JPS59116010A - 位置センサ− - Google Patents
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- JPS59116010A JPS59116010A JP23430982A JP23430982A JPS59116010A JP S59116010 A JPS59116010 A JP S59116010A JP 23430982 A JP23430982 A JP 23430982A JP 23430982 A JP23430982 A JP 23430982A JP S59116010 A JPS59116010 A JP S59116010A
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- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
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- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
- G01D5/34738—Axles; Driving or coupling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、コンタクトローラーを具備した位置センサー
に関する。
に関する。
工作機械などの産業機械の可動部と固定部に装着し、可
動部の固定部に対する位置を検出するセンサーは公知で
ある。
動部の固定部に対する位置を検出するセンサーは公知で
ある。
光学スケールと発光素子・受光素子をそれぞれ可動部と
固定部に装着したものが公知であるが、精密な光学スケ
ールの場合計測範囲の太きいもの例えば３ｍ以上のもの
は高価であるし、装着精度を上けるＣとも困難である。
固定部に装着したものが公知であるが、精密な光学スケ
ールの場合計測範囲の太きいもの例えば３ｍ以上のもの
は高価であるし、装着精度を上けるＣとも困難である。
平坦な走行レールと、この走行レールに適当な接触圧を
もって圧接するローラーとこれに連動して回転する光学
目盛付円板に関連する発光・受光素子からなる回転エン
コーダーが位置センサーとして実施されている。
もって圧接するローラーとこれに連動して回転する光学
目盛付円板に関連する発光・受光素子からなる回転エン
コーダーが位置センサーとして実施されている。
この位置センサーは、前記の光学スクールｔ［準とする
ものに比し計測範囲が大きくても、走行レールを廷長ず
れば良く、平坦で成程度の強度をもつ走行レールは前記
の光学スケールより安価、で装着も簡単で計測範囲が太
きいもの例えば３ｍ以上のに慣用されている。
ものに比し計測範囲が大きくても、走行レールを廷長ず
れば良く、平坦で成程度の強度をもつ走行レールは前記
の光学スケールより安価、で装着も簡単で計測範囲が太
きいもの例えば３ｍ以上のに慣用されている。
前記回転℃ンコーダと走行レールとの関連の例を第１図
に示す。
に示す。
１は工作機械などにおけるベッド、２は辷りガイドウェ
ー１□に嵌合して移動可能なテーブル、５は辷りガイド
ウェー１２（平行になるようにベッドに固装された走行
レール、３はテーブル２に固装された外側ケース、４は
前記外側ケース内面３１と３□に密接して嵌装させたセ
ンサーケース、１２は一端部をセッサーケースに他端部
をばね圧調整ねじ１３に当接する圧縮ねじ、６はセッサ
ーケース４に回転自在に装着され円周面を…Ｊ記した走
行レール５に当接格せたローラー、７は前記ローラーと
同軸に固装した大歯車、８はセンサーケース４に回転自
在に支持され前記大歯車７と噛合う小歯車、９は前記小
歯車８と同軸に固装された光学目盛付ディスク、１０は
発光素子、１１は受光素子である。
ー１□に嵌合して移動可能なテーブル、５は辷りガイド
ウェー１２（平行になるようにベッドに固装された走行
レール、３はテーブル２に固装された外側ケース、４は
前記外側ケース内面３１と３□に密接して嵌装させたセ
ンサーケース、１２は一端部をセッサーケースに他端部
をばね圧調整ねじ１３に当接する圧縮ねじ、６はセッサ
ーケース４に回転自在に装着され円周面を…Ｊ記した走
行レール５に当接格せたローラー、７は前記ローラーと
同軸に固装した大歯車、８はセンサーケース４に回転自
在に支持され前記大歯車７と噛合う小歯車、９は前記小
歯車８と同軸に固装された光学目盛付ディスク、１０は
発光素子、１１は受光素子である。
テーブル２に固装した外側ケース３の内面３１３□に密
