JPS59161999A - エレクトレツト交換器及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 クトレット変換器アセンブリ、及びこの棟の変換器の製
造方法に関する。

発明の背景 ポリマーフィルムエレクトレットマイクロホンｄ１かな
り高出力の電気信号を発生し、外部の機械的振動に余り
感応ぜず、電磁信号混信に対して削性があることから、
電話用途としての関心が高一止ってきている。ｉ　ＥＬ
２エレクトレット送話器二分析に基つくモチリンク、最
適化及び設ｇ”ｌ’　（　Ｔｈｅ　Ｆ；Ｌ２　Ｅｌｅｃ
ｔｒｅｔＴｒａｎｓｍｉｔｔｅｒ　：　　Ａｎａｌｙｔ
ｉｃａｌ　Ｍｏｄｅｌｉｎｇ　。

ＯｐＬｉｍｉｚａｔｉｏｎ’ａｎｄ　Ｉ）ｅｓｉｇｎ　
）　Ｊ　　シエイシーＯハームハウア　シュニヤ（　Ｊ
．　Ｃ．　１３ａｕｍｈａｕｅｒ　。

Ｊｒ暑その他藩、　ベルシスデムテクニカルシャーナル
（　Ｔｈｅ　Ｂｅｌｌ　Ｓｙｓｔｅｍ　Ｔｅｃｈｎｉｃ
ａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ）、第５８巻、第７号、１５５７
乃芋１５７８ペーシ（１９７９年９月号）では、エレク
トレット変換器の基本的動作について検討し、特にウエ
スタンエレクトリック社（Ｗｅｓｔｅｒｎ　Ｅｌｅｃｔ
ｒｉｃＣｏ．　、　Ｉｎｃ　）　　製の４Ａ型スピーカ
ホン（Ｔｙｐｅ４、Ａ　Ｓｐｅａｋｅｒｐｈｏｎｅ　）
ハンドフリーアンサシステムに主に使用されているエレ
クトレットマイクロホンについてふれている。

Ｌ記論文の第５図、及びｒ　Ｅ　Ｌ　２工レクトレツト
送話器：技術開発（Ｔｈｅ　ＥＬ２　Ｅｌｅｃｔｒｅｔ
Ｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｒ：Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｄｅ
ｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　）」：ニス・ピー・カンナ（　Ｓ
．　Ｐ．　Ｋｈａｎｎａ　）　　その他藩、ヘルシステ
ムテクニカルシ７−ナル（Ｔｈ　ｅＢｅｌｌ　Ｓｙｓｔ
ｅｍ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　）誌、第
５９巻、第５号、７４５乃至７６２ペーシ（１９８０年
５，６月号）に示されている様に、エレクトレ、ット送
話器のサファセンフリは一側に金めつきを施したエレク
トレット振動板から成っている。はねクリップは、締結
プレ−１〜と組合わさり、振動板を機械的に支持してい
る。

また振動板の所望の張りを保つにも、はねクリップと締
結プレートが必要である。ポリテトラフルオロエチレン
（ｐＴＦ゛ｇ，　ＦＥＰ，　ＥＴＦＥ。

ＣＴＦＥ）等のエレクトレット形成に適した神々の過フ
ッ化炭化水素ポリマー膜は、夫々の製造工程の違いに応
じて機械的異方性を示す。例えば、テフロン（Ｔ　Ｅ　
Ｆ　Ｌ　ＯＮ　商標名）ＦＥＰフィルムを約１００℃以
ヒに加熱してから室温まで冷却すると、縦方向に延ひ、
横方向に収縮する。この種のフィルムの欠点は、高温で
の異方性により、しわができることである。しわがよら
ない様にするには加熱し、横方向に引張る必要かある。

しかしこの様にすると、金属薄層とフィルムとの熱膨張
率の違いにより、金属薄層に断層が伴じる。

矩形エレクトレット変換器に代わるものとしては、米国
特許第４．２４９．０４３　ｇに１七載されているもの
がある。この場合は、円形エレクトレット基を加熱し、
シアノアクリレート接着剤で、円形保持リンクに接着す
る。ト記特許の第２図及び第、４図に示されている実施
例を児るに、背板に、エレクトレット箔をさらに伸ばす
突出フランジが設けられているため、エレクトレット基
を加熱して放射状に引張るたけでは不充分である。さら
に、エレクトレット基とリングとをシアノアクリレート
接着剤で接合するのは、不利な周囲慌度及Ｏ・湿度の時
効条件（例えば温度が８５℃で相対湿度が８５％）にさ
らした場合、信頼性に乏しいことが判っている。寸だ、
シアノアクリレート類はかなり早目に硬化するため、製
造環境での貯蔵及び取扱いがか々り制限される。

