JPS59148419A - 厚みすべり圧電振動子 - Google Patents
厚みすべり圧電振動子Info
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- JPS59148419A JPS59148419A JP2255683A JP2255683A JPS59148419A JP S59148419 A JPS59148419 A JP S59148419A JP 2255683 A JP2255683 A JP 2255683A JP 2255683 A JP2255683 A JP 2255683A JP S59148419 A JPS59148419 A JP S59148419A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 13
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 13
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 244000005687 Poranopsis paniculata Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005194 fractionation Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0509—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超小型発振器等に供する厚みすベシ圧電振動子
に関する。
に関する。
従来、厚みすべ）圧電振動子（以下単に圧電振動子と呼
ぶ）としては第１図（ａ）及び（ｂ）に示すものがある
。第１図（ａ）に示す圧電振動子は、短冊状圧電板１１
を保持器圧に励起振動引出及び圧電板１１の保持を兼ね
たサボー１−１３ 、１３’（以下単にサポートと呼ぶ
）を介してなるものであシ、同図（ｂ）に示す圧電振動
子は、発振回路を構成する基板（例えばセ之ミンク基板
）１４上に垂直に直接サポー） １６ 、１６’を収け
て圧電板１５（例えば円形状圧電板）を保持する構成で
ある。
ぶ）としては第１図（ａ）及び（ｂ）に示すものがある
。第１図（ａ）に示す圧電振動子は、短冊状圧電板１１
を保持器圧に励起振動引出及び圧電板１１の保持を兼ね
たサボー１−１３ 、１３’（以下単にサポートと呼ぶ
）を介してなるものであシ、同図（ｂ）に示す圧電振動
子は、発振回路を構成する基板（例えばセ之ミンク基板
）１４上に垂直に直接サポー） １６ 、１６’を収け
て圧電板１５（例えば円形状圧電板）を保持する構成で
ある。
このような圧電振動子では、圧電板１１ （１５１をサ
ボー） １３ 、１３’ （１６、１６’ ）に組み込
む際の作業性及び耐振動、耐衝撃性等の信頼性を考慮し
たサポート形状を決める必要がちる。
ボー） １３ 、１３’ （１６、１６’ ）に組み込
む際の作業性及び耐振動、耐衝撃性等の信頼性を考慮し
たサポート形状を決める必要がちる。
しかしながら、作業性と信頼性は相反する関係にある。
すなわち、作業性を良くするためには、サポートを長く
かつ大きくする必要があるが、信頼性が著しく劣ってく
る。また、保持器ケース等の内壁に圧電板やサポートが
接触しないように十分な内容積をＭする保持器全選択す
（ る必要があり、圧電振動子としては大容積になる。更に
また、第１図（ｂ）に示す如く、発振回路を構成する基
板１４に直接サポー）１６．１６’を設けて圧電板１５
を取シ付けた場合、圧電振、動子へのオーバードライブ
による電流特性の教書が困難になる。このため、圧電振
動子単体の電気的緒特性の向上については全く無視する
か、或いは製造上のバラツキ（例えば圧電板とサポート
を接合する接着剤の盆等）を高置に′ｅ理して電気的緒
特性の問題を完全に解決する必要性が生じる。また発振
回路で発振させて不具合の生じた圧電振動子は発振回路
も含めて廃棄することになυ、分留が低いという欠点が
あった。
かつ大きくする必要があるが、信頼性が著しく劣ってく
る。また、保持器ケース等の内壁に圧電板やサポートが
接触しないように十分な内容積をＭする保持器全選択す
（ る必要があり、圧電振動子としては大容積になる。更に
また、第１図（ｂ）に示す如く、発振回路を構成する基
板１４に直接サポー）１６．１６’を設けて圧電板１５
を取シ付けた場合、圧電振、動子へのオーバードライブ
による電流特性の教書が困難になる。このため、圧電振
動子単体の電気的緒特性の向上については全く無視する
か、或いは製造上のバラツキ（例えば圧電板とサポート
を接合する接着剤の盆等）を高置に′ｅ理して電気的緒
特性の問題を完全に解決する必要性が生じる。また発振
回路で発振させて不具合の生じた圧電振動子は発振回路
も含めて廃棄することになυ、分留が低いという欠点が
あった。
本発明は上記欠点を除去したものでちゃ、作業性、信頼
憔及び小型化を図シうるチップ状の厚みすべυ圧電振動
子を提供することを目的とする。
憔及び小型化を図シうるチップ状の厚みすべυ圧電振動
子を提供することを目的とする。
