JPS59146015A - 光路分割装置 - Google Patents
光路分割装置Info
- Publication number
- JPS59146015A JPS59146015A JP58020022A JP2002283A JPS59146015A JP S59146015 A JPS59146015 A JP S59146015A JP 58020022 A JP58020022 A JP 58020022A JP 2002283 A JP2002283 A JP 2002283A JP S59146015 A JPS59146015 A JP S59146015A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- transparent substrate
- reflective layer
- optical path
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/144—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using partially transparent surfaces without spectral selectivity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レ ザー尤を利用しだｊ４１’ ｌ１ｌｊ１
等に於い−て用いらｉｔ、一つのビーム苓−平行な２経
路のビーｌ、に分割」゛る光路分割装置に関するもので
ある。
等に於い−て用いらｉｔ、一つのビーム苓−平行な２経
路のビーｌ、に分割」゛る光路分割装置に関するもので
ある。
従来例１の構成とその問題点
従来この種の装置は、第１図に示すように構成さｈてい
た。第１図において、入射光１は、Ｊ冷力の面に反射防
止膜２を形成しであるビームスプリッタ−３の表向で反
射光１１と透過光１２に分割される。透過光１２は、反
射時１１〜膜１２を透過し７た徨、 史に進行し
ビームスシリツタ−３と平行に配置さＪ′ｌた反射体４
の表面で反射さｉｔて、第１の反射光１１と平行な第２
の没年１毘１３を形成するように構成されるものてあっ
／こか、ビームスシリツタ−３と反射体４の・１行度及
び距離等の調整には、高い精度が要求さｉすると共に、
変動さぜない様に頑強な装置が必要とされる。又、特に
使１’ｌ目゛るビームが赤外光のような内接肉眼で確認
Ｔ−きない場合にト・いては、反射光１１．１３の”Ｐ
１ｊ度調整（・」困難をきわめるという欠点かぁ−・／
へ１゜発明の目的 本発明はＦ−記従来の欠点を解消するもので、ビーノ・
の平行１Ｂ−調整の作業が省略でき、構浩の丘ｉ′ｉ申
な光路分割装置を提供することる−［］的とする０、発
明の構成 本発明は卜記目的を達成するもので互いに＼１雪イな第
１及び第２の主面を有する透明基板と、前記透明基板の
第１の主面」−に設けられ／で一全反射層と、第２の主
面上に設けられた反射防止層と、前記反射層１１４層表
面の一部に設けられた反射層とを具ＩＭｊＬ２、前記反
射層に入射光を照射して反射光と透過光に分割し一１Ｍ
ｆＪ記透過光を全反射層で反射させ反射層１に層を透過
し２て出射させるようにし、プこ−ことを特徴とする光
分割装置を提供するものである。
た。第１図において、入射光１は、Ｊ冷力の面に反射防
止膜２を形成しであるビームスプリッタ−３の表向で反
射光１１と透過光１２に分割される。透過光１２は、反
射時１１〜膜１２を透過し７た徨、 史に進行し
ビームスシリツタ−３と平行に配置さＪ′ｌた反射体４
の表面で反射さｉｔて、第１の反射光１１と平行な第２
の没年１毘１３を形成するように構成されるものてあっ
／こか、ビームスシリツタ−３と反射体４の・１行度及
び距離等の調整には、高い精度が要求さｉすると共に、
変動さぜない様に頑強な装置が必要とされる。又、特に
使１’ｌ目゛るビームが赤外光のような内接肉眼で確認
Ｔ−きない場合にト・いては、反射光１１．１３の”Ｐ
１ｊ度調整（・」困難をきわめるという欠点かぁ−・／
へ１゜発明の目的 本発明はＦ−記従来の欠点を解消するもので、ビーノ・
の平行１Ｂ−調整の作業が省略でき、構浩の丘ｉ′ｉ申
な光路分割装置を提供することる−［］的とする０、発
明の構成 本発明は卜記目的を達成するもので互いに＼１雪イな第
１及び第２の主面を有する透明基板と、前記透明基板の
第１の主面」−に設けられ／で一全反射層と、第２の主
面上に設けられた反射防止層と、前記反射層１１４層表
面の一部に設けられた反射層とを具ＩＭｊＬ２、前記反
射層に入射光を照射して反射光と透過光に分割し一１Ｍ
ｆＪ記透過光を全反射層で反射させ反射層１に層を透過
し２て出射させるようにし、プこ−ことを特徴とする光
分割装置を提供するものである。
実施例の説明