接し圧縮ばね１２によって、センサーケース４は走行レ
ール側に押圧され、つれてローラー６は走行レール５に
圧接されるが、走行Ｖ−ル５のローラー当接面は平坦で
あり、ローラーがジャンピングすることのない程度のば
ね圧であれば良く、ばね定数も小さく押える必要がある
。
接し圧縮ばね１２によって、センサーケース４は走行レ
ール側に押圧され、つれてローラー６は走行レール５に
圧接されるが、走行Ｖ−ル５のローラー当接面は平坦で
あり、ローラーがジャンピングすることのない程度のば
ね圧であれば良く、ばね定数も小さく押える必要がある
。
前記したとおりセンサーケース４は外側ケースの内面に
面接触しているので、接触抵抗が太きいため、ばね圧も
はね定数も大きくする必要があるので、走行面の凹凸や
、うねりによるばね圧変化が大さく、スリップの原因と
なる。
面接触しているので、接触抵抗が太きいため、ばね圧も
はね定数も大きくする必要があるので、走行面の凹凸や
、うねりによるばね圧変化が大さく、スリップの原因と
なる。
加えてローラーの回転数を増速し、計測単位を小ちくす
るための回転伝達歯車機構に伝達ロスが発生し、計測誤
差を生ずる。
るための回転伝達歯車機構に伝達ロスが発生し、計測誤
差を生ずる。
本発明は前記の歓点を改善するためになされた。
本発明の実施例を第２．３．４および５図に示す。
■は例えば工作機械のベッドで、１１はベッドの仕上面
、２はベッドに対し可動なテーブルで、テーブルの仕上
面２□は前記ベッドの仕上面１□に平行になっている。
、２はベッドに対し可動なテーブルで、テーブルの仕上
面２□は前記ベッドの仕上面１□に平行になっている。
５はベッドの仕上面１１に而５１が平行な如く固装され
たレール、３は前記テーブルの仕上面２□に固装された
ベース、４はコンタクトローラー６を回転自在に支持し
たローラー支持部材で、ローラー軸６□がテーブル２の
移動方向に直角で、レール面５□に平行になるように一
端部を前記ベース３に、他端部を゛ローラー支持部材６
に平行ばね７、。
たレール、３は前記テーブルの仕上面２□に固装された
ベース、４はコンタクトローラー６を回転自在に支持し
たローラー支持部材で、ローラー軸６□がテーブル２の
移動方向に直角で、レール面５□に平行になるように一
端部を前記ベース３に、他端部を゛ローラー支持部材６
に平行ばね７、。
７□、７３および７４をそれぞれ固装し、コノタクトロ
ーラー６が適当な接触圧力でレール面５゜に圧接するよ
うになっている。
ーラー６が適当な接触圧力でレール面５゜に圧接するよ
うになっている。
平行ばね７１． ’７２．７３および７４は板状あるい
は線状のいずれでも良いが、ベース３に対しローラー支
持部材がローラー軸６□方向に移動しない様に、板状ば
ねの場合適度の剛性を持たせ、線拐の場合同一箇所には
軸方向に適当な間隔をおいて２本の線材を並列に装μす
るとともに、コンタクトローラーのレール５への走行軌
道跡中心線上に板ばねの巾の中心もしくは並列にした線
材ばねの間隔の中心線がくるように装着しである。
は線状のいずれでも良いが、ベース３に対しローラー支
持部材がローラー軸６□方向に移動しない様に、板状ば
ねの場合適度の剛性を持たせ、線拐の場合同一箇所には
軸方向に適当な間隔をおいて２本の線材を並列に装μす
るとともに、コンタクトローラーのレール５への走行軌
道跡中心線上に板ばねの巾の中心もしくは並列にした線
材ばねの間隔の中心線がくるように装着しである。
板ばねもしくは線材ばねのばね定数は極力小さく取しは
、レール面５、のりねりあるいは平坦度が良好でないこ
とさらにローラー軸６、に対するコンタクトローラー６
の偏心により前記ばねが撓み、コンタクトローラー６の
レール面５□に対する圧接力が大きく変化するＣとはな
く、シャツピングしたりつれてスリップすることを防止
している。
、レール面５、のりねりあるいは平坦度が良好でないこ
とさらにローラー軸６、に対するコンタクトローラー６
の偏心により前記ばねが撓み、コンタクトローラー６の
レール面５□に対する圧接力が大きく変化するＣとはな
く、シャツピングしたりつれてスリップすることを防止
している。
第３図は、板ばねなどをレール面に平行でなく一様に傾
け、例えばはね７□と７３のなす角度が鈍角になるよう
に装着し、第２図に示すレール面に平行に装涜したもの
に比しやや佛２＋−難い状態すなわち、はね定数が犬き
くなったと同様にした応用例である。
け、例えばはね７□と７３のなす角度が鈍角になるよう
に装着し、第２図に示すレール面に平行に装涜したもの
に比しやや佛２＋−難い状態すなわち、はね定数が犬き
くなったと同様にした応用例である。