本発明に係る厚みすべ９圧電振動子は、絶縁性’（＋−
有する基板上の両端に導電性をＭする励起振動引出用リ
ード族を形成し、該リード族の端部と上下面に励起用電
極膜を有する圧電板の端部とを重ね合せて導電性接合剤
を介在させて固定すると共に、前記基板と該圧電板との
間に空隙を画成してなる構成である。
有する基板上の両端に導電性をＭする励起振動引出用リ
ード族を形成し、該リード族の端部と上下面に励起用電
極膜を有する圧電板の端部とを重ね合せて導電性接合剤
を介在させて固定すると共に、前記基板と該圧電板との
間に空隙を画成してなる構成である。
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第２図（ａ）は本発明の第１実施例を示す平面図であり
、同図（ｂ）は同実施例の正面図である。この厚みすべ
り圧電振動子は、厚みすべり振動を有する短冊状の圧電
板２１の上下面に励起用電極膜２２ 、２２ ’を形成
し、一方、圧電板２１ヲ保持するだめの絶縁性を有する
基板（例えば、セラミック、Ｓｉ、水晶等）２５上の両
端に導電性を有する励起振動引出用リード膜（例えば、
Ａｕ ｒ Ａｇ ＋ Ａ Ｉ等のメッキ膜や導電性接着
剤等の塗布り２３゜ｎ′ を所定の厚みで形成し、リー
ド膜２３ ｒ ２３′の端部と圧電板２１の端部とを重
ね仕せ、この重合部分に導電性接着剤を介在させて両者
を固定し、かつ基板２５と圧電板２１との間に空隙Ｕを
設けてなるものである。
、同図（ｂ）は同実施例の正面図である。この厚みすべ
り圧電振動子は、厚みすべり振動を有する短冊状の圧電
板２１の上下面に励起用電極膜２２ 、２２ ’を形成
し、一方、圧電板２１ヲ保持するだめの絶縁性を有する
基板（例えば、セラミック、Ｓｉ、水晶等）２５上の両
端に導電性を有する励起振動引出用リード膜（例えば、
Ａｕ ｒ Ａｇ ＋ Ａ Ｉ等のメッキ膜や導電性接着
剤等の塗布り２３゜ｎ′ を所定の厚みで形成し、リー
ド膜２３ ｒ ２３′の端部と圧電板２１の端部とを重
ね仕せ、この重合部分に導電性接着剤を介在させて両者
を固定し、かつ基板２５と圧電板２１との間に空隙Ｕを
設けてなるものである。
本実施例によれば、導電性接着剤２４．２４’の厚みを
利用して基板２５と圧電板２１との間に空隙２６を画成
したため、圧電板２１は基板２５により直接強固に保持
された状態であり、したがって圧電振動子の耐振動、耐
衝撃性が向上し、かつチップ状の超小型を達成できる。
利用して基板２５と圧電板２１との間に空隙２６を画成
したため、圧電板２１は基板２５により直接強固に保持
された状態であり、したがって圧電振動子の耐振動、耐
衝撃性が向上し、かつチップ状の超小型を達成できる。
また、圧電振動子単体として扱うことができるため、オ
ーバードライブによる電流特性の改善や電気的緒特性の
確認が容易であり、信頼性の向上を図りうる。
ーバードライブによる電流特性の改善や電気的緒特性の
確認が容易であり、信頼性の向上を図りうる。
第３図（ａ）は本発明の第２実施例を示す平面図であシ
、同図（ｂ）は同実施例の正面図である。３１は矩形の
圧電板、３２．３２’は励起用電極膜、３３゜３３′は
励起振動引出用リード族、３４．３４’は導電性接着剤
、３５は絶縁性を有する基板、３６は空隙であり、矩形
の圧電板３１の隅部と励起振動引出用リード［３３，３
３’の端部とを重ね合せて導電性接着剤３４，３４’を
介在させて固定してなる。
、同図（ｂ）は同実施例の正面図である。３１は矩形の
圧電板、３２．３２’は励起用電極膜、３３゜３３′は
励起振動引出用リード族、３４．３４’は導電性接着剤
、３５は絶縁性を有する基板、３６は空隙であり、矩形
の圧電板３１の隅部と励起振動引出用リード［３３，３
３’の端部とを重ね合せて導電性接着剤３４，３４’を
介在させて固定してなる。
本実施例も第１実施例と同様の効果を奏するものである
。なお、短冊状圧電板、矩形状圧電板に限らず、円形状
圧電板であっても同様の効果を実現できることは勿論で
ある。
。なお、短冊状圧電板、矩形状圧電板に限らず、円形状
圧電板であっても同様の効果を実現できることは勿論で
ある。
第５図は第２図又は第３図に示す圧電振動子の使用態様
を示す斜視図であシ、発振回路を構成する基板５２上に
圧電振動子５６をおき、その基板５２と圧電振動子の基
板５１ （２５，３５）’を導電性接着剤又は半田５５
で接合した状態を示す。
を示す斜視図であシ、発振回路を構成する基板５２上に
圧電振動子５６をおき、その基板５２と圧電振動子の基
板５１ （２５，３５）’を導電性接着剤又は半田５５
で接合した状態を示す。
第４図（ａ）は本発明の第３笑施例を示す平面図であシ
、同図（ｂ）は同実施例の正面図である。この圧電振ｉ
子にあっては、短冊状圧電板４１と圧電板保持用基板４
６の大きさを同じにし、基板４６の上面の端部にメッキ
膜、途布族又はスノくツタリングによる付着膜等の厚Ｍ
４３’ 、４４’を形成し、基板４６の下面に導電性
を有する励起振動引出用リードＮ４３，４４を形成し、
圧電板４１ヲ基板４６とをその端部において導電性接着
剤４５．４５’で固定してなシ、圧電板４１と基板４６
の両端には導電性接着剤４５ 、４５’が介在し、両者
