JPS59117934U - 半導体圧力センサ - Google Patents

半導体圧力センサ

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JPS59117934U
JPS59117934U JP1214883U JP1214883U JPS59117934U JP S59117934 U JPS59117934 U JP S59117934U JP 1214883 U JP1214883 U JP 1214883U JP 1214883 U JP1214883 U JP 1214883U JP S59117934 U JPS59117934 U JP S59117934U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
semiconductor pressure
semiconductor
filter
synthetic resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP1214883U
Other languages
English (en)
Inventor
林　忠広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、　　ｂは従来の半導体圧力センサの平面図お
よびその断面図、第２図は本考案の半導体圧力センサを
適用した差圧伝送器の断面図、第３図ａ、　　ｂは本考
案に係る半導体圧力センサの平面図およびその断面図、
第４図ａ、　　ｂはフィルタの平面図およびその断面図
、第５図ａ、　　ｂはフィルタの他の例を示す平面図お
よびその断面図である。　　　　′４０・・・・・・半
導体圧力センサ、４１・・・・・・開口部、４２・・・
・・・フィルタ、４３・・・・・・筒体、４４・・・・
・・フィルタ本体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１）一方面部側に半導体ストレンゲージを形成した受
    圧ダイヤフラムをハウジングに取り付け、圧力伝達媒体
    を介して受ける圧力に比例した電気信号を取出す半導体
    圧力センサにおいて、前記半導体ストレンゲージの形成
    面側を覆うように、前記ハウジングにフィルタを取り付
    けたことを特徴とする半導体圧力センサ。 −（２）フィルタは金属線を網目状に編成したものであ
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
    の半導体圧力センサ。 （３）フィルタは合成樹脂等の糸を網目状に編成したも
    のであることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
    項記載の半導体圧力センサ。 （４）フィルタは金属板又は合成樹脂板に複数の孔を設
    けたものであることを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第１項記載の半導体圧力センサ。
JP1214883U 1983-01-31 1983-01-31 半導体圧力センサ Pending JPS59117934U (ja)

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JP1214883U JPS59117934U (ja) 1983-01-31 1983-01-31 半導体圧力センサ

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JP1214883U JPS59117934U (ja) 1983-01-31 1983-01-31 半導体圧力センサ

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JPS59117934U true JPS59117934U (ja) 1984-08-09

Family

ID=30143553

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JP1214883U Pending JPS59117934U (ja) 1983-01-31 1983-01-31 半導体圧力センサ

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5415788A (en) * 1977-06-11 1979-02-05 Teikoku Sanso Kk Safety device for bourdon gauge

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5415788A (en) * 1977-06-11 1979-02-05 Teikoku Sanso Kk Safety device for bourdon gauge

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