JPS59127007A - ダイクロイツクフイルタ− - Google Patents
ダイクロイツクフイルタ−Info
- Publication number
- JPS59127007A JPS59127007A JP268583A JP268583A JPS59127007A JP S59127007 A JPS59127007 A JP S59127007A JP 268583 A JP268583 A JP 268583A JP 268583 A JP268583 A JP 268583A JP S59127007 A JPS59127007 A JP S59127007A
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- Japan
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- wavelength
- reflection factor
- reflectance
- transmittivity
- light
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- Pending
Links
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
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- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光学フィルター、とくに波長の近接した光に
対する分離度を高めたダイクロイックフィルターに関す
る。
対する分離度を高めたダイクロイックフィルターに関す
る。
従来、近接した２波長の光を分離するダイクロイックフ
ィルターとしては、２ｔｆｌ長に対する反射率の差が大
きい３０層程度の多層膜蒸着鏡を利用メするものと、前
記２波長に対し高反射率の反射面を対向させたエタロン
を利用するものの２つが主に知られている。しかし、こ
れらはそれぞれ以下に述べる欠点を有する。
ィルターとしては、２ｔｆｌ長に対する反射率の差が大
きい３０層程度の多層膜蒸着鏡を利用メするものと、前
記２波長に対し高反射率の反射面を対向させたエタロン
を利用するものの２つが主に知られている。しかし、こ
れらはそれぞれ以下に述べる欠点を有する。
まず多層膜蒸着鏡を用いる場合には、２ｖ長に対する反
射率の差を大きくすることが、２波長の波長が近接した
場合に特に難かしく、このため反射率の低い第１の波長
の元に対する透過率が理想値の１００ｃｌｊよりもかな
り下が９、逆に反射率の高い第２の波長の光に対する透
過率が理想値の０％よシも若干高くなるという欠点があ
った。そこで２彼長の光に対する分離度を高めるのに、
この多層膜蒸着鋭を光学的に縦列配置すると、前記の第
１の波長の光に対する透過率がさらに下がるという欠点
を生じた。
射率の差を大きくすることが、２波長の波長が近接した
場合に特に難かしく、このため反射率の低い第１の波長
の元に対する透過率が理想値の１００ｃｌｊよりもかな
り下が９、逆に反射率の高い第２の波長の光に対する透
過率が理想値の０％よシも若干高くなるという欠点があ
った。そこで２彼長の光に対する分離度を高めるのに、
この多層膜蒸着鋭を光学的に縦列配置すると、前記の第
１の波長の光に対する透過率がさらに下がるという欠点
を生じた。
一方、エタロン全周いる場合には、前記の第１と第２の
波長に対し同程度の高い反射率ヲ有する反射面で干渉鏡
面を構成する。このとき、このエタロンの分光透過特性
には、良く知られた周期的な透過ピークが現わ゛れるの
で、前記の第１および第２の波長をそれぞれこのエタロ
ンの透過率の極小および極大波長に対応させればこのエ
タロンはダイクロイ、クツイルターとして機能する。
波長に対し同程度の高い反射率ヲ有する反射面で干渉鏡
面を構成する。このとき、このエタロンの分光透過特性
には、良く知られた周期的な透過ピークが現わ゛れるの
で、前記の第１および第２の波長をそれぞれこのエタロ
ンの透過率の極小および極大波長に対応させればこのエ
タロンはダイクロイ、クツイルターとして機能する。
この場合、２波長の光の分離度を上げるために反射面の
反射率Ｒｔなるべく高くする。こうすると第１の波長に
対する透過率はほぼ（１−Ｒ）／４で与えられ、充分低
くできる。一方、第２の波長の透過率は、Ｒｔ−１００
％近くに高くした高フィネス状態では、反射面の面精度
や平行度、および入射ビームの指向性の不充分さＫよシ
理想値の１００チに対しその半分種度に下がることが多
く、このことがエタロンを用いたグイクロイックミラー
の欠点である。
反射率Ｒｔなるべく高くする。こうすると第１の波長に
対する透過率はほぼ（１−Ｒ）／４で与えられ、充分低
くできる。一方、第２の波長の透過率は、Ｒｔ−１００