第４図は、本発明の時計請求範囲（２）を説明する実施
例を一部猷切して示すもので、２は工作機械などのベン
ド１に対し可動なテーブル、３はテープルに固装された
ベース、４はローラー６およびローラー軸を回転可能に
支持するローラー支持部材、５はベッドに固装されたロ
ーラー６を圧接すべきレール、３□と３□はテーブル２
の移動方向と平行で、ローラーの回転面内に中心軸線が
あるように設けられた穴で、穴の中心線は互に平行にな
っていて、図示されていないがローラー中心でこれらと
対称に２ケの穴が設けられている。
例を一部猷切して示すもので、２は工作機械などのベン
ド１に対し可動なテーブル、３はテープルに固装された
ベース、４はローラー６およびローラー軸を回転可能に
支持するローラー支持部材、５はベッドに固装されたロ
ーラー６を圧接すべきレール、３□と３□はテーブル２
の移動方向と平行で、ローラーの回転面内に中心軸線が
あるように設けられた穴で、穴の中心線は互に平行にな
っていて、図示されていないがローラー中心でこれらと
対称に２ケの穴が設けられている。
１７と１８はそれぞれ穴３□と３□に嵌合するばね支持
部品で、一端部に開口したみぞ１７゜と１８□を、また
軸心と平行にみぞ１７３と１８３を設けである。
部品で、一端部に開口したみぞ１７゜と１８□を、また
軸心と平行にみぞ１７３と１８３を設けである。
４、と４゜はローラー支持部材４の前記ベース３に設け
た穴３□と３゜の軸線上に端部を開口してつくられたみ
そである。Ｃれらを貫通するように穴２３□とねじ穴２
３□および穴２４□とねじ穴２４□が設けである。板ば
ね７、と７□の一端部は前記みぞ４□と４□に嵌装烙れ
、板ばねを貫通するねじ２３と２４でローラー支持部材
４に締結式れる。他端部は前記ばね支持部品１７と１８
０みぞ１７゜と１８□にそれぞれ嵌合し、ベース３に螺
合し先端部を前記ばね支持部品１７と１８に設けたみぞ
１７３と１８３に嵌合するねじ１９と２０で圧着固装さ
れるし、ねじ１９と２０をゆるめ、別に設けたねじ２１
と２２を回動することによって板ばね７□と７□の圧着
固装部を移動しスパンを変えることにより、ばね定数を
所望のものにすることができる。
た穴３□と３゜の軸線上に端部を開口してつくられたみ
そである。Ｃれらを貫通するように穴２３□とねじ穴２
３□および穴２４□とねじ穴２４□が設けである。板ば
ね７、と７□の一端部は前記みぞ４□と４□に嵌装烙れ
、板ばねを貫通するねじ２３と２４でローラー支持部材
４に締結式れる。他端部は前記ばね支持部品１７と１８
０みぞ１７゜と１８□にそれぞれ嵌合し、ベース３に螺
合し先端部を前記ばね支持部品１７と１８に設けたみぞ
１７３と１８３に嵌合するねじ１９と２０で圧着固装さ
れるし、ねじ１９と２０をゆるめ、別に設けたねじ２１
と２２を回動することによって板ばね７□と７□の圧着
固装部を移動しスパンを変えることにより、ばね定数を
所望のものにすることができる。
同様に図示しないが、ローラーを中心にした対称位置に
も前記のばね固装部分を変更する機構が設けである。
も前記のばね固装部分を変更する機構が設けである。
第５図に特許請求範囲（３）のローラー軸６、を空気軸
受で支持する方法の１例を示すもので、■は工作機械な
どのベッド、５はベッドの仕上面１、に固装されたレー
ル、２はベッドに移動可能に関連して装着されたテーブ
ル、１３はテーブルに装着されたブラケット、３はブラ
ケットに固装したベース、４はローラー支持部材で前記
ベース３とは複数の平行はねて連結されていて、コノタ
クトローラー６を前記レール５に圧接するようになって
いる。
受で支持する方法の１例を示すもので、■は工作機械な
どのベッド、５はベッドの仕上面１、に固装されたレー
ル、２はベッドに移動可能に関連して装着されたテーブ
ル、１３はテーブルに装着されたブラケット、３はブラ
ケットに固装したベース、４はローラー支持部材で前記
ベース３とは複数の平行はねて連結されていて、コノタ
クトローラー６を前記レール５に圧接するようになって
いる。
ローラー軸６、の一端部に例えば光学目盛伺ディスク１
０を固装し、ローラー支持部材４に発光素子１５と受光
素子１６を装着せしめている。
０を固装し、ローラー支持部材４に発光素子１５と受光
素子１６を装着せしめている。
ローラー支持部材４０両端部にそれぞれエアダクトリン
グ７と８を装着し、圧縮空気取入れ口１２から前記エア
ダクトリング７と８に設けた複数の通気口９および９□
および２つのエアダクトリング７と８を結ぶ通気口１０
は連通している。
グ７と８を装着し、圧縮空気取入れ口１２から前記エア
ダクトリング７と８に設けた複数の通気口９および９□
