JPS5916256A - 電子顕微鏡における視野設定装置 - Google Patents
電子顕微鏡における視野設定装置Info
- Publication number
- JPS5916256A JPS5916256A JP57126080A JP12608082A JPS5916256A JP S5916256 A JPS5916256 A JP S5916256A JP 57126080 A JP57126080 A JP 57126080A JP 12608082 A JP12608082 A JP 12608082A JP S5916256 A JPS5916256 A JP S5916256A
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- JP
- Japan
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- sample
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- shifting
- electron
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透過結像型電子顕微鏡又は走査電子顕微鏡にお
（）る視野捜しを容易に行うための装置に関する。
（）る視野捜しを容易に行うための装置に関する。
透過重子顕微鏡においては、試料を透過した電子線は結
像レンズ系によって螢光板上に結゛像される。この顕微
鏡像の視野を移動させるためには、通常電子線が照射さ
れる試料の位置を機械的に移動りる試料移動機構が用い
られる。試料移動機構の操作（Ｊ手動Ｃ′、又はパルス
モータを用いて行われるが、観察倍率が高くなるに従っ
て試料移動量も極め（僅かとなり、振動等を生じさｔ！
ないように慎重に僅かづつ移動させなければならず、又
観察倍率が低くなるに従って試料の移動量が増加りるた
め、視野移動の操作には少なからぬ時間が必要Ｃあった
。そのため観察試料の目的とする箇所を捜Ｊ所謂視野捜
しの操作は、このような視野移動を何回も繰り返さ’、
’Ｋ Ｌ〕ればならず、煩わしい操作であった。一方、
視野移動を行う他の方法としＣ結像レンズ系内の適宜な
位置に設（）られた偏向−コイルと、該偏向コイルへ試
料の特定箇所を透過した電子線のみを結像レンズ系内の
光軸近傍に導くように偏向電流を供給する手段からなる
偏向移動機構を用いる方法があり、特に高倍率像にお（
プる微小な試料移動をスムーズに行う目的に用いられて
いる。（詳細は特公昭４８−３３９０３号参照）しかし
ながら、このような電気的視野移動のｈ法も観察倍率が
低くなるに従って、試お１透過電子線のなかでも結像レ
ンズ系光軸から大きく外・れた電子線を使用しな（）れ
ばならず、そのためレンズ収差の影響による像の歪が大
きくなる欠点があるため、低倍率像にお【プる視野捜し
に用いられることは殆ノυどなかった。
像レンズ系によって螢光板上に結゛像される。この顕微
鏡像の視野を移動させるためには、通常電子線が照射さ
れる試料の位置を機械的に移動りる試料移動機構が用い
られる。試料移動機構の操作（Ｊ手動Ｃ′、又はパルス
モータを用いて行われるが、観察倍率が高くなるに従っ
て試料移動量も極め（僅かとなり、振動等を生じさｔ！
ないように慎重に僅かづつ移動させなければならず、又
観察倍率が低くなるに従って試料の移動量が増加りるた
め、視野移動の操作には少なからぬ時間が必要Ｃあった
。そのため観察試料の目的とする箇所を捜Ｊ所謂視野捜
しの操作は、このような視野移動を何回も繰り返さ’、
’Ｋ Ｌ〕ればならず、煩わしい操作であった。一方、
視野移動を行う他の方法としＣ結像レンズ系内の適宜な
位置に設（）られた偏向−コイルと、該偏向コイルへ試
料の特定箇所を透過した電子線のみを結像レンズ系内の
光軸近傍に導くように偏向電流を供給する手段からなる
偏向移動機構を用いる方法があり、特に高倍率像にお（
プる微小な試料移動をスムーズに行う目的に用いられて
いる。（詳細は特公昭４８−３３９０３号参照）しかし
ながら、このような電気的視野移動のｈ法も観察倍率が
低くなるに従って、試お１透過電子線のなかでも結像レ
ンズ系光軸から大きく外・れた電子線を使用しな（）れ
ばならず、そのためレンズ収差の影響による像の歪が大
きくなる欠点があるため、低倍率像にお【プる視野捜し
に用いられることは殆ノυどなかった。
本発明は上述したような視野捜し操作の煩わしさを解消
することを目的とＪるものぐ、電子顕微鏡像の視野移動
を電子線が照射される試料の移動によって行う試料移動
機構、及び試料照射電子線又は試料透過電子線の電磁偏
向によって視野移動を行う偏向移動機構を具偏する装置
において、前記偏向移動機構を操作して移動した視野移
動を前記試料移動機構による視野移動によって置きかえ
る手段を設けたことを特徴とづるものである。
することを目的とＪるものぐ、電子顕微鏡像の視野移動
を電子線が照射される試料の移動によって行う試料移動