従って、信頼度か高く、大量生産要件を／１的たず椋に
構成された、エレクトレット変侠器／マイクロホンが必
要である。

発明の要旨 ］二記問題は、主要間に金属薄層を有し、放射状に均等
に引張られたエレクトレット振動板、及び少量の金属が
添加された接着剤で、振動板の金属層に結着されたリン
グ形金属ワッシャから成る本発明によるエレクトレット
変換器によって解消される。； 本発明の例証実施例では、金属薄層はクロム、金、アル
ミニウム及び銀から成る群から選択される。好適実施例
では、金属ワッシャはニッケルでめっきされた黄銅材で
形成され、Ｉ　　　　　少量の金属を充てんした接着剤
は約４％のニッケルを含有するエポキシである。

さらに本発明は、絶縁材製の金属薄膜と金属リングとを
導電結着する方法を提供している。話方法は、金属リン
グの円環面に所定壁の少量金属光てん接着剤を付着させ
る工程、膜の金属部分と、接着剤を塗布したリングの円
環面とを接触させる工程、及び接着剤を（ｌＩＪ！化さ
せながら膜と金属リンクとを締結する工程から成ってい
る。

本発明の別の実施例によると、抜数個のエレクトレット
変換器を形成する方法が提供されている。該方法は、キ
ャリヤヒに光画成（ｐｈｏｔｏｄｅｆ　１ｎｅｄ　）さ
れたリング形金楓ワッシャをマトリックス状に形成する
工程、エレクトレットシートの金属部と接着剤を塗布し
たワッシャとを接触させる工程、及び接着剤を硬化させ
ながらキャリヤとエレクトレットシートとを締結する工
程から成っている。

詳細な説明 次に添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図におい子、符号１ｏは、はぼ円部形のエレクトレ
ットマイクロホンの全体を示している。マイクロホン１
ｏは、−主要面に金Ａ＠薄層１３を有するポリマーｉｉ
矢１２を含むエレクトレットＪ鼓動板１１がら成ってい
る。ヒ記２論文に記載されている様に、エレクトレット
振動板１１は、固定後部電極１４がら離間されている。

図示の様に、ポリマー膜１２の非金属面と後部電極１４
との間にスペーサ１！５が配設されるため、エアキャッ
プ１６ができる。エレクトレット膜１２に電荷をかける
とエアギャップ１６に電界が発生す“るっ音波（矢印１
７）は振動板１１にぶつかり、電界を変調して、金属層
１３がら後部電極１４にかけて電圧を降下させる。マイ
クロホン１゜は、夫々金属層１３と電極１４とに接続さ
れた出力端子１８．１９から出力悟号を出す。

エレクトレット振動板１１は、金属層を後部＠＆１４の
遠方に向けた状態で引張保持されねばならない。振動板
１１に所定の張力をかけると、金属化ポリマー１１１ａ
　１２にしわができなくなり、音波１７に対して敏感に
なる。

振動板１１を所望程度均等に放射法に引張ると同時に、
マイクロホン１０の出ノＪ端子１８と金属化エレクトレ
ット膜とを接続させるには、金属リング２０を、振動板
１１の金属層１３に取付けて、出力端子１８を接続する
。

一実施例では、接着剤層２１によって、金属リンク２０
を振動板１１に接着するが、マイクロホン１０の信頼性
は金暎リンク２０と」）−動板１１との接合性に左右さ
れるため、この場合はオーム接触させて、マイクロホン
の平均余命に亘って安定を保つ必要がある。

金属リンク２０と振動板１１との間の接着剤層２１の材
料は、以下の要件を満たしていなければならない。先ず
、振動板１１の固有周波数は振動板に混入する異物に影
響貞れるため、接着剤が膜１２の中心領域に滲入しない
様にする必要がある。また振動板材料と金属リングとの
膨張率及び剛性が異なるため、金属のかたさとエレクト
レット膜のたわみ性とを兼ね備える半剛性硬化接着剤が
好捷しい。

