JPS59128514A - 電気光学シヤツタ− - Google Patents
電気光学シヤツタ−Info
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- JPS59128514A JPS59128514A JP58004513A JP451383A JPS59128514A JP S59128514 A JPS59128514 A JP S59128514A JP 58004513 A JP58004513 A JP 58004513A JP 451383 A JP451383 A JP 451383A JP S59128514 A JPS59128514 A JP S59128514A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plzt
- temperature
- sintered body
- shutter
- electro
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はPLZTセラミックス、すなわち(Pb+ L
aX Zr、 h) Oaセラミックスを用いた電気光
学シャッターに係る。
aX Zr、 h) Oaセラミックスを用いた電気光
学シャッターに係る。
背景技術とその問題点
PLZTセラミックスは
(i)これが透明であること、
(11)その光学的特性を電気的に制御できること、
(iii )電気光学定数が大きく素子を容易に且つ安
価につくり得る。
価につくり得る。
という利点を有する。
第1図は、PLZT電気光電気光学シーツタの原理的構
成を示すもので、図において(1)及び(2)は直線偏
光板で、両者間にPLZTセラミックス焼結体より成る
電気光学シャッター(3)が配置されてなる。シャッタ
ー(3)は、PLZTセラミックス焼結体(6)に対向
電極(4)及び(5)が配置されて成る。偏光板(11
及び(2)はこれらにより選別される直線偏光の電界ベ
クトル方向が互いに直交するように選定され、これらに
対してシャッター(3)のPLZTセラミックス焼結体
(6)の電界方向すなわち光軸方向が45°になるよう
に選定される。このようにして光源Sからの電界ベクト
ルが全ゆる方向に向いた光が偏光板(1)を通過するこ
とによって直線偏光となるが、この直線偏光のパワーは
、理論的には入力光の1/2となる。偏光板(1)を通
過して得た直線偏光は、シャ・ツタ−(3)のPLZT
(6)中を進むにつれてこのPLZTシャッター(3)
への印加電圧、板厚に依存して見かけ主偏光電界ベクト
ルの回転が起こる。この電界ベクトルが90°回転する
条件を設定すれば、このPLZTシャッター(3)から
出射した直線偏光は、偏光板(2)を通過することにな
る。今、PLZTシャッター(3)に電圧印加のない場
合、光はクロスニコルで通過できない、すなわちオフ状
態となるが、PLZTシャッター(3)に所要の設定電
圧を印加すれば光は通過、すなわちオン状態となる。こ
のようにしてPLZTシャッター(3)に対する印加電
圧によってこれを通過する光のオンオフを行うことがで
き、これによって電気光学的シャッター機能を奏するよ
うになされるものである。
成を示すもので、図において(1)及び(2)は直線偏
光板で、両者間にPLZTセラミックス焼結体より成る
電気光学シャッター(3)が配置されてなる。シャッタ
ー(3)は、PLZTセラミックス焼結体(6)に対向
電極(4)及び(5)が配置されて成る。偏光板(11
及び(2)はこれらにより選別される直線偏光の電界ベ
クトル方向が互いに直交するように選定され、これらに
対してシャッター(3)のPLZTセラミックス焼結体
(6)の電界方向すなわち光軸方向が45°になるよう
に選定される。このようにして光源Sからの電界ベクト
ルが全ゆる方向に向いた光が偏光板(1)を通過するこ
とによって直線偏光となるが、この直線偏光のパワーは
、理論的には入力光の1/2となる。偏光板(1)を通
過して得た直線偏光は、シャ・ツタ−(3)のPLZT
(6)中を進むにつれてこのPLZTシャッター(3)
への印加電圧、板厚に依存して見かけ主偏光電界ベクト
ルの回転が起こる。この電界ベクトルが90°回転する
条件を設定すれば、このPLZTシャッター(3)から
出射した直線偏光は、偏光板(2)を通過することにな
る。今、PLZTシャッター(3)に電圧印加のない場
合、光はクロスニコルで通過できない、すなわちオフ状
態となるが、PLZTシャッター(3)に所要の設定電
圧を印加すれば光は通過、すなわちオン状態となる。こ
のようにしてPLZTシャッター(3)に対する印加電
圧によってこれを通過する光のオンオフを行うことがで
き、これによって電気光学的シャッター機能を奏するよ
うになされるものである。
このようなPLZT電気光学シャッターは、マイクロ秒
オーダーの高速応答性を有し、全固体化、長寿命、高信
頼性を有するなどの利点を有することから、例えば閃光
保護眼鏡、立体テレビジョンシステム、或いは特開昭5
7−55685号公報に開示され牛白黒テレビジョン受
像管を用いたカラーテレビジョン受像機、或いは高輝度
プロジェクタ−等への応用が試みられている。上述した
特開昭57−55685号公報に開示されたカラーテレ
ビジョン受像機とは白黒(11色)テレビジョン受像管
の前方に例えば垂直方向に延長して赤、緑及び青の各ス
トライプ状フィルターが並置配置され、このフィルター
に対向して各ストライプ毎に電気光学シャッターエレメ
ントが構成され、受像管の各水平ライン毎の電子ビーム
の走査位置に応じて赤、縁及び青に夫々対応するカラー
信号によって電子ビームを変調し、これに同期して各ス
トライプの電気光学シャッターエレメントを交互にオン
オフさせることによって全体として各ストライプフィル
ターを通じて、赤、緑及び青の各光学像を得てこれらに
よって全体的にカラー再生画像が得られるようになされ
るものである。また、第2図は上述したPLZT電気光
学シャッターアレイを適用した高輝度プロジェクタ−の
構成の一例を示すもので、この場合においても電気光学
シャンターアレイの各エレメントのオンオフによって1
