JPS59163561A - 超音波顕微鏡の音波探触子 - Google Patents
超音波顕微鏡の音波探触子Info
- Publication number
- JPS59163561A JPS59163561A JP58037362A JP3736283A JPS59163561A JP S59163561 A JPS59163561 A JP S59163561A JP 58037362 A JP58037362 A JP 58037362A JP 3736283 A JP3736283 A JP 3736283A JP S59163561 A JPS59163561 A JP S59163561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lower electrode
- sonic probe
- sound
- ultrasonic
- spherical lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
し発明の利用分野〕
本発明は超音波顕微鏡に係り、特にその音波の集束に用
いられる音波探触子の電極構成に関するものである。
いられる音波探触子の電極構成に関するものである。
し従来技術〕
近年ＩＧＨｚ に及ぶ超高周波の音波の発生検出が可
能となり、水中で約１μｍの音波長が実現できることよ
り２超音波を用い高い分解能を有する撮像装置が実現可
能となってきた。第１図は超音波顕微鏡の主要構成部を
示す図である。超音波の集束及び送受は音波伝播体であ
る球面レンズ１により行なっているが、その構造は円柱
状の溶融石によりはさんでいる。このよう番こサントイ
ソチ構造になっている圧′屯素子２に、パルス発振器５
から発生されたパルス６を印加して超音波７を発生させ
る。また、他端部は口径０１罷〜３．０朋程度の凹面体
の半球穴８が形成されており、この半球穴８と試料９と
の間に超音波を殴播させるための媒質（たとえば水）１
０が満たされている。
能となり、水中で約１μｍの音波長が実現できることよ
り２超音波を用い高い分解能を有する撮像装置が実現可
能となってきた。第１図は超音波顕微鏡の主要構成部を
示す図である。超音波の集束及び送受は音波伝播体であ
る球面レンズ１により行なっているが、その構造は円柱
状の溶融石によりはさんでいる。このよう番こサントイ
ソチ構造になっている圧′屯素子２に、パルス発振器５
から発生されたパルス６を印加して超音波７を発生させ
る。また、他端部は口径０１罷〜３．０朋程度の凹面体
の半球穴８が形成されており、この半球穴８と試料９と
の間に超音波を殴播させるための媒質（たとえば水）１
０が満たされている。
圧電素子２によって発生した超音波７は、円柱の中を平
面波となって伝播する。この平向波が半球穴８に達する
と石英（音速６０００ｍ／ｓ）と水（音速１５００ｍ／
ｓ）との音速の差により屈折作用が生じ、試料９面上に
集束した超音波７を照射することができる。逆に、試ｊ
ｆ４９から反射されてくる超音波は球面レンズ１により
集音整相さｎ、平面波となって圧電素子２に達し、ここ
でｉｔ Ｆ信号１１に変換される。このＲＦ信号１１を
受信器１２で受信し、ここでタイオード検波してヒデオ
信号１３に変換し、ＯＲＴティスプレィ１４の人力信号
として用いている。
面波となって伝播する。この平向波が半球穴８に達する
と石英（音速６０００ｍ／ｓ）と水（音速１５００ｍ／
ｓ）との音速の差により屈折作用が生じ、試料９面上に
集束した超音波７を照射することができる。逆に、試ｊ
ｆ４９から反射されてくる超音波は球面レンズ１により
集音整相さｎ、平面波となって圧電素子２に達し、ここ
でｉｔ Ｆ信号１１に変換される。このＲＦ信号１１を
受信器１２で受信し、ここでタイオード検波してヒデオ
信号１３に変換し、ＯＲＴティスプレィ１４の人力信号
として用いている。
このように構成された装置において、試料台駆動電源１
５により平面内で２次元に走査されている試料９の走査
にともなう試料面からの反射の強弱が、２次元的にＣＲ
Ｔディスプレイ１４に表示される。
５により平面内で２次元に走査されている試料９の走査
にともなう試料面からの反射の強弱が、２次元的にＣＲ
Ｔディスプレイ１４に表示される。
以上述べた基本構成番こより超音波顕微像が得られる。
しかし、音波探触子を上部電極−圧ｔけ素子−下部電極
のサンドイッチ構造に仕上げて上下電勲 極間にパルス電圧を印加し、圧電Ｊを励振させて超音波
を発生させるための上部電極への印加は直接端子から接
続できるものの、下部電極においてはアースを取る必要
があるため球面レンズのホルタ１６と下部電極４の間を
こ導電塗料１７を塗るという作業が必要であるが、二の
作業は細心の注意が必要であり、信゛穎性においても不
明な点があり面倒な作業になるという欠点があった。
のサンドイッチ構造に仕上げて上下電勲 極間にパルス電圧を印加し、圧電Ｊを励振させて超音波
を発生させるための上部電極への印加は直接端子から接
続できるものの、下部電極においてはアースを取る必要
があるため球面レンズのホルタ１６と下部電極４の間を
こ導電塗料１７を塗るという作業が必要であるが、二の
作業は細心の注意が必要であり、信゛穎性においても不
