JPS59181448A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59181448A JPS59181448A JP58056554A JP5655483A JPS59181448A JP S59181448 A JPS59181448 A JP S59181448A JP 58056554 A JP58056554 A JP 58056554A JP 5655483 A JP5655483 A JP 5655483A JP S59181448 A JPS59181448 A JP S59181448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- power source
- lens
- aperture
- objective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/15—External mechanical adjustment of electron or ion optical components
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、対物絞りの位置を調整する手段を有した電子
顕微鏡に関する。
顕微鏡に関する。
電子顕微鏡を用いて試料を観察するためには、その前段
階どじで種々の調整が必要であるが、この調整の主要な
一つとして対物絞りを光軸に合せる作業がある。
階どじで種々の調整が必要であるが、この調整の主要な
一つとして対物絞りを光軸に合せる作業がある。
従来、この調整はまず第１図に示１ような電子顕微鏡に
おいて試料１をセットした後、中間レンズ３の物面を対
物レンズ２の後焦点面即ち、対物レンズ２によって回折
像りが形成される位置（正確にはこの位置からやヤ）饋
れた位置）に合せて視野制限回折像観察モードにする。
おいて試料１をセットした後、中間レンズ３の物面を対
物レンズ２の後焦点面即ち、対物レンズ２によって回折
像りが形成される位置（正確にはこの位置からやヤ）饋
れた位置）に合せて視野制限回折像観察モードにする。
しかる後対物絞り６を挿入して移動させ、絞り穴）−１
が０次の回折スポットを取り込む位置に移動さける。そ
の結果、蛍光板５には第２図に示すように穴］−（に対
応した部分のみ明るく、絞りでカッ１〜された部分が暗
く、更にこの明るく表示された部分に高輝度な０次の回
折スボッ１〜が舅われる像が表示される。この０次の回
折スポットの位置は光軸に対応しているので、対物絞り
６を更に移動させて、明るく表示されている部分の中心
がこの０次のスポットに一致するようにして位置設定を
行なっている。尚、第１図においてＦＢは電子線であり
、４は投影レンズである。
が０次の回折スポットを取り込む位置に移動さける。そ
の結果、蛍光板５には第２図に示すように穴］−（に対
応した部分のみ明るく、絞りでカッ１〜された部分が暗
く、更にこの明るく表示された部分に高輝度な０次の回
折スボッ１〜が舅われる像が表示される。この０次の回
折スポットの位置は光軸に対応しているので、対物絞り
６を更に移動させて、明るく表示されている部分の中心
がこの０次のスポットに一致するようにして位置設定を
行なっている。尚、第１図においてＦＢは電子線であり
、４は投影レンズである。
しかしながらこのような従来の装置にａ３いては、絞り
穴１］が０次の電子線を取り込むような位置に絞り６を
移動させるための操作を、全く試行釦誤で行なわな（）
ればならないため、筒中に絞りの位置設定を行なうこと
ができない。又、主述した従来例に、１３いては、試料
によって散乱された電子線により絞り像を形成せしめ位
置設定を行なわなければならないが、電子線は試料を透
過する際に減衰されてしまうため、蛍光板５上に表示さ
れる前記明るい部分と暗い部分とのコントラスｌ〜が弱
く、−に連した作業はやりにくいものであった。
穴１］が０次の電子線を取り込むような位置に絞り６を
移動させるための操作を、全く試行釦誤で行なわな（）
ればならないため、筒中に絞りの位置設定を行なうこと
ができない。又、主述した従来例に、１３いては、試料
によって散乱された電子線により絞り像を形成せしめ位
