JPS59162401A - テ−ブル機構 - Google Patents
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- JPS59162401A JPS59162401A JP3666783A JP3666783A JPS59162401A JP S59162401 A JPS59162401 A JP S59162401A JP 3666783 A JP3666783 A JP 3666783A JP 3666783 A JP3666783 A JP 3666783A JP S59162401 A JPS59162401 A JP S59162401A
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- JP
- Japan
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- bed
- fluid
- sliding table
- static pressure
- fixed
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- Granted
Links
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/0009—Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts
- B23Q1/0018—Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts comprising hydraulic means
- B23Q1/0027—Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts comprising hydraulic means between moving parts between which an uninterrupted energy-transfer connection is maintained
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
て構成される静圧ＸＹテーブル等に流体を供給する場合
の流体圧供給管路に関するものである。
の流体圧供給管路に関するものである。
近年、半導体用のウェハー基板の表面研削仕上げ、磁気
記録装置に使用される磁気ディスク又は磁気ヘッドの研
削加工等高精度．高品質の要望が強く、これらの要望に
沿って超精密機械加工が可能な工作機械の開発が急がれ
文いる。
記録装置に使用される磁気ディスク又は磁気ヘッドの研
削加工等高精度．高品質の要望が強く、これらの要望に
沿って超精密機械加工が可能な工作機械の開発が急がれ
文いる。
通常，これらの加工は研削又はランプ作業で進められる
が．しかし、材質が硬脆なので研削盤など加工材に振動
などが発生すると．例え微振動であってもチッピングを
生じ易く、研削工具は高精。
が．しかし、材質が硬脆なので研削盤など加工材に振動
などが発生すると．例え微振動であってもチッピングを
生じ易く、研削工具は高精。
度で回転すること、被加工物の送り制御についても摺動
案内面の凹凸などの影響のない平滑な送り精度が要求さ
れる。このような高精度，高品質な硬脆材料の加工を行
うために ■ ０．１ミクロン単位の精密な位置決めが安定して行
えること。
案内面の凹凸などの影響のない平滑な送り精度が要求さ
れる。このような高精度，高品質な硬脆材料の加工を行
うために ■ ０．１ミクロン単位の精密な位置決めが安定して行
えること。
■ 加工負荷に耐え得るだけの十分な剛性と減衰能があ
ること。
ること。
■ 極めて低速の送り速度でも平滑で一定した送りが実
現できること。
現できること。
等の特徴をもった静圧ＸＹテーブルは精密な測定をする
多次元測定器や精密加工を行う研削盤のテーブルとして
適している。
多次元測定器や精密加工を行う研削盤のテーブルとして
適している。
これら静圧軸受を使用した静圧ＸＹテーブルにおける問
題点・はいかにして前記した静圧案内面に流体圧を供給
するかである。移動する摺動テーブルに流体圧を供給す
るためには、屈曲可能な輸送管を流体圧源もしくは中継
点から摺動テーブルまで連結する必要があるが、輸送管
等をうまく配置することはきわめて重要である。
題点・はいかにして前記した静圧案内面に流体圧を供給
するかである。移動する摺動テーブルに流体圧を供給す
るためには、屈曲可能な輸送管を流体圧源もしくは中継
点から摺動テーブルまで連結する必要があるが、輸送管
