JPS59179073A - バクテリアカウンタ - Google Patents
バクテリアカウンタInfo
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- JPS59179073A JPS59179073A JP5157783A JP5157783A JPS59179073A JP S59179073 A JPS59179073 A JP S59179073A JP 5157783 A JP5157783 A JP 5157783A JP 5157783 A JP5157783 A JP 5157783A JP S59179073 A JPS59179073 A JP S59179073A
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- DPKHZNPWBDQZCN-UHFFFAOYSA-N acridine orange free base Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC2=NC3=CC(N(C)C)=CC=C3C=C21 DPKHZNPWBDQZCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N benzoquinolinylidene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はバクテリアカウンタに関するものであり、特に
半導体製造等に用いられる超純水中のバクテリア量を測
定するためのバクテリアカウンタに関するものである。
半導体製造等に用いられる超純水中のバクテリア量を測
定するためのバクテリアカウンタに関するものである。
水質検査においては測定水に含まれるバクテリアの種類
等を検査することの他に、単位水量当りどの位の量のバ
クテリアが存在するかを検査することが重要である。こ
のバクテリアの量の検査は例えば医桑品等の製造におい
て極めて少ないバクテリア量のみしか許容されない場合
や、半導体（特に超ＬＳＩ半導体）素子の製造に、
おいて１．ｃｃ当り１００個以下程度のバクテリアの量
のみしか許容されない場合の如く超紳１水を必要とする
分野においては欠くことのできない検査であると言える
。
等を検査することの他に、単位水量当りどの位の量のバ
クテリアが存在するかを検査することが重要である。こ
のバクテリアの量の検査は例えば医桑品等の製造におい
て極めて少ないバクテリア量のみしか許容されない場合
や、半導体（特に超ＬＳＩ半導体）素子の製造に、
おいて１．ｃｃ当り１００個以下程度のバクテリアの量
のみしか許容されない場合の如く超紳１水を必要とする
分野においては欠くことのできない検査であると言える
。
Ｃｒ来、この単位水量当りのバクテリア量を検査する方
法としては、製造された超純水を採取し、この中に含ま
れるバクテリアを倍養して増殖した後、これをフィルタ
個過されたバクテリアを染色し、しかるのち染色された
バクチリアシ［を顕微鏡によって鯖察して計数する方法
が一般的である。
法としては、製造された超純水を採取し、この中に含ま
れるバクテリアを倍養して増殖した後、これをフィルタ
個過されたバクテリアを染色し、しかるのち染色された
バクチリアシ［を顕微鏡によって鯖察して計数する方法
が一般的である。
しかしながら、この種の検査法を用いると超純水の採取
からバクテリア量の計数まで１遊間程度の時［１を要す
ることから、この検査によつて水質の不適格が判明した
としてもこの検査期間中に製造された半導体素子等は不
良品となってしまい、その結果生産コストの上昇をまね
いてしまう恐れが大きい。
からバクテリア量の計数まで１遊間程度の時［１を要す
ることから、この検査によつて水質の不適格が判明した
としてもこの検査期間中に製造された半導体素子等は不
良品となってしまい、その結果生産コストの上昇をまね
いてしまう恐れが大きい。
そこで本発明は極めて短時間で測定水中のバクテリア量
を検出することができ、且つ常時このバクテリア量を監
視することにより半導体等の生産コストを低減させるこ
とが可能なバクテリアカウンタを品１供することを目的
とするものである。
を検出することができ、且つ常時このバクテリア量を監
視することにより半導体等の生産コストを低減させるこ
