JPS59171809A - 位置決め機構 - Google Patents
位置決め機構Info
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- JPS59171809A JPS59171809A JP4441683A JP4441683A JPS59171809A JP S59171809 A JPS59171809 A JP S59171809A JP 4441683 A JP4441683 A JP 4441683A JP 4441683 A JP4441683 A JP 4441683A JP S59171809 A JPS59171809 A JP S59171809A
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- sample
- adapter
- positioning
- positioning mechanism
- laser beam
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は位置決め機構に関し、特に薄板状の試料を基準
方向に対して所定角度の傾きを有する如く位置決めする
位置決め機構に関する。
方向に対して所定角度の傾きを有する如く位置決めする
位置決め機構に関する。
例えば、平板状試料表面の平面度を高精度（誤差０．０
１μｍ程度）Ｋ測定するための平面度測定装置において
は、試料面を、予め基準方向に設定し、かつ、そのＸＹ
Ｚ位置も基準位置に合わせる必要がある。
１μｍ程度）Ｋ測定するための平面度測定装置において
は、試料面を、予め基準方向に設定し、かつ、そのＸＹ
Ｚ位置も基準位置に合わせる必要がある。
このうちで最も問題となるのは、測定対象面を差遣方向
に設定することであり、従来は次のような機構が用いら
れていた。
に設定することであり、従来は次のような機構が用いら
れていた。
第１図は、従来、平面を光軸に対して垂直に位置決めす
るためのバネ・バランス方式の垂直度調整機構の概要を
示すものであり、（ａ）は一部を破断して示す斜視図、
（ｂ）は要部を示す側面図である。
るためのバネ・バランス方式の垂直度調整機構の概要を
示すものであり、（ａ）は一部を破断して示す斜視図、
（ｂ）は要部を示す側面図である。
この機構は、鋼球１′により１点支持されるとともに、
周囲をスプリング２′により数個所接続したテーブル３
′上に試料ケを載置し、上記鋼球１′の位置をＸＹテー
ブル５′により移動させることにより、支持点とスプリ
ング２′の張力とのバランスによりテーブル３′面の傾
きを修正するものである。
周囲をスプリング２′により数個所接続したテーブル３
′上に試料ケを載置し、上記鋼球１′の位置をＸＹテー
ブル５′により移動させることにより、支持点とスプリ
ング２′の張力とのバランスによりテーブル３′面の傾
きを修正するものである。
しかしながら、この機構では、上記傾き修正動作（あお
り）の回動中心が一定でないため垂直度調整により上下
位置も変化するという問題、テーブルの固定力が弱く外
部振動、テーブル上で試料を移動させた場合の重心位置
変動の影響を受は易く、安定性に欠ける等の問題があっ
た。
り）の回動中心が一定でないため垂直度調整により上下
位置も変化するという問題、テーブルの固定力が弱く外
部振動、テーブル上で試料を移動させた場合の重心位置
変動の影響を受は易く、安定性に欠ける等の問題があっ
た。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、従来の位置決め機構における上述の如き
問題を解消し、安定した位置決め操作が可能な位置決め
機構を提供することにある。
するところは、従来の位置決め機構における上述の如き
問題を解消し、安定した位置決め操作が可能な位置決め
機構を提供することにある。
本発明の要点は、試料台上に載置された平板状の試料を