等をうまく配置することはきわめて重要である。
輸送管がうまく配置されなし・と、輸送管が他の物体に
動きが妨害されたり接触したりして、摺動テーブルの動
きが阻害されるだけでなく、輸送管がきわめて短時間の
うちに破損し、静圧案内面等の損傷につながる原因とな
る。
動きが妨害されたり接触したりして、摺動テーブルの動
きが阻害されるだけでなく、輸送管がきわめて短時間の
うちに破損し、静圧案内面等の損傷につながる原因とな
る。
本発明の目的は前記した如く静圧案内面を有する摺動テ
ーブルに他の物体に決して妨害されたり。
ーブルに他の物体に決して妨害されたり。
接触したりしないと同時に、スムーズな摺動テーブル移
動に応じて伸縮するパンタグラフ型油管路を連絡した高
精度の静圧ＸＹテーブルを提供することである。
動に応じて伸縮するパンタグラフ型油管路を連絡した高
精度の静圧ＸＹテーブルを提供することである。
以下１本発明の一実施例を図面に基づき説明する。第１
図は本発明の一実施例を示す静圧ＸＹテーブルの平面図
。第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図。第３図は第１
図におけるＢ−Ｂ断面図。
図は本発明の一実施例を示す静圧ＸＹテーブルの平面図
。第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図。第３図は第１
図におけるＢ−Ｂ断面図。
第４図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の流体管路の具体的構造
を示す平面図及び要部断面図である。
を示す平面図及び要部断面図である。
第１図、第２図、第３図において、ベッド１０には台形
溝が形成され、該台形溝の両側斜面１０ａ、１０ｂ及び
台形溝の左右の上面１０Ｃ。
溝が形成され、該台形溝の両側斜面１０ａ、１０ｂ及び
台形溝の左右の上面１０Ｃ。
１０ｄの４面によって第１の摺動テーブル２０を係合し
て案内しており、その係合部には１列又は複列の静圧ポ
ケット２０ａ、２Ｄｂ、２０ｃ。
て案内しており、その係合部には１列又は複列の静圧ポ
ケット２０ａ、２Ｄｂ、２０ｃ。
２０ｄが形成されており、外部流体圧力源（図示せず）
から圧送された流体がベッド１０内の流体管路（図示せ
ず）を通り、前記第１の摺動テーブル２０の移動に伴っ
て伸縮するパンタグラフ型流体管路１１．第１の摺動テ
ーブル２０内の管路２０ｅを通り静圧ポケット２ ［１
ａ 、 ２０ ｂ、２０ｃ。
から圧送された流体がベッド１０内の流体管路（図示せ
ず）を通り、前記第１の摺動テーブル２０の移動に伴っ
て伸縮するパンタグラフ型流体管路１１．第１の摺動テ
ーブル２０内の管路２０ｅを通り静圧ポケット２ ［１
ａ 、 ２０ ｂ、２０ｃ。
２０ｄに供給されてベッド１０の係合部１０ａ、１０ｂ
、１０Ｃ１１０ｄとの間に静圧支承力を発生する。
、１０Ｃ１１０ｄとの間に静圧支承力を発生する。
一方、第１のモータ１６で減速機構１４を介して回転駆
動され、ベッド１０上に静圧軸受１５゜１６．１７によ
って支承された第１の親ネジ１８はやはりベッド１［ｌ
内の管路を通り）くンタグラフ型流体管路１２を経て第
１の摺動テーブル２０及び該第１の摺動テーブル２０に
締結されたナンドハウジング２１内の管路２［］ｆ、２
１ａを経てネジリード面の片面に静圧流体を供給するた
めの管路２２ａ、２３ａを有する雌ネジ２２％２６をナ
ンドハウジング２１に互いに対向させて嵌合、締結した
静圧ナツトによりネジ面を静圧支承させろことで送り方
向の剛性及び減衰能を向上させ、しかも摩耗もバックラ
ッシュもない滑らかな送りを第１の摺動テーブル２０に
伝えることを可能にした。
動され、ベッド１０上に静圧軸受１５゜１６．１７によ
って支承された第１の親ネジ１８はやはりベッド１［ｌ
内の管路を通り）くンタグラフ型流体管路１２を経て第
１の摺動テーブル２０及び該第１の摺動テーブル２０に
締結されたナンドハウジング２１内の管路２［］ｆ、２
１ａを経てネジリード面の片面に静圧流体を供給するた
めの管路２２ａ、２３ａを有する雌ネジ２２％２６をナ
ンドハウジング２１に互いに対向させて嵌合、締結した
静圧ナツトによりネジ面を静圧支承させろことで送り方
向の剛性及び減衰能を向上させ、しかも摩耗もバックラ
ッシュもない滑らかな送りを第１の摺動テーブル２０に
伝えることを可能にした。
ここでスペーサ２４は親ネジ１８と雌ネジ２２゜２３と
のリード面の隙間を調整するためのものであり、前記各
係合部から排出される流体は排出溝１０８等を通りベッ
ド１００台形溝内に一度回収させベッド１０外に排出さ
れる。
のリード面の隙間を調整するためのものであり、前記各