水平線分の映像を順次形成するようにしている。すなわ
ち、この場合、光源(11)からの光線がコリメータレ
ンズ(12)、絞り(13)、直線偏光子(14)、レ
ンズ系(15)及びミラー(16)を介して電気光学シ
ャッター(17)に投射される。シャッター(17)に
投射される光は絞り(13)及びレンズ系(15)によ
って第2図の紙面に垂直方向のスリット状の光束とされ
る。シャッター(17)は上述したスリット状の光束の
照射位置にストライプ状にPLZ↑エレメントが配置さ
れてなり、−水平走査線分の映像情報に応じて各エレメ
ントを順次オンオフさせて、これを透過した光を検光子
(18)を経てコンデンサレンズ(19)、可動ミラー
(20)、投射レンズ(21)によって図示しないがス
クリーン上に投射するようになされる。この場合、偏光
子(14)及び検光子(18)は夫々第1図に説明した
偏光板(1)及び(2)に対応するものである。ここに
可動ミラー(20)は第2図における紙面に沿ってすな
わち水平方向に矢印で示すように例えば1フイ一ルド周
、期をもって駆動される。一方、シャッター(7)の各
エレメントには順次1水平走査線分の映像信号を供給し
、これに同期して可動ミラー(20)をフィールド周期
でその駆動を行えばスクリーン上に順次lフィールド分
の映像が投射されていく。
オーダーの高速応答性を有し、全固体化、長寿命、高信
頼性を有するなどの利点を有することから、例えば閃光
保護眼鏡、立体テレビジョンシステム、或いは特開昭5
7−55685号公報に開示され牛白黒テレビジョン受
像管を用いたカラーテレビジョン受像機、或いは高輝度
プロジェクタ−等への応用が試みられている。上述した
特開昭57−55685号公報に開示されたカラーテレ
ビジョン受像機とは白黒(11色)テレビジョン受像管
の前方に例えば垂直方向に延長して赤、緑及び青の各ス
トライプ状フィルターが並置配置され、このフィルター
に対向して各ストライプ毎に電気光学シャッターエレメ
ントが構成され、受像管の各水平ライン毎の電子ビーム
の走査位置に応じて赤、縁及び青に夫々対応するカラー
信号によって電子ビームを変調し、これに同期して各ス
トライプの電気光学シャッターエレメントを交互にオン
オフさせることによって全体として各ストライプフィル
ターを通じて、赤、緑及び青の各光学像を得てこれらに
よって全体的にカラー再生画像が得られるようになされ
るものである。また、第2図は上述したPLZT電気光
学シャッターアレイを適用した高輝度プロジェクタ−の
構成の一例を示すもので、この場合においても電気光学
シャンターアレイの各エレメントのオンオフによって1
水平線分の映像を順次形成するようにしている。すなわ
ち、この場合、光源(11)からの光線がコリメータレ
ンズ(12)、絞り(13)、直線偏光子(14)、レ
ンズ系(15)及びミラー(16)を介して電気光学シ
ャッター(17)に投射される。シャッター(17)に
投射される光は絞り(13)及びレンズ系(15)によ
って第2図の紙面に垂直方向のスリット状の光束とされ
る。シャッター(17)は上述したスリット状の光束の
照射位置にストライプ状にPLZ↑エレメントが配置さ
れてなり、−水平走査線分の映像情報に応じて各エレメ
ントを順次オンオフさせて、これを透過した光を検光子
(18)を経てコンデンサレンズ(19)、可動ミラー
(20)、投射レンズ(21)によって図示しないがス
クリーン上に投射するようになされる。この場合、偏光
子(14)及び検光子(18)は夫々第1図に説明した
偏光板(1)及び(2)に対応するものである。ここに
可動ミラー(20)は第2図における紙面に沿ってすな
わち水平方向に矢印で示すように例えば1フイ一ルド周
、期をもって駆動される。一方、シャッター(7)の各
エレメントには順次1水平走査線分の映像信号を供給し
、これに同期して可動ミラー(20)をフィールド周期
でその駆動を行えばスクリーン上に順次lフィールド分
の映像が投射されていく。
上述したような単色陰極線管と電気光学シャッターとの
組合せによるカラーテレビジョン受像機、或いは高輝度
プロジェクタ−等に用いられるPLZT電気光学シャッ
ターにおいては、その駆動は5 kHz以上の高い駆動
周波数となる。
組合せによるカラーテレビジョン受像機、或いは高輝度
プロジェクタ−等に用いられるPLZT電気光学シャッ
ターにおいては、その駆動は5 kHz以上の高い駆動
周波数となる。
一方PLZTは、PbZr0a + PbTi0a +
La203の混合系で、その組成式は、 (Pb+x−x+ Lax ) ((ZryTiz)+
s−8+) 03で表わされ、La、 Zrr Ti量
でその組成が決まることから、x/y/zの表現でその
組成を表わすことができる。そしてこのPLZTは、x
/y/zの組酸比に従い、電気光学複屈折モードとして
ボ・ノケルス効果を示す1次効果材と、カー効果を示す
2次効果材と、メモリー性を示すメモリー材とに大別さ
れ、2次効果材においては電界を加えることによって誘
電率異方性が生じ、複屈折Δnが生じるが、電界を取り
除くことによって屈折率異方性も消失して等方性となる
に比し、1次効果材及びメモリー材においては、電界を
取り除いても異方性が残留する。これら各材料の複屈折
Δnと電界Eとの関係は、第3図ないし第5図の示すよ
うになる。これらの特性は、常温におけるもので第3図
はX / y/ Z = 12/40/60の組成によ
る1次効果材の場合、第4図はx/y/z =9/65
/35の組成による2次効果材、第5図はx/y/z=
8/65/35の組成によるメモリー性を有する場合の
それである。また、第6図はx/y/zの各組成のメモ
リー材、1次効果材、及び2次効果材となる組成範囲を
実線で夫々囲んで図示したものである。
La203の混合系で、その組成式は、 (Pb+x−x+ Lax ) ((ZryTiz)+
s−8+) 03で表わされ、La、 Zrr Ti量
でその組成が決まることから、x/y/zの表現でその
組成を表わすことができる。そしてこのPLZTは、x
/y/zの組酸比に従い、電気光学複屈折モードとして
ボ・ノケルス効果を示す1次効果材と、カー効果を示す
2次効果材と、メモリー性を示すメモリー材とに大別さ
