JPS59118469A - プリントヘツド - Google Patents
プリントヘツドInfo
- Publication number
- JPS59118469A JPS59118469A JP58221343A JP22134383A JPS59118469A JP S59118469 A JPS59118469 A JP S59118469A JP 58221343 A JP58221343 A JP 58221343A JP 22134383 A JP22134383 A JP 22134383A JP S59118469 A JPS59118469 A JP S59118469A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- ink
- resistor
- orifice plate
- outer frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 5
- 235000011962 puddings Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 5
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical compound N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 2,4-D Chemical compound OC(=O)COC1=CC=C(Cl)C=C1Cl OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010964 304L stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000004258 Cordia alliodora Nutrition 0.000 description 1
- 244000085692 Cordia alliodora Species 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229920002430 Fibre-reinforced plastic Polymers 0.000 description 1
- 241001197153 Remaster Species 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011151 fibre-reinforced plastic Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- -1 tall Chemical class 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1625—Manufacturing processes electroforming
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/08—Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプリン1−\ノドの構造に関し、特にバブル型
・インクジェット・プリンlへノドにおけるオリフィス
板の構造に関する。
・インクジェット・プリンlへノドにおけるオリフィス
板の構造に関する。
バブル型インクジェットプリイタについては特開昭58
−36=465号や、米国特許4243994弓、42
96421 号、42511324号、4313124
号、4325735号、4330181号、43342
34可、4335389号、=4336548号、−+
33e61+号、4339762号、4345262℃
等に述−・られている。これら従来技術の装置は、w本
釣に−インク包含毛イロI管、・インク吐出Aリフイス
をもつオリフィス板、そして・インク加熱機構(オリフ
ィスにきわめて近接配置された抵抗器)より成る。動作
させる場合、・インク加ξ、ハ(、見構が急激に加熱さ
れ、ある量のエイ・ルギが・インクに伝達され、その結
果少量の一インクが気化し、毛細管中にバブルを発生す
る。よって圧力映が発生し一つまたは複数個のインク液
滴がオリフィスから記録媒体表面に向かって吐出される
。−インクに与えられるエネルギ量を制御ずろことによ
り、・インク茅気かオリフィスから逃ける以前に、バブ
ルは急速に消磁する(つぶれる)。
−36=465号や、米国特許4243994弓、42
96421 号、42511324号、4313124
号、4325735号、4330181号、43342
34可、4335389号、=4336548号、−+
33e61+号、4339762号、4345262℃
等に述−・られている。これら従来技術の装置は、w本
釣に−インク包含毛イロI管、・インク吐出Aリフイス
をもつオリフィス板、そして・インク加熱機構(オリフ
ィスにきわめて近接配置された抵抗器)より成る。動作
させる場合、・インク加ξ、ハ(、見構が急激に加熱さ
