JPS59143634U - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS59143634U JPS59143634U JP3608283U JP3608283U JPS59143634U JP S59143634 U JPS59143634 U JP S59143634U JP 3608283 U JP3608283 U JP 3608283U JP 3608283 U JP3608283 U JP 3608283U JP S59143634 U JPS59143634 U JP S59143634U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- stage
- gap
- pair
- axis near
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のＸＹステージを示す平面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ矢視断面概略図、第３図はこの考案に係る
ＸＹステージの一実施例を示す平面概略図、第４図は第
３図のＢ−Ｂ矢視断面概略図である。 １・・・・・・ベース、２Ｘ・・・・・・Ｘ軸すニアモ
ータ、２Ｙ・・・・・・Ｙ軸すニアモータ、３ｘ、
３ｙ・・・・・・連結部材、５・・・・・・ステージ、
８・・・・・・転動輪、２１・・曲スライダ、２２．２
３・・・・・・レール、２４・・曲永久磁石、３２・・
・・・・空気噴出孔、３３・・・・・・連通孔、３４・
・・・・・チューブ、ａ、ｂ・・・・・・間隙。
１図のＡ−Ａ矢視断面概略図、第３図はこの考案に係る
ＸＹステージの一実施例を示す平面概略図、第４図は第
３図のＢ−Ｂ矢視断面概略図である。 １・・・・・・ベース、２Ｘ・・・・・・Ｘ軸すニアモ
ータ、２Ｙ・・・・・・Ｙ軸すニアモータ、３ｘ、
３ｙ・・・・・・連結部材、５・・・・・・ステージ、
８・・・・・・転動輪、２１・・曲スライダ、２２．２
３・・・・・・レール、２４・・曲永久磁石、３２・・
・・・・空気噴出孔、３３・・・・・・連通孔、３４・
・・・・・チューブ、ａ、ｂ・・・・・・間隙。
Claims (2)
- （１） 両端が支持され対向面に磁石が配設される一
対のレール、この一対のレールの一方に所定間隙をもっ
て巻回装着されるコイルを含み該レールに沿い走行自在
なスライダで構成され、ベース上に対向配置される一対
のＸ軸すニアモータおよびＹ軸すニアモータと、上記一
対のＸ軸すニアモータおよびＹ軸すニアモータの上記ス
ライダをそれぞれ連結し、この連結端部が上記ベース上
を滑動する転動輪で支持される２本の連結部材と、上記
２本の連結部材の交点に配設されるステージとを備える
ＸＹステージにおいて、上記２本の連結部材の両端面に
固定され上記スライダの走行方向両側面を含む周囲を所
定の間隙をもって囲む枠体と、上記スライダの走行方向
両側面と上記枠体間の上記間隙およびこの間隙を介して
スライダと上記レール間の上記間隙に空気を圧送する空
気圧送機構とを設け、上記２本の連結部材は静圧空気継
手構造でもって上記スライダに連結され、か−フ上記ス
ライダ１よ静圧空気軸受構造でもって上記レールに支持
されていることを特徴とするＸＹステージ。 - （２）上記空気圧送機構は、上記枠体または上記スライ
ダの何れか一方に設けられた空気噴出孔で形成されてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3608283U JPS59143634U (ja) | 1983-03-12 | 1983-03-12 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3608283U JPS59143634U (ja) | 1983-03-12 | 1983-03-12 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59143634U true JPS59143634U (ja) | 1984-09-26 |
Family
ID=30166759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3608283U Pending JPS59143634U (ja) | 1983-03-12 | 1983-03-12 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59143634U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112216A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Hitachi Ltd | 非接触駆動形平面移動台 |
-
1983
- 1983-03-12 JP JP3608283U patent/JPS59143634U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112216A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Hitachi Ltd | 非接触駆動形平面移動台 |
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