さらに接合部のクリープを回避するため、接着線を極く
細くするのが好葦しい。

本発明実施例によると、全体では導電性ではない、少量
の金属を添加した接着剤を用いて、金属リンク２０と振
動板１１の金属層１３とを導電接着する。周知の導電接
着剤は、通常７０　＠　ｉ’ｒパーセント以ヒの金属層
てん剤を含有している。しかしエレクトレット振動板用
途としては、接着剤の金属含量を高くして導電性を高め
る必要はない。金属含量が増すと、リング２０と振動板
１１との接合部の剥離強度が低下する。少量の金２．属
を含有する接着剤を、極薄結合層に甲いると、接着剤に
含量れる金属粒子はリング２０と振動板１１との間を通
し導電する投射材の役目をする。本発明の好適実施例で
は、金属リング２０はニッケル被膜２２を有する黄銅で
形成されている。少数の金属を添加した接着剤層２１は
、好適にはニッケル、銀及び銅から成る群から選択され
た少量の金属を含むエポキシである。

エレクトレットマイクロホン１０の１８中頁性はリング
２０と振動板１１とのジヨイントのオーミック抵抗と機
械的強度との関数である。

リング２０縁部から、ポリマー膜１２を覆う金属層１３
の中心に至るジヨイント抵抗を測定した。測定結果はボ
ンド（接着剤層）の抵抗と、ボンド中上・とリングとの
間の金属被覆シートの抵抗とを組合せたものてあり、２
神類の含低霊１硬化金属接着剤と共に数曲りの金属被覆
の組合せを試験した。表１は、高温（８５℃）と多湿（
８５％）とが、振動＆の継目抵抗に与える相対的作用を
示している。

表　　　　　１ 継目抵抗　（、Ｑ） 接着剤　金ノ婚婿側１３物薙巌４６８時Ｍ跋７２２時Ｈ
蹟４チニツケ　クロム　　　　６１．１　　８６．９　
　　１０２ルを充てん　銀　　　　　　　０．７６　　
　３１．９　　　１２５しだもの　　アルミニウム　１
．１４．　　　１７．３　　　．１９．１導電性のクロ
ム　　　１２０　　〜１０”　　　）１０３銀を充て銀
　　　　　０．３４　　〜１０”　　　）１０”んした
もの　アルミニウム　１．３４　〜１０”　　　　〉１
０”金属層てん接着剤の神々の組成を試験して、高温多
湿が振動板のジヨイント強１現に与える作用を定量した
。接着された膜を、金属リング２０と振動板１１との゛
接着界面遠方に向って主要面に対して直角方向に押して
、接合部の機械的一体性を測定し、た。リング／振動板
アセンブリの機械的強度は振動板破損前の第１最大負荷
として定義されて；いる。表２は高温（８５℃）多湿（
８５％）がジヨイント強度に与える作用を示している。

表　　　２ 継目強度　６必 接着剤　　金帷＠響１３４姶着直後　４６８曜Ｈ跋７２
２時口薇１　　４係ニツケルクロム　　０．９４±０．
０６　０．６５±０．０６　０．６７±０．０６を充て
んした銀　　　　　０９７８十０．０６　０．７５±０
．０５　０．５７±０．１６もの　　　　　　アルミニ
ウム　ｏ、７１±０．０７　０．６６±０．０５　０．
４９±０．１５導電性の銀をクロム　　　０．４８±０
．０６　０．４０±０．０９　　　−充てんしたもの　
アルミニウム　ｏ、４８十０．０６　０．５６±０．０
４　　　　−表１に示す様に、エレクトレット瞑１２に
り、ロム層１３を被覆すると、ジヨイント抵抗は７２２
時間後約１７倍増加する９アルミニウム及び銀で被覆す
ると、ジヨイント、氏抗ははるかに小さいが７２２時間
後には、大々１７倍及び１６０倍になる。さらにアルミ
ニウム及び銀の場合は、温度を８５℃にし、相対湿度を
８５％にすると、４６８時間後、１１す食がジヨイント
領域から六方に広がり円周まで達し、金属層に亀裂が生
じる。表２に示す様に、ジヨイント強度は、クロムで被
覆した場合、放置後４６８時間で初期値の約７０％まで
低下し、その後は変化しない。アルミニウム及び銀を被
覆した場合、強度低下はクロムと同程度であるが、腐食
及び亀裂が生じることがら、クロムか好適であると言え
る。