れ、ある量のエイ・ルギが・インクに伝達され、その結
果少量の一インクが気化し、毛細管中にバブルを発生す
る。よって圧力映が発生し一つまたは複数個のインク液
滴がオリフィスから記録媒体表面に向かって吐出される
。−インクに与えられるエネルギ量を制御ずろことによ
り、・インク茅気かオリフィスから逃ける以前に、バブ
ルは急速に消磁する(つぶれる)。
しかしながら、上記従来技術において開示されたオリフ
ィス考5は、11寺にオリフィスと・インク毛イ田管し
か具備していない。プリンI−・ノ1゛の残りの部分は
別個に構成される。ちなわら、・インクをLhm管に供
給するための・インク保持体は別個に構成される。そし
てオリフィス管の水力学約分8;1[は完全に別個の毛
イ■管チャネルを設けるが、または19741間に独立
した分離体を構成することにより行なわれる。したがっ
て上述した従来技iMは、1′ンクを供給するためのイ
〉′り11j蔵部川外枠ril+と」リフイス間の水力
学的分離部との両方を有する一体形成されたオリフィス
板を開示していない。またかかるオリフィス板を精密且
つ安価に作る方法も開示していない。
ィス考5は、11寺にオリフィスと・インク毛イ田管し
か具備していない。プリンI−・ノ1゛の残りの部分は
別個に構成される。ちなわら、・インクをLhm管に供
給するための・インク保持体は別個に構成される。そし
てオリフィス管の水力学約分8;1[は完全に別個の毛
イ■管チャネルを設けるが、または19741間に独立
した分離体を構成することにより行なわれる。したがっ
て上述した従来技iMは、1′ンクを供給するためのイ
〉′り11j蔵部川外枠ril+と」リフイス間の水力
学的分離部との両方を有する一体形成されたオリフィス
板を開示していない。またかかるオリフィス板を精密且
つ安価に作る方法も開示していない。
本発明の一実施例によるオリフィス板は電気的に形成で
きる物質より成り、インク貯蔵部用外枠1〕1;とオリ
フィス間の水力学的分離部との両方を一体的に具備する
。オリフィス板の形成方法は、まず最初に硬質型部(何
回も使用可能)と軟質型部(型が使用される度毎に新し
くする)とをもつ型を作ることである。硬質型部の表面
は、・インク貯蔵部用外枠部と水力学的分離部とを画定
するために、マスクおよび工、チング技術、またはマス
クおよび電気メツキ技術により形成される。一方軟質型
部は、オリフィスとAリフイス板間の端部境界部とを画
定するために、マスクおよび現象技術により形成される
。
きる物質より成り、インク貯蔵部用外枠1〕1;とオリ
フィス間の水力学的分離部との両方を一体的に具備する
。オリフィス板の形成方法は、まず最初に硬質型部(何
回も使用可能)と軟質型部(型が使用される度毎に新し
くする)とをもつ型を作ることである。硬質型部の表面
は、・インク貯蔵部用外枠部と水力学的分離部とを画定
するために、マスクおよび工、チング技術、またはマス
クおよび電気メツキ技術により形成される。一方軟質型
部は、オリフィスとAリフイス板間の端部境界部とを画
定するために、マスクおよび現象技術により形成される
。
型の完成後、その表面に電気メッキが行なわれ、比較的
均一な厚さの金属が形成される。そして次に、電気メッ
キされた部分(表面)は型から分離される。そして複i
l&f[Iのバブル型インクジェ、I・プリン1−ヘッ
ドをもつザンドイノチを作るために、対応する数の抵抗
器をもつ基板に整列さ一υ、結合される。そして個々の
プリン1−・ノド・ユニソI−に分離される。以下図面
を用いて本発明を説明する。
均一な厚さの金属が形成される。そして次に、電気メッ
キされた部分(表面)は型から分離される。そして複i
l&f[Iのバブル型インクジェ、I・プリン1−ヘッ
ドをもつザンドイノチを作るために、対応する数の抵抗
器をもつ基板に整列さ一υ、結合される。そして個々の
プリン1−・ノド・ユニソI−に分離される。以下図面
を用いて本発明を説明する。
第1図は本発明によるプリン1ヘツドに使用するオリフ
ィス板の斜視図である。図において11はオリフィス板
であり、インク貯蔵部用外枠部13、複数個のオリフィ
ス15.17.19.21、複数子の水力学的分離部2
3.25.27(オリフィス間のクロストークの防止)
を有する。
ィス板の斜視図である。図において11はオリフィス板
であり、インク貯蔵部用外枠部13、複数個のオリフィ
ス15.17.19.21、複数子の水力学的分離部2
3.25.27(オリフィス間のクロストークの防止)
を有する。
第2図は第1図のA−A部分に対応するプリントヘッド
の断面図であり、特に・イ〉・り貯蔵部用外枠部とプリ
ン)・−・ノドの残部との関係を示したものである。!
@l、第2図において、インク貯蔵部用外枠部13は、
短い毛細管チャネル31を介して近くのオリフィス15
に速<・インクを供給するための・インク貯蔵部29を
提供する。チャネル31の長さは幅広く可変できるが、
チャネルの長さが短いほど、オリフィスの再充填速度早
くなる。
の断面図であり、特に・イ〉・り貯蔵部用外枠部とプリ
ン)・−・ノドの残部との関係を示したものである。!
