JPS5917552U - イオンビ−ム装置等における高圧導入碍子 - Google Patents

イオンビ−ム装置等における高圧導入碍子

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JPS5917552U
JPS5917552U JP11261082U JP11261082U JPS5917552U JP S5917552 U JPS5917552 U JP S5917552U JP 11261082 U JP11261082 U JP 11261082U JP 11261082 U JP11261082 U JP 11261082U JP S5917552 U JPS5917552 U JP S5917552U
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JP
Japan
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insulator
ion beam
beam equipment
container
pressure
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JP11261082U
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相原　龍三
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の高圧導入碍子の断面図、第２図は従
来装置の電位分布の概略図、第３図は従来装置め高圧導
入碍子と真空容器との接合部の拡大図、第４図は本考案
による高圧導入碍子の一実施例を示す図、第５図は本考
案による高圧導入碍子の漏洩電流を説明するための図、
第６図は本考゛案による高圧導入碍子の一実施例の電位
分布の概略図である。 １：高圧ケーブル、２：ナツト、３：０リング、４：押
え金具、５：絶縁体、６：高真空容器、７：絶縁碍子、
８：高圧端子、９：高圧受電端子、１０：締付はネジ、
１１：Ｏリング、２０：絶縁碍子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 導電性容器の壁面を貫通する碍子の中心部に設けられた
    導線によって、碍子端部の真空側の端子に、容器に対し
    て正の電位が与えられる装置において、真空側における
    碍子の該容器との接合部近傍において折り返し部を形成
    したことを特徴とするイオンビーム装置等＋ｅおける高
    圧導入碍子。
JP11261082U 1982-07-23 1982-07-23 イオンビ−ム装置等における高圧導入碍子 Granted JPS5917552U (ja)

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JPS5917552U true JPS5917552U (ja) 1984-02-02
JPS6328517Y2 JPS6328517Y2 (ja) 1988-08-01

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022244054A1 (ja) * 2021-05-17 2022-11-24 株式会社日立ハイテク 高電圧絶縁構造体、荷電粒子銃および荷電粒子ビーム装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5439974U (ja) * 1977-08-24 1979-03-16

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