JPS607044U - 半導体圧力センサ - Google Patents

半導体圧力センサ

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JPS607044U
JPS607044U JP9967483U JP9967483U JPS607044U JP S607044 U JPS607044 U JP S607044U JP 9967483 U JP9967483 U JP 9967483U JP 9967483 U JP9967483 U JP 9967483U JP S607044 U JPS607044 U JP S607044U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
semiconductor pressure
diaphragm
abstract
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP9967483U
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English (en)
Inventor
新免　徹
上田　尚武
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujikura Ltd filed Critical Fujikura Ltd
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Publication of JPS607044U publication Critical patent/JPS607044U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は各々従来の半導体圧力センサの構成を
示す断面図、第３図、第４図は各々この考案の実施例に
よる半導体圧力センサの構成を示す断面図、第５図イ９
口は各々、第３図、第４図に示す実施例におけるダイヤ
フラム１１の構成を示す断面図および下面図である。 １１・・・・・・ダイヤフラム、１２・・・・・・突起
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ダイヤフラムに形成された抵抗体の抵抗値の変化に基づ
    いて被測定媒体の圧力を検出する半導体圧力センサにお
    いて、前記ダイヤフラムの内面の中央部に突起を形成し
    てなる半導体圧力センサ。
JP9967483U 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ Pending JPS607044U (ja)

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JP9967483U JPS607044U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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JP9967483U JPS607044U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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JPS607044U true JPS607044U (ja) 1985-01-18

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JP9967483U Pending JPS607044U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63237482A (ja) * 1987-03-25 1988-10-03 Nippon Denso Co Ltd 半導体圧力センサの製造方法
JP2004245696A (ja) * 2003-02-13 2004-09-02 Kyocera Corp 圧力検出装置用パッケージ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5845533A (ja) * 1981-09-14 1983-03-16 Hitachi Ltd 圧力検出器

Patent Citations (1)

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