間には空隙４６が画成されている。
、同図（ｂ）は同実施例の正面図である。この圧電振ｉ
子にあっては、短冊状圧電板４１と圧電板保持用基板４
６の大きさを同じにし、基板４６の上面の端部にメッキ
膜、途布族又はスノくツタリングによる付着膜等の厚Ｍ
４３’ 、４４’を形成し、基板４６の下面に導電性
を有する励起振動引出用リードＮ４３，４４を形成し、
圧電板４１ヲ基板４６とをその端部において導電性接着
剤４５．４５’で固定してなシ、圧電板４１と基板４６
の両端には導電性接着剤４５ 、４５’が介在し、両者
間には空隙４６が画成されている。
本実施例圧奄振動子によれば、基板４６の下面に設けた
励起振動引出用リード膜４３ 、４４金元振回路を構成
する基板にコンデンサ等のチップ部品と同様に接合する
ことができる。
励起振動引出用リード膜４３ 、４４金元振回路を構成
する基板にコンデンサ等のチップ部品と同様に接合する
ことができる。
叙上の如く、本発明によれば、リード膜の端部と上下面
に励起用電極膜を有する圧′１板の端部とを重ね合せて
導電性接合剤を介在させて固定すると共に、この導電性
接合剤の厚み全利用して基板と圧電板との間に空源を画
成したため、従来のようなサポートは不要であり、圧電
板を基板で補強した状態となシ、耐振動、耐衝撃性が向
上し、またサポートが介在しないため、壁隙谷稙は微少
となシ、これにょ夛圧電振動子としての容積の減少を図
り、チップ状の超小型化を達成できる。更に、圧電振動
子単体として扱うことができるため、オーバードライブ
による電流特性の改善や電気的緒特性の確認が容易であ
フ、発振器の高鞘度、画品質化を図９得、加えて、超小
型発振器への実装上も他のコンデンサや抵抗等のチップ
部品と同様の取扱いができるという特長を有する。
に励起用電極膜を有する圧′１板の端部とを重ね合せて
導電性接合剤を介在させて固定すると共に、この導電性
接合剤の厚み全利用して基板と圧電板との間に空源を画
成したため、従来のようなサポートは不要であり、圧電
板を基板で補強した状態となシ、耐振動、耐衝撃性が向
上し、またサポートが介在しないため、壁隙谷稙は微少
となシ、これにょ夛圧電振動子としての容積の減少を図
り、チップ状の超小型化を達成できる。更に、圧電振動
子単体として扱うことができるため、オーバードライブ
による電流特性の改善や電気的緒特性の確認が容易であ
フ、発振器の高鞘度、画品質化を図９得、加えて、超小
型発振器への実装上も他のコンデンサや抵抗等のチップ
部品と同様の取扱いができるという特長を有する。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は夫々従来の厚みすべり圧電
振動子を示す斜視図、第２図（ａ）及び（ｂ）は夫々“
本党明の第１実施例を示す平面図及び正面図、第３図（
ａ）及び（ｂ）は夫々本発明の第２実施例を示す平面図
及び正面図、第４図（ａ）及び（ｂ）は夫々本発明の第
３芙施例を示す平面図及び正面図、第５図は第１又は第
２実施例の使用態様を示す斜視図でめる。 １１ 、１５ 、２１ 、３１ 、４１・・・圧電板、
１２ 、 ＩＢ・・・保持器、１３ 、 ｉ３１．１６
、１６４・・サポート、１４ 、５２・・・先掘回路
を構成する基板、１７，１７’、５３，５４・・・コン
デンサ等のチップ部品、２２ 、２２’ 、 ３２ 、
３２’、 ４２，４２’・・・励起用電極膜、お、 ２
３’、 ３３ 、３３’ 、 ４３．４４・・・励起振
動引出用リード膜、２４．２４’、３４．３４’、 ４
５．４５’・・・導−性接着剤、２５ 、３５．４６・
・・圧電板保持用基板、２６゜３６ 、４７・・・空隙
、４３’、４４’・・・圧電板と基板との間に９隙を設
けるための厚膜、５１・・・圧電振動子の基板、５５・
・・導電性接着剤又は半田、５６・・・圧電振動子。 出願人 日本電気株式会社 第２１’！Ｊ 第３図 第５図
振動子を示す斜視図、第２図（ａ）及び（ｂ）は夫々“
本党明の第１実施例を示す平面図及び正面図、第３図（
ａ）及び（ｂ）は夫々本発明の第２実施例を示す平面図
及び正面図、第４図（ａ）及び（ｂ）は夫々本発明の第
３芙施例を示す平面図及び正面図、第５図は第１又は第
２実施例の使用態様を示す斜視図でめる。 １１ 、１５ 、２１ 、３１ 、４１・・・圧電板、
１２ 、 ＩＢ・・・保持器、１３ 、 ｉ３１．１６
、１６４・・サポート、１４ 、５２・・・先掘回路
を構成する基板、１７，１７’、５３，５４・・・コン
デンサ等のチップ部品、２２ 、２２’ 、 ３２ 、
３２’、 ４２，４２’・・・励起用電極膜、お、 ２
３’、 ３３ 、３３’ 、 ４３．４４・・・励起振
動引出用リード膜、２４．２４’、３４．３４’、 ４
５．４５’・・・導−性接着剤、２５ 、３５．４６・
・・圧電板保持用基板、２６゜３６ 、４７・・・空隙
、４３’、４４’・・・圧電板と基板との間に９隙を設
けるための厚膜、５１・・・圧電振動子の基板、５５・
・・導電性接着剤又は半田、５６・・・圧電振動子。 出願人 日本電気株式会社 第２１’！Ｊ 第３図 第５図
Claims (1)
- 絶縁性を有する基板上の両端に導電性を有する励起振動
引出用リード族を形成し、該リード膜の端部と上下面に