基準方向に対して所定角度の傾きを有する如（位置決め
する機構において、前記試料台を、互いに直交する２本
の軸をそれぞれ中心として回動自在に支承するとともに
、前記試料面上に前記基準方向から照射したレーザビー
ムの、該試料面での正反射光方向を検出することにより
、該試料面の傾きを検出する手段と、該検出手段の出力
に基づいて前記試料台の傾きを調整する手段とを設けた
点にある。
基準方向に対して所定角度の傾きを有する如（位置決め
する機構において、前記試料台を、互いに直交する２本
の軸をそれぞれ中心として回動自在に支承するとともに
、前記試料面上に前記基準方向から照射したレーザビー
ムの、該試料面での正反射光方向を検出することにより
、該試料面の傾きを検出する手段と、該検出手段の出力
に基づいて前記試料台の傾きを調整する手段とを設けた
点にある。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
以下の説明は、本発明の一実施例である試料台傾き調整
機構に、ＸＹ方向位置合わせ機構およびＺ方向位置合わ
せ機構を組合わせた、試料の総合的位置決め機構を例に
挙げて行う。
機構に、ＸＹ方向位置合わせ機構およびＺ方向位置合わ
せ機構を組合わせた、試料の総合的位置決め機構を例に
挙げて行う。
なお本明細書において、ＸＹ方向とは試料表面を含む平
面内に定義される互いに直交する方向を、また、Ｚ方向
とは上記平面に垂直の方向を言う。
面内に定義される互いに直交する方向を、また、Ｚ方向
とは上記平面に垂直の方向を言う。
本実施例の位置決め機構の概要を以下に述べる。
（１）小さな試料（例えば、数ｎ角）を複数個直線状に
並べて、アダプター（１種のパレット）に装填し、この
アダプタ一単位での取扱いと、細部での個々の試料対応
の取扱いとを行う。
並べて、アダプター（１種のパレット）に装填し、この
アダプタ一単位での取扱いと、細部での個々の試料対応
の取扱いとを行う。
（２） Ｘ Ｙ方向の位置合わせは、予め位置精度を確
保した直線状ガイドブロックに、前記アダプターを押し
当てて、その位置を固定する方法により行い、個々の試
料の位置合わせおよびアダプターの搬入・搬出は共通の
押込みロッドにより行う。
保した直線状ガイドブロックに、前記アダプターを押し
当てて、その位置を固定する方法により行い、個々の試
料の位置合わせおよびアダプターの搬入・搬出は共通の
押込みロッドにより行う。
（３）Ｚ方向の位置合わせは、レーザビームおよびポジ
ションセンサを用いて検出した基準値からのズレ量をパ
ルスモータに送るパルス数に変換してボールネジ、テー
パスライド等を介して調整する。
ションセンサを用いて検出した基準値からのズレ量をパ
ルスモータに送るパルス数に変換してボールネジ、テー
パスライド等を介して調整する。
（４）傾き調整は、レーザビームおよびポジションセン
サを用いて検出した基準値からのズレをパルスモータに
送るパルス数に変換して、ボールネジ、スライドガイド
等を介して、２方向から調整する。
サを用いて検出した基準値からのズレをパルスモータに
送るパルス数に変換して、ボールネジ、スライドガイド
等を介して、２方向から調整する。
以下、各項について詳細に説明する。
（１）ロード・アンロードおよびＸＹ方向位置決め機構
第２図（ａ）は試料を複数個まとめてセットするための
アダプターの詳細を示すものである。試料１はアダプタ
ー２上で、板バネ２−１．ピン２−２および直線ブロッ
ク２−３により、個々にそのＸ。
アダプターの詳細を示すものである。試料１はアダプタ
ー２上で、板バネ２−１．ピン２−２および直線ブロッ
ク２−３により、個々にそのＸ。
Ｙ方向位置が固定される。すなわち、Ｘ方向位置は直線
ブロック２−３に当接することにより等ピッチに、また
、Ｙ方向位置はピン２−２により基準線イに規制され、
この状態は板バネ２−１により保持される。破線で示し
たピン２−４は、アダプター２の裏側に設けられている