れ、2次効果材においては電界を加えることによって誘
電率異方性が生じ、複屈折Δnが生じるが、電界を取り
除くことによって屈折率異方性も消失して等方性となる
に比し、1次効果材及びメモリー材においては、電界を
取り除いても異方性が残留する。これら各材料の複屈折
Δnと電界Eとの関係は、第3図ないし第5図の示すよ
うになる。これらの特性は、常温におけるもので第3図
はX / y/ Z = 12/40/60の組成によ
る1次効果材の場合、第4図はx/y/z =9/65
/35の組成による2次効果材、第5図はx/y/z=
8/65/35の組成によるメモリー性を有する場合の
それである。また、第6図はx/y/zの各組成のメモ
リー材、1次効果材、及び2次効果材となる組成範囲を
実線で夫々囲んで図示したものである。
従来、電気光学シャッターに供せられるPLZT組成は
、上述の2次効果材としての9.5〜!3.0/65/
35の組成に選ばれている。その理由は、機器の使用環
境−20℃〜80℃で2次効果を示し、電気光学シャッ
ターとして使用できることにある。ところが、このPL
ZTの2次効果定数Rの温度特性は大きな負の値を有し
、常温以上の使用では駆動電圧の上昇を来し、駆動電力
の増大、電極間の放電等、使用上の問題がある。
、上述の2次効果材としての9.5〜!3.0/65/
35の組成に選ばれている。その理由は、機器の使用環
境−20℃〜80℃で2次効果を示し、電気光学シャッ
ターとして使用できることにある。ところが、このPL
ZTの2次効果定数Rの温度特性は大きな負の値を有し
、常温以上の使用では駆動電圧の上昇を来し、駆動電力
の増大、電極間の放電等、使用上の問題がある。
一方、このPLZTを交流駆動する場合、駆動電圧■は
、その周波数が高くなるほど増大する。第7図中、曲線
(22) (23)及び(24)は、夫々直流駆動の
場合、500)1zの場合、5 kHzの場合の駆動電
圧−出力1/Io(Ioは入射光量、■は検出された光
量)を示す。
、その周波数が高くなるほど増大する。第7図中、曲線
(22) (23)及び(24)は、夫々直流駆動の
場合、500)1zの場合、5 kHzの場合の駆動電
圧−出力1/Io(Ioは入射光量、■は検出された光
量)を示す。
本発明者等は種々の実験考察を重ねた結果、この周波数
増大に伴う駆動電圧の増大は、PLZTの誘電損による
発熱にあることを究明した。この誘電損は、2πCV2
f tanδで与えられる。ここにδは損失角、■は駆
動電圧、fは駆動周波数、Cば電極間容量で、この誘電
損は周波数fが高くなるほど大となる。そしてこの発熱
により、PLZTセラミックス焼結体自体の温度が上昇
し、2次電気光学定数Rの温度特性から駆動電圧の上昇
をもたらすことになる。従って前述した単色受像管と電
気光学シャッターの組み合わせによるカラーテレビジョ
ン受像機、或いは第2図で説明した高輝度プロジェクタ
−におけるようにその駆動電圧が5 kHz以上にも及
ぶ駆動周波数によって駆動される場合PLZTの温度上
昇は駆動電力の増大等に大きく影響し問題となる。
増大に伴う駆動電圧の増大は、PLZTの誘電損による
発熱にあることを究明した。この誘電損は、2πCV2
f tanδで与えられる。ここにδは損失角、■は駆
動電圧、fは駆動周波数、Cば電極間容量で、この誘電
損は周波数fが高くなるほど大となる。そしてこの発熱
により、PLZTセラミックス焼結体自体の温度が上昇
し、2次電気光学定数Rの温度特性から駆動電圧の上昇
をもたらすことになる。従って前述した単色受像管と電
気光学シャッターの組み合わせによるカラーテレビジョ
ン受像機、或いは第2図で説明した高輝度プロジェクタ
−におけるようにその駆動電圧が5 kHz以上にも及
ぶ駆動周波数によって駆動される場合PLZTの温度上
昇は駆動電力の増大等に大きく影響し問題となる。
一方、PLZTの駆動電力Pは、
P = CFf + 2tt CV2f tanδ
・・・・・(1)であるので、 2] となる。ここにλは波長、dはPLZT素子の対向電極
間間隔、tはPLZT素子の厚さ、lは電極長のさ、n
は屈折率、Rは2次光学定数、8sはPLZTの比誘電
率である。(2)式におい”ζd、 7!、 λ、
fを一定とするとPLZTシャッターの低駆動電圧化、
低電力化には定数Rができるだけ大きいことが望まれる
ことになる。
・・・・・(1)であるので、 2] となる。ここにλは波長、dはPLZT素子の対向電極
間間隔、tはPLZT素子の厚さ、lは電極長のさ、n
は屈折率、Rは2次光学定数、8sはPLZTの比誘電
率である。(2)式におい”ζd、 7!、 λ、
fを一定とするとPLZTシャッターの低駆動電圧化、
低電力化には定数Rができるだけ大きいことが望まれる
ことになる。
発明の目的
本発明は上述したような交流駆動、特に高周波駆動によ
っても低電圧、低電力駆動を可能にしたまた信頼性の向
上を図ることができるようにしたPLZTによる電気光
学シャッターを提供するものである。
っても低電圧、低電力駆動を可能にしたまた信頼性の向
上を図ることができるようにしたPLZTによる電気光
学シャッターを提供するものである。
発明の概要
本発明においては、電気光学セラミックス焼結体に交流
電圧を印加する少くとも一対の電極よりなる電気光学シ
ャッターにおい°ζ、その電気光学セラミックス焼結体
、例えばPLZTセラミックス焼結体においてその常温
ではメモリー性を有し、交流電圧の印加により昇温され
た一定温度で実質的にメモリー性が失われる特性を示ず
PLZT焼結体を構成する。
電圧を印加する少くとも一対の電極よりなる電気光学シ
ャッターにおい°ζ、その電気光学セラミックス焼結体
、例えばPLZTセラミックス焼結体においてその常温
ではメモリー性を有し、交流電圧の印加により昇温され
た一定温度で実質的にメモリー性が失われる特性を示ず
PLZT焼結体を構成する。
また、本発明においては上述した特性を有するPLZT
セラミックス焼結体より電気光学シャッターを構成する
ものであるが、その焼結体を上述した一定温度に保持す
る加熱手段を具備せしめて電気光学シャッターを構成す
る。
セラミックス焼結体より電気光学シャッターを構成する
