JPS59181302A - 反射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は反射鏡に関し、特に光学機器中に組込むのに適
した反射鏡に関する。

光学機器の光学系、例えば観察系、投影系、照明系など
の光路中には光路を曲折げるために多くの反射鏡が使用
されている。そして光電顕微鏡の使用される直径数セン
チ程度のものから半導体製造用マバクアラ・イナーの稜
影光路に配される直径数十センチの球面鏡まで大きさは
様々であるが、日常使用される境と違って高精度が要求
される。

従来この種の平面鏡の母材としては、一般の光学ガラス
やバイノックス等が使われ、球面鏡や放物面鏡の様な曲
面鏡としては前記硝材の他に低膨張ガラスなどが使われ
ている。また光学走査装置に配置される回転多面鏡とし
ては硝材以外にアルミや銅等の金属も使用される９が、
いずれも剛性が低（、自重によって変形したり、経時的
に面精度が変化すると云う欠点がある。

一方、反射鏡を光学装置の枠材に取付ける場合、反射鏡
を取付具で固着したシ、反射鏡を金属性の　。

取付具に接着した後、枠材にネジ止めしていたが、前者
は高精度で組立てるのが難しく、後者は接、着時の取付
は精度出しに手間が掛るとともに接着部が時折りはがれ
ると云う不都合があった。

更に前述したマスクアライナ−の大型の球面鏡を成形す
る様な場合には、球面を切削すること自体が大変である
ばかりでカ（、歪をな（すために裏面も球面に切削して
厚みを一定にするなど加工に多くの手間と時間を要する
難点もあった。

本発明は耐久性を持つとともに製作の容易な反射鏡を提
供する目的を有し、更に光学機器への取付けも容易にす
るものでおる。

そしてこの目的のために本発明は反射鏡の母材としてフ
ァインセラミックスを使用している。

以下図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は大型球面後の断面形状を示して〜・る。１は球
面鏡の基体で、一定の厚みの凹凸形状に形成されている
。材質はファインセラミックスで、アルミナ（ＡＪｔＯ
ｓ　）系、ジルコン系、チタニア系、炭化珪素系、窒化
珪素系などのいずれを使用しても良いが、大型の場合、
コストの点でアルミナ系を使用するのが良い。またアル
ミナ系であれば境面蒸着に用いるアルミニウムともなじ
み易い。

凹面２及び凸面３は焼せい前の原型に形成されており、
これらの球面は精密型抜きあるいけろ（ろ引きなどで作
られる。４は軽量化のための切除付加する方法で作って
も良い。そしてこれらの切除は、強度を維持した状態で
軽量化を表現するため、全体形状や厚みを考慮して決定
する。原型が高温で焼上げられた後、凹凸２には研磨加
工を施し、続いてアルミニウムあるいは銅などの金属を
１蒸着する。

以上と同じ手法で放物面鏡を製作できるが、単純な球面
から若干偏倚した面を持つ非球面鏡の製作も可能である
。非球面は一般にレンズの面に使用され、収差を高度に
補正するために利用されているが、収斂作用を持つ凹面
球や発散作用を示す凸面鏡に導入すれば、レンズの場合
と同様の収差補正作用を発揮させられる。従来技術でこ
の種の非球面鏡を作る場合には切削作業に著しい手間を
高度の熟練を要するが、本発明によれば、基本的彦形を
加工性の癌に良い原型に施せば良いから、極めて有利で
ある。

第２図は照明系に使われるコールドミラーの例である。

５はファインセラミックス製の基体で中空部６とこれに
つながる取付１（？　７と８を有する。

中空部６は、原型の箱状の部材に蓋を接合する様な手法
で製作できる。表平面９は研磨加工の後、赤外波長を透
過し、それより短波長の光を反射する干渉薄膜を蒸着し
て形成する。第２図の形態の場合管７と８を介して冷却
用の空気あるいは液体を循環させることができるから、
平面９を透過し用を成す様に変形しても良い。

（ａ）は側面、（ｂ）は断面を示し、１０は基体で、反
射面１１が８枚と回転軸孔口そして軽量化のための切除
部１３を具える。この種の複雑な形態のものもファイン
セラミックスを使えば楽に一体成形可能である。反射面
１１には金属を蒸着する。

体に成形している。従って鏡と取付具との精度に気を使
いながら両者を接着する作業から開放され、また接着部
の強度を気にしな（でも良くなる。

この種の形態は、型抜きで大量生産できるから、汎用反
射鏡とし７てコスト低下に役立つ。小型であるから、比
較的高価なチタニア系のファインセラミックスを使用す
ることもでき、このセラミックスの特長である加工歪の
無さを生かすことができる。尚、この例では平面鏡で示
したが曲面鏡でも良く、第１図の様な大型の鏡でも取付
誤差がうるさ〜＼点では同じであるから、取付具の一体
成形は役立つ。

第５図は薄い平面鏡１７の補強のためにリブ１８゜１８
’、１８’を取付けた例である。この様にファインセラ
ミックスを使えば作業性の良い原型に種々の加工を施す
ことができるから、用途に合った反射鏡を製作できる。

以上説明した通ｐ本発明によればファインセラミックス
の特長を生かして耐久性の良い反射鏡を提供することが
でき、また焼上げた後のセラミックスは既に仕様をほぼ
満足する寸法にでき上がりているから、その後の加工作
業は極めて容易で且便利である。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は各々本発明の実施例を示す断面図。第
６図（ａ）は別実施例の側面図で（ｂ）は断面図。 ＠４図と第５図は各々他の実施例の断面図。図中、１．
５，１０，１４・拳争反射疑の基体、２・Φ・凹反射面
、９，１１，１５・・・平面反射面、４，１３拳・―切
除部、６・・・中空部。 出願人　キャノン株式会社 箔１２　　　ち？霞 もろソ （α）（ｂ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）ファインセラミックス製の基体の一部に鏡面処理
   を施して成る反射装置。 （２）前記鏡面処理を施した部分は平面である特許請求
   の範囲第（１）項記載の反射装置。 （６）前記鏡面処理を施した部分は球面あるいは非球面
   である特許請求の範囲第（１）項記載の反射装置。 基体に一体成形して成る反射装置。