ものであり、これについては後に述べる。
ブロック２−３に当接することにより等ピッチに、また
、Ｙ方向位置はピン２−２により基準線イに規制され、
この状態は板バネ２−１により保持される。破線で示し
たピン２−４は、アダプター２の裏側に設けられている
ものであり、これについては後に述べる。
第２図（ｂ）は上述の如く試料を保持したアダプター２
を測定テーブル９上にロード・アンロードする機構の要
部を示すものである。測定テーブル９の右側方に置かれ
たアダプター２は１、直線送り機構（以下、単に「送り
機構」という）４により、測定テーブル９上に送られる
。上記送り機構４は、パルスモータ４−１．ラックとビ
ニオン４−２゜送りガイド４−３．試料送りロッド４−
４および送り位置検出スイッチ群４−５から構成されて
いる。本送り機構手は、送り位置検出スイッチ群４−５
の出力に基づき、アダプター２を所定のピッチで移動・
停止させる機能を有する。そして、各試料１が測定テー
ブル９の中心位置にある状態で、必要な測定動作を行い
、これが終了したら、次の試料を測定テーブル９の中心
位置に送るものである。これを繰返しすべての試料の測
定が終了した場合には、更に送り機構４を動作させて、
アダプター２を測定テーブル９の左側方に設けられてい
るアダプター搬出用ベルト５の位置に送る。搬出用ベル
ト５はモークロにより駆動され、アダプター２を搬出す
る。これらの制御はマイクロコンピュータ搭載の制御装
置８により行われる。
を測定テーブル９上にロード・アンロードする機構の要
部を示すものである。測定テーブル９の右側方に置かれ
たアダプター２は１、直線送り機構（以下、単に「送り
機構」という）４により、測定テーブル９上に送られる
。上記送り機構４は、パルスモータ４−１．ラックとビ
ニオン４−２゜送りガイド４−３．試料送りロッド４−
４および送り位置検出スイッチ群４−５から構成されて
いる。本送り機構手は、送り位置検出スイッチ群４−５
の出力に基づき、アダプター２を所定のピッチで移動・
停止させる機能を有する。そして、各試料１が測定テー
ブル９の中心位置にある状態で、必要な測定動作を行い
、これが終了したら、次の試料を測定テーブル９の中心
位置に送るものである。これを繰返しすべての試料の測
定が終了した場合には、更に送り機構４を動作させて、
アダプター２を測定テーブル９の左側方に設けられてい
るアダプター搬出用ベルト５の位置に送る。搬出用ベル
ト５はモークロにより駆動され、アダプター２を搬出す
る。これらの制御はマイクロコンピュータ搭載の制御装
置８により行われる。
次に、測定テーブル９上におけるアダプター２のＸ、
Ｙ方向位置合わせについて説明する。第２図（Ｃ）は
、測定テーブル９上におけるアダプター２のＸ、Ｙ方向
位置合わせの詳細を示す図である。
Ｙ方向位置合わせについて説明する。第２図（Ｃ）は
、測定テーブル９上におけるアダプター２のＸ、Ｙ方向
位置合わせの詳細を示す図である。
アダプター２には試料１の配列ピッチごとに前記ピン２
−４が設けられている。測定テーブル９上にはアダプタ
ーＸ、 Ｙ方向位置合わせ機構３が設けられている。該
位置合わせ機構３は、３−ＩＡを支点として回動可能で
ストッパ３−９方向にスプリング３−４で付勢されてい
る押さえレバー３−２．３−ＩＢを支点として回動可能
でストッパ３−〇方向にスプリング３−５で付勢されて
いるラチェット３−３．基準スライド面３−８および板
バネ３−７から構成されている。
−４が設けられている。測定テーブル９上にはアダプタ
ーＸ、 Ｙ方向位置合わせ機構３が設けられている。該
位置合わせ機構３は、３−ＩＡを支点として回動可能で
ストッパ３−９方向にスプリング３−４で付勢されてい
る押さえレバー３−２．３−ＩＢを支点として回動可能
でストッパ３−〇方向にスプリング３−５で付勢されて
いるラチェット３−３．基準スライド面３−８および板
バネ３−７から構成されている。