@l、第2図において、インク貯蔵部用外枠部13は、
短い毛細管チャネル31を介して近くのオリフィス15
に速<・インクを供給するための・インク貯蔵部29を
提供する。チャネル31の長さは幅広く可変できるが、
チャネルの長さが短いほど、オリフィスの再充填速度早
くなる。
しかしながら、チャネルの長さをあまり短くすると、水
力学的分離部を設けた意味が減少する。このような制限
を考慮し、インクジエソ1の動作特性を最適化するには
、チャネル31の長さは、約0.51〜0.76mmで
ある。インクジェノ1に対する熱的エネルギは抵抗器3
3により与えられる。抵抗器33には導電体35.37
を介して電力が与えられる。
力学的分離部を設けた意味が減少する。このような制限
を考慮し、インクジエソ1の動作特性を最適化するには
、チャネル31の長さは、約0.51〜0.76mmで
ある。インクジェノ1に対する熱的エネルギは抵抗器3
3により与えられる。抵抗器33には導電体35.37
を介して電力が与えられる。
二酸化シリコンのようなパシベーション物質の薄層39
が抵抗器33と導電体35.37上に形成される。一般
に、チャネル31を定めるパシベーション層39とオリ
フィス板11との間の間隔は、約0.025〜0.05
mmである。ただし、−インク貯蔵部29の領域におい
ては約0.064〜0.13mmである。
が抵抗器33と導電体35.37上に形成される。一般
に、チャネル31を定めるパシベーション層39とオリ
フィス板11との間の間隔は、約0.025〜0.05
mmである。ただし、−インク貯蔵部29の領域におい
ては約0.064〜0.13mmである。
また抵抗器33と基板43との間に熱制御層41が用い
られる。これは、バブル消滅に対する所望の速度をうる
ためである。熱制御層41に対する物質と厚さは基板に
用いられる物質により変る。
られる。これは、バブル消滅に対する所望の速度をうる
ためである。熱制御層41に対する物質と厚さは基板に
用いられる物質により変る。
例えば、シリコン、セラミック、または金属基板を用い
た場合には、熱制御層41に対して、約0.08〜0
、13mmの厚さをもつSiOが選ばれる。
た場合には、熱制御層41に対して、約0.08〜0
、13mmの厚さをもつSiOが選ばれる。
第3図は第1図のB−B部分に対応するプリント−・ノ
ドの断面図であり、特に分離部とプリント−・ノドの残
部との関係を示したものである。第4図は第1図のC−
C部分に対応するプリン]・ヘッドの断面図であり、特
にインク貯蔵部用外枠部と分離部との関係を示したもの
である。両図において、23.25.27は水力学的分
離部であり、オリフィス板11の表面から、各抵抗器間
で下部に伸びて、パシベーション層39と接触している
。
ドの断面図であり、特に分離部とプリント−・ノドの残
部との関係を示したものである。第4図は第1図のC−
C部分に対応するプリン]・ヘッドの断面図であり、特
にインク貯蔵部用外枠部と分離部との関係を示したもの
である。両図において、23.25.27は水力学的分
離部であり、オリフィス板11の表面から、各抵抗器間
で下部に伸びて、パシベーション層39と接触している
。
それにより、抵抗器のある位置から発散したmi SR
波に対する抵抗器間での直接通路を除去する。
波に対する抵抗器間での直接通路を除去する。
10はインク供給管であり、インクをインク貯蔵部29
に供給する。
に供給する。
オリフィス板11の形成法は、まず最初にオリフィス板
11の望ましい型をもつ型を形成し、次にその型の上に
金属または合金を電気的に形成しく例えばメッキや蒸着
)、最終的にその電気的に形成されたオリフィス板11
は型から分離することである。オリフィス板11を電気
的に形成するだめに使用される物質はメッキ可能な金属
であり、tall 、t ハニソケル、銅、ベリリウム
銅、スズ、合金である。第5図は第1図のB−13部分
に対応する、オリフィス板形成用型の断面図である。型
は何回も使用できる硬質型部51とその都度新しくする
軟質型部53とより成る。硬質型部51は、分離部とイ
ンク貯蔵部用外枠部とを含むオリフィス板の内表面を定
める。軟質型部53はオリフィスを定める。価格を下げ
るために、型部51は、多数回(少なくとも50回)使
用でき、作成するのに安価な物質で作らねばならない。
11の望ましい型をもつ型を形成し、次にその型の上に
金属または合金を電気的に形成しく例えばメッキや蒸着
)、最終的にその電気的に形成されたオリフィス板11
は型から分離することである。オリフィス板11を電気
的に形成するだめに使用される物質はメッキ可能な金属
であり、tall 、t ハニソケル、銅、ベリリウム
銅、スズ、合金である。第5図は第1図のB−13部分
に対応する、オリフィス板形成用型の断面図である。型
は何回も使用できる硬質型部51とその都度新しくする
軟質型部53とより成る。硬質型部51は、分離部とイ
ンク貯蔵部用外枠部とを含むオリフィス板の内表面を定
める。軟質型部53はオリフィスを定める。価格を下げ
るために、型部51は、多数回(少なくとも50回)使
用でき、作成するのに安価な物質で作らねばならない。
上記要求に合致する硬質型部用物質は、銅、真鍮、ベリ
リウム銅、ニッケル、モリフテン・ステンレススチール
、チタンのようなシー[状金属または合金である。また
、鋼で覆った金属または金属で覆った繊維強化プラスチ
フス(積層プリン1板で使用されるようなもの)のよう
な合成物、または積層物質でもよい。
リウム銅、ニッケル、モリフテン・ステンレススチール
、チタンのようなシー[状金属または合金である。また
、鋼で覆った金属または金属で覆った繊維強化プラスチ
フス(積層プリン1板で使用されるようなもの)のよう
な合成物、または積層物質でもよい。
硬質型部51を作るための方法は、−(ツク貯蔵部用外
枠部13と分離部23.25.27とを画定するための
領域をマスクし、次にエツチング除去し、およびまたは
電気メッキにより必要とする場所に物質を付加すること
である。この形成方法を1”2Hするためにいくつかの
例を以下に示す。
枠部13と分離部23.25.27とを画定するための
領域をマスクし、次にエツチング除去し、およびまたは
電気メッキにより必要とする場所に物質を付加すること
である。この形成方法を1”2Hするためにいくつかの
例を以下に示す。
例1