置設定を行なわなければならないが、電子線は試料を透
過する際に減衰されてしまうため、蛍光板５上に表示さ
れる前記明るい部分と暗い部分とのコントラスｌ〜が弱
く、−に連した作業はやりにくいものであった。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、簡単口つ短時
間に対物絞り位置の設定を行ない得る電子顕微鏡を提供
することを目的としてなされたもので、電子銃と、集束
レンズと、対物レンズと、中間レンズと、投影レンズと
、対物絞りの位置を調整づ−るための手段とを１ｆｆＩ
えた装置において、前記対物レンズの励磁電源を繰り返
し自動的にオンオフする手段を具備していることを特徴
としている。
間に対物絞り位置の設定を行ない得る電子顕微鏡を提供
することを目的としてなされたもので、電子銃と、集束
レンズと、対物レンズと、中間レンズと、投影レンズと
、対物絞りの位置を調整づ−るための手段とを１ｆｆＩ
えた装置において、前記対物レンズの励磁電源を繰り返
し自動的にオンオフする手段を具備していることを特徴
としている。
以下図面に基づぎ本発明の実施例を詳述づる。
第３図は本発明の一実施例を示づためのもので、第３図
においでは第１図ど同一の構成要素（二対しては同一番
号が付されている。図中、７は対物絞りのガイドであり
、このガイドに沿って対物絞り６が挿入できるようにな
つＣいる。８は電子銃で・あり、９は電子銃８よりの電
子線「口を集束７Ｊる１こめの集束レンズである。１０
は９＝Ｉ ’ｌ勿１ノンズ２の電源であり、この電源１
０にはスイッチ１２を介して発振器１１より１０１−１
Ｚ程度の周期的＜’Ｌ信８が供給できるようになって
いる。この電源１０ｉま発振器１１よりの信８の供給に
１：）づいてオンオフされるようになっている。又、図
示してＬＪいイＪ゛いが、各レンズには人々のレンズ電
源より励磁電流が供給される。
においでは第１図ど同一の構成要素（二対しては同一番
号が付されている。図中、７は対物絞りのガイドであり
、このガイドに沿って対物絞り６が挿入できるようにな
つＣいる。８は電子銃で・あり、９は電子銃８よりの電
子線「口を集束７Ｊる１こめの集束レンズである。１０
は９＝Ｉ ’ｌ勿１ノンズ２の電源であり、この電源１
０にはスイッチ１２を介して発振器１１より１０１−１
Ｚ程度の周期的＜’Ｌ信８が供給できるようになって
いる。この電源１０ｉま発振器１１よりの信８の供給に
１：）づいてオンオフされるようになっている。又、図
示してＬＪいイＪ゛いが、各レンズには人々のレンズ電
源より励磁電流が供給される。
このような構成に、１３いて、集中１ノンズ９の励磁電
流を調整して最大視野を得ることので゛きる平行な電子
線１７Ｉ３が試料に照射されるように′１ｊ−る。又、
対物レンズ電源１０の出力電流を試料１を蛍光板５−に
にフォーカスざ氾るＪ、うに調整Ｊる。更に中間レンズ
３の励磁電流を調整して中間レンズ３の物面がズ・１物
レンズ２の後焦点面の近傍に位１ｔする」；う（こする
。そこで、試才月をセラ１へ（ノイー釘い１人感におい
て、万イド７に沿−）で絞り６を挿入覆る。次にスイッ
チ１２を閉じて発振器１１よりの周期的な信号を対物レ
ンズ電源１０に供給する。その結果、対物レンズ２は周
期的にオーンオ゛フを繰り返す。
流を調整して最大視野を得ることので゛きる平行な電子
線１７Ｉ３が試料に照射されるように′１ｊ−る。又、
対物レンズ電源１０の出力電流を試料１を蛍光板５−に
にフォーカスざ氾るＪ、うに調整Ｊる。更に中間レンズ
３の励磁電流を調整して中間レンズ３の物面がズ・１物
レンズ２の後焦点面の近傍に位１ｔする」；う（こする
。そこで、試才月をセラ１へ（ノイー釘い１人感におい
て、万イド７に沿−）で絞り６を挿入覆る。次にスイッ
チ１２を閉じて発振器１１よりの周期的な信号を対物レ
ンズ電源１０に供給する。その結果、対物レンズ２は周
期的にオーンオ゛フを繰り返す。
電源１０がオフの際には、第４図（ｂ）に示すように集
束レンズ９にＪ：り平行にされた電子線［Ｂは、絞り６
に照射され、且つ絞り６が配置されている対物レンズの
後焦点面の近傍に中間レンズ３の物面が位置するように
されているため、蛍光板５十には第５図〈１〕）に示す
如き絞り６の明視野像が表示される。この際、もし絞り