％近くに高くした高フィネス状態では、反射面の面精度
や平行度、および入射ビームの指向性の不充分さＫよシ
理想値の１００チに対しその半分種度に下がることが多
く、このことがエタロンを用いたグイクロイックミラー
の欠点である。
本発明の目的は、以上の従来のダイクロイックフィルタ
ーの欠点を除去し、従来の２ａ類のフィルターの特長を
合わせ持ち、さらに２つのフィルターにない特徴である
、第２の波長の透過率を理想値の１００チに近づけた特
性を有するダイクロイ、クツイルターを提供することに
ある。
ーの欠点を除去し、従来の２ａ類のフィルターの特長を
合わせ持ち、さらに２つのフィルターにない特徴である
、第２の波長の透過率を理想値の１００チに近づけた特
性を有するダイクロイ、クツイルターを提供することに
ある。
本発明によれば、第１の波長の光に対し反射率が低く、
前記第１の波長に近接した第２の波長の光に対しては反
射率が高く、しかも前記第１の波長と前記第２の波長の
中間およびその周辺の波長域で反射率が単調忙変化する
反射面を複数有し、前記の複数の反射面が相互に干渉面
を構成して成ミことを特徴とするダイクロイックフィル
ターが得られる。
前記第１の波長に近接した第２の波長の光に対しては反
射率が高く、しかも前記第１の波長と前記第２の波長の
中間およびその周辺の波長域で反射率が単調忙変化する
反射面を複数有し、前記の複数の反射面が相互に干渉面
を構成して成ミことを特徴とするダイクロイックフィル
ターが得られる。
以下図面を用いて本発明の具体的実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の一実施例の断面図であり、基板１の
光学研磨面上に多層膜蒸着を施した反射面２を、スペー
サ３を使って平行に対向させる。
光学研磨面上に多層膜蒸着を施した反射面２を、スペー
サ３を使って平行に対向させる。
この多層の蒸着膜の分光特性は、第２図に示すごとく、
第１の波長λ、で反射率Ｒ１が低く、この第１の波長λ
、に近接した第２の波長λ２で反射率Ｒ７が高く、しか
も反射率が波長に対し単調に変化している。具体的には
、波長１．３μｍ付近で、λ、とλ、の差が約０．１μ
ｍの場合にＲ，； ０．２ 、 Ｒ，：； ０．９９程
度の分離特性を有する３０層程度からなる多層膜蒸着が
可能である。２つの反射面２０間隔ｄは、波長λ。
第１の波長λ、で反射率Ｒ１が低く、この第１の波長λ
、に近接した第２の波長λ２で反射率Ｒ７が高く、しか
も反射率が波長に対し単調に変化している。具体的には
、波長１．３μｍ付近で、λ、とλ、の差が約０．１μ
ｍの場合にＲ，； ０．２ 、 Ｒ，：； ０．９９程
度の分離特性を有する３０層程度からなる多層膜蒸着が
可能である。２つの反射面２０間隔ｄは、波長λ。
の半波長の整数倍で、かつ波長λ、の半波長の半整数倍
に近くなるよう選ぶ。このような条件を満たすｄ／／ｉ
無限にあるが、ここではそのうち最も小さい値となるよ
う選ぶ。この場合の、本実施例による分光透過特性を第
３図に示す。
に近くなるよう選ぶ。このような条件を満たすｄ／／ｉ
無限にあるが、ここではそのうち最も小さい値となるよ
う選ぶ。この場合の、本実施例による分光透過特性を第
３図に示す。
第１の波長λ、に対しては本実施しリの干渉器としての
透過率極大条件が満たされていることと、反射面の反射
率Ｒ８が低いことにより、本実施例の透過率は極めて１
００％に近くなり、しかもその条件が満たされる波長範
囲が広い。一方第２の波長λ。
透過率極大条件が満たされていることと、反射面の反射
率Ｒ８が低いことにより、本実施例の透過率は極めて１
００％に近くなり、しかもその条件が満たされる波長範
囲が広い。一方第２の波長λ。
に対しては、逆に透過率極小条件と反射率Ｒ７の高さと
により、透過率は極めて低くなり、その値はほぼ（１−
Ｒ，）”／４〜２．５Ｘ１０−’となる。λ、よりも長
波長側の幅の狭い透過ピークは、波長λ１よりも干渉次
数のひとつ小さい透過量極太条件によって現われるピー
クで、この波長では反射率が極めて大きいためにエタロ
ンと同様、透過率の最大値が１００％よりもかなり低く
なるうえ、透過帯域も極めて狭くなっている。このよう
な幅の狭い透過 ４ピークの存在はダイクロイックフィ
ルターの特性上は好ましくないが、実用上差しつかえな
い。
により、透過率は極めて低くなり、その値はほぼ（１−
Ｒ，）”／４〜２．５Ｘ１０−’となる。λ、よりも長
波長側の幅の狭い透過ピークは、波長λ１よりも干渉次
数のひとつ小さい透過量極太条件によって現われるピー
クで、この波長では反射率が極めて大きいためにエタロ
ンと同様、透過率の最大値が１００％よりもかなり低く
なるうえ、透過帯域も極めて狭くなっている。このよう
な幅の狭い透過 ４ピークの存在はダイクロイックフィ
ルターの特性上は好ましくないが、実用上差しつかえな
い。
本発明では、第２図のごとく反射面として波長λ１とλ
、の中間およびその周辺で単調に変化する反射率を有す