明な点があり面倒な作業になるという欠点があった。
本発明の目的は電極間にパルス電圧を印加する際の下部
電極構成の信頼性を高めること及び組立作業の容易ｆヒ
を図ることにある。
電極構成の信頼性を高めること及び組立作業の容易ｆヒ
を図ることにある。
本発明は上記目的を達成するため、球面レンズの周囲に
下部電極リングを設けたものである。
下部電極リングを設けたものである。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。超音
波の集束及び送受は球面レンズ１により行なわれるが、
球面レンズ１の周囲に下部電極リング１８を取付もすて
この上の圧電素子（ＺｎＯあるし）はＰＺＴ ）
２を下部電極３と下部電極４によりサンドイッチ構造（
こする。
波の集束及び送受は球面レンズ１により行なわれるが、
球面レンズ１の周囲に下部電極リング１８を取付もすて
この上の圧電素子（ＺｎＯあるし）はＰＺＴ ）
２を下部電極３と下部電極４によりサンドイッチ構造（
こする。
パルス、発振器５から発生されたパルスを印加して超音
波を発生させる機能はなんら従来と変わりないが、下部
電極４は下部電極＋）ング１８の上面に位置するため、
実際は一体の電極を構成したことｉこなる。したがって
、下部電極リング１８を設けた球面レンズ１をホルタ１
６に取付けると、下部電極４と下部型Ｔｈ ’Ｊレンズ
８反びホルダ１６が一連の下部電極部を構成することに
なる。なお、このホルタ１６は音波探触子を固定すると
共に超音波顕微鏡本体に取付られているものである。
波を発生させる機能はなんら従来と変わりないが、下部
電極４は下部電極＋）ング１８の上面に位置するため、
実際は一体の電極を構成したことｉこなる。したがって
、下部電極リング１８を設けた球面レンズ１をホルタ１
６に取付けると、下部電極４と下部型Ｔｈ ’Ｊレンズ
８反びホルダ１６が一連の下部電極部を構成することに
なる。なお、このホルタ１６は音波探触子を固定すると
共に超音波顕微鏡本体に取付られているものである。
このように球面レンズの周囲に下部電極リングを設ける
ことにより、わざわざ下部電極部を構成するための導電
塗料を塗る必要もなく、信頼性および作業性の面で大き
な効果がある。
ことにより、わざわざ下部電極部を構成するための導電
塗料を塗る必要もなく、信頼性および作業性の面で大き
な効果がある。
本発明によれば、下部電極と下部電極リングが一体につ
ながっており、下部電極リングは球面レンズのホルタに
接しているため、音波探触子の７ｕ極間にパルス電圧を
印加する際の下部電極構成の信頼性を高めることができ
る。才だ、アース形成のだめの導電塗料塗布の必要がな
く、組立作業の容易化が図れるという効果がある。
ながっており、下部電極リングは球面レンズのホルタに
接しているため、音波探触子の７ｕ極間にパルス電圧を
印加する際の下部電極構成の信頼性を高めることができ
る。才だ、アース形成のだめの導電塗料塗布の必要がな
く、組立作業の容易化が図れるという効果がある。
第１図は超音波顕微鏡の構成図、第２図は本発明による
下部電極の構成を示す断面図である。
下部電極の構成を示す断面図である。
Claims (1)
- １一端部に形成された凹面穴を有する音波伝播体と、こ
の音波伝播体の他端部に設けた圧電素子とを有する音波
探触子からなり、音波伝播体の焦点近傍に設けられた試
料からのしよう乱音波により上記試料を撮影するように
した超音波顕微鏡において、音波伝播体の周囲に下部′
；に極リングを設けたことを特徴とする超音波顕微鏡の
音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58037362A JPS59163561A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 超音波顕微鏡の音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58037362A JPS59163561A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 超音波顕微鏡の音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59163561A true JPS59163561A (ja) | 1984-09-14 |
Family
ID=12495424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58037362A Pending JPS59163561A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 超音波顕微鏡の音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59163561A (ja) |
-
1983
- 1983-03-09 JP JP58037362A patent/JPS59163561A/ja active Pending
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