第２図ｉｌ！２、本発明の−・実施例の構成を示す断面
図である。第２図において、両面が炬行な透明基板５の
片方の面に反射防止０層６が形成さね、その反射層１−
１−、層６の入射光１側の一部に透明基板５と同−月料
かあるいは、同程度の屈折率を有する反射刷子が形成さ
れている。寸だ透明基板５の他の而には全反射層８が形
成されている。入射するレーザー光１は、反射層７の表
面で第１の反射光１１と透過光１２に光路を分割される
。透過光１２は、反射層７に入射時２反射層［ト一層６
に入射萌、透明基板に入射時ぞれぞＪ１スネルの法ＦＩ
ＩＪを満足する１ｉ１）近作用を受は進行し、透明基板
５と全反射層８（１）界面にて反射され、透明基板６と
反射防止層６（７）界面１反射層重層６を通過する際に
その屈折率に対応して屈′Ｊｆ？され第２の反射光１３
となる６、この第２の反射、ｌｆ、１３の受ける屈折作
用は、その光路内で杓消し２合って第１の反射光１１と
甲？イなビームとなるものである６、 前記実施例において入射）イ〕１が１０．６７１ｍ
のレーザー光の１昌合には、透明基板５とし、てはＫＣ
ｄ。
図である。第２図において、両面が炬行な透明基板５の
片方の面に反射防止０層６が形成さね、その反射層１−
１−、層６の入射光１側の一部に透明基板５と同−月料
かあるいは、同程度の屈折率を有する反射刷子が形成さ
れている。寸だ透明基板５の他の而には全反射層８が形
成されている。入射するレーザー光１は、反射層７の表
面で第１の反射光１１と透過光１２に光路を分割される
。透過光１２は、反射層７に入射時２反射層［ト一層６
に入射萌、透明基板に入射時ぞれぞＪ１スネルの法ＦＩ
ＩＪを満足する１ｉ１）近作用を受は進行し、透明基板
５と全反射層８（１）界面にて反射され、透明基板６と
反射防止層６（７）界面１反射層重層６を通過する際に
その屈折率に対応して屈′Ｊｆ？され第２の反射光１３
となる６、この第２の反射、ｌｆ、１３の受ける屈折作
用は、その光路内で杓消し２合って第１の反射光１１と
甲？イなビームとなるものである６、 前記実施例において入射）イ〕１が１０．６７１ｍ
のレーザー光の１昌合には、透明基板５とし、てはＫＣ
ｄ。
Ｚｎ５ｅ、ＧａＡｓ、Ｇｅ’９が用いられ、全反射層８
としては金、銀、銅等の金属１摸寸／こＣ１，中層若し
くＣ１、多層誘電体等が用いらｉＩる。また反射層１ヒ
層６としては単層−または多層の誘電体膜が用いられ、
／（とえば透明基板５かＺｎ５ｅの場合、ＰｂＦ２層。
としては金、銀、銅等の金属１摸寸／こＣ１，中層若し
くＣ１、多層誘電体等が用いらｉＩる。また反射層１ヒ
層６としては単層−または多層の誘電体膜が用いられ、
／（とえば透明基板５かＺｎ５ｅの場合、ＰｂＦ２層。
Ｚｎ５ｅ／ＢａＦ２．Ｚｎ５ｅ／ＴｈＦｅ等の二層構造
、Ａｓ２Ｓｅ３／ＰｂＦ２／Ａｓ２Ｓｅ３等の二層構造
等が用いられる３、 さらに反射層１１− Ｂ！４６表１ｈ１の一部を葎−２
て設シＪらｆ７る反ｆ（１層７に上透明基板６と同一物
質か斗、たけ透明基板５と略同−の屈折率を有する物ａ
、てあ′ｉ１ば良い。
、Ａｓ２Ｓｅ３／ＰｂＦ２／Ａｓ２Ｓｅ３等の二層構造
等が用いられる３、 さらに反射層１１− Ｂ！４６表１ｈ１の一部を葎−２
て設シＪらｆ７る反ｆ（１層７に上透明基板６と同一物
質か斗、たけ透明基板５と略同−の屈折率を有する物ａ
、てあ′ｉ１ば良い。
なおイ・発明は入射光の波長とは関係なく適用できるこ
とはもちろんである。
とはもちろんである。
発明の効果
以上のように本発明は両面が平行な一つの透明基板と、
その片方の面に全反射層を、他の而に反射防止０層を、
史に反射防止層上の一部に基板と同一（」刺か、あるい
は屈折率が同一なる物質からなる反射層を形成して一つ
のビームを平行な２経路のビームに容易に分割できるよ
うにしたもので、ぞＪｌそれのビーノ、の圭行度調整か
不要となり、測定系の組立等に於ける省力化が期待さ１
１、さらに構造が簡単で実用的価値の高いものである。
その片方の面に全反射層を、他の而に反射防止０層を、
史に反射防止層上の一部に基板と同一（」刺か、あるい
は屈折率が同一なる物質からなる反射層を形成して一つ
のビームを平行な２経路のビームに容易に分割できるよ
うにしたもので、ぞＪｌそれのビーノ、の圭行度調整か
不要となり、測定系の組立等に於ける省力化が期待さ１
１、さらに構造が簡単で実用的価値の高いものである。
第１図は従来の光路分割装置の断面図、第２図は本発明
の一実施例である光路分割装置の断面図である １・・・・・・入射光、６・・・・・・透明基板、６・
・・・・・反射層１Ｆ層、７・・・・反射層、８・・・
・・・全反射層、１１・・・・第１の反射光、１２・・
・・・透過光、１３・・・・・第２の反射光。
の一実施例である光路分割装置の断面図である １・・・・・・入射光、６・・・・・・透明基板、６・
・・・・・反射層１Ｆ層、７・・・・反射層、８・・・