前記送り機構４により図の右方から送り込まれたアダプ
ター２は、上記ラチェツ）３−３．押さえレバ〜３−２
をそれぞれスプリング３−５ 、３−４に抗して移動さ
せ、図の位置で停止する。ここで送り機構を若干後退さ
せると、押さえレバー３−２はスプリング３−４により
ピン２−４を図の右方向に押し、かつ、ラチェット３−
３はストッパ３−６で抑止されるので、アダプター２は
ラチェット３−３により規制された位置に停止し、Ｘ方
向の予め規定された基準位置に合わせられる。
ター２は、上記ラチェツ）３−３．押さえレバ〜３−２
をそれぞれスプリング３−５ 、３−４に抗して移動さ
せ、図の位置で停止する。ここで送り機構を若干後退さ
せると、押さえレバー３−２はスプリング３−４により
ピン２−４を図の右方向に押し、かつ、ラチェット３−
３はストッパ３−６で抑止されるので、アダプター２は
ラチェット３−３により規制された位置に停止し、Ｘ方
向の予め規定された基準位置に合わせられる。
また、Ｙ方向については、アダプター２を板バネ３−７
により基準スライド面３−８に押圧することにより定位
置が得られる。なお、Ｘ方向に前記等ピツチの送りを行
い、上と同様に停止させることにより、アダプター２上
の各試料１の位置について、Ｘ、 Ｙ方向の位置合わ
せを±ｌＯμｍ程度の精度で行うことができる。測定テ
ーブル上に上記位置合わせ機構３が設けられているため
、前記送り機構４の試料送りロンド４−４の停止精度は
±０，５朋程度で充分である。
により基準スライド面３−８に押圧することにより定位
置が得られる。なお、Ｘ方向に前記等ピツチの送りを行
い、上と同様に停止させることにより、アダプター２上
の各試料１の位置について、Ｘ、 Ｙ方向の位置合わ
せを±ｌＯμｍ程度の精度で行うことができる。測定テ
ーブル上に上記位置合わせ機構３が設けられているため
、前記送り機構４の試料送りロンド４−４の停止精度は
±０，５朋程度で充分である。
（２）傾き設定機構
第３図（ａ）は試料表面に照射されるレーザビームに対
して試料表面をこれに正確に垂直に設定する例を示す斜
視図である。測定テーブル９は前記アダプター２を搭載
する内テーブル９−１と外テープ＃ｌ９−３とから構成
され、内テープＡ／９−１は軸９−２を介して外テーブ
ル９−３に係合されており、外テーブル９−３は軸９−
４を介して固定支持部７に係合されている。従って、内
テーブル９−１は軸９−２．９−４のそれぞれを中心に
回動可能である。また、上記軸９−２．９−４は内テー
ブル９−１上（正確にはその上のアダプター２上）の試
料１表面を含む平面内に設けられており、かつ、互いに
直交している。なお、上記軸９−２．９−４の方向はＸ
、 Ｙ方向と適当な角度（例えば４５°）を有する方
向で良い。
して試料表面をこれに正確に垂直に設定する例を示す斜
視図である。測定テーブル９は前記アダプター２を搭載
する内テーブル９−１と外テープ＃ｌ９−３とから構成
され、内テープＡ／９−１は軸９−２を介して外テーブ
ル９−３に係合されており、外テーブル９−３は軸９−
４を介して固定支持部７に係合されている。従って、内
テーブル９−１は軸９−２．９−４のそれぞれを中心に
回動可能である。また、上記軸９−２．９−４は内テー
ブル９−１上（正確にはその上のアダプター２上）の試
料１表面を含む平面内に設けられており、かつ、互いに
直交している。なお、上記軸９−２．９−４の方向はＸ
、 Ｙ方向と適当な角度（例えば４５°）を有する方
向で良い。
上記軸９−２．９−４の延長上の交点０１をテーブルセ
ンターとし、試料１（第３図（ａ）では省略されている
か、前述の如＼、アダプター２に搭載されている）をこ
こに位置決めする。上記叉点ｏＩから真下側に剛性の高
いアーム９−５を伸ばし、その先端に鋼球９−ｔ３を数
句げる。該鋼球９−６は、フｃ＋ツク１０−１．ｌ０−
２を移動させることにより、それぞれ、Ｘ方向およびＹ
方向に移動可能である。
