JPS5915923U - 粉体流量検出装置 - Google Patents
粉体流量検出装置Info
- Publication number
- JPS5915923U JPS5915923U JP11075582U JP11075582U JPS5915923U JP S5915923 U JPS5915923 U JP S5915923U JP 11075582 U JP11075582 U JP 11075582U JP 11075582 U JP11075582 U JP 11075582U JP S5915923 U JPS5915923 U JP S5915923U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- detection device
- conduit
- insulator
- rate detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の粉体流量検出装置の一例の構成を示す縦
断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う横断面図、第
３図はこの考案による粉体流量検出装置の一実施例の構
成を示す縦断面図、第４図は第３図のＢ−Ｂ線に沿う横
断面図、第５図はこの考案による粉体流量検出装置の第
２の実施例の要部側面図、第６図は第５図のＣ−Ｃ線に
沿う横断面図、第７図はこの考案による粉体流量検出装
置の第３の実施例の破砕断面図である。 １０：導管、１１． １１３． １ ｌｂ、 Ｉ Ｉ
Ｃ：上流側電極組体、１２． １２ａ、 １２ｂ、
１２Ｃ：下流側電極組体、１５：金具、１５ａ：深穴
、１５ｂ：導出孔、１６：絶縁体、１７：電極。
断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う横断面図、第
３図はこの考案による粉体流量検出装置の一実施例の構
成を示す縦断面図、第４図は第３図のＢ−Ｂ線に沿う横
断面図、第５図はこの考案による粉体流量検出装置の第
２の実施例の要部側面図、第６図は第５図のＣ−Ｃ線に
沿う横断面図、第７図はこの考案による粉体流量検出装
置の第３の実施例の破砕断面図である。 １０：導管、１１． １１３． １ ｌｂ、 Ｉ Ｉ
Ｃ：上流側電極組体、１２． １２ａ、 １２ｂ、
１２Ｃ：下流側電極組体、１５：金具、１５ａ：深穴
、１５ｂ：導出孔、１６：絶縁体、１７：電極。
Claims (3)
- （１）粉体が混入された流体が流れる金属製の導管と、
該導管の流路に沿って配設され互に離隔するとともに絶
縁体を介して固着された少なくとも上流側と下流側との
２個の金属電極により対をなす検出−とを備えた粉体流
量検出装置において、前記金属電極を前記絶縁体の一側
面に一体化し、該絶縁体を前記導管の側面にその長手方
向にある間隔をおいて設けられた少なくとも一対の貫通
孔に金具を介して取付け、前記絶縁体の他側面を管内に
向けさせて前記絶縁体に導管内壁の一部を形成させ、前
記金属電極にリード線を接続したことを特徴とする粉体
流量検出装置。 - （２）実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置におい
て、前記検出端を複数対とし、上流側と下流側とのそれ
ぞれの金属電極を前記導管の同一横断面上に角度の均等
割で配設したことを特徴とする粉体流量検出装置。 - （３） 実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置に
おいて、前記検出端を１個の上流側と所定の間隔をおい
て配設される複数個の下流側との金属電極で構成したこ
とを特徴とする粉体流量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11075582U JPS5915923U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 粉体流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11075582U JPS5915923U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 粉体流量検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915923U true JPS5915923U (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=30257451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11075582U Pending JPS5915923U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 粉体流量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915923U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023011243A (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-24 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット物質補給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP11075582U patent/JPS5915923U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023011243A (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-24 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット物質補給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法 |
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