機構、及び試料照射電子線又は試料透過電子線の電磁偏
向によって視野移動を行う偏向移動機構を具偏する装置
において、前記偏向移動機構を操作して移動した視野移
動を前記試料移動機構による視野移動によって置きかえ
る手段を設けたことを特徴とづるものである。
図面は本発明を透過電子顕微鏡に適用した実施例装置を
示す略図である。図において、１は薄膜状の試料を表わ
しており、該試料には電子銃２から出射される電子線３
が収束レンズ４によって平行な状態で照射される。試料
１を透過した電子線は対物レンズ５．中間レンズ６、投
影レンズ７からなる結像レンズ系によって螢光板８上に
顕微鏡像を結像りる。この顕微鏡像の像倍率を変化さけ
るには倍率指定手段９を操作しＣ結像レンズ系のレンズ
電源１０の出ツノを変化させることによって行われるが
、顕微ｌｔ像の視野を変えるには図中に示ヴ操作パネル
１１のツマミを操作して行う。例えば、螢光板８上に表
示される顕微鏡像をＸ方向へ左右へ移動しようどりる場
合にはツマミ１２Ｘ父は１３Ｘを移動量に応じた回数押
圧し、Ｙ方向へ１−’Ｆ移動しようどりる場合にはツマ
ミ１４Ｙ。
示す略図である。図において、１は薄膜状の試料を表わ
しており、該試料には電子銃２から出射される電子線３
が収束レンズ４によって平行な状態で照射される。試料
１を透過した電子線は対物レンズ５．中間レンズ６、投
影レンズ７からなる結像レンズ系によって螢光板８上に
顕微鏡像を結像りる。この顕微鏡像の像倍率を変化さけ
るには倍率指定手段９を操作しＣ結像レンズ系のレンズ
電源１０の出ツノを変化させることによって行われるが
、顕微ｌｔ像の視野を変えるには図中に示ヴ操作パネル
１１のツマミを操作して行う。例えば、螢光板８上に表
示される顕微鏡像をＸ方向へ左右へ移動しようどりる場
合にはツマミ１２Ｘ父は１３Ｘを移動量に応じた回数押
圧し、Ｙ方向へ１−’Ｆ移動しようどりる場合にはツマ
ミ１４Ｙ。
１５Ｙを移動車に応じた回数押圧づることによつ（視野
移動の方向ど場を指定する。ツマミを押りことによって
発生した信号は信号発生回路１６を介しく中央制御回路
１７に送られ、該回路１７にあい（倍率指定手段９から
の信号と共に偏向電源ＩＥ３Ｘ、１９Ｙの出力をどの値
に覆るかを演粋し、イの結果に基づいて偏向電源１８Ｘ
、１９Ｙへ制御信号を供給する。偏向電源１８Ｘ、１９
Ｙは夫々−二段の偏向コイル２ｏｘ、２１Ｘ及び２０Ｙ
。
移動の方向ど場を指定する。ツマミを押りことによって
発生した信号は信号発生回路１６を介しく中央制御回路
１７に送られ、該回路１７にあい（倍率指定手段９から
の信号と共に偏向電源ＩＥ３Ｘ、１９Ｙの出力をどの値
に覆るかを演粋し、イの結果に基づいて偏向電源１８Ｘ
、１９Ｙへ制御信号を供給する。偏向電源１８Ｘ、１９
Ｙは夫々−二段の偏向コイル２ｏｘ、２１Ｘ及び２０Ｙ
。
２１Ｙへ１流１扁向電流を供給することによっ−Ｃ試お
１１の特定箇所を透過づる電子線を中間レンズ以下の結
像レンズ系の光軸へ導いて螢光板上へ結像させる。この
ような電気的視野移動の操作は前述したように操作が迅
速で容易なため、視野捜しのために何回も視野移動する
には極めて都合がよい。
１１の特定箇所を透過づる電子線を中間レンズ以下の結
像レンズ系の光軸へ導いて螢光板上へ結像させる。この
ような電気的視野移動の操作は前述したように操作が迅
速で容易なため、視野捜しのために何回も視野移動する
には極めて都合がよい。
以上の要領で電気的視野移動による視野捜しの操作が完
了すると、操作パネル１１のツマミＳを押圧づる。ツマ
ミＳを押すことによって生じた信号発生回路１６からの
（ｇ号が中央制御回路１７に印加されると、偏向電源１
８Ｘ、１９Ｙへ供給していた信号の値がメ七り−に記憶
されると共に、偏向電源１８Ｘ、１９Ｙヘリセツトの信
号を供給して偏向コイル２０Ｘ、２０Ｙ、２１Ｘ、２１
Ｙによる電気的視野移動をＡ）にする。それと同時に、
前記メモリーに記憶された電気的視野移動に関りる情報
を試料移動装＠２２のＸ方向駆動用パルスモータ２３Ｘ
とＹ方向駆動用パルスモータ２４Ｙへ供給ずべき制御信
号に換算しＣその換算された制御信号をパルスモータ２
３Ｘ、２４Ｙへ供給Ｊる。この換算は電気的視野移動と
試料の機械的な移動による視野移動の方向とｎｌが一致
りるＪ、うにｔＪ４’、＋ねるの（・、Ｓボタンを押し
）こｉｊ′ｊ′後の短時間を除りぼＳボタンを押り前後
にａ３りる螢光板８１の視野１よ一定ｔこ保たれる。し
かしながら顕微鏡像の歪や収差はボタンＳを押づ以前よ
りも改善されＩこｂのと４１″つ（いるのＣ１写真撮影
や訂４１１１ ’ｊ肉眼観察には適したものとなる。
了すると、操作パネル１１のツマミＳを押圧づる。ツマ
ミＳを押すことによって生じた信号発生回路１６からの
（ｇ号が中央制御回路１７に印加されると、偏向電源１
８Ｘ、１９Ｙへ供給していた信号の値がメ七り−に記憶
されると共に、偏向電源１８Ｘ、１９Ｙヘリセツトの信
号を供給して偏向コイル２０Ｘ、２０Ｙ、２１Ｘ、２１
Ｙによる電気的視野移動をＡ）にする。それと同時に、