ものであるが、その焼結体を上述した一定温度に保持す
る加熱手段を具備せしめて電気光学シャッターを構成す
る。
すなわち、本発明においては、常温でメモリー性を有す
る組成のPLZTにおいて、これがメモリー性を呈する
臨界温度(以下これをメモリー化温度という)を超える
高い温度で2次効果材に移行し、これが電気光学シャッ
ターの機能を奏することができると共に、このメモリー
化温度近傍ではその電気光学定数Rが大きな値を示すも
のであることを見出し、これに基いて、この電気光学シ
ャッターを構成するPLZTを前述したように常温でメ
モリー性を呈する組成とし、その駆動状態では、これを
これ自体の駆動による昇温状態で、或いは加熱手段によ
って外部的に所定の昇温状態となしてメモリー性を呈し
ない実際上は消光比が1/10以下の2次効果材として
の特性状態でしかも高い電気光学定数Rを呈する状態で
、その駆動をなす。
る組成のPLZTにおいて、これがメモリー性を呈する
臨界温度(以下これをメモリー化温度という)を超える
高い温度で2次効果材に移行し、これが電気光学シャッ
ターの機能を奏することができると共に、このメモリー
化温度近傍ではその電気光学定数Rが大きな値を示すも
のであることを見出し、これに基いて、この電気光学シ
ャッターを構成するPLZTを前述したように常温でメ
モリー性を呈する組成とし、その駆動状態では、これを
これ自体の駆動による昇温状態で、或いは加熱手段によ
って外部的に所定の昇温状態となしてメモリー性を呈し
ない実際上は消光比が1/10以下の2次効果材として
の特性状態でしかも高い電気光学定数Rを呈する状態で
、その駆動をなす。
実施例
本発明による電気光学シャッターの実施例を説明するに
、先ず、その電気光学セラミックス焼結体の作成法につ
いて説明する。
、先ず、その電気光学セラミックス焼結体の作成法につ
いて説明する。
所要の組成のPLZTを得る原料を秤量し、ボールミル
で6Orpmの回転速度をもって15時間混合し、これ
を濾過し、140°で15時間の乾燥を行い、500k
g/adの圧力で仮プレスし、この仮プレスされた焼結
体を900℃で1時間の仮焼し、60rpmの回転速度
で、15時間のボールミルによる粉砕処理をなし、再び
濾過し、140℃で15時間の乾燥を行いIt/cJの
圧力をもって本プレスをし、02流量0.5A /分の
150℃、4時間200kg/ c−のポットプレスを
なす。このようにして得た焼結体をスライスし、両面研
摩し、鏡面に仕上げた。
で6Orpmの回転速度をもって15時間混合し、これ
を濾過し、140°で15時間の乾燥を行い、500k
g/adの圧力で仮プレスし、この仮プレスされた焼結
体を900℃で1時間の仮焼し、60rpmの回転速度
で、15時間のボールミルによる粉砕処理をなし、再び
濾過し、140℃で15時間の乾燥を行いIt/cJの
圧力をもって本プレスをし、02流量0.5A /分の
150℃、4時間200kg/ c−のポットプレスを
なす。このようにして得た焼結体をスライスし、両面研
摩し、鏡面に仕上げた。
このようにして得た板状のPLZT焼結体に電極を被着
形成する。その−例を第8図及び第9図に示す。この例
においては、表面電極法による場合で、PLZT焼結体
(6)の両主面(6a)及び(6b)に夫々対の櫛歯状
電極(4)及び(5)が互いにその櫛歯が交互に対向し
て平行配列するように被着形成される。そして、6対の
電極(4)及び(5)間に所要の駆動電圧を印加する。
形成する。その−例を第8図及び第9図に示す。この例
においては、表面電極法による場合で、PLZT焼結体
(6)の両主面(6a)及び(6b)に夫々対の櫛歯状
電極(4)及び(5)が互いにその櫛歯が交互に対向し
て平行配列するように被着形成される。そして、6対の
電極(4)及び(5)間に所要の駆動電圧を印加する。
この場合、両主面(6a)及び(6b)の互いに対応す
るすなわち互いに同極性側の電極(4)同士、電極(5
)同士が互いに対向するように配置する。これら電極(
4)及び(5)は、銀ペーストを用いた印刷法、或いは
Crを1000人の厚さに蒸着しミこれの上に^Uを4
000人の厚さに蒸着した金属蒸着によって形成し得る
。この表面電極法による場合は、平行電界を形成するた
めには各面(6a)及び(6b)のそれぞれにおける電
極(4)及び(5)間の間隔dを広げ、面(3a)及び
(3b)間の間隔、すなわち焼結体(3)の厚さtを小
さくすることが望まれる。
るすなわち互いに同極性側の電極(4)同士、電極(5
)同士が互いに対向するように配置する。これら電極(
4)及び(5)は、銀ペーストを用いた印刷法、或いは
Crを1000人の厚さに蒸着しミこれの上に^Uを4
000人の厚さに蒸着した金属蒸着によって形成し得る
。この表面電極法による場合は、平行電界を形成するた
めには各面(6a)及び(6b)のそれぞれにおける電
極(4)及び(5)間の間隔dを広げ、面(3a)及び
(3b)間の間隔、すなわち焼結体(3)の厚さtを小
さくすることが望まれる。
PLZTセラミックス焼結体(6)は、前述したように
常温においてはメモリー性を里する組成とする。
常温においてはメモリー性を里する組成とする。
今、PLZT焼結体(6)の組成x / 65/ 35
において、そのXの値を変えた各組成のメモリー化温度
を測定したところ、第10図中曲線(25)に示す結果
が得られた。すなわちtの6値において曲線(25)以
下の温度領域でメモリー性を示すが、曲線(25)を超
える領域で、2次効果が生じることが認められた。この
場合、駆動印加電圧は直流の場合である。
において、そのXの値を変えた各組成のメモリー化温度
を測定したところ、第10図中曲線(25)に示す結果
が得られた。すなわちtの6値において曲線(25)以
下の温度領域でメモリー性を示すが、曲線(25)を超
える領域で、2次効果が生じることが認められた。この
場合、駆動印加電圧は直流の場合である。
更に、このPLZTにおいて、その光学定数Rの温度特
性を、X/65/35のPLZTにおいて、そのx(7
)値を変えたものについて測定した結果を第11図に示
す。第11図において、(26)〜(33)は夫々X=
9. x=8.5 + x=8.2 、 x =8.
