JPS5912174B2 - 受動形画像表示装置の電極製造方法 - Google Patents

受動形画像表示装置の電極製造方法

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JPS5912174B2
JPS5912174B2 JP57140011A JP14001182A JPS5912174B2 JP S5912174 B2 JPS5912174 B2 JP S5912174B2 JP 57140011 A JP57140011 A JP 57140011A JP 14001182 A JP14001182 A JP 14001182A JP S5912174 B2 JPS5912174 B2 JP S5912174B2
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光の透過（通過、伝達、伝送等）または反射
を制御する多数の表示エレメントを備えた受動形表示装
置用の電極構体であつて、静電気ｊ０力によつて移動で
きる可動電極を備える電極構体の製造方法に関するもの
である。
受動形表示装置とは、表示エレメント自体は発光しない
が、周囲光を反射または通過させて画像を表示する表示
装置を意味する。
受動形表示装置１５には、例えば、所定電極に電圧を供
給することにより光の反射または光の透過が局部的に変
化する液晶を備えることができる。代案として受動形画
像表示装置には電界により色を変えることができる材料
を備え、即ち電気変色形画像表示装置とすることができ
る。前述した静電形表示装置は米国特許第 ３６４８２８１号明細書に記載されている。
この米国特許明細書に記載された表示装置は多数の表示
エレメントを備え、各表示エレメントは中性または中立
位置において他の２電極間の角度を二等分する可動電極
を有している。中性位置は磁界によつて得る。技術的に
は、前記既知の画像表示装置の構成は実現が難かしく、
かつ制御に数百ボルトの電圧を必要とする。かかる高電
圧は通常の半９０導体電子回路で取扱ラことが難かしい
かまたは不可能である。更に、この既知の画像表示装置
の構成では、各表示エレメントが光の反射のみ制御でき
るだけで、光の透過は制御できない。本発明の目的は、
技術的に簡単な構成の静電制御式受動表示装置用の電極
構体の新規かつ効果的な製造方法を提供するにある。
前記目的を達成するため本発明は、静電制御式Ｊウ１−
受動形表示装置用の電極構体であつて、支持板に対し移
動できるよう可撓性細条状部を介して支持板に固着する
可動電極を備える電極構体の製造方法において、（イ）
第１エツチング剤によりエツチングすることができる材
料の第１層を支持板上に設け、（（ニ）第２エツチング
剤によりエツチングすることができる電極材料の第２層
を第１層上に設け、ヒ）ホトエツチング法および第２エ
ツチング剤により第２層のエツチングを行つて、周縁に
可撓性細条状部を有する可動電極、及び支持板との固着
を維持すべきでない第２層の部分に多数の開口を形成し
、（ニ）第１エツチング剤により第２層における開口を
介しアンダーエツチングによつて第１層の部分を除去す
ることを特徴とする。
この方法によつて得られる可動電極は可撓性細条状部の
自由端においてだけ支持板に取付けられる。
かかる態様において、静電気力により支持板に対し移動
できる電極が得られる。かかる静電気力は可動電極の一
側に配置した２個の固定電極によつて発生させることが
できる。これら２個の固定電極の一方は可動電極と同じ
支持板上に構成することができる。この目的のため本発
明の他の実施例においては、第１層を設ける前に、支持
板上に固定電極を形成するよう電極材料の層を支持板上
に設け、該形成された固定電極を電気絶縁材料で蔽うこ
とを特徴とする。第１Ａ図にはガラス支持板２１を示し
、その上に厚さ０．１μｍのインジウム電極層２２を蒸
着して固定電極を形成する。
電極層２２の上に厚さ１μｍの石英絶縁層２３を蒸着す
る。絶縁層２３の上には、第１エツチング剤によつてエ
ツチングすることができる材料の第１層を蒸着し、次い
で、第２エツチング剤によつてエツチングすることがで
きる電極材料の第２層を蒸着する。前記第１層は厚さ０
．５μｍのアルミニウム層２４で構成し、前記第２層は
厚さ０．５μｍのニツケル層２５で構成する。可撓性細
条状部と共に製造すべき電極の形状は既知のホトエツチ
ング法によりニツケル層２５において形成する。第２エ
ツチング剤は下側のアルミニウム層２４をおかさない硝
酸とする。ホトエツチングに当り、可動とすべき電極の
部分には、第１Ｂ図に示すように表面全体にわたり直径
６μｍおよび相互間隔２０μｍを有する多数の開口２６
を配設する。次いで、ニツケル層２５をおかさないがア
ルミニウム層２４をおかす水酸化カリウムを第１エツチ
ング剤としてエツチングを行う。アルミニウム層２４は
開口２６を介しいわゆるアンダーエツチングによつて除
去し、その場合の中間段階を第１Ｃ図に示し、第１Ｄ図
に示した最終状態に到達する。可動電極２７はアルミニ
ウム層２４の部分２８，２９から成る介挿導電部材を介
し支持板に接続状態に維持される。第１図に示すように
、可動電極２７は可撓性細条状部３３２を有している。
可撓性細条状部３２はアルミニウム層２４の部分２８及
び２９を介して支持板に接続される。第１Ｅ図は可動電
極２７を上方へ移動した状態において示してある。第２
図は可撓性細条状部３２を有する可動電極２７の一部の
詳細斜視図を示し、破線で示した位置は、可動電極２１
がこれを取付ける支持板に対し配置される位置を示す。
第３図はマトリツクス表示用の極めて多数の可動電極の
うち４個の可動電極の実施例を示す。
本例においては表示すべき画像は極めて多数の画像ドツ
トで構成する。各画像ドツトは表示エレメント・マトリ
ツクスの１表示エレメントで形成する。かかる実施例に
おいては可動電極をその相互接続点を介して互に接続す