係合部から排出される流体は排出溝１０８等を通りベッ
ド１００台形溝内に一度回収させベッド１０外に排出さ
れる。
又１本実施例においては光学スケール１０１の信号を検
出器１０２で検出して電気処理した後モータ１３にフィ
ードバンクさせる完全クローズトループサーボ機構を採
用することで信頼性を向上させている。
出器１０２で検出して電気処理した後モータ１３にフィ
ードバンクさせる完全クローズトループサーボ機構を採
用することで信頼性を向上させている。
同様に第１の摺動テーブル２０上に固定された第２のモ
ータ２４で減速機構２５を介して回転駆動され第１の摺
動テーブル２０上に静圧軸受２６゜２７．２８によって
支承された第２の親ネジ２９はバンクグラフ管路１２．
３０を経て第２の摺動テーブル６２内の管路６２ｆ、前
記第２の摺動テーブル６２に固定されたナントノ・ウジ
フグ６６内の管路３３ａを経てネジリード面の片面に静
圧流体を供給するための管路３４ａ、３５ａを有する雌
ネジ６４．３５をナソトノへウジング６６に互いに対向
させてスペーサ３６を介して嵌合、締結した静圧ナツト
によｐネジ面を静圧支承つせ、−方。
ータ２４で減速機構２５を介して回転駆動され第１の摺
動テーブル２０上に静圧軸受２６゜２７．２８によって
支承された第２の親ネジ２９はバンクグラフ管路１２．
３０を経て第２の摺動テーブル６２内の管路６２ｆ、前
記第２の摺動テーブル６２に固定されたナントノ・ウジ
フグ６６内の管路３３ａを経てネジリード面の片面に静
圧流体を供給するための管路３４ａ、３５ａを有する雌
ネジ６４．３５をナソトノへウジング６６に互いに対向
させてスペーサ３６を介して嵌合、締結した静圧ナツト
によｐネジ面を静圧支承つせ、−方。
第一１の摺動テーブル２０にも台形溝が形成され、台形
溝の両側斜面２０ｇ、２０ｈ及び台形溝の左右上面２０
ｉ、２０ｊの４面によって第２の摺動テーブル６２を係
合して案内しており、その係合部には１列又は複列の静
圧ポケット３２ ａ、−３’２ｂ。
溝の両側斜面２０ｇ、２０ｈ及び台形溝の左右上面２０
ｉ、２０ｊの４面によって第２の摺動テーブル６２を係
合して案内しており、その係合部には１列又は複列の静
圧ポケット３２ ａ、−３’２ｂ。
６２ｃ’、４２ａが形成されており、パンタグラフ管路
１１．６１を経て第２の摺動テーブル６゛２内の管路３
２ｅを５通り静圧ポケット３２ａ・、６２ｂ、。
１１．６１を経て第２の摺動テーブル６゛２内の管路３
２ｅを５通り静圧ポケット３２ａ・、６２ｂ、。
３２Ｃ，３２ｄに供給されて第１の摺動テーブル２０の
係合部２０ｇ、２０ｈ、２０ｉ、２０ｊとの間に静圧支
承力を発生する。
係合部２０ｇ、２０ｈ、２０ｉ、２０ｊとの間に静圧支
承力を発生する。
又、第２の摺動テーブル６２も光学スケール２０１を設
け、検出器２０２の出力信号をモータ２４にフィードバ
ダクさせる完全クローズトループサーボ機構を採用しみ
おり、第１の摺動テーブル同様の高精度、高剛性な送り
を可能にしている。
け、検出器２０２の出力信号をモータ２４にフィードバ
ダクさせる完全クローズトループサーボ機構を採用しみ
おり、第１の摺動テーブル同様の高精度、高剛性な送り
を可能にしている。
第４図（Ａ）、（Ｂ、）は本発明の伸縮可能なノくンタ
グラフ型流体管路の一実施例を示す平面図及び要部断面
であり、第３′図に示すよつにパンタグラフ型流体管路
１１．１２．３０．３１とあるがいずれも構造的には同
じようなものであり、ここでは流体管路１１の構造につ
いて説明する。
グラフ型流体管路の一実施例を示す平面図及び要部断面
であり、第３′図に示すよつにパンタグラフ型流体管路
１１．１２．３０．３１とあるがいずれも構造的には同
じようなものであり、ここでは流体管路１１の構造につ
いて説明する。
外部流体圧力源（・図示せず）から圧送された流体がベ
ッド１０つの流体管路を通り、流入穴４０ａを形成した
支柱４０に流入する。支柱４０はベッド１０に固定する
ためのネジ部４０ｂ、及び６角ナツト部４０Ｃが形成さ
れ−ており、ベッド１０に設けられたネジ穴へ流体が漏
洩す乏ことなく確実に固定される。
ッド１０つの流体管路を通り、流入穴４０ａを形成した
支柱４０に流入する。支柱４０はベッド１０に固定する
ためのネジ部４０ｂ、及び６角ナツト部４０Ｃが形成さ
れ−ており、ベッド１０に設けられたネジ穴へ流体が漏
洩す乏ことなく確実に固定される。
前記支柱４０は１部にパイプ４６を熔接などで固着した
リング４１が回動可能に嵌挿されている。
リング４１が回動可能に嵌挿されている。
シール部材４２によって回動時など流体の漏洩を防止し
ている。
ている。
摺動テーブル２０に固定される支柱５０に一ついてもほ
ぼ同様の構造であり詳細な説明は省略する。