・・・全反射層、１１・・・・第１の反射光、１２・・
・・・透過光、１３・・・・・第２の反射光。
Claims (2)
- （１） Ｊ４いに・１１行な第１及び第２の主面を有
する透明基板と、前記透明基板の第１の主面−１−に設
けらノ′↑だ全反射層と、第２の主面上に設けられた反
射ｌ５）ｉ重層と、前記反射時１１層表面の一部に設け
らｔ］だ反射層とを具備し、前記反射層に入射光を照射
シ、７゛反射光１と透過光に分割１．、前記透過光を全
反射層で反射させ反射１＋７月ト層を透過して出射さｔ
七るようにしたことを！待機とする光路分割装置。 - （２）反射層が透明基板と同−物質捷だ０Ｊ−略同−の
１ｉｒｉ ４Ｊｉ率をも−する物質からなることを特徴
とする時論請求の範囲第１項ｄ１シ載の光路分割装置１
．
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020022A JPS59146015A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 光路分割装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020022A JPS59146015A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 光路分割装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59146015A true JPS59146015A (ja) | 1984-08-21 |
Family
ID=12015461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58020022A Pending JPS59146015A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 光路分割装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59146015A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61223802A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学フイルタ |
| JPS61162832U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-08 | ||
| JPS6224223A (ja) * | 1985-07-03 | 1987-02-02 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学フイルタ |
| JPH05297318A (ja) * | 1985-07-24 | 1993-11-12 | Ateq Corp | 光ビーム分割装置及びこれを使用したパターン作成装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526488A (en) * | 1975-07-04 | 1977-01-18 | Toshiba Corp | Stabilizer for laser output |
-
1983
- 1983-02-09 JP JP58020022A patent/JPS59146015A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526488A (en) * | 1975-07-04 | 1977-01-18 | Toshiba Corp | Stabilizer for laser output |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61223802A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学フイルタ |
| JPS61162832U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-08 | ||
| JPS6224223A (ja) * | 1985-07-03 | 1987-02-02 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学フイルタ |
| JPH05297318A (ja) * | 1985-07-24 | 1993-11-12 | Ateq Corp | 光ビーム分割装置及びこれを使用したパターン作成装置 |
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