ンターとし、試料１（第３図（ａ）では省略されている
か、前述の如＼、アダプター２に搭載されている）をこ
こに位置決めする。上記叉点ｏＩから真下側に剛性の高
いアーム９−５を伸ばし、その先端に鋼球９−ｔ３を数
句げる。該鋼球９−６は、フｃ＋ツク１０−１．ｌ０−
２を移動させることにより、それぞれ、Ｘ方向およびＹ
方向に移動可能である。
なお、９−７．９−８はスプリングであり、上述の如く
構成することにより、測定テーブル９面を全方向にあお
ることが可能になる。
構成することにより、測定テーブル９面を全方向にあお
ることが可能になる。
上記ブロック１０−１．１０−２は以下に示す精密Ｘ、
Ｙ送り機構１０により駆動される。該送り機構１０の詳
細を第３図（ｂ）に示した。第３図（ｂ）は、Ｘ、 Ｙ
送り機構１０のＸ方向送り部分のみを示しているが、Ｙ
方向送り部分も全く同様の構成である。パルスモータ１
０−３に直結したボールネジ１０−手の回転により、該
ボールネジ１０−４上のボールナラ）１０５はＺ方向に
移動する。この移動は、スライドガイドがら成るテーバ
摺動面１ｏ−６を介することによってブロック１ｏ−１
をＸ方向に移動させるように変俣される。またテーバ摺
動画１０−６がＺ軸となす角をＡとすると、ブロック１
０−１の送り減速化はｔａｎ Ａに比例することになる
。
Ｙ送り機構１０により駆動される。該送り機構１０の詳
細を第３図（ｂ）に示した。第３図（ｂ）は、Ｘ、 Ｙ
送り機構１０のＸ方向送り部分のみを示しているが、Ｙ
方向送り部分も全く同様の構成である。パルスモータ１
０−３に直結したボールネジ１０−手の回転により、該
ボールネジ１０−４上のボールナラ）１０５はＺ方向に
移動する。この移動は、スライドガイドがら成るテーバ
摺動面１ｏ−６を介することによってブロック１ｏ−１
をＸ方向に移動させるように変俣される。またテーバ摺
動画１０−６がＺ軸となす角をＡとすると、ブロック１
０−１の送り減速化はｔａｎ Ａに比例することになる
。
なお、本実流側においては、送りの際のガタを最小限に
するため、各摺動面１０−６．１０−７．１０−８゜１
０−９にすべてスライドガイドを用いている。
するため、各摺動面１０−６．１０−７．１０−８゜１
０−９にすべてスライドガイドを用いている。
次に、レーザビームに対する垂直度の誤差検出およびフ
ィードバックについて説明する。第３図（ｂ）において
、入射レーザビーム２１は試料１衣面で正反射し、ビー
ムスプリッタ１１を通って２欠元ポジション七ンサ１２
に受光される。上記ポジションセンサ１２は、試料表面
が入射元軸に正確に垂直な場合に、その正反射光がポジ
ションセンサ１２の中心位置で受光されるように、予め
位置調整されている。試料１０表面が正規位置から角度
θだけ傾いた場合、正反射ビームは入射ビームに対して
角度２θの傾きを持つこととなり、前記ポジションセン
サ１２面上でＳ・２θ（Ｓは試料１表面とポジションセ
ンサ１２迄の光路長）の変位を生ずる。このポジション
センサ１２上での受光位置を増幅器１３．アナログ演算
器１４で算出し、これを前記マイクロコンピュータ搭載
の制御装置８に入力して前記変位量をパルスモータ−０
−３のパルス数として出力し、前記ブロック１０−１を
駆動してあおり修正を行う。
ィードバックについて説明する。第３図（ｂ）において
、入射レーザビーム２１は試料１衣面で正反射し、ビー
ムスプリッタ１１を通って２欠元ポジション七ンサ１２
に受光される。上記ポジションセンサ１２は、試料表面
が入射元軸に正確に垂直な場合に、その正反射光がポジ
ションセンサ１２の中心位置で受光されるように、予め
位置調整されている。試料１０表面が正規位置から角度
θだけ傾いた場合、正反射ビームは入射ビームに対して
角度２θの傾きを持つこととなり、前記ポジションセン
サ１２面上でＳ・２θ（Ｓは試料１表面とポジションセ
ンサ１２迄の光路長）の変位を生ずる。このポジション
センサ１２上での受光位置を増幅器１３．アナログ演算
