JPS59128529A - カラ−フイルム転写装置 - Google Patents
カラ−フイルム転写装置Info
- Publication number
- JPS59128529A JPS59128529A JP58004335A JP433583A JPS59128529A JP S59128529 A JPS59128529 A JP S59128529A JP 58004335 A JP58004335 A JP 58004335A JP 433583 A JP433583 A JP 433583A JP S59128529 A JPS59128529 A JP S59128529A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color film
- face
- irradiation
- film
- beltlike
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 7
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/04—Copying apparatus without a relative movement between the original and the light source during exposure, e.g. printing frame or printing box
- G03B27/08—Copying apparatus without a relative movement between the original and the light source during exposure, e.g. printing frame or printing box for automatic copying of several originals one after the other, e.g. for copying cinematograph film
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラーフィルム転写装置に関する。
半導体集積回路の製造においては製造前に各工程の配置
配線の設計確認をチップ実寸の何倍かの拡大カラーフィ
ルムを用いて実施する。この拡大カラーフィルムの製作
法としては一般的に拡大カメラを利用して作製した拡大
撮影白黒フィルムまたはプロッターを利用して作製した
拡大プロット図を原版としてカラーフィルム上に重ね、
その上から光照射を行ない現像処理を施しパターンの像
を得るといった写真技法を用いる。
配線の設計確認をチップ実寸の何倍かの拡大カラーフィ
ルムを用いて実施する。この拡大カラーフィルムの製作
法としては一般的に拡大カメラを利用して作製した拡大
撮影白黒フィルムまたはプロッターを利用して作製した
拡大プロット図を原版としてカラーフィルム上に重ね、
その上から光照射を行ない現像処理を施しパターンの像
を得るといった写真技法を用いる。
この製法において原版像を密着方式でカラーフィルム上
に転写するために用いられる装置がカラーフィルム転写
装置であり、この装置は原版とカラーフィルムとを重ね
て載せる平担で大きなテーブルと原版側からカラーフィ
ルムに光を照射する大きな光源とから成る。
に転写するために用いられる装置がカラーフィルム転写
装置であり、この装置は原版とカラーフィルムとを重ね
て載せる平担で大きなテーブルと原版側からカラーフィ
ルムに光を照射する大きな光源とから成る。
しかし、このような構造の転写装置では次のような不都
合を生じる。
合を生じる。
−（１） テーブルの大きさ及び光源の照射範囲が有
限であるため原版の大きさが少しでもそれらを越えると
何枚かに分割して露光する必要がある。従って出来上り
の拡大カラーフィルムも分割され′、検証の際、張シ合
せて一枚のカラーフィルムを作る手間が必要となる。
限であるため原版の大きさが少しでもそれらを越えると
何枚かに分割して露光する必要がある。従って出来上り
の拡大カラーフィルムも分割され′、検証の際、張シ合
せて一枚のカラーフィルムを作る手間が必要となる。
（２ン テーブルの大きさが巨大でちゃ、装置の設備
占有面積が太きい。
占有面積が太きい。
本発明の目的は従来の転写装置のもつ、これら不都合点
を考慮し設備占有面積が少なく原版の分割が少なくて済
むようなカラーフィルム転写装置を提供することにある
。
を考慮し設備占有面積が少なく原版の分割が少なくて済
むようなカラーフィルム転写装置を提供することにある
。
本発明の特徴は、半導体集積回路の配置・配線検証用拡
大カラーフィルムの製作に使用されるカラーフィルム転
写装置において、カラーフ４ルム露光用照射体の照射面
が帯状であＬかつカラーフィルムが露光面を照射面と一
定間隔を保つｆＣまま一定速度で通過するようなフイル
ムドライフ゛機構を有するカラーフィルム転写装置にあ
る。
大カラーフィルムの製作に使用されるカラーフィルム転
写装置において、カラーフ４ルム露光用照射体の照射面
が帯状であＬかつカラーフィルムが露光面を照射面と一
定間隔を保つｆＣまま一定速度で通過するようなフイル
ムドライフ゛機構を有するカラーフィルム転写装置にあ
る。
以下に本発明実施例を図面を用いて詳細に説明する。第
１図に本発明の実施例を示す。原版２とカラーフィルム
１は重ねてカラーフィルムドライブ用ローラー３に送り
込まれ一定速度で搬送される。二対のカラーフィルムド
ライブ用ローラー３の中間には光の照射面５を上に向け
た帯状照射体４が設置されており照射面５とは一定間隔
を保ちながら原版２を介してカラーフィルム１に光を照
射する。照射面５の上を一定速度で通過したカラーフィ
ルムｌは適当な光照射を受けてカラーフィルムドライブ
用ローラー３により原版２と一緒に順次転写装置の外に
搬送され原版の転写が完了する。本装飯において使用さ
れるカラーフィルムドライブ用ローラ−３０回転速度は
可変でありカラーフィルム１の感度に応じてフィルム搬
送速度が任意設定可能な構造となっている。帯状照射体