前記メモリーに記憶された電気的視野移動に関りる情報
を試料移動装＠２２のＸ方向駆動用パルスモータ２３Ｘ
とＹ方向駆動用パルスモータ２４Ｙへ供給ずべき制御信
号に換算しＣその換算された制御信号をパルスモータ２
３Ｘ、２４Ｙへ供給Ｊる。この換算は電気的視野移動と
試料の機械的な移動による視野移動の方向とｎｌが一致
りるＪ、うにｔＪ４’、＋ねるの（・、Ｓボタンを押し
）こｉｊ′ｊ′後の短時間を除りぼＳボタンを押り前後
にａ３りる螢光板８１の視野１よ一定ｔこ保たれる。し
かしながら顕微鏡像の歪や収差はボタンＳを押づ以前よ
りも改善されＩこｂのと４１″つ（いるのＣ１写真撮影
や訂４１１１ ’ｊ肉眼観察には適したものとなる。
以上のように本発明においては、電子線幅面手段を用い
た視野移動と機械的試料移動を用いた視野移動の瞬時１
７Ｊ換槻椙を設りたことにＪ、す、電子Ｗ１微鏡（ごお
りる視野捜しの壕作を迅速目つ容易（こ１ｊうことが１
す１ｊヒどなる。
た視野移動と機械的試料移動を用いた視野移動の瞬時１
７Ｊ換槻椙を設りたことにＪ、す、電子Ｗ１微鏡（ごお
りる視野捜しの壕作を迅速目つ容易（こ１ｊうことが１
す１ｊヒどなる。
図面は本発明の一実施例装置を示す略図である。
Claims (1)
- 電子顕微鏡像の視野移動を電子線が照射される試料の移
動によって行う試料移動機構、及び試料前用電子線又は
試料透過電子線の偏向によって視野移動を行う偏向移動
機構を具備する装置において、前記偏向移動機構を操作
し”Ｃ移動した視野移動を前記試料移動機構による視野
移動によって置きかえる手段を設けたことを特徴とりる
電子顕微鏡にｄ３４プる視野設定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126080A JPS5916256A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 電子顕微鏡における視野設定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126080A JPS5916256A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 電子顕微鏡における視野設定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5916256A true JPS5916256A (ja) | 1984-01-27 |
| JPS6314810B2 JPS6314810B2 (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=14926109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57126080A Granted JPS5916256A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 電子顕微鏡における視野設定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5916256A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152151A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2009176572A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の制御装置及び制御方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0599064A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-20 | Kubota Corp | 空冷多気筒頭上弁エンジンのシリンダヘツド |
| KR101724574B1 (ko) * | 2012-11-19 | 2017-04-10 | 한화테크윈 주식회사 | 이오나이저 시스템 |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP57126080A patent/JPS5916256A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152151A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2009176572A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の制御装置及び制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6314810B2 (ja) | 1988-04-01 |
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