JPS59120406U - 電子ビ−ム露光装置における電子ビ−ム測定装置 - Google Patents
電子ビ−ム露光装置における電子ビ−ム測定装置Info
- Publication number
- JPS59120406U JPS59120406U JP1466283U JP1466283U JPS59120406U JP S59120406 U JPS59120406 U JP S59120406U JP 1466283 U JP1466283 U JP 1466283U JP 1466283 U JP1466283 U JP 1466283U JP S59120406 U JPS59120406 U JP S59120406U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- scanning
- shielding member
- measurement device
- exposure equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は偏向器に
供給される偏向徊号及びブランキング信号を示す図、第
３図は、遮蔽部材の直線状端部と電子ビームの走査との
関係を示す図である。 １・・・・・・電子銃、２． ３． ４・・・・・・電
子レンズ、５・・・・・・遮蔽部材、６・・・・・・フ
ァラデイカツブ、７・間・電流電圧変換器、９．１７・
・・・・・表示装置、１０゜１２・・・・・・偏向器、
１１．１２・曲・走査信号発生回路、１５・・・・・・
２次電子検出器。
供給される偏向徊号及びブランキング信号を示す図、第
３図は、遮蔽部材の直線状端部と電子ビームの走査との
関係を示す図である。 １・・・・・・電子銃、２． ３． ４・・・・・・電
子レンズ、５・・・・・・遮蔽部材、６・・・・・・フ
ァラデイカツブ、７・間・電流電圧変換器、９．１７・
・・・・・表示装置、１０゜１２・・・・・・偏向器、
１１．１２・曲・走査信号発生回路、１５・・・・・・
２次電子検出器。
Claims (1)
- 電子ビーム発生手段と、該電子ビームを被露光材料上に
集束する手段と、該材料上で該電子ビームを走査するた
めの走査手段と、該材料位置に該材料に代えて配置され
る直線状の端部を有した電、 子ビーム遮蔽部材と、
該遮蔽部材の下部に配置された電子検出器と、該遮蔽部
材の直線状端部に垂直な方向に該電子ビームを走査する
ための走査信号発生回路とを備えており、該走査信号発
生回路は該遮蔽部材の直線状端部に垂直な方向への繰返
′ し走査の期間中、該電子ビームが該端部を横
切る位置が僅かに変位するような走査信号を発生するよ
うに構成されている電子ビーム露光装置における電子ビ
ーム測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1466283U JPS59120406U (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | 電子ビ−ム露光装置における電子ビ−ム測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1466283U JPS59120406U (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | 電子ビ−ム露光装置における電子ビ−ム測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59120406U true JPS59120406U (ja) | 1984-08-14 |
Family
ID=30146013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1466283U Pending JPS59120406U (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | 電子ビ−ム露光装置における電子ビ−ム測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59120406U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013021215A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Canon Inc | ビーム計測装置、描画装置、および物品の製造方法 |
-
1983
- 1983-02-03 JP JP1466283U patent/JPS59120406U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013021215A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Canon Inc | ビーム計測装置、描画装置、および物品の製造方法 |
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