および２つのエアダクトリング７と８を結ぶ通気口１０
は連通している。
リングの内径は前記ローラー軸６１の軸径より僅かに大
きくなっていて、ローラー軸の両端部に設けた７ランジ
６□および６３とリング面７□および８１との間隙も微
小なものとなっている。
きくなっていて、ローラー軸の両端部に設けた７ランジ
６□および６３とリング面７□および８１との間隙も微
小なものとなっている。
圧縮空気取り入れ口１２に十分な量の圧縮空気が注入ち
れると、矢印で図示した方向に流れリングに設けた噴出
口１１．１１□などからリング内径に沿いフランジ向を
押しながら大気に流出するので、ローラー軸６□はレー
ル５に押圧されるにもかかわらず、ローラー軸は圧縮空
気できわめて安定に支持され軸受摩擦は無視できる程度
の小さい、ものになる。
れると、矢印で図示した方向に流れリングに設けた噴出
口１１．１１□などからリング内径に沿いフランジ向を
押しながら大気に流出するので、ローラー軸６□はレー
ル５に押圧されるにもかかわらず、ローラー軸は圧縮空
気できわめて安定に支持され軸受摩擦は無視できる程度
の小さい、ものになる。
従来公知の玉軸受を１更用した場合、軸受摩擦が大きく
、ローラー６とレール５０間に接触摩擦を持たせても滑
りを生することがあったが、本発明の実施例の如く圧縮
空気圧よる軸受を用つれば、ローラー６のレール５に対
する滑りは解消する。
、ローラー６とレール５０間に接触摩擦を持たせても滑
りを生することがあったが、本発明の実施例の如く圧縮
空気圧よる軸受を用つれば、ローラー６のレール５に対
する滑りは解消する。
以上、前記の如く本発明による位置センサーは、コンタ
クトローラーを走行レールに適当な接触圧をもちかつ走
行体の振動や走行面のうねりなどによる接触圧の変化を
吸収し減少させることができ、ローラー軸を流体軸受に
することにより、ローラー支持部分の回転摩擦をほとん
ど無視できる程度にすることによって、従来、欠点とさ
れていたローラーと走行面との間の１滑り」を解消し、
かつローラーと同軸に目盛ディスクを固装することによ
り、公知のものの歯車機構を介在させることからおＣる
機械的誤差や摩耗による精度の劣化を解消し、応答性を
高めるなど秀れたものである。
クトローラーを走行レールに適当な接触圧をもちかつ走
行体の振動や走行面のうねりなどによる接触圧の変化を
吸収し減少させることができ、ローラー軸を流体軸受に
することにより、ローラー支持部分の回転摩擦をほとん
ど無視できる程度にすることによって、従来、欠点とさ
れていたローラーと走行面との間の１滑り」を解消し、
かつローラーと同軸に目盛ディスクを固装することによ
り、公知のものの歯車機構を介在させることからおＣる
機械的誤差や摩耗による精度の劣化を解消し、応答性を
高めるなど秀れたものである。
第１図は、従来公知のローラー接触方式による測長セン
シーの例を示す説明図で、１はベッド、２はテーブル、
３は外側ケース、４はセンサーケース、５はレール、６
はローラー、７，８は歯車、９は光学目盛ディスク、１
０は発光素子、１１は受光累子、１２は圧縮ばね。 第２図、第３図は本発明による位置センサーの実施例を
示すもので、１はベッド、２はテーブル、３はベース、
４はローラー支持部材、５はレール、６はコンタクトロ
ーラー、６□はローラー軸、７０，７□、７３．７４は
平行ばね。 第４図は、本発明による位置センサーの実施例のうちロ
ーラーを流体軸受で支持することを説明するもので、１
はベッド、２はテーブル、３はベース、４はローラー支
持部材、５はレール、６はローラー、６□はローラー軸
、７，８はエアダクトリング、９，９□は通気口、１２
は圧縮空気取り入れ口。 第５図は、本発明による位置センサーの実施例のうち、
ローラー支持部材４とベース３を連結する板ばね７１，
７□の固装部を移動させる機構を説明するもので、３０
，３□は穴、１７と１８はばね支持部品、１９，２０，
２３．２４は締結用ねじ、２１と２２はばね支持部品移
動用ねじである。 ＝歎戸η＝＝＝ヨテ＝−−−＝１（＝〒釈０す１図 才５図
シーの例を示す説明図で、１はベッド、２はテーブル、
３は外側ケース、４はセンサーケース、５はレール、６
はローラー、７，８は歯車、９は光学目盛ディスク、１
０は発光素子、１１は受光累子、１２は圧縮ばね。 第２図、第３図は本発明による位置センサーの実施例を
示すもので、１はベッド、２はテーブル、３はベース、
４はローラー支持部材、５はレール、６はコンタクトロ
ーラー、６□はローラー軸、７０，７□、７３．７４は
平行ばね。 第４図は、本発明による位置センサーの実施例のうちロ
ーラーを流体軸受で支持することを説明するもので、１