0 + x=7.7 +X =7.5 + x−7,3
+ x =6−8とした場合の定数Rの常温以上での温
度特性を示したもので、この場合、光源としてはHe−
Neレーザー(波長633nm )を用い、第1図で説
明した配置構成によって検光子よりの光量を測定したも
ので、この場合各曲線の左端の温度がメモリー化温度で
消光比が1/10より大なる値を示す場合をメモリー性
を呈するものとした。これより明らかなように定数Rは
メモリー化温度に向うほど大きな値を示す。
性を、X/65/35のPLZTにおいて、そのx(7
)値を変えたものについて測定した結果を第11図に示
す。第11図において、(26)〜(33)は夫々X=
9. x=8.5 + x=8.2 、 x =8.
0 + x=7.7 +X =7.5 + x−7,3
+ x =6−8とした場合の定数Rの常温以上での温
度特性を示したもので、この場合、光源としてはHe−
Neレーザー(波長633nm )を用い、第1図で説
明した配置構成によって検光子よりの光量を測定したも
ので、この場合各曲線の左端の温度がメモリー化温度で
消光比が1/10より大なる値を示す場合をメモリー性
を呈するものとした。これより明らかなように定数Rは
メモリー化温度に向うほど大きな値を示す。
また、同様にX / 65/ 35の組成のPLZTに
おいて同様にHe−Neレーザーを光源として用い、第
8図及び第9図で示した6対の櫛歯電極(4)及び(5
)間に5.25kHzの方形波による交流駆動を約1秒
間行ったときのPLZT焼結体(6)の温度に対する半
波長電圧V4を測定した結果は、第12図中に符号(3
4)〜(41)で示した点ないしは曲線である。ここに
点ないし曲線(34) 〜(41)は、夫々x=9.x
=8.5.x−8,0,x=7.7.x=7.5.x=
7.3゜x=7.0.x=6.8に選定した場合で、各
×印点から低い温度ではメモリー性を呈するすなわち消
光比が1/10を超えるものとなる。この場合、対とな
る櫛状電極(4)及び(5)の各櫛歯の連結部における
背部外端の距離L1が9.6mm 、各内端面の距離L
2が8.6mm 、各櫛歯先端間の長さL3が7.6m
m、一方の電極(4)の外側幅WAが7.6mm 、他
方の電極(5)の外側幅W8が6.6mmに選定された
場合で、更に電極T4) T51の間隔dを430μm
、櫛歯幅Wを120μm焼結体(6)の厚さtを30
0μmに選定した場合である。この第12図からその主
要なPLZT焼結体(6)における温度Tと半波長電圧
v4の値を表1に抽出して示す。
おいて同様にHe−Neレーザーを光源として用い、第
8図及び第9図で示した6対の櫛歯電極(4)及び(5
)間に5.25kHzの方形波による交流駆動を約1秒
間行ったときのPLZT焼結体(6)の温度に対する半
波長電圧V4を測定した結果は、第12図中に符号(3
4)〜(41)で示した点ないしは曲線である。ここに
点ないし曲線(34) 〜(41)は、夫々x=9.x
=8.5.x−8,0,x=7.7.x=7.5.x=
7.3゜x=7.0.x=6.8に選定した場合で、各
×印点から低い温度ではメモリー性を呈するすなわち消
光比が1/10を超えるものとなる。この場合、対とな
る櫛状電極(4)及び(5)の各櫛歯の連結部における
背部外端の距離L1が9.6mm 、各内端面の距離L
2が8.6mm 、各櫛歯先端間の長さL3が7.6m
m、一方の電極(4)の外側幅WAが7.6mm 、他
方の電極(5)の外側幅W8が6.6mmに選定された
場合で、更に電極T4) T51の間隔dを430μm
、櫛歯幅Wを120μm焼結体(6)の厚さtを30
0μmに選定した場合である。この第12図からその主
要なPLZT焼結体(6)における温度Tと半波長電圧
v4の値を表1に抽出して示す。
表 1
この結果から電気光シャッター使用状態でのPLZT温
度が決まれば半波長電圧Vjを最小にするPLZT最適
組成を決めることができる。例えばPLZT温度を80
℃とする場合、その最適組成は表1からX/ )’ /
z = 7.3/ 65/ 35であり、その駆動電
圧は135νでよいことがわかる。今、これをx/y/
z= 8.5/ 65/ 35の場合と比較すると、こ
の組成の場合は、その駆動電圧は395V必要となって
いる。
度が決まれば半波長電圧Vjを最小にするPLZT最適
組成を決めることができる。例えばPLZT温度を80
℃とする場合、その最適組成は表1からX/ )’ /
z = 7.3/ 65/ 35であり、その駆動電
圧は135νでよいことがわかる。今、これをx/y/
z= 8.5/ 65/ 35の場合と比較すると、こ
の組成の場合は、その駆動電圧は395V必要となって
いる。
すなわち、表1において試料Nolのものに比し、試料
No5を使用することにより、駆動電圧を1/3に減少
させることができ、また駆動電圧ではほぼ1/10に低
減化することができることがわかる。
No5を使用することにより、駆動電圧を1/3に減少
させることができ、また駆動電圧ではほぼ1/10に低
減化することができることがわかる。
尚、この場合、駆動電力は、駆動電圧の2乗に比例する
ものであるが、各組成によってその誘電率C8、誘電損
失各δが温度や駆動電圧によって相違してくるのでその
駆動電力は単純に駆動電圧の2乗としては考えることが
できないものである。
ものであるが、各組成によってその誘電率C8、誘電損
失各δが温度や駆動電圧によって相違してくるのでその
駆動電力は単純に駆動電圧の2乗としては考えることが
できないものである。
また、本発明においてはPLZT焼結体(6)の駆動時
の温度を環境温度によって影響されずに外部的に所定温
度に設定する加熱手段を設ける。すなわちPLZTにお
いては、 (イ) 使用環境温度が変動するとpt、zr1度が変
動する、 (ロ) 駆動電圧や駆動周波数を変えるとPLZT温度
が変わる、 (ハ) PLZTの組成が変わると半波長電圧vlが
変化し、駆動電圧も変化するためpLZri1度が変化
する、 ものであり、これら(イ)〜(ハ)によるPLZT温度
に変化が生じると、その2次電気光学定数Rが変動を来
してしまうので、これを回避するために、PLZT焼結
体(6)を、制御された加熱手段によ−って一定温度に