る反射面を用いているので、特に波長λ、の近辺の広い
波長範囲にわたって低反射率になっている。このため本
発明のダイクロイックフィルターの波長λ１付近の透過
率は、前述のごとく広い範囲にわたって１００％に近い
高透過率になっている。この優れた特性は、反射面とし
て通常のエタロン等に用いる、高反射率を得るための２
０層程度の多層膜蒸着を施こしたうえに、上記の急峻で
単調な反射率特性を得るだめの１０層程度の補償用の膜
を施こして得られる。前記の２０層程度の多層膜蒸着で
は、高反射率である波長域の両端で、反射率が低下する
波長域が６１、この領域を利用すれば、従来のエタロン
によっても本発明の効果と類似の効果が得られるごとく
考えられるが、前記の多層膜蒸着の反射率の変化は緩慢
で、しかも反射率の低下した波長域で、反射率の波長に
対する大きな振動が避けられない。
、の中間およびその周辺で単調に変化する反射率を有す
る反射面を用いているので、特に波長λ、の近辺の広い
波長範囲にわたって低反射率になっている。このため本
発明のダイクロイックフィルターの波長λ１付近の透過
率は、前述のごとく広い範囲にわたって１００％に近い
高透過率になっている。この優れた特性は、反射面とし
て通常のエタロン等に用いる、高反射率を得るための２
０層程度の多層膜蒸着を施こしたうえに、上記の急峻で
単調な反射率特性を得るだめの１０層程度の補償用の膜
を施こして得られる。前記の２０層程度の多層膜蒸着で
は、高反射率である波長域の両端で、反射率が低下する
波長域が６１、この領域を利用すれば、従来のエタロン
によっても本発明の効果と類似の効果が得られるごとく
考えられるが、前記の多層膜蒸着の反射率の変化は緩慢
で、しかも反射率の低下した波長域で、反射率の波長に
対する大きな振動が避けられない。
これらのことの反映として、反射面の反射率が低下する
波長域金利用する従来のエタロンを用いたダイクロイッ
クフィルターでは、本発明のごとく近接した波長に対す
る高い分離度が得られないうえ、低反射域での波長に対
する反射率の振動による高透過率領域Ｏ透過率の振動が
生じ、本発明の特長である、高透過率の波長領域の広さ
も得られない。
波長域金利用する従来のエタロンを用いたダイクロイッ
クフィルターでは、本発明のごとく近接した波長に対す
る高い分離度が得られないうえ、低反射域での波長に対
する反射率の振動による高透過率領域Ｏ透過率の振動が
生じ、本発明の特長である、高透過率の波長領域の広さ
も得られない。
以上、本発明により従来の欠点を除去し、２つの近接し
た波長に対する分離度が高く、特に、一方９波長の光に
対する透過率が極めて高い、従来にない実用的なダイク
ロイックフィルターが得られる。
た波長に対する分離度が高く、特に、一方９波長の光に
対する透過率が極めて高い、従来にない実用的なダイク
ロイックフィルターが得られる。
なお、本発明の趣旨を逸脱することなく、いくつかの変
形が可能である。 。
形が可能である。 。
干渉面の数は２つに限定する必要はなく、例えば３つの
干渉面からなる複合共振効果により、２つの波長に対す
る分離度を高めることが可能であり、その場合、第１図
の一方の基板の２つの光学面の両方全反射面とする構成
が考えられる。
干渉面からなる複合共振効果により、２つの波長に対す
る分離度を高めることが可能であり、その場合、第１図
の一方の基板の２つの光学面の両方全反射面とする構成
が考えられる。
干渉面の数が２つの場合には、基板をひとつにして、そ
の両面を平行にして干渉面とすることは当然可能である
が、ただしその場合には、基板の厚さを薄くすることに
限界があるため、第３図の分光透過特性に余分な透過ピ
ークが現われてくる。
の両面を平行にして干渉面とすることは当然可能である
が、ただしその場合には、基板の厚さを薄くすることに
限界があるため、第３図の分光透過特性に余分な透過ピ
ークが現われてくる。
また、反射面２の反射率を第２図とは逆にλ１に対し高
く、λ、に対しては低くすることは容易で、それに応じ
、長波長のλ２の光に対して透過率の極めて高いダイク
ロイックフィルターが得られるのは当然である。
く、λ、に対しては低くすることは容易で、それに応じ
、長波長のλ２の光に対して透過率の極めて高いダイク
ロイックフィルターが得られるのは当然である。
第１図は、本発明の一実施例の断面図全示し、１は基板
、２は反射面、３はスペーサを表わす。 第２図は、反射面２の分光反射特性を示し、第３図は、
本発明の一実施例の分光透過特性を示す。 代り人弁理士 内腔 −晋
、２は反射面、３はスペーサを表わす。 第２図は、反射面２の分光反射特性を示し、第３図は、
本発明の一実施例の分光透過特性を示す。 代り人弁理士 内腔 −晋
Claims (1)
- 第１の波長の光に対し反射率が低く、前記第１の波長に
近接した第２の波長の光に対しては反射率が高く、しか
も前記第」の波長と前記第２の波長の中間およびその周