の最初の位置が大きく光軸から離れているため、この明
視野像中に絞り穴１」の像が現われない場合には、視野
制限回折像モードでのカメラ長を切換えて絞りの表示倍
率をより低倍にし、絞り穴１」が像中に明るく表示され
るようにした後、この位置を確認しながら絞りを移動し
た後、カメラ長を元に戻す。又、対物レンズ電源１０が
オンの場合には、第４図（ａ ）に示すように、通常の
視野制限回折像観察モードの場合と同様に、電子線［Ｂ
は対物レンズ２の後焦点面上で収斂すると共に、中間レ
ンズ３の物面がこの後焦点面の近傍に位置しているため
、蛍光板５−１には、第５図（ａ）に示′？ｌＪ−うな
電子線ＦＢの結像スポットが形成される。この電子線Ｆ
Ｂの結像スポラｌ−Ｓは、光軸のイずｌ置に対応してい
るため、蛍光板５上に短い周期で交互に表示される第５
図（ａ＞、（ｂ）に示す像を観察しながら、明るく表示
された絞り穴の像が、結像スポラ１〜Ｓを中心として現
われるように絞り６を移動すれば、絞り６を光軸の中心
に合ゼることができる。
束レンズ９にＪ：り平行にされた電子線［Ｂは、絞り６
に照射され、且つ絞り６が配置されている対物レンズの
後焦点面の近傍に中間レンズ３の物面が位置するように
されているため、蛍光板５十には第５図〈１〕）に示す
如き絞り６の明視野像が表示される。この際、もし絞り
の最初の位置が大きく光軸から離れているため、この明
視野像中に絞り穴１」の像が現われない場合には、視野
制限回折像モードでのカメラ長を切換えて絞りの表示倍
率をより低倍にし、絞り穴１」が像中に明るく表示され
るようにした後、この位置を確認しながら絞りを移動し
た後、カメラ長を元に戻す。又、対物レンズ電源１０が
オンの場合には、第４図（ａ ）に示すように、通常の
視野制限回折像観察モードの場合と同様に、電子線［Ｂ
は対物レンズ２の後焦点面上で収斂すると共に、中間レ
ンズ３の物面がこの後焦点面の近傍に位置しているため
、蛍光板５−１には、第５図（ａ）に示′？ｌＪ−うな
電子線ＦＢの結像スポットが形成される。この電子線Ｆ
Ｂの結像スポラｌ−Ｓは、光軸のイずｌ置に対応してい
るため、蛍光板５上に短い周期で交互に表示される第５
図（ａ＞、（ｂ）に示す像を観察しながら、明るく表示
された絞り穴の像が、結像スポラ１〜Ｓを中心として現
われるように絞り６を移動すれば、絞り６を光軸の中心
に合ゼることができる。
」一連したように本発明におい−では、対物レンズ電源
をオフにした際には、電子線が絞り６に平行に照射され
、必要に応じてカメラ長を調整覆ることにより広い視野
で絞り６の電子顕微鏡像を蛍光板５に投影できるため、
絞り穴１−１の初期の位置が大きくずれている場合にも
、その位置を確認しながら絞りを結像スポット（光軸中
心）に向って移動させ、容易に軸合ぜを行なうことがで
きる。
をオフにした際には、電子線が絞り６に平行に照射され
、必要に応じてカメラ長を調整覆ることにより広い視野
で絞り６の電子顕微鏡像を蛍光板５に投影できるため、
絞り穴１−１の初期の位置が大きくずれている場合にも
、その位置を確認しながら絞りを結像スポット（光軸中
心）に向って移動させ、容易に軸合ぜを行なうことがで
きる。
又、上述した本発明においては、対物レンズをオフにし
た際には絞りの明視野像が蛍光板に表示され、対物レン
ズをオンにした際には０次の電子線のスポットが表示さ
れるが、いずれの像も試料によって減衰されていない電
子線に基づくものであるため、大きな一１ン１〜ラスト
で蛍光板上に表示される。ぞのため、像の明るい部分や
スポラ１〜の位置が明瞭に判別でき、軸合せの操作を容
易に行イｒうことができる。
た際には絞りの明視野像が蛍光板に表示され、対物レン
ズをオンにした際には０次の電子線のスポットが表示さ
れるが、いずれの像も試料によって減衰されていない電
子線に基づくものであるため、大きな一１ン１〜ラスト
で蛍光板上に表示される。ぞのため、像の明るい部分や
スポラ１〜の位置が明瞭に判別でき、軸合せの操作を容
易に行イｒうことができる。
第１図は従来装置を説明するための図、第２図は従来装
置におりる軸合ぜ操作を説明するための図、第３図は本
発明の一実施例を説明するための図、第４図（ａ ）及
び（１）〉は各々第３図に示した＝実施例装置におりる