出発物質として精密に研削、研磨された304Lステン
レススチール板を用いる場合、 (A)インク貯蔵部用外枠部に対する所望のパターンを
画定するためにシート表面をマスクする。
レススチール板を用いる場合、 (A)インク貯蔵部用外枠部に対する所望のパターンを
画定するためにシート表面をマスクする。
物理的なマスク法も使用できるけれども、ステンレスス
チールにおけるマスキングの問題点を除去するためには
一般のIC処理技術を使用するのかよい。この例で使用
する一般のIC処理技術は以下のとおりである。
チールにおけるマスキングの問題点を除去するためには
一般のIC処理技術を使用するのかよい。この例で使用
する一般のIC処理技術は以下のとおりである。
a)感光性乳剤をシートに与える(例えばシプレ、イ
(shipley ) AZ119Sのようなボシテブ
・ホトレジスト)。
(shipley ) AZ119Sのようなボシテブ
・ホトレジスト)。
b)乳剤を固めるために焼く。
C)インク貯蔵部用件枠部13用の所望なパターンを露
出する。
出する。
d)レジスト像を現像する。
(B)マスクされていない表面をエツチング゛し、ソー
l上に外枠部13の型を持つ凸部を作る。
l上に外枠部13の型を持つ凸部を作る。
(C)分離部用の所望パターンを画定するためGこシー
1を再びマスタする(上述したAZ119Sのようなボ
シデブ・ホトレジストを用し)る)。そしてステップ(
A)と同一の処理を行なう。
1を再びマスタする(上述したAZ119Sのようなボ
シデブ・ホトレジストを用し)る)。そしてステップ(
A)と同一の処理を行なう。
(D)マスクされていない表面をエツチング゛し、ソー
ト中に分離部に対応する凹部を作る。
ト中に分離部に対応する凹部を作る。
もし出発物質の表面が合成物または積層物質の場合には
、幾分異なったステ・7プを用し)る。メS、t!・な
らば、これら物質を覆う金属の厚さはそれほど厚くない
からである。かかる場合の処理は以Tの′i82、第3
例に示す。
、幾分異なったステ・7プを用し)る。メS、t!・な
らば、これら物質を覆う金属の厚さはそれほど厚くない
からである。かかる場合の処理は以Tの′i82、第3
例に示す。
例2
出発物質として銅で覆った繊維強化エポキシ板(積層プ
リント仮のようなもの)を用し)る場合、(八)水力学
的分離部を画定するためにシー1 (板)の表面をマス
クする。
リント仮のようなもの)を用し)る場合、(八)水力学
的分離部を画定するためにシー1 (板)の表面をマス
クする。
(13)銅をエツチングし、表面中に分離部Gこ対応す
る凹部を作る。
る凹部を作る。
(C)インク貯蔵部用外枠部を画定J−るノこめGこ表
面をマクスする。
面をマクスする。
(D)表面に銅を電気メ・ツキし、り(枠91(の型を
もつ凸部を作る。
もつ凸部を作る。
(E)後工程での型51とメー1ノフィン、板11との
分離を容易にするための分離表面を1′[るためGこ、
表面上に無電解でニッケルを、4−− /\−メッキす
る。
分離を容易にするための分離表面を1′[るためGこ、
表面上に無電解でニッケルを、4−− /\−メッキす
る。
例3
出発物質として銅で覆った繊維工、Iでキシ板(耳責層
プリント板のようなもの)を用し)る+烏合(A)水力
学的分離部を画定するためGこソー1(板)の表面をマ
スクする。
プリント板のようなもの)を用し)る+烏合(A)水力
学的分離部を画定するためGこソー1(板)の表面をマ
スクする。
(B)銅の被膜の厚さを増加するためにi同を電気メッ
キする。それにより分Alt 81!cこ対りm−る回
合トを作る。
キする。それにより分Alt 81!cこ対りm−る回
合トを作る。
(C)インク貯蔵部用外枠部を画定場−るノこめ(こ表
面をマスクする。
面をマスクする。
(D>上記外枠部に対応する表面上Gこ凸9を形成する
ために銅を電気メ・ツキする。
ために銅を電気メ・ツキする。
(E)分離表面(例2のEで説明した)を作るために、
低い電流密度でニッケルを電気メノギする硬質型部51
の形成に続いて、軟質型部53が表面上に形成される。
低い電流密度でニッケルを電気メノギする硬質型部51
の形成に続いて、軟質型部53が表面上に形成される。
軟質型部53は光映像をかたとることかできる非導電性
プラスチフスまたは[・う・イフィルム・ホトレジスト
で形成される。オリフィスに対応する特定な型は一般に
、約0.05mmの高さと約0.08mmの直径をもつ
円筒である。上記プラスチ、りまたはレジストは一般の
マスクおよび現象技術により形成される。
プラスチフスまたは[・う・イフィルム・ホトレジスト
で形成される。オリフィスに対応する特定な型は一般に
、約0.05mmの高さと約0.08mmの直径をもつ
円筒である。上記プラスチ、りまたはレジストは一般の
マスクおよび現象技術により形成される。
オリフィス用マスクが形成されるのと同時に、軟質型部
53によりオリフィス11に対する所望の端部境界を先
生的に容易に定めることができる。
53によりオリフィス11に対する所望の端部境界を先
生的に容易に定めることができる。
したがって、単一のオリフィス板側の硬質型部51を作
るのではなく、複数制のオリフィス板を定めた大きな硬
質型部をつくるのが経済的である。多数のオリフィス板
に対して、軟質型部も多く作ることができる。バクーン
中に、軟質型部53により定められた所望の端部境界部
を同時に作ることにより、種々のオリフィス板に容易に
分離することができる。
るのではなく、複数制のオリフィス板を定めた大きな硬
質型部をつくるのが経済的である。多数のオリフィス板
に対して、軟質型部も多く作ることができる。バクーン
中に、軟質型部53により定められた所望の端部境界部
を同時に作ることにより、種々のオリフィス板に容易に
分離することができる。
硬質型部51および軟質型部53の形成に続いて、全表
面にニッケルのような適切なる物質が電気メッキされる
。厚さは約0.03〜0.1mmであり、最適厚さは約
0.06mmである。この厚さは、電気メッキされた金
属が軟質型部53の高さをわずかに超えて、該型部53
とわずかにオーバラップ′りるように選ばれる。軟質型
部53は非導電性であるので、それは板ではない。この
オーバーラツプにより、オリフィスの寸法は軟質型部5
3の直径よりも幾分小さくなり (第2.3図参照)、