とが可能なバクテリアカウンタを品１供することを目的
とするものである。
かかる目的を達成するために本発１す」は、アクリノン
オレンジ又はその誘導体が添加さえ１、含有するバクテ
リアとの反応生成物を生成芒ぜた測定水が導かれた透光
性の測定室、この７ｔｌ１１窓室中の測定水に励起光を
照射して該反応生成物から螢光を発生させろための励起
光源、該螢光を受光するための光Ｔに変換器、この光′
１）；変換器の出力を単位バクテリア当りの螢光出力で
ｉｉ；”ＥＩ して出力するための演算器を有すること
を特徴とするバクテリアカウンタである。
オレンジ又はその誘導体が添加さえ１、含有するバクテ
リアとの反応生成物を生成芒ぜた測定水が導かれた透光
性の測定室、この７ｔｌ１１窓室中の測定水に励起光を
照射して該反応生成物から螢光を発生させろための励起
光源、該螢光を受光するための光Ｔに変換器、この光′
１）；変換器の出力を単位バクテリア当りの螢光出力で
ｉｉ；”ＥＩ して出力するための演算器を有すること
を特徴とするバクテリアカウンタである。
以下、図面を参照して本発明を更に詳細に説明する。第
１図は、本発明の一実施例を示すものであり、ｌは例え
ば半導体製造設備に導かれる超純水のラインであり、３
は上記超純水ライン１から分岐省゛路２を通って供給さ
れる測定水にアクリジンオレンジ又はその誘導体（例え
ば３−アミノ−６−メドキシアクリジン等）を供給する
染色剤室４から供給はれるアクリノンオレンジ又はその
誘導体を添加して反応させる反応室テある。アクリジン
オレンジ又はその誘導体は測定水中のバクテリアのＤＮ
Ａ （蛋白質の核であるジオキシボ・ニークリア・アシ
ッド）と反応して反応生成物を生成し、この生成物は励
起光の照射によって螢光を発生させる物質となる。
１図は、本発明の一実施例を示すものであり、ｌは例え
ば半導体製造設備に導かれる超純水のラインであり、３
は上記超純水ライン１から分岐省゛路２を通って供給さ
れる測定水にアクリジンオレンジ又はその誘導体（例え
ば３−アミノ−６−メドキシアクリジン等）を供給する
染色剤室４から供給はれるアクリノンオレンジ又はその
誘導体を添加して反応させる反応室テある。アクリジン
オレンジ又はその誘導体は測定水中のバクテリアのＤＮ
Ａ （蛋白質の核であるジオキシボ・ニークリア・アシ
ッド）と反応して反応生成物を生成し、この生成物は励
起光の照射によって螢光を発生させる物質となる。
例えば励起光としては約４４０乃至５００ ｎｍ（ビー
クイ１６約４８５ｎｒｎ）が用いられ、約５００乃全５
８０ｎｍ（ビーク値約５３０ｎｍ）の螢光を発生させる
。５は反応室に供給される超純水及びアクリジンオレン
ジ又はその誘導体の供給をｉ１ｉ制御するための弁であ
る。
クイ１６約４８５ｎｒｎ）が用いられ、約５００乃全５
８０ｎｍ（ビーク値約５３０ｎｍ）の螢光を発生させる
。５は反応室に供給される超純水及びアクリジンオレン
ジ又はその誘導体の供給をｉ１ｉ制御するための弁であ
る。
反応生成物が生成（１〜２分程度で生成される）された
測定水は次に測定堅５に導かれた後排出される。測定室
５は」二記反応中成、物か生成された測定水に励起光を
ｉｇｉ射して螢光を）・−光きせ、この螢光量を測定す
るためのものでｊ−）す、少なくとも部分的に手記励起
光及び螢光の波長域の光に対して透光性である必要があ
り、例えば石英チューブか用いられる。
測定水は次に測定堅５に導かれた後排出される。測定室
５は」二記反応中成、物か生成された測定水に励起光を
ｉｇｉ射して螢光を）・−光きせ、この螢光量を測定す
るためのものでｊ−）す、少なくとも部分的に手記励起
光及び螢光の波長域の光に対して透光性である必要があ
り、例えば石英チューブか用いられる。
７は励起光源であり、例えば水銀ランｆＮか用いられ、
干渉フィルタ８、集光レンズ９及び例えば反応生成物の
螢光寿命より知い男１：”ｒｌｌのみ励起光を照射する
ためのチョッパ１０を介して測定室５中の測定水に励起
光を照射する。１２は測定水中の反応生成物に励起光が
照射されることによって発生した螢光を受光して、この
螢光強度に基いた出力を発生するためのフォトマルチグ
ライヤである。１１はフォトマルチグライヤ−１２の入
射側に配された干渉フィルタである。第１図において干
渉フィルタ１１及びフォトマルチプライヤ１２は励起光
の光軸方向に配されているように描かれているか、励起