器１４で算出し、これを前記マイクロコンピュータ搭載
の制御装置８に入力して前記変位量をパルスモータ−０
−３のパルス数として出力し、前記ブロック１０−１を
駆動してあおり修正を行う。
ここで、前記ボールネジ１０−４の駆動量（ボールナラ
） Ｉｃ）−５の移動量）を２．鋼球アーム長をｌとす
れば、前記試料１の傾き角θは θキ土ｔａｎ Ａ と表わされる。従って、２およびＡを小さく、かつ、ｌ
を大きく設定すれば微細な傾き調整が可能となる。
） Ｉｃ）−５の移動量）を２．鋼球アーム長をｌとす
れば、前記試料１の傾き角θは θキ土ｔａｎ Ａ と表わされる。従って、２およびＡを小さく、かつ、ｌ
を大きく設定すれば微細な傾き調整が可能となる。
なお、前述の如く、上記動作はＹ方向の移動についても
全く同様である。
全く同様である。
（３）Ｚ方向位置決め機構
測定光学系からの試料面高さは常に一定に保つ必要があ
るが、厚さの異なる試料を測足する場合、あるいは傾き
調整を行ったことにより高さが変動した場合には、測足
テーブル全体の高さを修正する必要を生ずる。第４図に
その実施例を示した。
るが、厚さの異なる試料を測足する場合、あるいは傾き
調整を行ったことにより高さが変動した場合には、測足
テーブル全体の高さを修正する必要を生ずる。第４図に
その実施例を示した。
言うまでもなく、以下の動作は傾き修正を行った後に行
うものである。
うものである。
第４図は試料１°の表面の高さを検出し、これの基準位
置からのズレをパルスモータのパルス数トしてフィード
バックし修正を行うものである。レーザ発振器１６’に
より斜め上方から試料１０表面中心点に照射したレーザ
ビーム１７の試料面での正反射光を一次元ポジションセ
ンサ１８で受光し、その受光位置信号出力を増幅器１９
．アナログ演算器２０を通して前記制御装置８に入力す
る。制御装置８は高さの修正量に対応する分だけパルス
モータ１５−１を駆動し、高さ調整機構１５をその分上
下させる。該高さ調整機構１５は第３図（ｂ）の精密Ｘ
、Ｙ送り機構の片方と全く同様の（裂溝である。
置からのズレをパルスモータのパルス数トしてフィード
バックし修正を行うものである。レーザ発振器１６’に
より斜め上方から試料１０表面中心点に照射したレーザ
ビーム１７の試料面での正反射光を一次元ポジションセ
ンサ１８で受光し、その受光位置信号出力を増幅器１９
．アナログ演算器２０を通して前記制御装置８に入力す
る。制御装置８は高さの修正量に対応する分だけパルス
モータ１５−１を駆動し、高さ調整機構１５をその分上
下させる。該高さ調整機構１５は第３図（ｂ）の精密Ｘ
、Ｙ送り機構の片方と全く同様の（裂溝である。
上記ＸＹ方向位置決め機構、１頃き設廻機構およびＺ方
向位置決め機構を備えた本実施例の位置決め機構によれ
ば、例えば、ＸＹＺ位置合わせ精度±１μｍ１面傾き精
度士ゲ以下の精密位置合わせを自動操作により行うこと
ができた。
向位置決め機構を備えた本実施例の位置決め機構によれ
ば、例えば、ＸＹＺ位置合わせ精度±１μｍ１面傾き精
度士ゲ以下の精密位置合わせを自動操作により行うこと
ができた。
なお、本発明は上記実施例に限られるべきものではない
ことは言うまでもない。
ことは言うまでもない。
以上述べた如く、本発明によれば、殆んどが車中で入手
可能な通常の精度の部分を用いて、きわめて高精度の位
置決めが可能な位置決め機構を実現できるという顕著な
効果を奏するものである。
可能な通常の精度の部分を用いて、きわめて高精度の位
置決めが可能な位置決め機構を実現できるという顕著な
効果を奏するものである。
また本発明の位置決め機構はマイクロコンピュータを用
いて簡単に制御可能であり、自動化がきわめて容易であ
るという利点をも有する。
いて簡単に制御可能であり、自動化がきわめて容易であ
るという利点をも有する。
第１図（ａ）は従来の位置決め機構の一例を示す一部破
断斜視図、同（ｂ）はその狭部を示す側面図、第２図〜