保持するものである。
の温度を環境温度によって影響されずに外部的に所定温
度に設定する加熱手段を設ける。すなわちPLZTにお
いては、 (イ) 使用環境温度が変動するとpt、zr1度が変
動する、 (ロ) 駆動電圧や駆動周波数を変えるとPLZT温度
が変わる、 (ハ) PLZTの組成が変わると半波長電圧vlが
変化し、駆動電圧も変化するためpLZri1度が変化
する、 ものであり、これら(イ)〜(ハ)によるPLZT温度
に変化が生じると、その2次電気光学定数Rが変動を来
してしまうので、これを回避するために、PLZT焼結
体(6)を、制御された加熱手段によ−って一定温度に
保持するものである。
今、25℃の使用環境温度で、表1に示した各組成の試
料1.2.3.4.5.6において各駆動電圧を、 1
50V 、 200Vとしたときの加熱手段によらな
い場合のPLZT温度を測定したところその結果は表2
に示す通りであった。
料1.2.3.4.5.6において各駆動電圧を、 1
50V 、 200Vとしたときの加熱手段によらな
い場合のPLZT温度を測定したところその結果は表2
に示す通りであった。
表 2
第12図及び表2を比較することにょワて常温(25℃
)に於ける使用環境での最適PLZT組成を求めると試
料No5の組成すなわち7.3/ 65/ 35となる
。すなわち、この7.3/ 65/ 35の組成の15
0V駆動のときの温度は86℃であり、86℃での半波
長電圧vlは150Vとなり表2及び第12図において
対応している。前、この例では使用環境を一定とした場
合であるが、実際の機器においては少くとも一10℃〜
40℃の環境変動を考慮しなくてはならないものであり
、この環境変動においては、実際上PLZT温度は86
℃−35℃=51℃から86℃+15℃= 101’
Cになると考えられる。PLZT組成7.3/85/3
5のメモリー化温度は80℃であるため環境温度−10
℃、pLzr温度51℃では、:(7) PLZTはメ
モリー性を呈し、これがため正雷なシャッター動作を示
さなくなる。また、環境温度40℃、PLZT温度10
1℃では第12図の直線(39)よりして駆動電圧は1
75V以上にする必要がある。このように駆動電圧が高
くなれば駆動によるPLZT温度も上昇するため駆動電
圧が更に高まる。この結果環境温度25℃での駆動電圧
150vに比して環境温度上昇で大きな駆動電力が必要
となる。このことから環境温度の変動によりPLZT温
度が変動し、その電気光学シャッター動作が不能となっ
たり駆動電圧が大きく変動することになる。そして、こ
のような環境温度の変動により駆動電圧が変動すること
から駆動回路における駆動電圧の温度補償の必要が生じ
てくる。
)に於ける使用環境での最適PLZT組成を求めると試
料No5の組成すなわち7.3/ 65/ 35となる
。すなわち、この7.3/ 65/ 35の組成の15
0V駆動のときの温度は86℃であり、86℃での半波
長電圧vlは150Vとなり表2及び第12図において
対応している。前、この例では使用環境を一定とした場
合であるが、実際の機器においては少くとも一10℃〜
40℃の環境変動を考慮しなくてはならないものであり
、この環境変動においては、実際上PLZT温度は86
℃−35℃=51℃から86℃+15℃= 101’
Cになると考えられる。PLZT組成7.3/85/3
5のメモリー化温度は80℃であるため環境温度−10
℃、pLzr温度51℃では、:(7) PLZTはメ
モリー性を呈し、これがため正雷なシャッター動作を示
さなくなる。また、環境温度40℃、PLZT温度10
1℃では第12図の直線(39)よりして駆動電圧は1
75V以上にする必要がある。このように駆動電圧が高
くなれば駆動によるPLZT温度も上昇するため駆動電
圧が更に高まる。この結果環境温度25℃での駆動電圧
150vに比して環境温度上昇で大きな駆動電力が必要
となる。このことから環境温度の変動によりPLZT温
度が変動し、その電気光学シャッター動作が不能となっ
たり駆動電圧が大きく変動することになる。そして、こ
のような環境温度の変動により駆動電圧が変動すること
から駆動回路における駆動電圧の温度補償の必要が生じ
てくる。
このような環境温度の影響は、前述した外部加熱手段の
配設によって回避することができる。すなわちPLZT
焼結体(6)の外部にこれを一定温度に保持する加熱手
段を設けるものであり、この外部加熱手段としては加熱
体と、PLZT焼結体(6)の温度を検出して加熱体を
制御してPLZT焼結体(6)を常時所定温度に保持す
る温度センサーをPLZT焼結体(6)に接して著しく
近接して配置することによって構成し得るものである。
配設によって回避することができる。すなわちPLZT
焼結体(6)の外部にこれを一定温度に保持する加熱手
段を設けるものであり、この外部加熱手段としては加熱
体と、PLZT焼結体(6)の温度を検出して加熱体を
制御してPLZT焼結体(6)を常時所定温度に保持す
る温度センサーをPLZT焼結体(6)に接して著しく
近接して配置することによって構成し得るものである。
その−例としては例えば第13図に示すようにガラス基
板等の透明基板(50)をPLZT焼結体(6)の一方
の面に接着剤等によって接合しこの基板(50)上に透
明抵抗体層、例えばS n02を被着する。例えば8
X 7 X O,3n+mの板ガラス(50)の−面に
25Ω/口の透明抵抗体層によるヒーター(5I)を被
着し、その両端に良導電性端子(52)及び(53)を
被着し、これら良導電性端子(52)及び(b3)間に
通電を行う一方、焼結体(6)に接してサーミスタ等の
温度検出素子(54)を配し、これによって検出された
温度検出信号によってヒーター(51)の電源回路を制
御して焼結体(6)が一定の温度、すなわちメモリー化
温度より高い例えば120℃に保持する。今、この゛P
LZT焼結体(6)の組成が、7.0/ 65/ 35
とする場合、その駆動電圧は120℃において第12図
の曲線(40)からみて180vとなる。因みにこの外
部加熱なしの状態で180v駆動した際は、そのPi、
ZT湿温度25℃環境で105℃であった。ところが上