銀、１１１４又はニッケルを釉々の辿」合で元てんした
神々の市販エポキシ接着剤を検羽した。

エイフルステイク研死所（Ａｂｌｃｓｔｉｋ　Ｌａｂｏ
ｒａ−ｔｏｒｊｅｓ　）製のエイプルホント（Ａ８ＬＥ
ＢＯＮＤ）２９３シリースの半回とぅ件エポキシに神々
の金属箱ｊ戎物を充てんして、本発明実姉例により得ら
れた少量金属光てん接着剤の接合安定度と強度とを定量
した。振動板の祠料としては−１１１１に約１ｏｏｏ、
ｊ厚のクロム被覆層を有する、１ミル（０，０２５４Ｅ
　ＩＪ　）厚ｔ７）　Ｆ　１）　Ｐ　７フロン（ＴＥＦ
ＬＯＮ　　商標名）ポリマー膜を逝択した。第２図に示
す様に、４条ニッケル勺ンプルは３６チ及び５２％サン
プルに比してかなり安定している。８００時間経過して
も大半の継目抵抗は、エレクトレットマイクロホン用と
しては有効な１０４Ω以下であり、中でも４％ニッケル
サンプルは最良の安定度を示している。

多量の金属を光てんしたエポキシか′電気的安定性に欠
けるのは、金属粒子が、硬化した接着剤に亀裂を生じさ
せる応力点を形成することに一因がおる。この棟の亀裂
は広がって接着界面を寸断する。実際金属含量か高いサ
ンプルでは、４％ニッケル充てん物質ではクロムがきれ
いに剥かれたことは対照的に、接着剤にある程度の粘着
性不足が見られた。

同様に、８５％の相対湿度及び８５℃の（ｔＬＪν条件
に数時間放置してから、振動板椙イ・１の相対継目強度
を試験した。第３図に示す様に、３６係及び５２係ニツ
ケル充てんサンプルについては、と記の様な悪条件にさ
らしても、ジヨイント強度に余り影響しない。し力・し
、クロムとポリマー膜との界面では、粘着性（接着剤自
体の）及び接着性に欠ける。本発明の好適実施例では、
４％ニッケル充てんエポキシは所定の時効条件下で、最
適な電気的機械的特性を兼ね備えると共に、良好な安定
性と予知性（ｐｒｅｄｉｃｔａｂｉｌｉｔｙ　）を示す
。

本発明によるエレクトレットマイクロホン１０は、所望
の均等な放射状の張力を保つばね又は締結手段を必要と
しない。ヒ記の様に、接着剤で結合するという着想は、
金属リンク２０と金株層１３との間に、適宜量の少量金
属光てん接着剤の４層２１を設けることを意味する。接
着剤層２１の設置場所については、金属リンク２０の円
環部又は金属化振動板１１の何れでもよい。複数個のエ
レクトレットマ・イクロホンをハツチ形成するには、該
接着剤を金属リング２０に直かに＋１Ｈさせる方が良い
。即ち第１図の実施例は低コストの大量生産に適してい
る。

次に、夫々ニッケルめっき金属リングに接着されたエレ
クトレット振動板から成る一連の小型複合構成のバッチ
加工法に関して、本発明によるエレクトレット変換器の
製造方法を説明するが、以下に説明する技法を用いて、
１個の振動板を１個の金属リングに接着することも、本
発明の真意及び適用」碩囲に入る。

約０．３８ミリ厚のニッケルめっき黄銅板に、リング形
ワッシャを配列形成するが、この場合フォトエツチング
法を用いるのが好ましく、２個の正確に整合するカラス
マスクを備える光工具を用いて、該黄銅板の両側を露光
すると共に、５分間の初期エッチサイクルでリング形ワ
ッシャを形成する。次に部分的にエツチングされた黄銅
板を外して乾燥する。感圧フィルムキャリヤを黄銅板の
一１ｔｉｌｌに積層し、積１−物をエツチング液に戻し
て黄銅を完全にエツチングすることにより、フイルムキ
ャリャヒに配列されるリングを形成する。２度目のエツ
チングは通常室温で１０分間行われるが、全エツチング
時間は６０℃で６分以下でらる。通常ワッシャの内径は
約５．５９ミ″す、外径は約７．１６ミリであり、幅は
約０．７６ミリとなる。