ぼ同様の構造であり詳細な説明は省略する。
このように流入側、流出側の各支柱４０．５０から延出
するパイプ４６．４９の端部′には前述の如く熔接など
で固着された夫々リング４５′、４６が流路４４．ａを
形成した軸４４に回動自在に嵌挿されており、シール部
材４７．４．８によって流体の漏洩が防止される継手部
材が構成されている。
するパイプ４６．４９の端部′には前述の如く熔接など
で固着された夫々リング４５′、４６が流路４４．ａを
形成した軸４４に回動自在に嵌挿されており、シール部
材４７．４．８によって流体の漏洩が防止される継手部
材が構成されている。
゛このような構造によれば１例えばベット：１０と摺動
テーブル２０の空隙を有効利用して構成することにより
１本実施例の静圧、Ｘ Ｙ−テーブルの如くかなりコン
パクトなユニットとして提供できる。
テーブル２０の空隙を有効利用して構成することにより
１本実施例の静圧、Ｘ Ｙ−テーブルの如くかなりコン
パクトなユニットとして提供できる。
、また前述の如゛＜、輸送管が他の物体に動きが妨害さ
れたり、接触したりして、摺動テーブルの動きが阻害さ
れることもなく、輸送管の破損などにより、静圧案内面
等の損傷も防止できるなど実用上非常に有効である。
れたり、接触したりして、摺動テーブルの動きが阻害さ
れることもなく、輸送管の破損などにより、静圧案内面
等の損傷も防止できるなど実用上非常に有効である。
更に伸縮自在な流体圧管７路を前記した静圧ＸＹテーブ
ルと組合せ加工機に応用した結果、摺動テーレ゛ルの送
り精度も０１ミクロン単位の精密な位置決めが安定して
得られ、低速においても安定した平滑な送りが実垣でき
ることにより、各工程内での寸法公差が１ミクロン以下
を必要とする磁気ディスク用ヘッドの研削加工１寸法精
度及び面粗度に厳しい精度を要求される半導体用ウニ・
・−の研削研摩加工又は光学プ′ラスチック部品の成形
金型の研削研摩加工、ピッチ精度の極めて厳しい精密割
出盤や光通信用コネクタ等の加工等に寸法、位置精度の
みな・らず飛躍的戎面品算を得ることができる。
ルと組合せ加工機に応用した結果、摺動テーレ゛ルの送
り精度も０１ミクロン単位の精密な位置決めが安定して
得られ、低速においても安定した平滑な送りが実垣でき
ることにより、各工程内での寸法公差が１ミクロン以下
を必要とする磁気ディスク用ヘッドの研削加工１寸法精
度及び面粗度に厳しい精度を要求される半導体用ウニ・
・−の研削研摩加工又は光学プ′ラスチック部品の成形
金型の研削研摩加工、ピッチ精度の極めて厳しい精密割
出盤や光通信用コネクタ等の加工等に寸法、位置精度の
みな・らず飛躍的戎面品算を得ることができる。
尚、パンタグラフ型流体管路は本実′流側の構造に限定
されるものではなく、檜動テーフ諏じの移動に２応動し
て、伸縮するパンイタグラフ型のもので同°じ機能を有
するものであればよいことは明ら力１．である。
されるものではなく、檜動テーフ諏じの移動に２応動し
て、伸縮するパンイタグラフ型のもので同°じ機能を有
するものであればよいことは明ら力１．である。
更に前記パンタグラフ型流体管路を静圧ＸＹテーブルに
適用して説明したがこれら用途も別に静圧ＸＹテーブル
に限定されるものではない。
適用して説明したがこれら用途も別に静圧ＸＹテーブル
に限定されるものではない。
第、１図は本発明の一実施例を示す静圧ＸＹテーブイレ
の平面図。第２図は第１図におけるＡ−４断面図。第３
図は第１図におけるＢ−＝Ｂ断面図。第４図（Ａ）、（
Ｂ）、は本発明の流体管路の具体的構造を示す平面図及
び要部断面図である。 １０・・・・・ベッド、 ２０・・・・・・第１の摺動チー、プル。 ６２・・・・・第２の摺動テーブル。 １８・・・・・・第１の親ネジ。 ２９・・・・・第２の親ネジ。 ２１２４．３４．３５・・・・・・雌ネジ。 １１．１２．５０．３１・・・・・パンタグラフ型流体
管路。
の平面図。第２図は第１図におけるＡ−４断面図。第３
図は第１図におけるＢ−＝Ｂ断面図。第４図（Ａ）、（
Ｂ）、は本発明の流体管路の具体的構造を示す平面図及
び要部断面図である。 １０・・・・・ベッド、 ２０・・・・・・第１の摺動チー、プル。 ６２・・・・・第２の摺動テーブル。 １８・・・・・・第１の親ネジ。 ２９・・・・・第２の親ネジ。 ２１２４．３４．３５・・・・・・雌ネジ。 １１．１２．５０．３１・・・・・パンタグラフ型流体
管路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （０ベッドと該ベッド上に形成された案内面に係合案内
されて摺動可能に載置された摺動テーブルを有するテー
ブル機構において、前記ベッド上の摺動テーブル係合案