述の加熱手段を具備させたものにおいては、その環境温
度が例えば−10℃〜40℃の範囲で変化した場合、P
LZT焼結体(6)を例えば上述した120℃に保持す
るためのヒーター電力が増減するのみで、PLZT温度
は一定にされるので、駆動電圧は一定となり、この場合
のPLZTの駆動は1.5Wとなった。そして、この場
合、ヒーター電力は0℃環境で0.5Wを有し、40℃
環境ではOWであった。因みに温度制御のない条件テア
、3/ 65/ 35(7)組成(7) PLZT焼結
体(6)ニおイテハ、25℃環境でのPLZT”M動電
力は1.5Wを要し、40℃環境では2.3誓Wを要し
た。面、8.5/ 65/ 35組成のPLZTを用い
た場合、25℃環境で10.6W必要であった。
板等の透明基板(50)をPLZT焼結体(6)の一方
の面に接着剤等によって接合しこの基板(50)上に透
明抵抗体層、例えばS n02を被着する。例えば8
X 7 X O,3n+mの板ガラス(50)の−面に
25Ω/口の透明抵抗体層によるヒーター(5I)を被
着し、その両端に良導電性端子(52)及び(53)を
被着し、これら良導電性端子(52)及び(b3)間に
通電を行う一方、焼結体(6)に接してサーミスタ等の
温度検出素子(54)を配し、これによって検出された
温度検出信号によってヒーター(51)の電源回路を制
御して焼結体(6)が一定の温度、すなわちメモリー化
温度より高い例えば120℃に保持する。今、この゛P
LZT焼結体(6)の組成が、7.0/ 65/ 35
とする場合、その駆動電圧は120℃において第12図
の曲線(40)からみて180vとなる。因みにこの外
部加熱なしの状態で180v駆動した際は、そのPi、
ZT湿温度25℃環境で105℃であった。ところが上
述の加熱手段を具備させたものにおいては、その環境温
度が例えば−10℃〜40℃の範囲で変化した場合、P
LZT焼結体(6)を例えば上述した120℃に保持す
るためのヒーター電力が増減するのみで、PLZT温度
は一定にされるので、駆動電圧は一定となり、この場合
のPLZTの駆動は1.5Wとなった。そして、この場
合、ヒーター電力は0℃環境で0.5Wを有し、40℃
環境ではOWであった。因みに温度制御のない条件テア
、3/ 65/ 35(7)組成(7) PLZT焼結
体(6)ニおイテハ、25℃環境でのPLZT”M動電
力は1.5Wを要し、40℃環境では2.3誓Wを要し
た。面、8.5/ 65/ 35組成のPLZTを用い
た場合、25℃環境で10.6W必要であった。
尚、J−述のヒーター加熱法による場合常温から電気光
学シャッターとしての動作時までの時間は初期投入のヒ
ーター電力2.5Wにおいて5秒であった。
学シャッターとしての動作時までの時間は初期投入のヒ
ーター電力2.5Wにおいて5秒であった。
発明の効果
上述したように本発明による電気光学シャッターによれ
ば、常温でメモリー性を呈し、電気光学シャック−駆動
を行う温度で2次効果を呈する特性のPLZT焼結体を
用いたごとによって駆動電圧の低電圧化、従って低電圧
駆動を可能にすることができる。更にそのPLZT温度
を外部加熱手段を設けてその温度を一定とすることによ
ってこの電気光学シャック−の使用環境に依存すること
なく PLZT温度を一定に保持するときは、駆動電圧
の一定化、更にシャッタースタート時の立ち上がり時間
を短縮することができ、更にシャック−の全消費電力を
相対的に低減化することができる。そしてこのようにP
LZTシャッターの駆動電圧の低減化をはかったことに
よってPLZTシャッターの電極間放電に関する信頼性
向上、更にPLZTシャッター駆動回路自体の電力低減
化、信頼性向上、価格の低減化を図ることができ、更に
PLZT焼結体が発生ずる雑音レベルの低減化、PLZ
T自体の長期信頼性の向上環を招来し、更にこの電力低
減化によって電源としてバッテリーの使用が可能となり
、これによって各種携帯用機器における光シヤツターの
応用化が大きく広がるという利益を有する。
ば、常温でメモリー性を呈し、電気光学シャック−駆動
を行う温度で2次効果を呈する特性のPLZT焼結体を
用いたごとによって駆動電圧の低電圧化、従って低電圧
駆動を可能にすることができる。更にそのPLZT温度
を外部加熱手段を設けてその温度を一定とすることによ
ってこの電気光学シャック−の使用環境に依存すること
なく PLZT温度を一定に保持するときは、駆動電圧
の一定化、更にシャッタースタート時の立ち上がり時間
を短縮することができ、更にシャック−の全消費電力を
相対的に低減化することができる。そしてこのようにP
LZTシャッターの駆動電圧の低減化をはかったことに
よってPLZTシャッターの電極間放電に関する信頼性
向上、更にPLZTシャッター駆動回路自体の電力低減
化、信頼性向上、価格の低減化を図ることができ、更に
PLZT焼結体が発生ずる雑音レベルの低減化、PLZ
T自体の長期信頼性の向上環を招来し、更にこの電力低
減化によって電源としてバッテリーの使用が可能となり
、これによって各種携帯用機器における光シヤツターの
応用化が大きく広がるという利益を有する。
第1図は電気光学シャッターの構成図、第2図は電気光
学シャッターを用いたプロジェクタの一例の構成図、第
3図ないし第7図は夫々PLZTの各特性図、第8図は
本発明による電気光学シャッターの一例の路線的平面図
、第9図は第8図A−A線上の断面図、第10図はPL
ZT組成とメモリー化温度との関係をボず図、第11図
はPLZTの2次電気光学定数1ンの温度依存性の測定
曲線図、第12図は半波長電圧の温度依存性の測定結果
を示す曲線図、第13図は本発明による電気光学シャッ
ク−の−例の要部の構成図である。 (3)はPLZT焼結体、(4)及び(5)は対の電極
、(51)は外部加熱手段の加熱抵抗体である。 3kltC’e> 第12図 !A<”C)
学シャッターを用いたプロジェクタの一例の構成図、第
3図ないし第7図は夫々PLZTの各特性図、第8図は
本発明による電気光学シャッターの一例の路線的平面図
、第9図は第8図A−A線上の断面図、第10図はPL
ZT組成とメモリー化温度との関係をボず図、第11図
はPLZTの2次電気光学定数1ンの温度依存性の測定
曲線図、第12図は半波長電圧の温度依存性の測定結果