はベッド、２はテーブル、３はベース、４はローラー支
持部材、５はレール、６はローラー、６□はローラー軸
、７，８はエアダクトリング、９，９□は通気口、１２
は圧縮空気取り入れ口。 第５図は、本発明による位置センサーの実施例のうち、
ローラー支持部材４とベース３を連結する板ばね７１，
７□の固装部を移動させる機構を説明するもので、３０
，３□は穴、１７と１８はばね支持部品、１９，２０，
２３．２４は締結用ねじ、２１と２２はばね支持部品移
動用ねじである。 ＝歎戸η＝＝＝ヨテ＝−−−＝１（＝〒釈０す１図 才５図
Claims (4)
- （１） ローラーと光学目盛あるいは磁気目盛を設け
たディスクとを固装した軸を回転可能かつ軸方向に移動
不能に支承し、前記ディスクに関連して発光素子と受光
素子あるいは磁気再生ヘッドを装着したローラー支持部
材と適当な間隔を持って対向するベース部材とにそれぞ
れの両端部を固装した複数の平行ばねで構成された位置
センサー。 - （２） ローラー支持部材とベース部材に設けた平行
ばねの固装部を移動可能かつ固定も可能にした楢造の特
許請求範囲（１）の位置センサー。 - （３） ローラー支持部材に設けた流体軸受でローラ
ーおよび目盛ディスクを固装した軸を回転可能に支承し
た特許請求範囲（１）および（２）の位置センサー。 - （４） ローラー支持部材に装着した発光、受光素子
＼、 ′ または磁気再生ヘッドに関連させて増重回路および波形
整形回路を装着し、ベース部材に複数の取付穴もしくは
取付ねじを設けた特許請求範囲（１） 、 （２）およ
び（３）の位置センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23430982A JPS59116010A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 位置センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23430982A JPS59116010A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 位置センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59116010A true JPS59116010A (ja) | 1984-07-04 |
Family
ID=16968977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23430982A Pending JPS59116010A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 位置センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59116010A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6187311U (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-07 | ||
| JP2002209853A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-30 | Tomey Corp | 角膜厚み測定アタッチメント |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825554A (ja) * | 1971-08-04 | 1973-04-03 |
-
1982
- 1982-12-23 JP JP23430982A patent/JPS59116010A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825554A (ja) * | 1971-08-04 | 1973-04-03 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6187311U (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-07 | ||
| JP2002209853A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-30 | Tomey Corp | 角膜厚み測定アタッチメント |
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