内面には外部流体圧力源がら静圧流体を供給するための
管路が配置された静圧案内を備え、前記管路は一端が外
部流体圧力源からの中継点とｌ−てのベッド等の固定側
、他端が移動する摺動テーブル側に固定され、中間に流
路を備えた回動可能な継手部材によって連結された伸縮
自在なパンタグラフ型流体管路からなることを特徴とす
るテーブル機構。 （２）パンタグラフ型流体管路はベッドの平面内で。 且つベッドと摺動テーブルとで形成される空隙に配置さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
テーブル機構。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3666783A JPS59162401A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | テ−ブル機構 |
| US06/569,217 US4577845A (en) | 1983-01-18 | 1984-01-09 | Hydrostatic pressure XY table |
| GB08400872A GB2135916B (en) | 1983-01-18 | 1984-01-13 | Xy table for machine operations |
| DE19843401583 DE3401583A1 (de) | 1983-01-18 | 1984-01-18 | Xy-kreuzschlitten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3666783A JPS59162401A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | テ−ブル機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59162401A true JPS59162401A (ja) | 1984-09-13 |
| JPH0368357B2 JPH0368357B2 (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=12476204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3666783A Granted JPS59162401A (ja) | 1983-01-18 | 1983-03-08 | テ−ブル機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59162401A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103673947A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-03-26 | 江苏宏丰奥凯机电有限公司 | 高压油管万能管型检具 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5397859A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-26 | Fujitsu Ltd | Plane positioning shifter |
| JPS5474456A (en) * | 1977-08-20 | 1979-06-14 | Rolls Royce | Rotary placing device |
-
1983
- 1983-03-08 JP JP3666783A patent/JPS59162401A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5397859A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-26 | Fujitsu Ltd | Plane positioning shifter |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103673947A (zh) * | 2013-12-04 | 2014-03-26 | 江苏宏丰奥凯机电有限公司 | 高压油管万能管型检具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0368357B2 (ja) | 1991-10-28 |
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