光の入射を防ぐｙ’ｃめに励起光の光軸と直角な方向（
紙面にスｔ して（１「直な方向）に配されろことか好
貰しい。
干渉フィルタ８、集光レンズ９及び例えば反応生成物の
螢光寿命より知い男１：”ｒｌｌのみ励起光を照射する
ためのチョッパ１０を介して測定室５中の測定水に励起
光を照射する。１２は測定水中の反応生成物に励起光が
照射されることによって発生した螢光を受光して、この
螢光強度に基いた出力を発生するためのフォトマルチグ
ライヤである。１１はフォトマルチグライヤ−１２の入
射側に配された干渉フィルタである。第１図において干
渉フィルタ１１及びフォトマルチプライヤ１２は励起光
の光軸方向に配されているように描かれているか、励起
光の入射を防ぐｙ’ｃめに励起光の光軸と直角な方向（
紙面にスｔ して（１「直な方向）に配されろことか好
貰しい。
このようにして１ｉｊｌｉ定寥５の反応生成物の犀に応
した螢光を受光し、たフォトマルチン０ライヤ１２の出
力はロックインアンプ１３を介して演算器１４に入力き
れる。この演算器１４は測定水中のバクテリアの′ｉｄ
に相当するフォトマルチグライヤ１２の出力を、単位バ
クテリア当りの出力で挟ｔａｒ−してバクテリアの情を
゛ −−Ｆ−所出するためのものであり、例えば、７オ
ト了ルチブ′ライア１２からの出力の振幅値を単位、＜
クチリア当りの振幅値で換算することによって油ｊ定水
中に含ｔ ；ｉ’Ｌるバクテリアの量を算出させること
ができる。
した螢光を受光し、たフォトマルチン０ライヤ１２の出
力はロックインアンプ１３を介して演算器１４に入力き
れる。この演算器１４は測定水中のバクテリアの′ｉｄ
に相当するフォトマルチグライヤ１２の出力を、単位バ
クテリア当りの出力で挟ｔａｒ−してバクテリアの情を
゛ −−Ｆ−所出するためのものであり、例えば、７オ
ト了ルチブ′ライア１２からの出力の振幅値を単位、＜
クチリア当りの振幅値で換算することによって油ｊ定水
中に含ｔ ；ｉ’Ｌるバクテリアの量を算出させること
ができる。
ここで、演ｐ器１４に予め設定きれる１１５位ノククテ
リ了当りの出力値について言及する０前述したアクリノ
ンオレンジ又はその誘導体は水中に含まれるほとんど全
てのバクテリアに対して一様に反応する物質であり、更
にその反応生成物はそのバクテリアの種類によらずに特
定の波長域（例えばアクリジンオレンジでは５３０ ｎ
ｒｎにそのピーク波長を有する）の螢光を発光する性質
を有する。又、バクテリアの種類は２０数種類存在する
が１一定の環境条件下においては２種類以上のバクテリ
アが生存することは極めて少ないという性質がある。従
って、あらかじめ測定水の単位バクテリア当りの螢光強
度を設定することは容易であわ、更にこの値を一担設定
しておくたけで高い精度の演算を行なうことが可能であ
る。
リ了当りの出力値について言及する０前述したアクリノ
ンオレンジ又はその誘導体は水中に含まれるほとんど全
てのバクテリアに対して一様に反応する物質であり、更
にその反応生成物はそのバクテリアの種類によらずに特
定の波長域（例えばアクリジンオレンジでは５３０ ｎ
ｒｎにそのピーク波長を有する）の螢光を発光する性質
を有する。又、バクテリアの種類は２０数種類存在する
が１一定の環境条件下においては２種類以上のバクテリ
アが生存することは極めて少ないという性質がある。従
って、あらかじめ測定水の単位バクテリア当りの螢光強
度を設定することは容易であわ、更にこの値を一担設定
しておくたけで高い精度の演算を行なうことが可能であ
る。
１５は演算器１４で得られたバクテリアｂｊ、に相当す
る出力値を表示するための表示器である。
る出力値を表示するための表示器である。
１６は電源であり、１７はチョッパー１０１フオトマル
チシライヤ１２及びロックインアンプ１３を同期して作
動させるだめの制御器である。
チシライヤ１２及びロックインアンプ１３を同期して作
動させるだめの制御器である。
上記の実施例においては、例えば測定水中１ｅｃ当り１
００個以下程度のバクテリアしか含捷ない超純水におけ
るこのバクテリア量を精密に検出するため忙、外部から
の迷光の影響を無くして螢光のみを検出するために、同
期的に駆動されるチョッパーｌＯ及びロックインアンプ
１３を設けているがこれらは必ずしも必要でなく、例え
ば光量７、測定室５及びフォトマルチプライヤ−１２を
暗箱内に収納すればよい。又、迷３１％等が一定焔であ