辺の波長域で反射率が単調に変化する反射面を複数有し
、前記の複数の反射面が相互に干渉面を構成して成るこ
とを特徴とするダイクロイックフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP268583A JPS59127007A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | ダイクロイツクフイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP268583A JPS59127007A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | ダイクロイツクフイルタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127007A true JPS59127007A (ja) | 1984-07-21 |
Family
ID=11536143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP268583A Pending JPS59127007A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | ダイクロイツクフイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127007A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62193007A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-24 | ソ−ン イ−エムアイ ピ−エルシ− | 照明装置 |
| US5516618A (en) * | 1995-04-03 | 1996-05-14 | Xerox Corporation | Method of making carriers having coatings with fillers |
| US5695043A (en) * | 1990-01-26 | 1997-12-09 | Ikegami Tsushinki Co., Ltd. | Method of and an apparatus for conveying objects for inspection |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5224417A (en) * | 1975-08-19 | 1977-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Multi-channel reception tuner |
| JPS542854A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-10 | Aatoneichiyaa Kk | Wig |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP268583A patent/JPS59127007A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5224417A (en) * | 1975-08-19 | 1977-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Multi-channel reception tuner |
| JPS542854A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-10 | Aatoneichiyaa Kk | Wig |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62193007A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-24 | ソ−ン イ−エムアイ ピ−エルシ− | 照明装置 |
| US5695043A (en) * | 1990-01-26 | 1997-12-09 | Ikegami Tsushinki Co., Ltd. | Method of and an apparatus for conveying objects for inspection |
| US5516618A (en) * | 1995-04-03 | 1996-05-14 | Xerox Corporation | Method of making carriers having coatings with fillers |
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