４は第２図に示すよう光ファイバー８を千鳥状に並べた
ものをファイバー支持体９で固めたもので帯状の平担な
照射面５を形成する。光源７は発生熱の冷却が容易なよ
うに帯状照射体４とは離して設備し１光源７から放たれ
た元は光フアイバー束６を通して照射面５に送られる構
造となっている。
１図に本発明の実施例を示す。原版２とカラーフィルム
１は重ねてカラーフィルムドライブ用ローラー３に送り
込まれ一定速度で搬送される。二対のカラーフィルムド
ライブ用ローラー３の中間には光の照射面５を上に向け
た帯状照射体４が設置されており照射面５とは一定間隔
を保ちながら原版２を介してカラーフィルム１に光を照
射する。照射面５の上を一定速度で通過したカラーフィ
ルムｌは適当な光照射を受けてカラーフィルムドライブ
用ローラー３により原版２と一緒に順次転写装置の外に
搬送され原版の転写が完了する。本装飯において使用さ
れるカラーフィルムドライブ用ローラ−３０回転速度は
可変でありカラーフィルム１の感度に応じてフィルム搬
送速度が任意設定可能な構造となっている。帯状照射体
４は第２図に示すよう光ファイバー８を千鳥状に並べた
ものをファイバー支持体９で固めたもので帯状の平担な
照射面５を形成する。光源７は発生熱の冷却が容易なよ
うに帯状照射体４とは離して設備し１光源７から放たれ
た元は光フアイバー束６を通して照射面５に送られる構
造となっている。
また本実施例において帯状照射体は光ファイバーを千鳥
状に並べたものを用いたが、かわりに細長い放′亀管を
用いても良い。
状に並べたものを用いたが、かわりに細長い放′亀管を
用いても良い。
このように本発明によるカラーフィルム転写装置は、大
きな転写用テーブルが不安で設備占有面積が小さく、カ
ラーフィルムの搬送方向に対しては長さが無制限であり
１分割無しの拡大カラーフィルムが製作可能である。ま
た、ドライフ゛用ローラの長さ方向は有限であるが、こ
の長さは実用域に合わせて設定し、仮に長いローラーｉ
ｘ必蒙な場合でも装置自身は一次元的に大きくなるだけ
であり、従来の装置のように二次元的に大きくなること
はない。
きな転写用テーブルが不安で設備占有面積が小さく、カ
ラーフィルムの搬送方向に対しては長さが無制限であり
１分割無しの拡大カラーフィルムが製作可能である。ま
た、ドライフ゛用ローラの長さ方向は有限であるが、こ
の長さは実用域に合わせて設定し、仮に長いローラーｉ
ｘ必蒙な場合でも装置自身は一次元的に大きくなるだけ
であり、従来の装置のように二次元的に大きくなること
はない。
以上述べてきたように本発明によるカラーフィルム転写
装置は設備の占有面積を大巾に減少し、かつ拡大カラー
フィルムの分割を減じ、その効用は太きい。
装置は設備の占有面積を大巾に減少し、かつ拡大カラー
フィルムの分割を減じ、その効用は太きい。
第１図は本発明の実施例の装置の部分断面図。
第２図は帯状照射体の照射面を示す。
なお図において、１・・・・・・原版、２・・・・・・
カラーフィルム、３・・・・・カラーフィルムドライブ
用ローラー、４・・・・・・帯状照射体、５・・・・・
・照射面、６・・・・・・光フアイバー束、７・・・・
・・光源、８・・・・・・光ファイツク−５９・・・・
・・ファイバー支持体、である。 第 Ｉ 関
カラーフィルム、３・・・・・カラーフィルムドライブ
用ローラー、４・・・・・・帯状照射体、５・・・・・
・照射面、６・・・・・・光フアイバー束、７・・・・
・・光源、８・・・・・・光ファイツク−５９・・・・
・・ファイバー支持体、である。 第 Ｉ 関
Claims (1)
- 半導体集積回路の配置・配線検証用拡大カラーフィルム
の製作に使用されるカラーフィルム転写装置において、
カラーフィルム露光用照射体の照射面が帯状であり、か
つ力２−フィルムが露光面を照射面と一定間隔を保った
まま一定速度で通過するようなフィルムドライブ機構を
有したことを特徴とするカラーフィルム転写装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58004335A JPS59128529A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | カラ−フイルム転写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58004335A JPS59128529A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | カラ−フイルム転写装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59128529A true JPS59128529A (ja) | 1984-07-24 |
Family
ID=11581571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58004335A Pending JPS59128529A (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | カラ−フイルム転写装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59128529A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0223358A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 写真製版工程における密着重ね焼き方法及び装置 |
-
1983
- 1983-01-14 JP JP58004335A patent/JPS59128529A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0223358A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 写真製版工程における密着重ね焼き方法及び装置 |
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