ることができる。固定電極は、互に直角に延設する行電
極および列電極により既知の態様で構成する。行電極お
よび列電極には適切に電圧パルスを供給して、当該行電
極および列電極の交さ点における表示エレメントだけが
安定休止状態から安定作動状態へ移動するようにする。
可動電極の電位はすべての可動電極に対し同一に維持す
る。すべての表示エレメントは、相互接続したすべての
可動電極に同時に電圧パルスを供給することによつてり
セツトすることができる。第４図は本発明方法により製
造した画像表示装置の実施例を示す。
本例は透過モード即ち透過光と共に作動する。本例装置
には大気圧における通常の空気を充填する。しかしある
程度空気圧を下げることにより表示装置の動作がかなり
迅速になる。可動電極３５および３６には、先に説明し
た態様で開ロパターンを配設する。開口３７は一辺が２
０μｍの正方形とする。これらの開口は相互間隔４０ｔ
ｔＴｒＬで行方向に配列する。開口行の長手方向は第４
図の平面に対し直角である。１開口行における開口間の
ピツチは２０μｍより若干大きくして、ウエブにより中
断されるスロットが形成されるようにする。
この開口パターンの負パターン４１を固定電極３８に配
設する。可動電極例えば電極３５を固定電極３８に対し
押圧した場合、表示装置の視者側３９には光が透過しな
い。可動電極例えば電極３６を完全透明固定電極４０に
対し押圧した場合には、第４図に示すように光４２が透
過する。強い外部光源と共に作動させることにより、こ
の態様で画像も投影させることができる。代案として可
動電極は弾力を介する態様で装着することができる。こ
の態様において弾力と静電気力を平衡させることにより
、各表示エレメントは数個の位置のうちの１つの位置を
占め、従つていわゆるグレイスケールを得ることができ
る（表示エレメント当り数個の階調）。第５図は本発明
の実施例を示し、本例装置は反射モードで作動する。
表示装置には空気を充填するが、可動電極４３および４
４には光通過パターンにおける開口４５を設けるので、
入射光４６のＰ％が透過する。入射光４６の残部（１０
０−Ｐ）％は吸収される。視者側の支持板４９上の固定
電極４７には、可動電極４３および４４における開口４
５と位置を符合させた白色の拡散反射領域５０を設ける
。従つて電極４４は入射光４６のＰ％を反射し、かつそ
の残部即ち（１００−Ｐ）％を吸収する。可動電極４３
，４４の位置に応じて、表示エレメントにより反射され
る光の量は、次の如く算出する。電極４４は上記Ｐ％の
透過光のうち電極４７によつて反射されるＰ％の光およ
びその結果電極４４を再度透過するＰ％の光を透過する
。
従つて表示素子は電極４４と共に入射周囲光の一部（Ｐ
／１００）３を反射する。電極４３の開口４５を通過す
るすべての光は、開口４５を介してみることができる領
域により拡散反射される。
従つて表示素子は電極４０と共に入射周囲光の一部Ｐ／
１００を反射する。従つて２個の表示素子の間のコント
ラスト、即ち反射光量の間の比は（Ｐ／１００）２とな
る。
実際上Ｐは例えば３３％であり、その場合１：９のコン
トラストが得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は同一支持板上に固定電極及び可動電極を作製す
る本発明方法の実施例の製造工程を示す断面図、第２図
は可撓性細条状部を有する可動電極の要部斜視図、第３
図は可動電極をマトリツクス状に配設して成る可動電極
マトリツクスの＝部を示す平面図、第４及び５図は本発
明方法により製造した可動電極を備えた電極構体を使用
した表示装置の二例を示す断面図である。 ２１・・・・・・ガラス支持板、２２・・・・・・イン
ジウム電極層、２３・・・・・・絶縁層、２４・・・・
・・アルミニウム層、２５・・・・・・ニツケル層、２
６・・・・・・開口、２７・・・・・・可動電極、３２
・・・・・・可撓性細条状部、３５，３６・・・・・・
可動電極、３７・・・・・・開口、３８・・・・・・固
定電極、３９・・・・・・視者側、４０・・・・・・透
明固定電極、４１・・・・・・開口パターンの負パター
ン、４３，４４・・・・・・可動電極、４５・・・・・
・開口、４６・・・・・・入射光、４７・・・固定電極
、４８・・・・・・視者側、４９・・・・・・支持板、
５０・・・・・・拡散反射領域。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 静電制御式受動形表示装置用の電極構体であつて、
    支持板に対し移動できるよう可撓性細条状部を介して支
    持板に固着する可動電極を備える電極構体の製造方法に
    おいて、（イ）第１エッチング剤によりエッチングする
    ことができる材料の第１層を支持板上に設け、（ロ）第
    ２エッチング剤によりエッチングすることができる電極
    材料の第２層を第１層上に設け、（ハ）ホトエッチング
    法および第２エッチング剤により第２層のエッチングを
    行つて、周縁に可撓性細条状部を有する可動電極及び支
    持板との固着を維持すべきでない第２層の部分に多数の
    開口を形成し、（ニ）第１エッチング剤により第２層に
    おける開口を介しアンダーエッチングによつて第１層の
    部分を除去することを特徴とする受動形表示装置用の電
    極構体の製造方法。 ２ 第１層を設ける前に、支持板上に固定電極を形成す
    るよう電極材料の層を支持板上に設け、該形成された固
    定電極を電気絶縁材料で蔽う特許請求の範囲第１項記載
    の電極構体の製造方法。
JP57140011A 1975-08-27 1982-08-13 受動形画像表示装置の電極製造方法 Expired JPS5912174B2 (ja)

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