励起用電極膜を有する圧電板の端部とを重ね仕せて導電
性接合剤を介在させて固定すると共に、前記基板と該圧
電板との間に空隙を画成してなることを特徴とする厚み
すベシ圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255683A JPS59148419A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 厚みすべり圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255683A JPS59148419A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 厚みすべり圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148419A true JPS59148419A (ja) | 1984-08-25 |
| JPH0468811B2 JPH0468811B2 (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=12086125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2255683A Granted JPS59148419A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 厚みすべり圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148419A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4703218A (en) * | 1985-11-06 | 1987-10-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezo-electric assembly |
| US4795934A (en) * | 1984-02-20 | 1989-01-03 | British Telecommunication, Plc | Mounting of saw devices |
| US4920296A (en) * | 1984-10-17 | 1990-04-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component having a plate-shaped element |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739127U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-02 | ||
| JPS5788323U (ja) * | 1980-11-17 | 1982-05-31 | ||
| JPS5813724U (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | 松下電器産業株式会社 | 圧電磁器共振子 |
-
1983
- 1983-02-14 JP JP2255683A patent/JPS59148419A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739127U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-02 | ||
| JPS5788323U (ja) * | 1980-11-17 | 1982-05-31 | ||
| JPS5813724U (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | 松下電器産業株式会社 | 圧電磁器共振子 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4795934A (en) * | 1984-02-20 | 1989-01-03 | British Telecommunication, Plc | Mounting of saw devices |
| US4920296A (en) * | 1984-10-17 | 1990-04-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component having a plate-shaped element |
| US4703218A (en) * | 1985-11-06 | 1987-10-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezo-electric assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0468811B2 (ja) | 1992-11-04 |
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