一連のリング形ニッケルめっきワッシャの形成後、第５
図のブロック５１に示す様に、所定量の少量金属光てん
接着剤を、リングに付着させる。本発明の一実施例では
、該接着剤をリング列とにスクリーンプリントする。

使用するスクリーンプリントパターンは、リングとエレ
クトレット金、１≦化１１休との間の０．００７ミリ厚
以下の細い接合線に充分量の接着剤を塗布できるもので
なければならない。゛まだ接着剤のスクリーンプリント
工程は、接着剤の流出なしにエレクトレッ゛ト金属化膜
の中心部との締結時に、ワッシャを完全に円環被覆する
ものでなければならない。約６８６ミリ外径及び約６０
９ミリ内径のプリントパターンヲ有するナイロビメッシ
ュスクリーン等ノスクリーンは、夫々約０．３８ミ２り
幅及び約０．０２８ミリ高のリング列をプリント処理で
きる。

Ｆ：、記の様に、エレクトレットＩ辰動板を金属リング
に接着する前に、振動板に放射状の所定張力を加える必
要がある。第４ａ図乃至第４Ｃ図は、金属化Ｆ、ＥＰ０
．０２５ミリ厚シート等の１枚のエレクトレット材３０
を放射状に引張る装ｆｆ＃、ｆｌＨ示している、。直径
Ｄ１の開口部を有し、その周辺に感圧接着剤を塗布した
プレート３１を用いて、エレクトレット制シート３０の
金属被覆面を下に向けて保持する。

直径Ｄ２の開口部（プレート３１の開口部より小さい）
を有する引張プレート３３を用いてエレクトレットシー
トに一定の張力を加える。引張プレート３３は開口部周
囲で、所定、高さＨの円形部材３４を支持している。部
材３４はＯ形すンク等の市販品で良い。第４ｃ図に示す
様に、エレクトレットシート３０を間に挾んでプレート
３１と３３とを接触させ、部材３４の高さＨを利用して
シート３０を放射状に均等に引張る。シート３０は例え
ば、ロール状の金属化エレクトレット材から切り取った
２００ミリ×２００ミリ　寸法のシートである。プレー
ト３１の開口部の直径Ｄ１は約１５０ミリであり、引張
プレート３３の開口部の直径Ｄ２は約１２５ミリである
。第４Ｃ図に示すプレート・エレクトレット膜アセンブ
リは、エレクトレット振動板列をハツチ製造する均等張
り膜を形成する゛。

第４ｃ図に示す様に、エレクトレットシートを引張って
から、接着剤がプリントされたリンク形ワッシャが形成
されたキャリヤを、第５図のブロック５２に示ず様に、
予張エレクトレットシートと接触させる。少−一金１［
充てん接着剤は粘りがあるため、ワッシャとエレクトレ
ットシートとを接触保持する。細い接合線で、ワッシャ
の円環部を確実に完全包囲して、ワッシャと金属層との
間を良好な導電状態にするため、第５図のブロック５３
に示す様に、アセンフリを８０℃乃至１２０℃の温度で
加圧硬化させる。ヒ目己の温度範囲で硬化させると同時
に、エレクトレット相を加熱して応力の安定化をはかる
ことができる。

接着剤の硬化後、ワッシャの裏面からキャリヤを剥離す
ることにより、リング形ワッシャとエレクトレットシー
トの金属面とを水入接着させる。次に、ワッシャの外縁
に沿ってエレクトレットシートをきれいに切り取ること
により、各エレクトレット振動板を分離する。