その結果としてのオリフィスの型はより良いインク液滴
を生せしめる。代表的なオリフィスの−v]法(直径)
は約0.04〜0.1mmであり、最適寸法は約0.0
6mmである。
面にニッケルのような適切なる物質が電気メッキされる
。厚さは約0.03〜0.1mmであり、最適厚さは約
0.06mmである。この厚さは、電気メッキされた金
属が軟質型部53の高さをわずかに超えて、該型部53
とわずかにオーバラップ′りるように選ばれる。軟質型
部53は非導電性であるので、それは板ではない。この
オーバーラツプにより、オリフィスの寸法は軟質型部5
3の直径よりも幾分小さくなり (第2.3図参照)、
その結果としてのオリフィスの型はより良いインク液滴
を生せしめる。代表的なオリフィスの−v]法(直径)
は約0.04〜0.1mmであり、最適寸法は約0.0
6mmである。
電気メッキの後、新しく形成されたオリフィス板は型か
らシートの型で分離される。そのシー1は対応する数の
抵抗器をもつ基板に整列させて結合され、多数のバブル
型インクジェットプリンI・ヘッドをもつサンドイソヂ
構造を作る。そしてこれは個々のプリントへ・ノドに分
割、分離される。
らシートの型で分離される。そのシー1は対応する数の
抵抗器をもつ基板に整列させて結合され、多数のバブル
型インクジェットプリンI・ヘッドをもつサンドイソヂ
構造を作る。そしてこれは個々のプリントへ・ノドに分
割、分離される。
第1図は本発明によるブリ>′l−・ノlに使用するオ
リフィス板の斜視図、第2図は第1図のA−A部分に、
第3図は第1図のB−B部分に、第4図は第1図のC−
C部分にそれぞれ対応する本発明のプリントへ、ドの断
面口、第5図は第1図のB−B部分に対応する、第1図
で示したオリフィス板形成用型の断面図である。
リフィス板の斜視図、第2図は第1図のA−A部分に、
第3図は第1図のB−B部分に、第4図は第1図のC−
C部分にそれぞれ対応する本発明のプリントへ、ドの断
面口、第5図は第1図のB−B部分に対応する、第1図
で示したオリフィス板形成用型の断面図である。
Claims (1)
- 複数個のオリフィスと、前記オリフィス間を分離するた
めの分離部と、インク貯蔵部用り)枠部とを−・体的に
有するオリフィス板を具備するプリン1−−−ノド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US443980 | 1982-11-23 | ||
| US06/443,980 US4528577A (en) | 1982-11-23 | 1982-11-23 | Ink jet orifice plate having integral separators |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59118469A true JPS59118469A (ja) | 1984-07-09 |
| JPH0223351B2 JPH0223351B2 (ja) | 1990-05-23 |
Family
ID=23762980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58221343A Granted JPS59118469A (ja) | 1982-11-23 | 1983-11-24 | プリントヘツド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4528577A (ja) |
| EP (1) | EP0109755B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59118469A (ja) |
| DE (1) | DE3376399D1 (ja) |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3583275D1 (de) * | 1984-09-28 | 1991-07-25 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Verfahren zur herstellung eines duesenkoerpers fuer einen tintenstrahldrucker. |
| US4626323A (en) * | 1985-04-10 | 1986-12-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for the manufacture of a printing element for an ink droplet printing unit |
| DE3717294C2 (de) * | 1986-06-10 | 1995-01-26 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahlaufzeichnungskopf |
| US4685185A (en) * | 1986-08-29 | 1987-08-11 | Tektronix, Inc. | Method of manufacturing an ink jet head |
| US5032464A (en) * | 1986-10-27 | 1991-07-16 | Burlington Industries, Inc. | Electrodeposited amorphous ductile alloys of nickel and phosphorus |
| US4801947A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-31 | Burlington Industries, Inc. | Electrodeposition-produced orifice plate of amorphous metal |
| US4847630A (en) * | 1987-12-17 | 1989-07-11 | Hewlett-Packard Company | Integrated thermal ink jet printhead and method of manufacture |
