
32である。この回転数検出部32には、タコジェネレ
ータ32ILを用い、このタコジェネレータ32m、に
発生する起電圧を検出するのである。
以上のように、各検出部30〜32を用いれば、多種の
プロセス鼠(他に圧力、成力等)を正確に測定すること
ができ、その測定精度は流量を測定する場合に比較し、
て低下するものではない。
〔発明の効果〕
本発明は、プロセス基が変化しても、誤差を生ぜず正確
にプロセス部を測定できるプロセス量測定装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は流量検出部と信号変換部との出刃傷。 性を示す図、第21ンIは従来の電磁流lオしによって
発生した誤差率を説明する図、第3図は本発明に係る電
磁流量計の一実施例を示すブロック構成図、第4図は流
速レベル切換のタイミングを示す図、柁5図(−) (
b) (C)は本発明の一実施例に適用される各検出部
を示す図である。 10・・・流量検出部、20・・・信号変換部、22・
・・励磁部、23・・・差動増幅部、24・・・流速レ
ベル設定部、24a・・・増幅部、24b・・・設定信
号HVI、24 c・・・流速レベル切換#25・・・
ノ!ルス幅変調部、26・・・演/j4.部、27・・
・電力増幅部、2g1.・タイばング信号発生部、30
・・・表示部。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦矛5図 ■□−■

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 プロセス量を検出する検出部と、この検出部の出力を増
    幅する増幅率切換え可能な増幅部と。 この増幅部の出力が予め定めた設定値以上又は別に定め
    た設定値以下となると測定レベルの切換信号を出力する
    設定信号部と、この設定信号部の切換信号を受けて前記
    プロセス量の測定レベルに対応する増幅率と々るように
    前記増幅部を制御するとともに、この可変した増幅率以
    前の増幅率の信号を出力する手段と、前記増幅部の出力
    に対応するデユーティのパルス信号に変換する手段と、
    この手段によって得られたノ母ルス信号を前記可変増幅
    率以前の増幅率の電圧レベルにもどすとともに、この電
    圧レベル信号を直流電圧信号に変換して出力する手段と
    を備えたことを特徴とするプロセス量測定装置。
JP57121017A 1982-07-12 1982-07-12 プロセス量測定装置 Granted JPS5911497A (ja)

Priority Applications (1)

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JP57121017A JPS5911497A (ja) 1982-07-12 1982-07-12 プロセス量測定装置

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JP57121017A JPS5911497A (ja) 1982-07-12 1982-07-12 プロセス量測定装置

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JPS5911497A true JPS5911497A (ja) 1984-01-21
JPH0318237B2 JPH0318237B2 (ja) 1991-03-12

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ID=14800736

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