第４図は本発明の一実施例を示すもので、第２図（ａ）
はアダプターを示す平面図、同（ｂ）はアダプター送り
機構を示す平面図、同（Ｃ）はＸＹ方向位置決め機構を
示す平面図、第３図（ａ）は傾き設矩機構を示す斜視図
、同（ｂ）はその詳細を示す側面図、第４図はＺ方向位
置決め機構を示す側面図である。 １：試料、２ニアダブター、３：ＸＹ方向位置合わせ機
構、４：送り機構、５：搬出ベルト、８：制御装置、９
：測ボテープル、ｌｏ：ＸＹ梢密送り機構、１１：ビー
ムスプリッタ、１２．１８：ポジションセンサ、１４．
２０：アナログ演算器。 第 １ 図 ３′ 第 ２ 図 ４９− 第 ２ 図（ｃ） ４・ 第 ３ 図 （ｂ） 上−ｍ＝・＼
断斜視図、同（ｂ）はその狭部を示す側面図、第２図〜
第４図は本発明の一実施例を示すもので、第２図（ａ）
はアダプターを示す平面図、同（ｂ）はアダプター送り
機構を示す平面図、同（Ｃ）はＸＹ方向位置決め機構を
示す平面図、第３図（ａ）は傾き設矩機構を示す斜視図
、同（ｂ）はその詳細を示す側面図、第４図はＺ方向位
置決め機構を示す側面図である。 １：試料、２ニアダブター、３：ＸＹ方向位置合わせ機
構、４：送り機構、５：搬出ベルト、８：制御装置、９
：測ボテープル、ｌｏ：ＸＹ梢密送り機構、１１：ビー
ムスプリッタ、１２．１８：ポジションセンサ、１４．
２０：アナログ演算器。 第 １ 図 ３′ 第 ２ 図 ４９− 第 ２ 図（ｃ） ４・ 第 ３ 図 （ｂ） 上−ｍ＝・＼
Claims (2)
- （１）試料台上に載置された平板状の試料を基準方向に
対して所定角度の傾きを有する如く位置決めする機構に
おいて、前記試料台を、互いに直交する２本の軸をそれ
ぞれ中心として回動自在に支承するとともに、前記試料
面上に前記基準方向から照射したレーザビームの、該試
料面での正反射光方向を検出することにより、該試料面
の傾きを検出する手段と、該検出手段の出力に基づいて
前記試料台の傾きを調整する手段とを設けたことを特徴
とする位置決め機構。 - （２）前記所定角度が９０°であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4441683A JPS59171809A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4441683A JPS59171809A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 位置決め機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59171809A true JPS59171809A (ja) | 1984-09-28 |
Family
ID=12690888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4441683A Pending JPS59171809A (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | 位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59171809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101104052B1 (ko) | 2009-08-18 | 2012-01-06 | 한국항공우주산업 주식회사 | 항공기 날개 자동 접합 시스템 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1983
- 1983-03-18 JP JP4441683A patent/JPS59171809A/ja active Pending
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