ヒ記実施例は単に例証的なものであり、リング形ワッシ
ャの円環面の代りに、振動板金属面に接着剤をスクリー
ンプリントしたり、又はその他の技法を用いてワッシャ
と振動板との間に接着剤を塗布する等、不発明の適用範
囲を逸脱せずに神々の修ｉＥを加えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例によるエレクトレットマイクロホ
ンの拡大断面図、 第２図は神々の金属光てん組成物を用いた場合の接着剤
接合部の抵抗の経時変化を示すクラ乙 第３図は、種々の金属光てん組成物を用いた場合の接着
剤接合部の強度の経時変化を示すグラフ、 第４ａ図乃至第４ｃ図は、本発明によるエレクトレット
材シートを半径方向に引張る方法の工程図、及び 第５図は、本発明の実施例にょるエレク”トレッド変換
器製造方法のフロック線図である。 〈主要部分の符号の説明〉 １１・・エレクトレットｆ’ｒｉ　Ｍ　＆、１３　金属
化薄層、　　２ｏ・・金属リング、２１　少壮金属充て
ん接着剤。 タイツ、（時間）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　放射状に均等に引張られると共に、−主要面に付着
   された金属化薄層を有するエレクトレット振動板及び、 少量の金属を充てんした接着剤で、前記層に接着された
   金属リングから成ることを特徴とするエレクトレット変
   換器。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の変換ｑ５において、
   前記金属リングが、ワッシャで構成されると共に、ニッ
   ケルめっき黄銅製であることを％徴とする変換器。 ３、　　！Ｐｆ許請求の範囲第２項に記載の変換器にお
   いて、前記接着剤が、ニッケル、銀及び＃１ｉｉｌから
   成る群から選択された金属を含有するエポキシであるこ
   とを特徴とする変換器。 ４、特許請求の範囲第１項に記載の変換器において、前
   記層が、クロム、金、アルミニウム及び銀から成る群か
   ら選択されていることを特徴とする変換器。 ５　特許請求の範囲第４項に記載の変換器において、前
   記層が、約１０００オングストロームのクロム層で構成
   されることを特徴とする変換器。 ６、特許請求の範囲第２項に記載の変換器において、前
   記接着剤が約４係のニッケルを含有することを特徴とす
   る変換器。 ７、　金属リングの円環面に、少量の金属を充てんした
   所定量の接着剤を付着させる工程と。 前記リングの接着剤で被覆された円環面と、層の金属化
   部分とを接触させる工程と。 接着剤を硬化させながら、層と金属リングとの間に締結
   力を加える工程とを含むことを特徴とする方法。 ８、特許請求の範囲第７項にＭ上載の方法において、前
   記接着剤付着工程が、前記接着剤の輪を前記金属リング
   の円環面層スクリーンプリントする工程を含むことを特
   徴とする特許９　特許請求の範囲第８項に記載の方法に
   おいて、前記スクリーンプリントされた接着剤の輪の１
   ■４が、前記金属リングより狭いことを特徴とする方法
   。 １０、慣許請求の範囲第７項に記載の方法において、前
   記層の金属化部分と前記リンク円環面とを接触させる前
   に、前記層を放射状に均等に引張ることを特徴とする方
   法。 １１、　　特許請求の範囲第７項に記載の方法において
   、 光両成された金属リング列全キャリャヒにマトリックス
   配列する工程と、 少量の金属を充てんした接着剤を前記リンク列ヒにスク
   リーンプリントする丁Ａ山″と、エレクトレットＡ７１
   シートの金！１キ、化表向と、前記接着剤被覆リング列
   とを接触させる工程と及び、 前記接着剤を硬化させなから、前記キャリヤと前記エレ
   クトレットシートとを締結する工程とを含み複数個のエ
   レクトレット変換器を製造することを特徴とする方法。 １２、特許請求の範囲第１１項に記載の方法において、
   さらに前記エレクトレット材シートとリンク列とを接触
   さぜる前に、前記シートを放射状に均等に引張ることを
   特徴とする方法。 １３　　特許請求の範囲第１２頂に記載の方法において
   、前記引張る工程が、 前言己エレク１〜レット材シートの非金属化表面を、は
   ぼ中央に大径開口部を有する第１プレートに固着させる
   工程と、 前記大径開口部より小さい直径を有する円形部材を第２
   プレートに接着する工程と、前記部材と前記エレクトレ
   ットシートの金属化表面とを接触さぜる工程と、 前記２枚のプレートを締結して、前記開口部内のエレク
   トレットシート部分を放射状に均等に引張る工程とを含
   むことを特徴とする方法。