| US5194877A (en) * | 1991-05-24 | 1993-03-16 | Hewlett-Packard Company | Process for manufacturing thermal ink jet printheads having metal substrates and printheads manufactured thereby |
| US5600354A (en) * | 1992-04-02 | 1997-02-04 | Hewlett-Packard Company | Wrap-around flex with address and data bus |
| DE4329728A1 (de) * | 1993-09-03 | 1995-03-09 | Microparts Gmbh | Düsenplatte für Fluidstrahl-Druckkopf und Verfahren zu deren Herstellung |
| US5818479A (en) * | 1993-09-03 | 1998-10-06 | Microparts Gmbh | Nozzle plate for a liquid jet print head |
| US5912685A (en) * | 1994-07-29 | 1999-06-15 | Hewlett-Packard Company | Reduced crosstalk inkjet printer printhead |
| US5666143A (en) * | 1994-07-29 | 1997-09-09 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead with tuned firing chambers and multiple inlets |
| EP0713929B1 (en) | 1994-10-28 | 1999-03-31 | SCITEX DIGITAL PRINTING, Inc. | Thin film pegless permanent orifice plate mandrel |
| US6371596B1 (en) | 1995-10-25 | 2002-04-16 | Hewlett-Packard Company | Asymmetric ink emitting orifices for improved inkjet drop formation |
| US6254219B1 (en) | 1995-10-25 | 2001-07-03 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead orifice plate having related orifices |
| US6123413A (en) * | 1995-10-25 | 2000-09-26 | Hewlett-Packard Company | Reduced spray inkjet printhead orifice |
| US5718044A (en) * | 1995-11-28 | 1998-02-17 | Hewlett-Packard Company | Assembly of printing devices using thermo-compressive welding |
| US6000787A (en) | 1996-02-07 | 1999-12-14 | Hewlett-Packard Company | Solid state ink jet print head |
| US6113221A (en) * | 1996-02-07 | 2000-09-05 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for ink chamber evacuation |
| JP3183206B2 (ja) * | 1996-04-08 | 2001-07-09 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェットプリントヘッドとその製造方法およびインクジェット記録装置 |
| US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
| US5924193A (en) * | 1997-02-10 | 1999-07-20 | Packard Hughes Interconnect Company | Method of making mandrels and circuits therefrom |
| US6145963A (en) * | 1997-08-29 | 2000-11-14 | Hewlett-Packard Company | Reduced size printhead for an inkjet printer |
| US6318843B1 (en) | 1997-10-23 | 2001-11-20 | Hewlett-Packard Company | Control of adhesive flow in an inkjet printer printhead |
| US6331055B1 (en) | 1999-08-30 | 2001-12-18 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead with top plate bubble management |
| US6523938B1 (en) * | 2000-01-17 | 2003-02-25 | Hewlett-Packard Company | Printer orifice plate with mutually planarized ink flow barriers |
| US6341732B1 (en) | 2000-06-19 | 2002-01-29 | S. C. Johnson & Son, Inc. | Method and apparatus for maintaining control of liquid flow in a vibratory atomizing device |