を示す曲線図、第13図は本発明による電気光学シャッ
ク−の−例の要部の構成図である。 (3)はPLZT焼結体、(4)及び(5)は対の電極
、(51)は外部加熱手段の加熱抵抗体である。 3kltC’e> 第12図 !A<”C)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、電気光学セラミックス焼結体に交流電圧を印加する
少くとも一対の電極よりなる電気光学シャッターにおい
て、上記焼結体は常温ではメモリー性を有し、交流電圧
の印加により昇温された一定温度で実質的にメモリー性
を有しない特性を示すPLZTよりなることを特徴とす
る電気光学シャッター。 26 常温ではメモリー性を有瞳昇温された一定温度
で実質的にメモリー性を有しない特性を示すPLZTセ
ラミックス焼結体よりなり、該焼結体に交流電圧を印加
する少くとも一対の電極が設けられ、該焼結体を上記昇
温された一定温度に保持する加熱手段が設けられてなる
電気光学シャッター。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58004513A JPS59128514A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 電気光学シヤツタ− |
| CA000444466A CA1214534A (en) | 1983-01-14 | 1983-12-30 | Electro-optic light shutter |
| US06/568,040 US4621903A (en) | 1983-01-14 | 1984-01-04 | Electro-optic light shutter |
| DE8484300191T DE3483431D1 (de) | 1983-01-14 | 1984-01-12 | Elektrooptische lichtschalter. |
| EP84300191A EP0117604B1 (en) | 1983-01-14 | 1984-01-12 | Electro-optical light shutters |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58004513A JPS59128514A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 電気光学シヤツタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59128514A true JPS59128514A (ja) | 1984-07-24 |
Family
ID=11586131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58004513A Pending JPS59128514A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 電気光学シヤツタ− |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4621903A (ja) |
| EP (1) | EP0117604B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59128514A (ja) |
| CA (1) | CA1214534A (ja) |
| DE (1) | DE3483431D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6442636A (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-14 | Minolta Camera Kk | Driving method for optical shutter |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4915481A (en) * | 1988-08-25 | 1990-04-10 | Sperry Marine Inc. | Apparatus for preventing space charge buildup effects in electrically controllable optical transmission cells |
| DE3937736A1 (de) * | 1989-11-13 | 1991-05-16 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Elektrooptische schreibeinrichtung |
| US5621559A (en) * | 1994-04-18 | 1997-04-15 | California Institute Of Technology | Ferroelectric optical computing device with low optical power non-destructive read-out |
| DE102009028228A1 (de) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Ball Packaging Europe Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbearbeitung mit einer Prüfstation |
| KR20120060483A (ko) * | 2010-12-02 | 2012-06-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 자외선-오존을 이용한 오염물 세정장치 및 이를 이용한 세정방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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