るならば演算器１４で、この迷光出力を除去するように
してもよい。このようにチョッパー１ｏ及びロックイン
アンｆ１３を用いない枦、＠には、フォトマルチプライ
ヤ１２からの積算出力を積算時間及び単位バクテリア当
りの出力で換所するように演算器１４を設定してもよい
。
００個以下程度のバクテリアしか含捷ない超純水におけ
るこのバクテリア量を精密に検出するため忙、外部から
の迷光の影響を無くして螢光のみを検出するために、同
期的に駆動されるチョッパーｌＯ及びロックインアンプ
１３を設けているがこれらは必ずしも必要でなく、例え
ば光量７、測定室５及びフォトマルチプライヤ−１２を
暗箱内に収納すればよい。又、迷３１％等が一定焔であ
るならば演算器１４で、この迷光出力を除去するように
してもよい。このようにチョッパー１ｏ及びロックイン
アンｆ１３を用いない枦、＠には、フォトマルチプライ
ヤ１２からの積算出力を積算時間及び単位バクテリア当
りの出力で換所するように演算器１４を設定してもよい
。
第２図は本発明の他の実施例を下すものであり、バクテ
リア路の検出の精度を更に向上させろために零レベルを
検出する機構を設けたものである。第２図において第１
図と同一の部分には同−勾号を付し説明を省略する。第
２図において、第１図に示した測定室５、フォトマルチ
ン０ライヤ１２及び干渉フィルタ１１と並列に同様の測
定室１８、フォトマルチプライヤ１９及び干渉フィルタ
２０が設けられている。この測定室１８にはアクリジン
オレンジ又はその誘導体が添加されない測宇水が導かれ
ており、零レベル分の光量を検出するようになっている
。２１及び２２はこれら測定用及び零レベル検出用の測
定室５及び１８にそれぞれ励起光源７からの励起光を照
射するためのハーフミラ−及びミラーである。２３は２
つのフォトマルチプライヤ−１２及び１９からの出力を
入力とする差分に１幅器である。この差分増幅器２３に
よって零レベル分が除去された出力は前述の実施例と同
様にロックインアンプ１３及び演算器１４を経て表示器
１５で表示される。
リア路の検出の精度を更に向上させろために零レベルを
検出する機構を設けたものである。第２図において第１
図と同一の部分には同−勾号を付し説明を省略する。第
２図において、第１図に示した測定室５、フォトマルチ
ン０ライヤ１２及び干渉フィルタ１１と並列に同様の測
定室１８、フォトマルチプライヤ１９及び干渉フィルタ
２０が設けられている。この測定室１８にはアクリジン
オレンジ又はその誘導体が添加されない測宇水が導かれ
ており、零レベル分の光量を検出するようになっている
。２１及び２２はこれら測定用及び零レベル検出用の測
定室５及び１８にそれぞれ励起光源７からの励起光を照
射するためのハーフミラ−及びミラーである。２３は２
つのフォトマルチプライヤ−１２及び１９からの出力を
入力とする差分に１幅器である。この差分増幅器２３に
よって零レベル分が除去された出力は前述の実施例と同
様にロックインアンプ１３及び演算器１４を経て表示器
１５で表示される。
次に本発明に基いて、測定水中のバクテリアの数に対し
て、この測定水中に一定のアクリジンオレンジを添加し
て反応生成物を得た徒に４９０ ｎｍビークの励起光を
与えたときの吸光度及び螢光強度の一例を示すグラフを
第３図及び第４図に示す。第３図及び第４図に示す如く
、測定水中におけるバクテリア量に応じて螢光強度が異
なり、この螢光強度に基づく出力によって測定水中のバ
クテリア量を検出し得ることが！′１１ろ。
て、この測定水中に一定のアクリジンオレンジを添加し
て反応生成物を得た徒に４９０ ｎｍビークの励起光を
与えたときの吸光度及び螢光強度の一例を示すグラフを
第３図及び第４図に示す。第３図及び第４図に示す如く
、測定水中におけるバクテリア量に応じて螢光強度が異
なり、この螢光強度に基づく出力によって測定水中のバ
クテリア量を検出し得ることが！′１１ろ。
以上詳細に説、明した如く、本発明によれば従来長’Ｊ
ｂ Ｉ’ｌｊをかけてバクテリア量を計数することによ
っていた測定水中のバクテリア路を極めて旬時間で行な
いことができるので、例えば半導体製造において製品の
歩留りを向上させることができ、生Ｐｒコストを低下さ
せることに寄与することができる。
ｂ Ｉ’ｌｊをかけてバクテリア量を計数することによ
っていた測定水中のバクテリア路を極めて旬時間で行な
