JPS5917554U - イオン照射装置 - Google Patents
イオン照射装置Info
- Publication number
- JPS5917554U JPS5917554U JP1982112609U JP11260982U JPS5917554U JP S5917554 U JPS5917554 U JP S5917554U JP 1982112609 U JP1982112609 U JP 1982112609U JP 11260982 U JP11260982 U JP 11260982U JP S5917554 U JPS5917554 U JP S5917554U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning signal
- irradiation device
- ion irradiation
- scanning
- direction scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案を実施したオージェ電子分光装置を示す
図、第２図は走査信号波形を示す図である。 １：電子銃、２：収束レンズ、３：試料、４：偏向コイ
ル、５：電子分光装置、６：イオン源、７，８：Ｙ方向
偏向板、９．１０：Ｘ方向偏向板、１１：Ｙ方向走査信
号発生回路、１２：ｘ方向走査信号発生回路。
図、第２図は走査信号波形を示す図である。 １：電子銃、２：収束レンズ、３：試料、４：偏向コイ
ル、５：電子分光装置、６：イオン源、７，８：Ｙ方向
偏向板、９．１０：Ｘ方向偏向板、１１：Ｙ方向走査信
号発生回路、１２：ｘ方向走査信号発生回路。
Claims (1)
- イオン源と、該イオン源からのイオンビームをＸ及びＹ
方向に走査するための走査手段と、Ｘ方向走査信号発生
手段と、Ｙ方向走査信号発生手段と、Ｘ方向走査信号発
生手段からの走査信号が供給され、該走査信号の振幅を
Ｙ方向走査信号に応じて変調するための変調手段とを備
え、該変調手段の出力信号をＸ方向走査信号として前記
走査手段に供給するようにしたイオン照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982112609U JPS5917554U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | イオン照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982112609U JPS5917554U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | イオン照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917554U true JPS5917554U (ja) | 1984-02-02 |
Family
ID=30260994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982112609U Pending JPS5917554U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | イオン照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917554U (ja) |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP1982112609U patent/JPS5917554U/ja active Pending
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