対物レンズオン及びオフにお（Ｊる像を説明するための
図、第５図（ａ ）及び（１〕）は各々対物レンズがオ
ン及びオフの際の蛍光板上の像を説明覆るだめの図であ
る。 １：試わ１．２：対物レンズ、３：中間レンズ、／Ｉ：
投影レンズ、５：蛍光板、６：絞り、７：ガイド、８：
電子銃、９：集束レンズ、１０：励磁電源、１１：発振
器、１２：スイッチ、ＥＢ：電子線、Ｓ；スポット。 ７−
置におりる軸合ぜ操作を説明するための図、第３図は本
発明の一実施例を説明するための図、第４図（ａ ）及
び（１）〉は各々第３図に示した＝実施例装置におりる
対物レンズオン及びオフにお（Ｊる像を説明するための
図、第５図（ａ ）及び（１〕）は各々対物レンズがオ
ン及びオフの際の蛍光板上の像を説明覆るだめの図であ
る。 １：試わ１．２：対物レンズ、３：中間レンズ、／Ｉ：
投影レンズ、５：蛍光板、６：絞り、７：ガイド、８：
電子銃、９：集束レンズ、１０：励磁電源、１１：発振
器、１２：スイッチ、ＥＢ：電子線、Ｓ；スポット。 ７−
Claims (1)
- 電子銃と、集束レンズと、対物レンズと、中間レンズと
、投影レンズと、対物絞りの位置を調整するための手段
とを（；１ｉえた装置において、前記対物レンズの励磁
電源を繰り返し自動的にオンオフ覆る手段を４備してい
ることを特徴とづ゛る電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58056554A JPS59181448A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58056554A JPS59181448A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59181448A true JPS59181448A (ja) | 1984-10-15 |
Family
ID=13030324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58056554A Pending JPS59181448A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59181448A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7626166B2 (en) * | 2007-02-28 | 2009-12-01 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
| US8124932B2 (en) * | 2006-08-23 | 2012-02-28 | Sii Nanotechnology Inc. | Charged particle beam apparatus and method adjusting axis of aperture |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP58056554A patent/JPS59181448A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8124932B2 (en) * | 2006-08-23 | 2012-02-28 | Sii Nanotechnology Inc. | Charged particle beam apparatus and method adjusting axis of aperture |
| TWI412054B (zh) * | 2006-08-23 | 2013-10-11 | Sii Nanotechnology Inc | Charge beam device and aperture adjustment method of aperture |
| US7626166B2 (en) * | 2007-02-28 | 2009-12-01 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
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