いことができるので、例えば半導体製造において製品の
歩留りを向上させることができ、生Ｐｒコストを低下さ
せることに寄与することができる。
明に用いられる螢光特性を示すグラフである。
図面中、
１は超純水ライン、
２は分岐管路、
３は反応室、
４は染色剤室、
５．１８は測定室、
７は励起光源、
８．１１．２０は干渉フィルタ、
１０はヂョツパ、
１２．１９はマルチプライヤ、
１３はロックインアンプ、
１４は演算器である。
特許ｕ−１願人
富士写真フィルム株式会社
代理人
弁理士 光 石 士 部（他］名）
第１図
第２図
１ｏｇＮ（ハ゛り丁１）ｒで交ン
第４図
１０、ｏｆ
日
・肝
擲２
１ｏｑＮ（バクテリアしＪ
Claims (1)
- アクリジンオレンジ又はその誘導体か添加され、含有す
るバクテリアとの反応生成物を生成させた測定水が導か
れた透光性の測定室、この測定室中の測定水に励起光を
照射して該反応生成物から螢光を発生させるための励起
光源、該螢光を受光するための光電変換器、この光電変
換器の出力を単位バクテリア当りの螢光出力で換算して
出力するための演算器を有することを特徴とするバクテ
リアカウンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5157783A JPS59179073A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | バクテリアカウンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5157783A JPS59179073A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | バクテリアカウンタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59179073A true JPS59179073A (ja) | 1984-10-11 |
Family
ID=12890795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5157783A Pending JPS59179073A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | バクテリアカウンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59179073A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02242159A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-26 | Jeol Ltd | 免疫測定装置の発光検出器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3684377A (en) * | 1970-07-13 | 1972-08-15 | Bio Physics Systems Inc | Method for analysis of blood by optical analysis of living cells |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP5157783A patent/JPS59179073A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3684377A (en) * | 1970-07-13 | 1972-08-15 | Bio Physics Systems Inc | Method for analysis of blood by optical analysis of living cells |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02242159A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-26 | Jeol Ltd | 免疫測定装置の発光検出器 |
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