| FR2816525A1 (fr) * | 2001-02-26 | 2002-05-17 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif dispensateur de fluide et procede de realisation d'un tel dispositif |
| US6409312B1 (en) | 2001-03-27 | 2002-06-25 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printer nozzle plate and process therefor |
| US7293359B2 (en) * | 2004-04-29 | 2007-11-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for manufacturing a fluid ejection device |
| US7387370B2 (en) * | 2004-04-29 | 2008-06-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic architecture |
| US7501228B2 (en) * | 2005-03-10 | 2009-03-10 | Eastman Kodak Company | Annular nozzle structure for high density inkjet printheads |
| AU2005329726B2 (en) * | 2005-03-21 | 2009-05-07 | Memjet Technology Limited | Inkjet printhead having isolated nozzles |
| US7334875B2 (en) * | 2005-03-21 | 2008-02-26 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of fabricating a printhead having isolated nozzles |
| US7334870B2 (en) * | 2005-03-21 | 2008-02-26 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of printing which minimizes cross-contamination between nozzles |
| US7331651B2 (en) * | 2005-03-21 | 2008-02-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead having isolated nozzles |
| WO2009155245A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | Davicon Corporation | Liquid dispensing apparatus using a passive liquid metering method |
| EP3099493B1 (en) | 2014-01-28 | 2020-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printbars and methods of forming printbars |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559977A (en) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | Canon Inc | Liquid injection recorder |
| JPS55128465A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Canon Inc | Recording head |
| JPS55132272A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Recording head |
| JPS5811168A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-21 | Canon Inc | 記録ヘッド |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4296421A (en) * | 1978-10-26 | 1981-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording device using thermal propulsion and mechanical pressure changes |
| US4229265A (en) * | 1979-08-09 | 1980-10-21 | The Mead Corporation | Method for fabricating and the solid metal orifice plate for a jet drop recorder produced thereby |
| US4246076A (en) * | 1979-12-06 | 1981-01-20 | Xerox Corporation | Method for producing nozzles for ink jet printers |
| US4417251A (en) * | 1980-03-06 | 1983-11-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head |
| JPS57102366A (en) * | 1980-12-18 | 1982-06-25 | Canon Inc | Ink jet head |
| US4374707A (en) * | 1981-03-19 | 1983-02-22 | Xerox Corporation | Orifice plate for ink jet printing machines |
| US4389654A (en) * | 1981-10-01 | 1983-06-21 | Xerox Corporation | Ink jet droplet generator fabrication method |
-
1982
- 1982-11-23 US US06/443,980 patent/US4528577A/en not_active Expired - Lifetime
-
1983
- 1983-10-14 EP EP83306266A patent/EP0109755B1/en not_active Expired
- 1983-10-14 DE DE8383306266T patent/DE3376399D1/de not_active Expired
- 1983-11-24 JP JP58221343A patent/JPS59118469A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559977A (en) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | Canon Inc | Liquid injection recorder |
| JPS55128465A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Canon Inc | Recording head |
| JPS55132272A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Recording head |
| JPS5811168A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-21 | Canon Inc | 記録ヘッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3376399D1 (en) | 1988-06-01 |
| EP0109755A2 (en) | 1984-05-30 |
| EP0109755A3 (en) | 1985-01-09 |
| JPH0223351B2 (ja) | 1990-05-23 |
| EP0109755B1 (en) | 1988-04-27 |
| US4528577A (en) | 1985-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4528577A (en) | Ink jet orifice plate having integral separators | |
| US5635966A (en) | Edge feed ink delivery thermal inkjet printhead structure and method of fabrication | |
| JP4006441B2 (ja) | インクジェットプリンタ用プリントヘッド | |
| US5291226A (en) | Nozzle member including ink flow channels | |
| US5442384A (en) | Integrated nozzle member and tab circuit for inkjet printhead | |
| US5305015A (en) | Laser ablated nozzle member for inkjet printhead | |
| US4438191A (en) | Monolithic ink jet print head | |
| US6254219B1 (en) | Inkjet printhead orifice plate having related orifices | |
| US6019907A (en) | Forming refill for monolithic inkjet printhead | |
| US6371596B1 (en) | Asymmetric ink emitting orifices for improved inkjet drop formation | |
| US5305018A (en) | Excimer laser-ablated components for inkjet printhead | |
| US4954225A (en) | Method for making nozzle plates | |
| US4716423A (en) | Barrier layer and orifice plate for thermal ink jet print head assembly and method of manufacture | |
| EP0244214A1 (en) | Thermal ink jet printhead | |
| EP0509669A2 (en) | Thermal inkjet printhead orifice plate and method of manufacture | |
| EP0489246A2 (en) | Manufacturing process for three dimensional nozzle orifice plates | |
| JPH11314371A (ja) | 直接作像用ポリマ流体ジェット・オリフィス | |
| JPS5863468A (ja) | インク・ジエツト滴発生器製造方法 | |
| EP0110534A2 (en) | Monolithic ink jet orifice plate/resistor combination | |
| CA2084554C (en) | Integrated nozzle member and tab circuit for inkjet printhead | |
| KR100614735B1 (ko) | 잉크젯 프린터용 프린트헤드 및 그 제조 방법 | |
| JP2001146017A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド | |
| JPH0473153A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| JPH0341074B2 (ja) |